CN217595451U - 一种用于硅片清洗的升降机构 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提供了一种用于硅片清洗的升降机构,包括载物台本体、连接架、吊挂件以及提拉部件;所述连接架与所述载物台本体固定连接,所述吊挂件与所述提拉部件的活动端固定连接;所述提拉部件固设于所述连接架的上方,且所述连接架的上端吊挂在所述吊挂件上;所述载物台本体上形成有至少两个石英舟放置槽。本实用新型的优点在于:通过升降机构替代人工带动载物台本体内的硅片进行清洗,操作起来更加简单、方便,能够有效降低工作人员的疲劳度;同时在载物台本体上设置有至少两个石英舟放置槽,可以利用载物台本体搭载多个盛放有硅片的石英舟进行同时清洗,从而可以提升清洗效率。
Description
【技术领域】
本实用新型涉及清洗设备技术领域,特别涉及一种用于硅片清洗的升降机构。
【背景技术】
硅片是制造太阳能电池板的重要部件。在硅片生产的过程中,由于硅片的表面会被氧化腐蚀,因此需要对腐蚀的硅片进行清洗,以保证不会影响硅片的正常使用。
传统在对硅片进行腐蚀清洗时,都由人工手动提着放有待清洗硅片的篮子进入清洗槽内进行清洗,清洗完后仍需人工手动将清洗好的硅片提取出来,整个操作过程费时费力,且每次只能操作一篮硅片,效率低下。鉴于上述存在的问题,本案发明人对该问题进行深入研究,遂有本案产生。
【实用新型内容】
本实用新型要解决的技术问题,在于提供一种用于硅片清洗的升降机构,解决现有技术在对硅片进行清洗时,存在操作过程费时费力和效率低的问题。
本实用新型是这样实现的:一种用于硅片清洗的升降机构,包括载物台本体、连接架、吊挂件以及提拉部件;所述连接架与所述载物台本体固定连接,所述吊挂件与所述提拉部件的活动端固定连接;所述提拉部件固设于所述连接架的上方,且所述连接架的上端吊挂在所述吊挂件上;所述载物台本体上形成有至少两个石英舟放置槽。
进一步的,每所述石英舟放置槽的底部中间均形成有扰动轴让位开口。
进一步的,所述载物台本体的两端在中部位置固设有导向滑块,所述导向滑块的外侧壁形成有导向滑槽。
进一步的,所述石英舟放置槽的四周均具有挡板。
进一步的,所述吊挂件包括顶板和挂钩;所述顶板的顶部与提拉部件的活动端固定连接;所述挂钩固设于所述顶板的底部。
进一步的,所述顶板的底部固设有至少两个所述挂钩,且各所述挂钩沿着顶板的长度方向间距分布在所述顶板的底部。
进一步的,所述连接架包括固设于所述载物台本体两端的支撑立柱以及固设于两所述支撑立柱上端的吊挂横杆。
进一步的,两所述支撑立柱之间固设有加强横杆。
进一步的,所述支撑立柱的横截面呈L型机构。
进一步的,所述提拉部件为提拉气缸。
通过采用本实用新型的技术方案,至少具有如下有益效果:
1、在需要对硅片进行清洗时,可以利用该升降机构带动载物台本体和放置在载物台本体内的硅片自动进入清洗槽内进行清洗;在清洗完成后,可以利用该升降机构带动载物台本体和放置在载物台本体内的硅片上升,而不需要依靠人工手动提取盛放有硅片的石英舟进行清洗,因此,操作起来更加简单、方便,能够有效降低工作人员的疲劳度。
2、在载物台本体上设置有至少两个石英舟放置槽,因此可以利用载物台本体搭载多个盛放有硅片的石英舟进行同时清洗,可以提升对硅片的清洗效率。
3、通过升降机构替代人工带动载物台本体内的硅片进行清洗,可以避免因人为操作失误导致硅片从高处掉落的情况发生,进而可以避免造成硅片损坏。
【附图说明】
下面参照附图结合实施例对本实用新型作进一步的说明。
图1是本实用新型升降机构的正视图;
图2是本实用新型中吊挂件的结构图;
图3是本实用新型中载物台本体的俯视图。
附图标记说明:
100-升降机构,1-载物台本体,11-石英舟放置槽,111-扰动轴让位开口,12-导向滑块,121-导向滑槽,13-挡板,2-连接架,21-支撑立柱,22-吊挂横杆,23-加强横杆,3-吊挂件,31-顶板,32-挂钩,321-第一延伸部,322-第二延伸部,323-第三延伸部,324-第四延伸部,325-吊挂槽,326-缺口,4-提拉部件。
【具体实施方式】
为了更好地理解本实用新型的技术方案,下面将结合说明书附图以及具体的实施方式对本实用新型的技术方案进行详细的说明。
在此需要说明的是,术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述这些实施方式和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作。此外,术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此,限定有“第一”、“第二”等的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。
请参阅图1至图3所示,本实用新型一种用于硅片清洗的升降机构100的较佳实施例,所述升降机构100包括载物台本体1、连接架2、吊挂件3以及提拉部件4;所述连接架2与所述载物台本体1固定连接,所述吊挂件3与所述提拉部件4的活动端固定连接;所述提拉部件4固设于所述连接架2的上方,且所述连接架2的上端吊挂在所述吊挂件3上;所述载物台本体1上形成有至少两个石英舟放置槽11,以便于在载物台本体1内同时放置多个盛放有硅片的石英舟。
本实用新型的升降机构100在工作时,可将盛放有硅片的石英舟放置在载物台本体1的石英舟放置槽11内,并将载物台本体1通过连接架2吊挂在吊挂件3上,这样就可以利用提拉部件4带动整个载物台本体1进行升降,从而使得在需要对硅片进行清洗时,可以利用提拉部件4带动载物台本体1和放置在载物台本体1内的硅片进入清洗槽内进行清洗;而在硅片清洗完成后,可利用提拉部件4带动载物台本体1和放置在载物台本体1内的硅片上升,以便于将清洗好的硅片取出。
通过采用本实用新型的技术方案,至少具有如下有益效果:
1、在需要对硅片进行清洗时,可以利用该升降机构100带动载物台本体1和放置在载物台本体1内的硅片自动进入清洗槽内进行清洗;在清洗完成后,可以利用该升降机构100带动载物台本体1和放置在载物台本体1内的硅片上升,而不需要依靠人工手动提取盛放有硅片的石英舟进行清洗,因此,操作起来更加简单、方便,能够有效降低工作人员的疲劳度。
2、在载物台本体1上设置有至少两个石英舟放置槽11,因此可以利用载物台本体1搭载多个盛放有硅片的石英舟进行同时清洗,可以提升对硅片的清洗效率。
3、通过升降机构100替代人工带动载物台本体1内的硅片进行清洗,可以避免因人为操作失误导致硅片从高处掉落的情况发生,进而可以避免造成硅片损坏。
在本实用新型的实施例中,每所述石英舟放置槽11的底部中间均形成有扰动轴让位开口111。这样在具体实施时,清洗槽内在对应所述扰动轴让位开口111的位置处可以设置扰动轴(未图示),且所述扰动轴呈扁平状结构,这样在工作时可以利用扰动轴的旋转来带动待清洗的硅片进行上下运动,从而可以提升对硅片的清洗效果。
在本实用新型的实施例中,所述载物台本体1的两端在中部位置固设有导向滑块12,所述导向滑块12的外侧壁形成有导向滑槽121。本实用新型在具体实施时,可以在清洗槽内对应每个所述导向滑块12均设置一个导向滑轨(未图示),并且将导向滑块12通过导向滑槽121与导向滑轨滑动连接;这样在提拉部件4带动载物台本体1进行升降时,载物台本体1能够沿着导向滑轨进行平稳升降,进而可以避免在升降的过程中载物台本体1产生晃动并对硅片造成不利影响。
在本实用新型的实施例中,所述石英舟放置槽11的四周均具有挡板13,以利用挡板将盛放有硅片的石英舟限位在石英舟放置槽11内,保证在升降的过程中石英舟不会与石英舟放置槽11脱离。在具体实施时,相邻的两个石英舟放置槽11之间只需通过一块挡板13隔开即可。
