CN115213157A - 一种带有吹干机构的石英舟吹扫设备 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及石英舟清理吹扫设备技术领域，公开了一种带有吹干机构的石英舟吹扫设备，包括支撑组件、酸洗组件、第一水洗组件、第二水洗组件、转运组件和用于对清洗后的石英舟进行吹干的吹干组件，其中支撑组件的顶部沿水平方向从左到右依次设置有用于对石英舟进行清理的酸洗组件、第一水洗组件、第二水洗组件和吹干组件，且支撑组件的顶部设置有转运组件，且转运组件用于夹持石英舟进行转运清理。本发明克服现有的石英舟清洗时需要依次经过酸洗、冲洗和风干工序，石英舟从一个工序到另一个工序缺少专用的转运装置，人工转运效率低下，同时传统的风干出风位置和石英舟的位置均单一固定，不能对石英舟进行全面的风干处理，导致吹干效果变差的问题。
Description
技术领域
本发明涉及石英舟清理吹扫设备技术领域，尤其涉及一种带有吹干机构的石英舟吹扫设备。
背景技术
在半导体生产中在扩散工艺中长期使用的石英舟会被偏磷酸、粉尘、碎屑等污染，偏磷酸累积一定量后会腐蚀位于石英舟上的硅片，从而形成卡槽印，严重的情况下会导致硅片方阻异常或者外观异常，影响硅片的良品率以及转换效率，所以需要对石英舟进行定期或不定期的清洗，对石英舟的清洗一般会先将石英舟置于酸洗机构中使用酸性溶剂对其表面沉积的P2O5等进行去除，再将经过酸处理后的石英舟置于水洗机构中使用清水对其进行清洗，去除表面的酸性物质及杂质，最后将清洗好的石英舟进行烘干，以便进行重复使用。
公开号为CN201721316915.9，名称为一种石英舟的吹干装置，包括风干槽体，石英舟与风干槽体内壁留有间隙，风干槽体一端连接有驱动电机，风干槽体在驱动电机牵引下能够与石英舟产生相对位移，通道中设置有进气管道，所述进气管道上设置有开孔，所述开孔处安装有高压喷嘴，石英舟的吹干装置利用电机驱动吹干装置，通过电机控制吹干装置来回移动，能够实现石英舟与吹干装置产生相对位移，从而对石英舟自动进行循环吹扫，便于吹干石英舟的每个卡槽，清扫吹干速度快、效率高，节省劳动力，降低成本。
公开号为CN202122284594.1，名称为一种石英舟清洗装置，包括依次设置的酸洗机构、第一水洗机构、第二水洗机构以及烘干机构，酸洗机构包括酸洗槽，酸洗槽包括底壁和侧壁，侧壁的下端和底壁之间连接有倾斜面，倾斜面的下端朝槽内倾斜，底壁设置有可关闭和开启的排液孔。
但是上述技术中石英舟清洗时需要依次经过酸洗、冲洗和风干工序，石英舟从一个工序到另一个工序缺少专用的转运装置，人工转运导致清理效率低下，同时传统的风干出风位置和石英舟的位置均单一固定，不能对石英舟进行全面的风干处理，导致吹干效果变差。
发明内容
本发明的目的在于提供一种带有吹干机构的石英舟吹扫设备，旨在改善上述的问题。
本发明是这样实现的：
一种带有吹干机构的石英舟吹扫设备，包括支撑组件、酸洗组件、第一水洗组件、第二水洗组件、转运组件和用于对清洗后的石英舟进行吹干的吹干组件，其中支撑组件的顶部沿水平方向从左到右依次设置有用于对石英舟进行清理的酸洗组件、第一水洗组件、第二水洗组件和吹干组件，且支撑组件的顶部设置有转运组件，且转运组件用于夹持石英舟进行转运清理。
进一步的，支撑组件包括支架、安装条、齿板和滑框，其中支架和安装条均设置有两个，且两个支架的顶面上竖直固定有两条安装条，且两条安装条上沿水平方向竖直开设有多个安装螺孔，两个支架的顶面后侧水平固定有齿板，且齿板的顶面上沿水平方向均匀固定有多块齿条，两个安装条的后侧竖直端面上均水平固定有滑框。
