CN217655850U - 一种自动硅片清洗机挂篮挂钩装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了硅片清洗技术领域的一种自动硅片清洗机挂篮挂钩装置，包括固定板，所述固定板的底端中部安装设有液压推杆，所述液压推杆的底部输出端安装设有限位座，所述限位座的底端安装设有矩形壳体，所述矩形壳体内通过两组伸缩组件连接有挂钩，两个所述挂钩相背立，所述挂钩上挂设有吊环，两个所述吊环的底端之间共同连接有挂篮，所述矩形壳体的左右两端均设有支撑组件，所述固定板的顶端中部安装设有连接座，本实用新型操作简单方便，可以实现挂篮的自动提取工作，有利于提高工作效率。

Description

一种自动硅片清洗机挂篮挂钩装置

技术领域

本实用新型涉及硅片清洗技术领域，具体为一种自动硅片清洗机挂篮挂钩装置。

背景技术

硅片清洗是指在氧化、光刻、外延、扩散和引线蒸发等工序前,采用物理或化学的方法去除硅片表面的污染物和自身氧化物,以得到符合清洁度要求的硅片表面的过程，公开专利号：CN203787392U，公开了一种全自动太阳能硅片清洗机的实用新型专利，该专利中通过超声波使物件的表面及缝隙中的污垢迅速剥落，从而达到物件表面净化的目的，其中，通过将待清洗硅片放入吊篮中并置入浸泡上料槽中浸泡，到达一定时间后，即可人工挂在平移支架上，再通过平移支架带动吊篮运行到超声粗洗槽上方，平移支架下降，使吊篮浸没在浸泡上料槽中，到达指定反应时间后，平移支架重复升降及平移动作，最后人工下料，完成清洗过程，但是人工提取篮子，费时费力，降低了工作效率，为了能够实现篮子的自动提取工作，提高工作效率。

实用新型内容

本实用新型旨在解决现有技术中的问题,提供一种自动硅片清洗机挂篮挂钩装置。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种自动硅片清洗机挂篮挂钩装置，包括固定板，所述固定板的底端中部安装设有液压推杆，所述液压推杆的底部输出端安装设有限位座，所述限位座的底端安装设有矩形壳体，所述矩形壳体内通过两组伸缩组件连接有挂钩，两个所述挂钩相背立，所述挂钩上挂设有吊环，两个所述吊环的底端之间共同连接有挂篮，所述矩形壳体的左右两端均设有支撑组件，所述固定板的顶端中部安装设有连接座。

进一步地，所述伸缩组件包括两个相对立的伸缩气缸，两个所述伸缩气缸分别安装位于矩形壳体内的左右两侧壁上，两个所述伸缩气缸相对的一侧输出端均连接有立板，所述矩形壳体的底端开设有呈水平方向的条形口，所述立板的底端滑动穿过条形口且与挂钩的顶端相连接，两个所述立板之间共同连接有伸缩弹簧，所述伸缩弹簧位于矩形壳体的内部。

进一步地，所述支撑组件包括支撑套筒，所述支撑套筒上滑动插接有呈竖直方向的限位杆，所述限位杆的顶端与固定板相连接，所述限位杆的底端安装设有止位块。

进一步地，所述立板的顶端与矩形壳体的内壁滑动连接，所述矩形壳体的外部高度为立板高度的二分之一，两个所述立板之间的原始距离总长与条形口的长度相同。

进一步地，所述限位座的正面呈凹字型，所述限位座通过连接件与液压推杆的输出端活动连接，所述连接件位于限位座的左上端。

进一步地，两个所述止位块之间的距离总长和挂篮的外部长度均小于矩形壳体的外部长度。

进一步地，所述挂钩外部中端的表面上套接有防滑套层。

有益效果：

1、通过设置液压推杆、限位座、矩形壳体、伸缩组件、挂钩、吊环和挂篮，通过液压推杆的底部输出端进行上下运动，即可带动限位座、矩形壳体、伸缩组件、挂钩、吊环依次进行同步运动，通过伸缩组件可以控制两个立板之间的距离，从而便于两个挂钩之间进行相互靠近或远离的移动运动，便于挂钩伸入挂篮上的吊环内部，通过挂钩将吊环勾起进行上下运动，即可带动挂篮进行自动升降工作，相比人工提取挂篮省时省力，有利于提高工作效率。

2、通过设置连接件，便于限位座与液压推杆之间的拆卸和安装，有利于提高本装置的使用效率，通过设置防滑套层，可以提高挂钩中部表面的防滑效果，从而有利于提高吊环在挂钩上被吊起时的稳定性，从而有利于提高挂篮升降时的稳定性。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图；

