CN216563041U - 石墨舟自动清洗用舟架 - Google Patents

Abstract

本申请涉及一种石墨舟自动清洗用舟架，其包括端板、承载部和连接杆，端板并排且间隔设置有两块，且两块端板相互远离的一侧设有用于机械手抓取的抓取部，承载部设在两块端板之间且与两块端板均保持间隙，连接杆与承载部以及两块端板均固定连接，连接杆、承载部以及两块端板围合形成用于石墨舟放置的放置空间，承载部用于对石墨舟形成支撑。本申请具有以下效果：机械手可以通过抓取部对舟架进行抓取，将石墨舟放置在舟架内后，即可由机械手进行舟架和石墨舟在清洗槽的取放，以实现石墨舟的自动清洗，从而有效减少石墨舟清洗过程中的人为干预，提升石墨舟清洗品质和清洗产能，并同时避免人为操作带来的不安全因素。

Description

石墨舟自动清洗用舟架

技术领域

本申请涉及石墨舟清洗技术领域，尤其是涉及一种石墨舟自动清洗用舟架。

背景技术

在晶体硅电池片生产过程中，镀膜工序是最重要的工序之一，该工序需要对硅片进行镀膜处理。

镀膜工序通常借助于管式镀膜设备。管式镀膜设备在运行过程中需要石墨舟作硅片的载体，以便于镀膜工序的展开。石墨舟承载硅片并连续镀膜一定次数后，其表面附着氮化硅过多，会致使硅片出现镀膜色差等异常情况，因此石墨舟在使用一定次数后需要对其进行清洗。

相关技术中，石墨舟清洗过程通常为人工将石墨舟放置在清洗槽内，并加入酸液对其表面附着的氮化硅进行清洗，清洗后再通过人工将石墨舟搬出清洗槽外。清洗过程存在人为干预，清洗品质易受到影响；并且操作难度高，危险系数大。

实用新型内容

为了减小石墨舟清洗过程中的人为干预，降低操作难度和危险系数，本申请提供一种石墨舟自动清洗用舟架。

本申请提供的一种石墨舟自动清洗用舟架采用如下的技术方案：

一种石墨舟自动清洗用舟架，包括端板、承载部和连接杆，所述端板并排且间隔设置有两块，且两块所述端板相互远离的一侧设有用于机械手抓取的抓取部，所述承载部设在两块所述端板之间且与两块所述端板均保持间隙，所述连接杆与所述承载部以及两块所述端板均固定连接，所述连接杆、所述承载部以及两块所述端板围合形成用于石墨舟放置的放置空间，所述承载部用于对石墨舟形成支撑。

可选的，所述连接杆包括下层杆和上层杆，所述下层杆设在所述上层杆的下方，所述承载部包括设在所述下层杆上的承载底杆，所述放置空间由所述上层杆、所述下层杆、所述承载底杆以及两块所述端板围合形成。

可选的，所述连接杆还包括中层杆，所述中层杆设在所述上层杆和所述下层杆之间，所述承载部还包括可拆卸设置在所述中层杆上的承载顶板，所述放置空间包括上层空间和下层空间，所述上层空间由所述中层杆、所述上层杆、所述承载顶板以及两块所述端板围合形成，所述下层空间由所述上层杆、所述下层杆、所述承载底杆、所述承载顶板以及两块所述端板围合形成。

可选的，所述中层杆靠近所述上层杆的一侧设有加劲板，所述承载顶板卡接固定在所述加劲板靠近所述上层杆的一侧。

可选的，所述加劲板靠近所述上层杆的一侧设有卡槽，所述承载顶板包括用于石墨舟放置的承载平板以及设在所述承载平板远离所述上层杆的一侧的卡接部，所述卡接部卡接固定在所述卡槽内。

可选的，所述中层杆并排且间隔设置有两根，所述卡接部在两根中层杆之间间隔设置有两个限位部，所述加劲板抵接于两个所述限位部相互远离的一侧。

可选的，所述承载部还包括设在承载底杆上的加强杆，所述加强杆与所述上层杆固定连接。

可选的，所述承载部还包括设在承载底杆上的加强杆，所述加强杆与所述上层杆固定连接。

可选的，所述抓取部与所述端板之间设有加固件。

可选的，所述石墨舟自动清洗用舟架采用PP材料制成。

综上所述，本申请包括以下至少一种有益技术效果：

1.机械手可以通过抓取部对舟架进行抓取，将石墨舟放置在舟架内后，即可由机械手进行舟架和石墨舟在清洗槽的取放，以实现石墨舟的自动清洗，从而有效减少石墨舟清洗过程中的人为干预，提升石墨舟清洗品质和清洗产能，并同时避免人为操作带来的不安全因素；