进一步的，酸洗组件包括顶面贯穿设置用于盛装酸洗液的酸洗箱和用于过滤杂质的网盒，其中酸洗箱的顶部水平开设有安装槽，且酸洗箱的安装槽中竖直向上固定有多根插杆，酸洗箱的外部水平固定有安装框，且酸洗箱的安装框通过安装螺钉配合安装螺孔组装在安装条上，网盒的顶面贯穿设置，且网盒插接在酸洗箱中，且网盒的顶端水平固定有孔框，且孔框上竖直贯穿开设有配合插杆的插孔。
进一步的，第一水洗组件包括顶面贯穿设置的第一水洗箱，第一水洗箱的外部水平固定有安装框，且第一水洗箱的安装框通过安装螺钉配合安装螺孔组装在安装条上，第一水洗箱的底面上贯穿安装有集风盒，且集风盒的顶面上向上延伸到第一水洗箱的内部连通有多根分流杆，且多根分流杆上均匀贯穿开设有多个出气嘴，集风盒的底面上通过风管竖直贯通连接有螺纹壳，且集风盒的风管上安装有风泵。
进一步的，螺纹壳的底面上竖直向下连通有滤筒，且滤筒的内圆周顶部开设有配合螺纹壳的内螺纹，且滤筒的底面上固定有网片，且滤筒的内部填充有用于过滤灰尘的滤棉。
进一步的，第二水洗组件包括顶面贯穿设置的第二水洗箱和多个喷水框，其中第二水洗箱的外部水平固定有安装框，且第二水洗箱的安装框通过安装螺钉配合安装螺孔组装在安装条上，第二水洗箱的内部沿竖直方向水平固定有多个喷水框，且多个喷水框之间通过连管连通，多个喷水框的顶面上贯通连接有接管，且接管与外部水管连通，第二水洗箱的底面上竖直向下贯通连接有用于排水的排水管，且排水管上安装有阀门。
进一步的，转运组件包括滑块座、滑杆架、升降板和夹架，其中滑块座滑动安装在滑框中，且滑块座的底面上水平安装有行走电机，且行走电机的输出端水平安装有主动齿轮，且主动齿轮配合齿板上的齿条用于驱动滑块座在滑框中水平滑动，滑块座的顶面上竖直固定有滑杆架，且滑杆架上沿竖直方向水平滑动安装有升降板，且滑杆架的底面上竖直向上安装有升降气缸，且升降气缸的输出端连接在升降板上，且升降板的底面上竖直向下转动安装有用于夹持石英舟的夹架。
进一步的，升降板的后端竖直向下贯穿开设有配合滑杆架的滑孔，且升降板的顶面上竖直贯穿固定有轴承筒，且升降板的轴承筒顶端安装有转向电机，夹架为竖直设置的U型结构，且夹架的顶面上竖直固定有转轴，且夹架的转轴通过轴承转动连接在轴承筒中，且夹架的转轴顶部与转向电机的输出端连接，夹架的两侧竖直端面上均水平固定有多个螺筒，且多个螺筒中均水平螺纹贯穿安装有夹持螺杆，且夹持螺杆的端部固定有夹板，且夹持螺杆的夹板上粘接有橡胶片。
进一步的，吹干组件包括吹干框，吹干框的上下两端面均贯穿设置，且吹干框的一侧竖直端面与两个支架其中一个固定连接，且吹干框的另一侧竖直端面上贯穿设置有进风框，且进风框的端部组装有导风框，且导风框的一端贯穿设置，且导风框的开口端通过螺栓组装在进风框的端口处，且导风框的另一竖直端面上贯穿安装有风扇板，且导风框的顶面上竖直向下开设有滑槽，且滑槽中竖直滑动插接有用于过滤空气灰尘的除尘组件，且导风框的内部朝向开口端的一侧竖直设置有加热组件。
进一步的，除尘组件包括插框，其中插框竖直滑动插接在导风框的滑槽中，且插框的内部竖直固定有孔板，且插框的内部靠近风扇板的一侧填充有布垫，且插框的内部另一侧填充有滤尘棉块，加热组件包括支框和多根加热棒，其中支框竖直固定在吹干框中，且支框的内部沿竖直方向水平固定有多根加热棒，且支框的内部沿竖直方向水平固定有多块隔板。
与现有技术相比，本发明的有益效果是：
(1)、将需要清理的石英舟使用转运组件进行夹持，然后利用转运组件携带需要清理的石英舟在支撑组件上从左到右移动，然后依次将夹持的石英舟插入酸洗组件、第一水洗组件和第二水洗组件，依次进行酸洗浸泡和冲洗浸泡，完成石英舟表面的污垢清理，然后通过吹干组件对表面粘附的水珠进行清理，从而方便加快表面水珠吹干，从而提高石英舟表面清理效果的同时，并且利用转运组件夹持快速进行清理转运，加快了清理和烘干效率；