图2为本实用新型矩形壳体底部仰视面的结构示意图；

图3为本实用新型图1中A处放大的结构示意图；

图4为本实用新型挂钩和防滑垫层的结构示意图；

图5为本实用新型限位杆和固定板分解的结构示意图；

图中：1、固定板；2、液压推杆；3、限位座；4、矩形壳体；5、伸缩组件；51、伸缩气缸；52、立板；53、条形口；54、伸缩弹簧；6、挂钩；7、吊环；8、挂篮；9、支撑组件；91、支撑套筒；92、限位杆；93、止位块；10、连接座；11、连接件；12、防滑套层。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

实施例1

请参阅图1，一种自动硅片清洗机挂篮挂钩装置，包括固定板1，固定板1的底端中部安装设有液压推杆2，液压推杆2的底部输出端安装设有限位座3，限位座3的底端安装设有矩形壳体4，通过设置限位座3，便于液压推杆2的输出端与矩形壳体4连接在一起，矩形壳体4内通过两组伸缩组件5连接有挂钩6，两个挂钩6相背立，挂钩6上挂设有吊环7，两个吊环7的底端之间共同连接有挂篮8，挂钩6、吊环7和挂篮8均采用不锈钢材质，通过设置液压推杆2，通过液压推杆2的底部输出端进行向上或向下的移动运动，即可带动限位座3、矩形壳体4、伸缩组件5和挂钩6进行同步运动，可以实现对挂篮8的自动提取工作，有利于提高工作效率，矩形壳体4的左右两端均设有支撑组件9，固定板1的顶端中部安装设有连接座10，通过设置连接座10，便于将本装置安装在所需使用的地方。

请参阅图1，伸缩组件5包括两个相对立的伸缩气缸51，两个伸缩气缸51分别安装位于矩形壳体4内的左右两侧壁上，两个伸缩气缸51相对的一侧输出端均连接有立板52，矩形壳体4的底端开设有呈水平方向的条形口53，立板52的底端滑动穿过条形口53且与挂钩6的顶端相连接，条形口53的内部宽度与立板52的宽度相同，且立板52的前后两侧壁分别与条形口53内的前后两侧壁滑动连接，通过设置伸缩组件5，通过两个伸缩气缸51的输出端同时进行相互靠近或远离的移动运动，即可带动两个立板52进行同步运动，便于对两个挂钩6之间的距离进行调节，当需要将挂篮8吊起时，可以先将两个挂钩6之间的距离缩小，使两个挂钩6可以伸入位于两个吊环7之间，再通过伸缩组件5将两个挂钩6之间的距离扩大，即可将挂钩伸入吊环7内部，通过两个挂钩6同时将两个吊环7吊起，即可将挂篮8吊起，将上述步骤进行反向操作，即可将挂篮8从挂钩6上脱离，两个立板52之间共同连接有伸缩弹簧54，伸缩弹簧54位于矩形壳体4的内部，通过设置伸缩弹簧54，通过伸缩弹簧54的弹性作用，有利于提高两个立板52运动时的稳定性，支撑组件9包括支撑套筒91，支撑套筒91上滑动插接有呈竖直方向的限位杆92，限位杆92的顶端与固定板1相连接，限位杆92顶端的外部表面设有外螺纹，限位杆92的顶端螺纹插接固定板1，固定板1上开设有与限位杆92相适配的螺纹孔(请参阅图5)，限位杆92的底端安装设有止位块93，通过设置止位块93，通过止位块93可以对支撑套筒91进行限位，防止支撑套筒91滑动脱离限位杆92，两个止位块93之间的距离总长和挂篮8的外部长度均小于矩形壳体4的外部长度，防止挂篮8在被提取的过程中与止位块93之间产生摩擦阻力。

请参阅图1-2，立板52的顶端与矩形壳体4的内壁滑动连接，矩形壳体4的外部高度为立板52高度的二分之一，两个立板52之间的原始距离总长与条形口53的长度相同，通过立板52与矩形壳体4之间的滑动作用，有利于进一步提高立板52移动时的稳定性，有利于提高伸缩组件5的使用效果。

请参阅图1和图3，限位座3的正面呈凹字型，限位座3通过连接件11与液压推杆2的输出端活动连接，连接件11位于限位座3的左上端，连接件11为螺栓，通过设置连接件11，便于限位座3和液压推杆2的输出端之间的拆卸和安装，从而便于矩形壳体4的拆卸和安装，有利于提高本装置的使用效率。

实施例2

在实施例1的基础上增加了防滑套层12，请参阅图1和图4，挂钩6外部中端的表面上套接有防滑套层12，通过设置防滑套层12，通过防滑套层12可以提高挂钩6的防滑效果，有利于提高挂钩6将吊环7吊起时的稳定性，从而可以提高挂篮8被吊起时的稳定性，防滑套层12为防滑橡胶材质。