2.舟架可以采用双层载舟位设计，以使得机械手可以同时将两个石墨舟放置在清洗槽内进行清洗，提高了石墨舟的清洗效率；

3.石墨舟自动清洗用舟架采用PP材料制成，其具有较高的结构强度和承载能力，且不易被酸液腐蚀。

附图说明

图1是本申请实施例1提供的石墨舟自动清洗用舟架的结构示意图；

图2是图1中A部的放大图；

图3是本申请实施例2提供的石墨舟自动清洗用舟架的结构示意图；

图4是本申请实施例2隐藏承载顶板后的结构示意图；

图5是本申请实施例2中承载顶板的结构示意图。

附图标记说明：1、端板；2、承载部；21、承载底杆；22、加强杆；23、承载顶板；231、承载平板；232、卡接部；233、限位部；3、连接杆；31、下层杆；32、上层杆；33、中层杆；4、抓取部；5、加固件；6、减重部；61、开口槽；62、减重孔；7、加劲板；71、卡槽。

具体实施方式

以下结合附图1-5对本申请作进一步详细说明。

本申请实施例公开一种石墨舟自动清洗用舟架。

实施例1

参照图1，石墨舟自动清洗用舟架包括端板1、承载部2和连接杆3。

端板1为矩形板状结构，其大小取决于需放置的石墨舟的端面大小。本实施例中，舟架采用单层载舟设计，因此端板1的大小与单个石墨舟的端面大小相适应。同时，为保证舟架的承载能力，并使得舟架不易变形，端板1需具有较强的结构强度，因此端板1的厚度可以设为5±1cm。端板1并排且间隔设置有两块，两块端板1之间的距离略大于石墨舟的长度。

参照图1和图2，两块端板1相互远离的一侧设有用于机械手抓取的抓取部4。抓取部4可以固设在端板1远离地面的一侧，且抓取部4设在端板1沿水平方向的两端。本实施例中，抓取部4呈圆杆状，且抓取部4与端板1相垂直。机械手可以通过抓取部4对舟架进行抓取。将石墨舟放置在舟架内后，即可由机械手进行舟架和石墨舟在清洗槽的取放，以实现石墨舟的自动清洗，从而有效减少石墨舟清洗过程中的人为干预，提升石墨舟清洗品质和清洗产能，并同时避免人为操作带来的不安全因素。

抓取部4与端板1之间设有加固件5。加固件5设为板状，且加固件5可以设在抓取部4的轴截面上；加固件5与端板和抓取部4均固定连接。加固件5用于对抓取部4进行加固，以增强抓取部4与端板1之间的固定连接效果，从而使得抓取部4不易出现异常脱落，进一步提高了清洗过程中的安全系数。

参照图1，端板1上设有减重部6。具体地说，减重部6包括设在端板1上的开口槽61和减重孔62。其中，开口槽61设在端板1远离地面的一侧，且开口槽61为大小端结构。开口槽61的大端为靠近其槽口的一端，开口槽61的小端为靠近其槽底的一端。减重孔62分布在开口槽61的周围，且减重孔62间隔设置有多个，本实施例以9个为例。端板1的减重设计可以减轻舟架的自重，以降低对机械手的承重要求。

参照图1，承载部2设在两块端板1之间且与两块端板1均保持间隙，承载部2在两块端板1之间可以等间隔设有多个，本实施例以5个为例。连接杆3与承载部2以及两块端板1均固定连接，且连接杆3、承载部2以及两块端板1围合形成用于石墨舟放置的放置空间，承载部2用于对石墨舟形成支撑。

具体地说，连接杆3包括下层杆31和上层杆32，下层杆31设在上层杆32的下方。比如下层杆31设在端板1靠近地面的一侧，上层杆32设在端板1远离地面的一侧。为提高舟架的结构强度，以使其不易产生形变，下层杆31和上层杆32均可以并排且间隔设置有两根，且下层杆31和上层杆32设在端板1的四角。其他实施方式中，下层杆31和上层杆32的设置方式可以是下层杆31并排且间隔设有三根，上层杆32设有一根。

参照图1，承载部2包括设在下层杆31上的承载底杆21，承载底杆21可以与下层杆31相互垂直，且下层杆31可以穿设在承载底杆21上。此时，放置空间由上层杆32、下层杆31、承载底杆21以及两块端板1围合形成。石墨舟放置在舟架的放置空间内时，石墨舟由承载底杆21进行承载和支撑，且石墨舟通过下层杆31、上层杆32和端板1进行限位。同时，由于承载底杆21、下层杆31和上层杆32之间形成有减重镂空，可以使得舟架整体的自重进一步降低；并且机械手将舟架从酸液中取出时，减重镂空还可以便于酸液进行脱液，以减少酸液在舟架上的残留。