(2)、将需要清理的石英舟，在夹架上的夹持螺杆调节下夹持石英舟，转运组件中滑块座上的行走电机，通过驱动主动齿轮啮合齿板上的齿条，水平驱动滑块座在滑框上水平滑动，然后从左到右到达酸洗组件、第一水洗组件、第二水洗组件和用于对清洗后的石英舟进行吹干的吹干组件上，然后行走电机依次停在对应酸洗组件、第一水洗组件、第二水洗组件和用于对清洗后的石英舟进行吹干的吹干组件的位置，然后通过升降气缸的升降驱动升降板在滑杆架上竖直滑动，进而调节夹架夹持石英舟，插入酸洗组件、第一水洗组件、第二水洗组件和用于对清洗后的石英舟进行吹干的吹干组件中，进而依次进行清理和烘干；
(3)、使用时通过风扇板上的多个风扇将外部空气导入导风框中，然后空气依次通过除尘组件对空气进行过滤去除空气中的灰尘，然后空气经过加热组件中的加热棒，空气携带热量从进风框中导入吹干框中，然后对插入吹干框其中的石英舟进行吹干。
(4)、使用时将空气管路与接风管连通，导入进气进入出风环中，空气经过出风嘴向外排出空气，空气形成气流进入吹干筒中，空气经过多块风道隔板形成的风道向上传递，空气经过网壳筒上的气孔排出对内部的石英舟进行烘干，从而加快石英舟快速吹干。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施方式的技术方案，下面将对实施方式中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本发明的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
图1是带有吹干机构的石英舟吹扫设备第一实施例的整体结构示意图；
图2是带有吹干机构的石英舟吹扫设备第一实施例中吹干组件的分解结构示意图；
图3是带有吹干机构的石英舟吹扫设备第一实施例中加热组件的分解结构示意图；
图4是带有吹干机构的石英舟吹扫设备第一实施例中除尘组件的分解结构示意图；
图5是带有吹干机构的石英舟吹扫设备第二实施例的整体结构示意图；
图6是带有吹干机构的石英舟吹扫设备第一实施例的整体分解结构示意图；
图7是带有吹干机构的石英舟吹扫设备实施例中酸洗组件的分解结构示意图；
图8是带有吹干机构的石英舟吹扫设备实施例中第一水洗组件的分解结构示意图；
图9是带有吹干机构的石英舟吹扫设备实施例中第二水洗组件的分解结构示意图；
图10是带有吹干机构的石英舟吹扫设备实施例中支撑组件和转运组件的连接示意图；
图11是带有吹干机构的石英舟吹扫设备实施例中转运组件的分解结构示意图；
图12是带有吹干机构的石英舟吹扫设备第二实施例中吹干组件的分解结构示意图。
图中：1、支撑组件；11、支架；12、安装条；13、齿板；14、滑框；2、酸洗组件；21、酸洗箱；211、安装槽；212、插杆；22、网盒；221、孔框；3、第一水洗组件；31、第一水洗箱；32、集风盒；33、分流杆；34、风泵；35、螺纹壳；36、滤筒；37、滤棉；4、第二水洗组件；41、第二水洗箱；42、喷水框；43、接管；44、排水管；5、转运组件；51、滑块座；511、升降气缸；512、行走电机；513、主动齿轮；52、滑杆架；53、升降板；54、滑孔；55、转向电机；56、夹架；57、螺筒；58、夹持螺杆；6、吹干框；61、进风框；62、导风框；621、滑槽；63、风扇板；64、除尘组件；641、插框；642、孔板；643、布垫；644、滤尘棉块；65、加热组件；651、支框；652、隔板；653、加热棒；7、吹干筒；71、风道隔板；72、网壳筒；73、出风环；74、接风管。
具体实施方式