工作原理：使用时，先根据公开专利号：CN203787392U的实用新型中提到的清洗方式对硅片进行清洗工作，当需要将挂篮8从清洗槽中提取出来时，通过液压推杆2的底部输出端向下运动，即可带动限位座3进行同步运动，从而可以带动矩形壳体4通过支撑套筒91在限位杆92上进行向下的滑动运动，从而可以带动伸缩组件5和挂钩6进行同步运动，通过支撑套筒91和限位杆92的共同作用，有利于提高矩形壳体4移动时的稳定性，其中，通过两个伸缩气缸51的输出端同时向二者相对的方向移动，即可带动两个立板52相互靠近，伸缩弹簧54被挤压，通过两个立板52相互靠近，即可带动两个挂钩6相互靠近，当两个挂钩6向下移动靠近至挂篮8顶部上方且位于两个吊环7之间时，通过两个伸缩气缸51的输出端同时进行反方向的复位运动，即可带动两个立板52相互远离，伸缩弹簧54被拉伸，通过设置伸缩弹簧54，有利于提高两个立板52使用时的稳定性，通过两个立板52相互远离，即可带动两个挂钩6相互远离，直至挂钩6伸入吊环7内部，其中，通过防滑套层12可以提高挂钩6的防滑效果，从而可以提高吊环7被吊起时的稳定性，从而可以提高挂篮8被吊起时的稳定性，此时，通过液压推杆2的底部输出端向上运动，即可带动限位座3、矩形壳体4、伸缩组件5、立板52和挂钩6依次进行向上的复位运动，通过挂钩6即可将吊环7吊起，从而可以将挂篮8从清洗槽中提取出来，本实用新型操作简单方便，有利于提高工作效率。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (7)

1.一种自动硅片清洗机挂篮挂钩装置，包括固定板(1)，其特征在于：所述固定板(1)的底端中部安装设有液压推杆(2)，所述液压推杆(2)的底部输出端安装设有限位座(3)，所述限位座(3)的底端安装设有矩形壳体(4)，所述矩形壳体(4)内通过两组伸缩组件(5)连接有挂钩(6)，两个所述挂钩(6)相背立，所述挂钩(6)上挂设有吊环(7)，两个所述吊环(7)的底端之间共同连接有挂篮(8)，所述矩形壳体(4)的左右两端均设有支撑组件(9)，所述固定板(1)的顶端中部安装设有连接座(10)。

2.根据权利要求1所述的一种自动硅片清洗机挂篮挂钩装置，其特征在于：所述伸缩组件(5)包括两个相对立的伸缩气缸(51)，两个所述伸缩气缸(51)分别安装位于矩形壳体(4)内的左右两侧壁上，两个所述伸缩气缸(51)相对的一侧输出端均连接有立板(52)，所述矩形壳体(4)的底端开设有呈水平方向的条形口(53)，所述立板(52)的底端滑动穿过条形口(53)且与挂钩(6)的顶端相连接，两个所述立板(52)之间共同连接有伸缩弹簧(54)，所述伸缩弹簧(54)位于矩形壳体(4)的内部。

3.根据权利要求1所述的一种自动硅片清洗机挂篮挂钩装置，其特征在于：所述支撑组件(9)包括支撑套筒(91)，所述支撑套筒(91)上滑动插接有呈竖直方向的限位杆(92)，所述限位杆(92)的顶端与固定板(1)相连接，所述限位杆(92)的底端安装设有止位块(93)。

4.根据权利要求2所述的一种自动硅片清洗机挂篮挂钩装置，其特征在于：所述立板(52)的顶端与矩形壳体(4)的内壁滑动连接，所述矩形壳体(4)的外部高度为立板(52)高度的二分之一，两个所述立板(52)之间的原始距离总长与条形口(53)的长度相同。

5.根据权利要求1所述的一种自动硅片清洗机挂篮挂钩装置，其特征在于：所述限位座(3)的正面呈凹字型，所述限位座(3)通过连接件(11)与液压推杆(2)的输出端活动连接，所述连接件(11)位于限位座(3)的左上端。

6.根据权利要求3所述的一种自动硅片清洗机挂篮挂钩装置，其特征在于：两个所述止位块(93)之间的距离总长和挂篮(8)的外部长度均小于矩形壳体(4)的外部长度。

7.根据权利要求1所述的一种自动硅片清洗机挂篮挂钩装置，其特征在于：所述挂钩(6)外部中端的表面上套接有防滑套层(12)。

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