承载部2还包括设在承载底杆21上的加强杆22。加强杆22与承载底杆21结构相同，且加强杆22可以竖直固定在承载底杆21的两端，以使得加强杆22与承载底杆21之间构成“U”形。加强杆22与上层杆32固定连接，且上层杆32可以穿设在加强杆22上。承载底杆21和加强杆22可以用作下层杆31和上层杆32的连接结构，从而使得舟架整体的结构强度提高。

石墨舟自动清洗用舟架采用PP材料制成。PP材料具有极好的耐化学性、耐热性和电绝缘性，同时还具有高强度的机械性能，可以提高石墨舟自动清洗用舟的结构强度和承载能力，并使得石墨舟自动清洗用舟不易被酸液腐蚀。

本申请实施例1的实施原理为：需要对石墨舟进行清洗时，先将石墨舟放置在放置空间内，并使得石墨舟用于放置的一侧与承载底杆21相抵接，再驱使机械手通过抓取部4对舟架进行抓取，并由机械手进行舟架和石墨舟在清洗槽的取放，以实现石墨舟的自动清洗，从而有效减少石墨舟清洗过程中的人为干预，提升石墨舟清洗品质和清洗产能，并同时避免人为操作带来的不安全因素。

实施例2

本实施例与实施例1的不同之处在于，本实施例中，舟架采用双层载舟位设计，端板1的大小与两个石墨舟堆叠后形成整体的端面大小相适应。

参照图3和图4，连接杆3还包括中层杆33，中层杆33设在上层杆32和下层杆31之间，比如中层杆33设在端板1沿竖直方向的中部，且中层杆33并排且间隔设置有两根。并且，两根中层杆33均与加强杆22固定连接，以使得承载底杆21和加强杆22可以同时用作下层杆31、中层杆33和上层杆32的连接结构。在其他实施方式中，中层杆33也可以设为一根。

承载部2还包括可拆卸设置在中层杆33上的承载顶板23。具体地说，中层杆33靠近上层杆32的一侧设有加劲板7，为避免加劲板7与加强杆22产生干涉，加劲板7可以沿中层杆33的轴向设有多段，且加劲板7设在沿中层杆33的轴向相邻的两根加强杆22之间以及靠近端板1的加强杆22和端板1之间，即本实施例中，加劲板7设有6段。承载顶板23卡接固定在加劲板7靠近上层杆32的一侧，承载顶板23的数量可以与加劲板7的设置段数相同。加劲板7用作中层杆33与承载顶板23的连接结构，其可以减小承载顶板23可拆卸设置时对中层杆33结构强度的影响。

参照图4和图5，更具体地，加劲板7靠近上层杆32的一侧设有卡槽71，卡槽71可以设在加劲板7沿中层杆33的轴向的一端或者两端。卡槽71的开口方向为朝向上层杆32的方向，且卡槽71沿其轴向的截面可以设为“U”形。承载顶板23包括用于石墨舟放置的承载平板231以及设在承载平板231远离上层杆32的一侧的卡接部232，卡接部232卡接固定在卡槽71内。承载顶板23固定在加劲板7上时，卡接部232与卡槽71的侧壁之间形成有限位，可以使得承载顶板23不易在加劲板7上滑动，以实现承载顶板23对石墨舟的良好支撑。

在其他实施方式中，承载顶板23可以仅设为矩形平板结构，且承载顶板23与中层杆33的可拆卸连接方式为承载顶板23靠近中层杆33的一侧垂直设有插销，加劲板7靠近上层杆32的一侧设有供插销进行插接的销孔。

参照图4和图5，卡接部232可以为架设在两根中层杆33之间的卡接杆，卡接杆沿其轴向的截面可以设为圆形，且卡接杆的外径等于开口槽61的槽口宽度。卡接杆可以与承载平板231等长，当卡接杆卡接固定在卡槽71内时，承载平板231靠近卡接杆的一侧与加劲板7靠近上层杆32的一侧相抵接。

在其他实施方式中，卡接部232可以为固定在承载平板231远离上层杆32一侧的两个卡接块，卡接块与卡槽71的对应方式为一对一，且卡接块与卡槽71形状相同、大小一致。

为进一步增强承载顶板23在两根中层杆33上的稳固性，卡接部232在两根中层杆33之间间隔设置有两个限位部233。本实施例中，限位部233位固定在限位杆上的圆柱结构，且限位杆的直径小于限位部233的直径。加劲板7抵接于两个限位部233相互远离的一侧。限位杆由于限位部233与加劲板7相抵接时形成的限位，不易沿其轴向发生窜动，从而保证了舟架的结构稳定性。

放置空间包括上层空间和下层空间，上层空间由中层杆33、上层杆32、承载顶板23以及两块端板1围合形成，下层空间由上层杆32、下层杆31、承载底杆21、承载顶板23以及两块端板1围合形成。上层空间和下层空间均可以用于放置一个石墨舟，下层空间的石墨舟由承载底杆21进行承载和支撑，且下层空间的石墨舟通过下层杆31、中层杆33、承载顶板23和端板1进行限位；上层空间的石墨舟由承载顶板23进行承载和支撑，且上层空间的石墨舟通过中层杆33、上层杆32和端板1进行限位。