为使本发明实施方式的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施方式中的附图，对本发明实施方式中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施方式是本发明一部分实施方式，而不是全部的实施方式。基于本发明中的实施方式，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施方式，都属于本发明保护的范围。因此，以下对在附图中提供的本发明的实施方式的详细描述并非旨在限制要求保护的本发明的范围，而是仅仅表示本发明的选定实施方式。基于本发明中的实施方式，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施方式，都属于本发明保护的范围。
实施例1：
请参阅图1、图2、图3、图4、图7、图8、图9、图11和图12所示，一种带有吹干机构的石英舟吹扫设备，包括支撑组件1、酸洗组件2、第一水洗组件3、第二水洗组件4、转运组件5和用于对清洗后的石英舟进行吹干的吹干组件，其中支撑组件1的顶部沿水平方向从左到右依次设置有用于对石英舟进行清理的酸洗组件2、第一水洗组件3、第二水洗组件4和吹干组件，且支撑组件1的顶部设置有转运组件5，且转运组件5用于夹持石英舟进行转运清理，使用时将需要清理的石英舟使用转运组件5进行夹持，然后利用转运组件5携带需要清理的石英舟在支撑组件1上从左到右移动，然后依次将夹持的石英舟插入通过酸洗组件2、第一水洗组件3和第二水洗组件4，依次进行酸洗浸泡和冲洗浸泡，完成石英舟表面的污垢清理，然后通过吹干组件对表面粘附的水珠进行清理，从而方便加快表面水珠吹干，从而提高石英舟表面清理效果的同时，并且利用转运组件5夹持快速进行清理转运，加快了清理和烘干效率。
请参阅图10，支撑组件1包括支架11、安装条12、齿板13和滑框14，其中支架11和安装条12均设置有两个，且两个支架11的顶面上竖直焊接有两条安装条12，且两条安装条12上沿水平方向竖直开设有多个安装螺孔，两个支架11的顶面后侧水平焊接有齿板13，且齿板13的顶面上沿水平方向均匀焊接有多块齿条，两个安装条12的后侧竖直端面上均水平焊接有滑框14，从而利用支架11和安装条12用于依次安装酸洗组件2、第一水洗组件3和第二水洗组件4，从而方便进行清理酸洗，并且齿板13和滑框14用于水平导向驱动转运组件5进行夹持工件进行移动。
请参阅图7，酸洗组件2包括顶面贯穿设置用于盛装酸洗液的酸洗箱21和用于过滤杂质的网盒22，其中酸洗箱21的顶部水平开设有安装槽211，且酸洗箱21的安装槽211中竖直向上焊接有多根插杆212，酸洗箱21的外部水平焊接有安装框，且酸洗箱21的安装框通过安装螺钉配合安装螺孔组装在安装条12上，网盒22的顶面贯穿设置，且网盒22插接在酸洗箱21中，且网盒22的顶端水平固定有孔框221，且孔框221上竖直贯穿开设有配合插杆212的插孔，从而网盒22在酸洗箱21中竖直插接，进而方便进行快速限位插接，进而方便定位抽拉清理网盒22过滤的杂质，酸洗箱21的内部盛装有酸洗液，用于对石英舟表面进行酸浸清理，同时设置有可拆卸的安装在酸洗箱21内部的网盒22，便于后期进行清洗石英舟便民时，清洗的杂质进行过滤，便于后期清理。
请参阅图8，第一水洗组件3包括顶面贯穿设置的第一水洗箱31，第一水洗箱31的外部水平焊接有安装框，且第一水洗箱31的安装框通过安装螺钉配合安装螺孔组装在安装条12上，第一水洗箱31的底面上贯穿安装有集风盒32，且集风盒32的顶面上向上延伸到第一水洗箱31的内部连通有多根分流杆33，且多根分流杆33上均匀贯穿开设有多个出气嘴，集风盒32的底面上通过风管竖直贯通连接有螺纹壳35，且集风盒32的风管上安装有风泵34，螺纹壳35的底面上竖直向下连通有滤筒36，且滤筒36的内圆周顶部开设有配合螺纹壳35的内螺纹，且滤筒36的底面上固定有网片，且滤筒36的内部填充有用于过滤灰尘的滤棉37，使用时通过风泵34带动外部空气进入滤筒36中，经过滤棉37过滤空气中的灰尘，然后空气进入集风盒32中，空气经过多根分流杆33上的出气嘴喷射在第一水洗箱31中，喷出的空气导致第一水洗箱31中的水发生翻滚，进而加快水流的流速，从而快速流动的水对石英舟表面粘附的灰尘进行冲刷，从而方便加快清理效率和效果。