在本实用新型的实施例中,所述吊挂件3包括顶板31和挂钩32;所述顶板31的顶部与提拉部件4的活动端固定连接,从而实现吊挂件3的安装固定;所述挂钩32固设于所述顶板31的底部,以便于利用挂钩32吊挂连接架2。
在本实用新型的实施例中,所述顶板31的底部固设有至少两个所述挂钩32,且各所述挂钩32沿着顶板的长度方向间距分布在所述顶板31的底部,这样可以将载物台本体1通过连接架2吊挂在各个挂钩32上,从而保证整个载物台本体1在升降过程中的平稳性。
在本实用新型的实施例中,所述挂钩32包括由所述顶板31的底部向下延伸设置的第一延伸部321、由所述第一延伸部321的下端向外延伸设置的第二延伸部322、由所述第二延伸部322的外端向上延伸设置的第三延伸部323以及由所述第三延伸部323的上端向内延伸设置的第四延伸部324,这样第一延伸部321、第二延伸部322、第三延伸部323和第四延伸部324之间正好可以围成吊挂槽325,且第四延伸部324与第一延伸部321之间形成供连接架2进行吊挂的缺口326。
在本实用新型的实施例中,所述连接架2包括固设于所述载物台本体1两端的支撑立柱21以及固设于两所述支撑立柱21上端的吊挂横杆22。作为本实用新型的一种具体实施方式,所述吊挂横杆22为方形横杆,这样可以保证在将吊挂横杆22通过缺口326放置到吊挂槽325内后,吊挂横杆22不会在吊挂槽325内滚动,从而有助于提升吊挂的稳定性。
在本实用新型的实施例中,两所述支撑立柱2之间固设有加强横杆23,这样可以使整个连接架2更加牢固可靠。
作为本实用新型的一种具体实施方式,所述支撑立柱21的横截面呈L型机构,这样有助于提升支撑立柱21的支撑强度。
作为本实用新型的一种具体实施方式,所述提拉部件4为提拉气缸。
虽然以上描述了本实用新型的具体实施方式,但是熟悉本技术领域的技术人员应当理解,我们所描述的具体的实施例只是说明性的,而不是用于对本实用新型的范围的限定,熟悉本领域的技术人员在依照本实用新型的精神所作的等效的修饰以及变化,都应当涵盖在本实用新型的权利要求所保护的范围内。
Claims (10)
1.一种用于硅片清洗的升降机构,其特征在于:包括载物台本体、连接架、吊挂件以及提拉部件;所述连接架与所述载物台本体固定连接,所述吊挂件与所述提拉部件的活动端固定连接;所述提拉部件固设于所述连接架的上方,且所述连接架的上端吊挂在所述吊挂件上;所述载物台本体上形成有至少两个石英舟放置槽。
2.如权利要求1所述的升降机构,其特征在于:每所述石英舟放置槽的底部中间均形成有扰动轴让位开口。
3.如权利要求1所述的升降机构,其特征在于:所述载物台本体的两端在中部位置固设有导向滑块,所述导向滑块的外侧壁形成有导向滑槽。
4.如权利要求1所述的升降机构,其特征在于:所述石英舟放置槽的四周均具有挡板。
5.如权利要求1所述的升降机构,其特征在于:所述吊挂件包括顶板和挂钩;所述顶板的顶部与提拉部件的活动端固定连接;所述挂钩固设于所述顶板的底部。
6.如权利要求5所述的升降机构,其特征在于:所述顶板的底部固设有至少两个所述挂钩,且各所述挂钩沿着顶板的长度方向间距分布在所述顶板的底部。
7.如权利要求1所述的升降机构,其特征在于:所述连接架包括固设于所述载物台本体两端的支撑立柱以及固设于两所述支撑立柱上端的吊挂横杆。
8.如权利要求7所述的升降机构,其特征在于:两所述支撑立柱之间固设有加强横杆。
9.如权利要求7所述的升降机构,其特征在于:所述支撑立柱的横截面呈L型机构。
10.如权利要求1所述的升降机构,其特征在于:所述提拉部件为提拉气缸。
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