本申请实施例2的实施原理为：需要对石墨舟进行清洗时，先将卡接部232从加劲板7的卡槽71内取出，然后将承载顶板23从整个放置空间内取出。再将一个石墨舟放置在下层空间内，并使得该石墨舟用于放置的一侧与承载底杆21相抵接。然后将承载顶板23固定在两根中层杆33之间；固定承载顶板23时，需将卡接部232卡接固定在加劲板7的卡槽71内，并使得两个限位部233相互远离的一侧均与一个加劲板7相抵接，同时使得承载平板231与加劲板7靠近上层杆32的一侧相抵接。再将另一个石墨舟放置在上层空间内，并使得该石墨舟用于放置的一侧与承载平板231相抵接。然后再驱使机械手通过抓取部4对舟架进行抓取，并由机械手进行舟架和石墨舟在清洗槽的取放，以实现石墨舟的自动清洗。

以上均为本申请的较佳实施例，并非依此限制本申请的保护范围，故：凡依本申请的结构、形状、原理所做的等效变化，均应涵盖于本申请的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种石墨舟自动清洗用舟架，其特征在于：包括端板(1)、承载部(2)和连接杆(3)，所述端板(1)并排且间隔设置有两块，且两块所述端板(1)相互远离的一侧设有用于机械手抓取的抓取部(4)，所述承载部(2)设在两块所述端板(1)之间且与两块所述端板(1)均保持间隙，所述连接杆(3)与所述承载部(2)以及两块所述端板(1)均固定连接，所述连接杆(3)、所述承载部(2)以及两块所述端板(1)围合形成用于石墨舟放置的放置空间，所述承载部(2)用于对石墨舟形成支撑。

2.根据权利要求1所述的石墨舟自动清洗用舟架，其特征在于：所述连接杆(3)包括下层杆(31)和上层杆(32)，所述下层杆(31)设在所述上层杆(32)的下方，所述承载部(2)包括设在所述下层杆(31)上的承载底杆(21)，所述放置空间由所述上层杆(32)、所述下层杆(31)、所述承载底杆(21)以及两块所述端板(1)围合形成。

3.根据权利要求2所述的石墨舟自动清洗用舟架，其特征在于：所述连接杆(3)还包括中层杆(33)，所述中层杆(33)设在所述上层杆(32)和所述下层杆(31)之间，所述承载部(2)还包括可拆卸设置在所述中层杆(33)上的承载顶板(23)，所述放置空间包括上层空间和下层空间，所述上层空间由所述中层杆(33)、所述上层杆(32)、所述承载顶板(23)以及两块所述端板(1)围合形成，所述下层空间由所述上层杆(32)、所述下层杆(31)、所述承载底杆(21)、所述承载顶板(23)以及两块所述端板(1)围合形成。

4.根据权利要求3所述的石墨舟自动清洗用舟架，其特征在于：所述中层杆(33)靠近所述上层杆(32)的一侧设有加劲板(7)，所述承载顶板(23)卡接固定在所述加劲板(7)靠近所述上层杆(32)的一侧。

5.根据权利要求4所述的石墨舟自动清洗用舟架，其特征在于：所述加劲板(7)靠近所述上层杆(32)的一侧设有卡槽(71)，所述承载顶板(23)包括用于石墨舟放置的承载平板(231)以及设在所述承载平板(231)远离所述上层杆(32)的一侧的卡接部(232)，所述卡接部(232)卡接固定在所述卡槽(71)内。

6.根据权利要求5所述的石墨舟自动清洗用舟架，其特征在于：所述中层杆(33)并排且间隔设置有两根，所述卡接部(232)在两根中层杆(33)之间间隔设置有两个限位部(233)，所述加劲板(7)抵接于两个所述限位部(233)相互远离的一侧。

7.根据权利要求2所述的石墨舟自动清洗用舟架，其特征在于：所述承载部(2)还包括设在承载底杆(21)上的加强杆(22)，所述加强杆(22)与所述上层杆(32)固定连接。

8.根据权利要求3所述的石墨舟自动清洗用舟架，其特征在于：所述承载部(2)还包括设在承载底杆(21)上的加强杆(22)，所述加强杆(22)与所述上层杆(32)固定连接。

9.根据权利要求1所述的石墨舟自动清洗用舟架，其特征在于：所述抓取部(4)与所述端板(1)之间设有加固件(5)。

10.根据权利要求1-9任一所述的石墨舟自动清洗用舟架，其特征在于：所述石墨舟自动清洗用舟架采用PP材料制成。

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