请参阅图9，第二水洗组件4包括顶面贯穿设置的第二水洗箱41和多个喷水框42，其中第二水洗箱41的外部水平焊接有安装框，且第二水洗箱41的安装框通过安装螺钉配合安装螺孔组装在安装条12上，第二水洗箱41的内部沿竖直方向水平焊接有多个喷水框42，且多个喷水框42之间通过连管连通，用于水流在多个喷水框42进行流动，多个喷水框42的顶面上贯通连接有接管43，且接管43与外部水管连通，第二水洗箱41的底面上竖直向下贯通连接有用于排水的排水管44，且排水管44上安装有阀门，使用时外部水管中的加压水流通过接管43导入多个喷水框42中，水流通过多个喷水框42内部水平设置的多个喷嘴，喷射插入第二水洗箱41的石英舟表面上，对石英舟表面进行从上到下的冲刷，冲刷后的污水经过排水管44排水污水管中。
请参阅图10和图11，转运组件5包括滑块座51、滑杆架52、升降板53和夹架56，其中滑块座51滑动安装在滑框14中，且滑块座51的底面上水平安装有行走电机512，且行走电机512的输出端水平安装有主动齿轮513，且主动齿轮513配合齿板13上的齿条用于驱动滑块座51在滑框14中水平滑动，方便连续携带石英舟进行清理烘干，滑块座51的顶面上竖直焊接有滑杆架52，且滑杆架52上沿竖直方向水平滑动安装有升降板53，且滑杆架52的底面上竖直向上安装有升降气缸511，且升降气缸511的输出端连接在升降板53上，用于竖直方向上支撑升降板53进行竖直升降，且升降板53的底面上竖直向下转动安装有用于夹持石英舟的夹架56。升降板53的后端竖直向下贯穿开设有配合滑杆架52的滑孔54，且升降板53的顶面上竖直贯穿焊接有轴承筒，且升降板53的轴承筒顶端安装有转向电机55，夹架56为竖直设置的U型结构，且夹架56的顶面上竖直焊接有转轴，且夹架56的转轴通过轴承转动连接在轴承筒中，且夹架56的转轴顶部与转向电机55的输出端连接，夹架56的两侧竖直端面上均水平固定有多个螺筒57，且多个螺筒57中均水平螺纹贯穿安装有夹持螺杆58，且夹持螺杆58的端部焊接有夹板，且夹持螺杆58的夹板上粘接有橡胶片，防滑夹持工件保持稳定性，使用时将需要清理的石英舟，在夹架56上的夹持螺杆58调节下夹持石英舟，转运组件5在滑块座51上的行走电机512上主动齿轮513啮合齿板13上的齿条，水平驱动滑块座51在滑框14上水平滑动，然后从左到右到达酸洗组件2、第一水洗组件3、第二水洗组件4和用于对清洗后的石英舟进行吹干的吹干组件上行走电机512停下，然后通过升降气缸511的升降驱动升降板53在滑杆架52上竖直滑动，进而调节夹架56夹持石英舟，插入酸洗组件2、第一水洗组件3、第二水洗组件4和用于对清洗后的石英舟进行吹干的吹干组件中，进而依次进行清理和烘干。
请参阅图1、图2、图3和图4，吹干组件包括吹干框6，吹干框6的上下两端面均贯穿设置，且吹干框6的一侧竖直端面与两个支架11其中一个固定连接，且吹干框6的另一侧竖直端面上贯穿设置有进风框61，且进风框61的端部组装有导风框62，且导风框62的一端贯穿设置，且导风框62的开口端通过螺栓组装在进风框61的端口处，且导风框62的另一竖直端面上贯穿安装有风扇板63，风扇板63上贯穿安装有多个用于进风的风扇，且导风框62的顶面上竖直向下开设有滑槽621，且滑槽621中竖直滑动插接有用于过滤空气灰尘的除尘组件64，且导风框62的内部朝向开口端的一侧竖直设置有加热组件65，除尘组件64包括插框641，其中插框641竖直滑动插接在导风框62的滑槽621中，且插框641的内部竖直固定有孔板642，且插框641的内部靠近风扇板63的一侧填充有布垫643，且插框641的内部另一侧填充有滤尘棉块644，加热组件65包括支框651和多根加热棒653，其中支框651竖直固定在吹干框6中，且支框651的内部沿竖直方向水平固定有多根加热棒653，且支框651的内部沿竖直方向水平固定有多块隔板652，使用时通过风扇板63上的多个风扇将外部空气导入导风框62中，然后空气依次通过除尘组件64对空气进行过滤去除空气中的灰尘，然后空气经过加热组件65中的加热棒653，空气携带热量从进风框61中导入吹干框6中，然后对插入吹干框6其中的石英舟进行吹干。
工作原理：使用时将需要清理的石英舟，在夹架56上的夹持螺杆58调节下夹持石英舟，转运组件5在滑块座51上的行走电机512上主动齿轮513啮合齿板13上的齿条，水平驱动滑块座51在滑框14上水平滑动，然后从左到右到达酸洗组件2、第一水洗组件3、第二水洗组件4依次进行酸洗浸泡和冲洗浸泡，完成石英舟表面的污垢清理，然后移动到用于对清洗后的石英舟进行吹干的吹干组件上，然后通过升降气缸511的升降驱动升降板53在滑杆架52上竖直滑动，插入酸洗组件2、第一水洗组件3、第二水洗组件4和用于对清洗后的石英舟进行吹干的吹干组件中，通过风扇板63上的多个风扇将外部空气导入导风框62中，然后空气依次通过除尘组件64和加热组件65，空气携带热量从进风框61中导入吹干框6中，然后对插入吹干框6其中的石英舟进行吹干。
实施例2：
本发明实施例所提供的装置，其实现原理及产生的技术效果和实施例1相同，为简要描述，本实施例未提及之处，可参考实施例1中相应内容。
请参阅图5、图6和图12，吹干组件包括圆筒形结构的吹干筒7，吹干筒7的两端均贯穿设置，且吹干筒7的一侧通过连板固定在两个支架11其中一个上，吹干筒7的内圆周面上开设有风槽，且吹干筒7的风槽中沿内圆周方向竖直设置有多块风道隔板71，且多块风道隔板71与吹干筒7的风槽内壁固定连接，多块风道隔板71组合形成导风通道用于导风，吹干筒7的内圆周面上竖直向下插接有网壳筒72，且网壳筒72与吹干筒7的内壁固定连接，吹干筒7的底面上贯穿安装有出风环73，且出风环73的顶面上竖直向上贯通连接有多个出风嘴，且出风环73的底面上贯通设置有用于连通外部空气管路的接风管74，使用时将空气管路与接风管74连通，导入进气进入出风环73中，空气经过出风嘴向外排出空气，空气形成气流进入吹干筒7中，空气经过多块风道隔板71形成的风道向上传递，空气经过网壳筒72上的气孔排出对内部的石英舟进行烘干，从而加快石英舟快速吹干。
使用时将需要清理的石英舟，在夹架56上的夹持螺杆58调节下夹持石英舟，转运组件5在滑块座51上的行走电机512上主动齿轮513啮合齿板13上的齿条，水平驱动滑块座51在滑框14上水平滑动，然后从左到右到达酸洗组件2、第一水洗组件3、第二水洗组件4依次进行酸洗浸泡和冲洗浸泡，完成石英舟表面的污垢清理，然后移动到用于对清洗后的石英舟进行吹干的吹干组件上，然后通过升降气缸511的升降驱动升降板53在滑杆架52上竖直滑动，插入酸洗组件2、第一水洗组件3、第二水洗组件4和用于对清洗后的石英舟进行吹干的吹干组件中，通过将空气管路与接风管74连通，导入进气进入出风环73中，空气经过出风嘴向外排出空气，空气形成气流进入吹干筒7中，空气经过多块风道隔板71形成的风道向上传递，空气经过网壳筒72上的气孔排出对内部的石英舟进行吹干。
以上所述仅为本发明的优选实施方式而已，并不用于限制本发明，对于本领域的技术人员来说，本发明可以有各种更改和变化。凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。
Claims (10)
1.一种带有吹干机构的石英舟吹扫设备，其特征在于：包括支撑组件(1)、酸洗组件(2)、第一水洗组件(3)、第二水洗组件(4)、转运组件(5)和用于对清洗后的石英舟进行吹干的吹干组件，其中支撑组件(1)的顶部沿水平方向从左到右依次设置有用于对石英舟进行清理的酸洗组件(2)、第一水洗组件(3)、第二水洗组件(4)和吹干组件，且支撑组件(1)的顶部设置有所述转运组件(5)，且所述转运组件(5)用于夹持石英舟进行转运清理。
2.根据权利要求1所述的一种带有吹干机构的石英舟吹扫设备，其特征在于，所述支撑组件(1)包括支架(11)、安装条(12)、齿板(13)和滑框(14)，其中支架(11)和安装条(12)均设置有两个，且两个所述的支架(11)的顶面上竖直固定有两条所述的安装条(12)，且两条所述的安装条(12)上沿水平方向竖直开设有多个安装螺孔，两个所述的支架(11)的顶面后侧水平固定有所述齿板(13)，且齿板(13)的顶面上沿水平方向均匀固定有多块齿条，两个所述的安装条(12)的后侧竖直端面上均水平固定有滑框(14)。
3.根据权利要求2所述的一种带有吹干机构的石英舟吹扫设备，其特征在于，所述酸洗组件(2)包括顶面贯穿设置用于盛装酸洗液的酸洗箱(21)和用于过滤杂质的网盒(22)，其中酸洗箱(21)的顶部水平开设有安装槽(211)，且酸洗箱(21)的安装槽(211)中竖直向上固定有多根插杆(212)，所述酸洗箱(21)的外部水平固定有安装框，且酸洗箱(21)的安装框通过安装螺钉配合安装螺孔组装在所述安装条(12)上，所述网盒(22)的顶面贯穿设置，且网盒(22)插接在所述酸洗箱(21)中，且网盒(22)的顶端水平固定有孔框(221)，且孔框(221)上竖直贯穿开设有配合所述插杆(212)的插孔。
4.根据权利要求2所述的一种带有吹干机构的石英舟吹扫设备，其特征在于，所述第一水洗组件(3)包括顶面贯穿设置的第一水洗箱(31)，所述第一水洗箱(31)的外部水平固定有安装框，且第一水洗箱(31)的安装框通过安装螺钉配合安装螺孔组装在所述安装条(12)上，所述第一水洗箱(31)的底面上贯穿安装有集风盒(32)，且集风盒(32)的顶面上向上延伸到第一水洗箱(31)的内部连通有多根分流杆(33)，且多根分流杆(33)上均匀贯穿开设有多个出气嘴，所述集风盒(32)的底面上通过风管竖直贯通连接有螺纹壳(35)，且集风盒(32)的风管上安装有风泵(34)。
5.根据权利要求4所述的一种带有吹干机构的石英舟吹扫设备，其特征在于，所述螺纹壳(35)的底面上竖直向下连通有滤筒(36)，且滤筒(36)的内圆周顶部开设有配合所述螺纹壳(35)的内螺纹，且滤筒(36)的底面上固定有网片，且滤筒(36)的内部填充有用于过滤灰尘的滤棉(37)。
6.根据权利要求2所述的一种带有吹干机构的石英舟吹扫设备，其特征在于，所述第二水洗组件(4)包括顶面贯穿设置的第二水洗箱(41)和多个喷水框(42)，其中第二水洗箱(41)的外部水平固定有安装框，且第二水洗箱(41)的安装框通过安装螺钉配合安装螺孔组装在所述安装条(12)上，所述第二水洗箱(41)的内部沿竖直方向水平固定有多个喷水框(42)，且多个喷水框(42)之间通过连管连通，所述多个喷水框(42)的顶面上贯通连接有接管(43)，且接管(43)与外部水管连通，所述第二水洗箱(41)的底面上竖直向下贯通连接有用于排水的排水管(44)，且排水管(44)上安装有阀门。
7.根据权利要求2所述的一种带有吹干机构的石英舟吹扫设备，其特征在于，所述转运组件(5)包括滑块座(51)、滑杆架(52)、升降板(53)和夹架(56)，其中滑块座(51)滑动安装在所述滑框(14)中，且滑块座(51)的底面上水平安装有行走电机(512)，且行走电机(512)的输出端水平安装有主动齿轮(513)，且主动齿轮(513)配合所述齿板(13)上的齿条用于驱动滑块座(51)在滑框(14)中水平滑动，所述滑块座(51)的顶面上竖直固定有所述滑杆架(52)，且滑杆架(52)上沿竖直方向水平滑动安装有所述升降板(53)，且滑杆架(52)的底面上竖直向上安装有升降气缸(511)，且升降气缸(511)的输出端连接在所述升降板(53)上，且升降板(53)的底面上竖直向下转动安装有用于夹持石英舟的所述夹架(56)。
8.根据权利要求7所述的一种带有吹干机构的石英舟吹扫设备，其特征在于，所述升降板(53)的后端竖直向下贯穿开设有配合所述滑杆架(52)的滑孔(54)，且升降板(53)的顶面上竖直贯穿固定有轴承筒，且升降板(53)的轴承筒顶端安装有转向电机(55)，所述夹架(56)为竖直设置的U型结构，且夹架(56)的顶面上竖直固定有转轴，且夹架(56)的转轴通过轴承转动连接在所述轴承筒中，且夹架(56)的转轴顶部与所述转向电机(55)的输出端连接，所述夹架(56)的两侧竖直端面上均水平固定有多个螺筒(57)，且多个螺筒(57)中均水平螺纹贯穿安装有夹持螺杆(58)，且夹持螺杆(58)的端部固定有夹板，且夹持螺杆(58)的夹板上粘接有橡胶片。
9.根据权利要求2所述的一种带有吹干机构的石英舟吹扫设备，其特征在于，所述吹干组件包括吹干框(6)，所述吹干框(6)的上下两端面均贯穿设置，且吹干框(6)的一侧竖直端面与两个所述的支架(11)其中一个固定连接，且吹干框(6)的另一侧竖直端面上贯穿设置有进风框(61)，且进风框(61)的端部组装有导风框(62)，且导风框(62)的一端贯穿设置，且导风框(62)的开口端通过螺栓组装在所述进风框(61)的端口处，且导风框(62)的另一竖直端面上贯穿安装有风扇板(63)，且导风框(62)的顶面上竖直向下开设有滑槽(621)，且滑槽(621)中竖直滑动插接有用于过滤空气灰尘的除尘组件(64)，且导风框(62)的内部朝向开口端的一侧竖直设置有加热组件(65)。
10.根据权利要求9所述的一种带有吹干机构的石英舟吹扫设备，其特征在于，所述除尘组件(64)包括插框(641)，其中插框(641)竖直滑动插接在所述导风框(62)的滑槽(621)中，且插框(641)的内部竖直固定有孔板(642)，且插框(641)的内部靠近所述风扇板(63)的一侧填充有布垫(643)，且插框(641)的内部另一侧填充有滤尘棉块(644)，所述加热组件(65)包括支框(651)和多根加热棒(653)，其中支框(651)竖直固定在所述吹干框(6)中，且支框(651)的内部沿竖直方向水平固定有多根加热棒(653)，且支框(651)的内部沿竖直方向水平固定有多块隔板(652)。
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
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| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
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| RJ01 | Rejection of invention patent application after publication | ||
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Application publication date: 20221021 |