CN220862289U - 一种用于poly反应腔陶瓷件的清洗载具 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种用于POLY反应腔陶瓷件的清洗载具，清洗载具装载陶瓷件进入石墨舟干法清洗设备中完成干法清洗，清洗载具包括支撑杆和安装板，多根支撑杆并排设置，且每根支撑杆的两端均分别连接安装板，支撑杆与安装板围成清洗载具的架体；支撑杆上设有多个辅助定位件，用于实现不同规格的陶瓷件固定到清洗载具上；安装板底部设有舟脚，用于辅助清洗载具在石墨舟干法清洗设备中定位和输送。本实用新型具有结构紧凑、使用便捷、装载能力强且有利于提高清洗效率等优点，解决了因采用人工浸泡方式清洗陶瓷件而导致清洗成本高、自动化程度低、人工劳动强度大等问题，提高了陶瓷件的清洗质量。

Description

一种用于POLY反应腔陶瓷件的清洗载具

技术领域

本实用新型属于清洗载具技术领域，具体涉及一种用于POLY反应腔陶瓷件的清洗载具。

背景技术

Topcon电池的生产工序众多，其中POLY工序是核心工序，POLY工序的反应腔需要使用陶瓷件作为结构支撑。POLY工序时在腔体里沉积隧穿氧化层与多晶硅膜层，每次沉积膜层时陶瓷件不可避免也会镀上隧穿氧化层与多晶硅膜层。陶瓷件在多次使用后，表面会沉积较厚的膜层，该膜层会造成陶瓷件具有导电性，在反应时陶瓷件与石墨舟间发生打火，从而影响Topcon成品电池外观与EL良率。因此，需要定期清洗陶瓷件表面的隧穿氧化层与多晶硅膜层。

目前，对陶瓷件表面的隧穿氧化层与多晶硅膜层的清洗方式主要包括使用酸、碱化学药品进行浸泡的方式进行去除，具体过程包括：陶瓷件先采用NaOH或KOH浸泡清洗，再使用HF+HCl或HF溶液清洗，清洗好后陶瓷件进行烘干处理，去除陶瓷件表面和陶瓷件内壁多余的水和溶液，完成清洗。

现有清洗方式的缺点在于：(1)、该清洗过程所消耗的时间较长、效率较低，并且清洗过程使用的化学品较多，造成清洗成本较高，同时清洗完成后会产生大量废水，该废水的处理难度较大；(2)清洗完成后，陶瓷管表面可能会有化学品和水汽的残留，影响后续电池制作，降低电池制备的良率；(3)由于反应腔内的陶瓷管件有多种长度规格，现有的清洗方式难以实现流程自动化，需要人工进行操作，较为繁琐。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是克服现有技术的不足，提供一种结构紧凑、使用便捷、装载能力强且有利于提高清洗效率的用于POLY反应腔陶瓷件的清洗载具。

为解决上述技术问题，本实用新型采用以下技术方案：

一种用于POLY反应腔陶瓷件的清洗载具，所述清洗载具装载陶瓷件进入石墨舟干法清洗设备中完成干法清洗，清洗载具包括：支撑杆和安装板，多根所述支撑杆并排设置，且每根支撑杆的两端均分别连接安装板，支撑杆与安装板围成清洗载具的架体；所述支撑杆上设有多个辅助定位件，用于实现不同规格的陶瓷件固定到清洗载具上；所述安装板底部设有舟脚，用于辅助清洗载具在石墨舟干法清洗设备中定位和输送。

作为本实用新型的进一步改进，所述辅助定位件包括：定位销和限位块，多个所述定位销并排设置在支撑杆上，用于实现陶瓷件沿竖直方向固定；多个限位块并排设置在支撑杆上，用于实现陶瓷件沿水平方向固定。

作为本实用新型的进一步改进，沿着清洗载具的宽度方向，所述定位销位于清洗载具中部，所述限位块位于清洗载具两侧。

作为本实用新型的进一步改进，所述定位销和限位块在支撑杆上的安装位置均可调节。

作为本实用新型的进一步改进，所述辅助定位件还包括支撑块，所述支撑块设置在支撑杆上，且位于相邻限位块之间，用于辅助支撑陶瓷件。

作为本实用新型的进一步改进，所述定位销包括销体和底座；所述底座下部与支撑杆连接，底座上部与销体连接，所述底座呈锥形，陶瓷件沿竖直方向嵌套在销体外侧，且陶瓷件底部固定在底座外侧。

作为本实用新型的进一步改进，所述限位块和支撑块与陶瓷件的接触面均呈锥面结构。

作为本实用新型的进一步改进，所述安装板上部设有舟耳，所述舟耳用于辅助清洗载具搬运。

作为本实用新型的进一步改进，所述清洗载具还包括平行设置的两根连杆，所述连杆的两端分别连接两块安装板。

作为本实用新型的进一步改进，所述支撑杆采用型材制备得到。

与现有技术相比，本实用新型的优点在于：

本实用新型的用于POLY反应腔陶瓷件的清洗载具，通过将多根支撑杆进行并排设置，并且将每根支撑杆的两端均分别连接安装板，利用支撑杆与安装板围合成了清洗载具的基本架体，清洗载具的规格与POLY石墨舟一致，可匹配POLY石墨舟的干法清洗设备；进一步地，支撑杆上设有多个辅助定位件，实现了不同规格的陶瓷件固定到清洗载具上，通过在安装板底部设置了舟脚，利用舟脚辅助清洗载具在石墨舟干法清洗设备中定位和输送，即实现了装载了陶瓷件的清洗载具在POLY石墨舟的干法清洗设备中完成陶瓷件的清洗，解决了因采用人工浸泡方式清洗陶瓷件而导致清洗成本高、自动化程度低、人工劳动强度大等问题，提高了陶瓷件的清洗质量，同时也提高生产产品的良率。

附图说明

图1为本实用新型用于POLY反应腔陶瓷件的清洗载具的结构原理示意图。

图2为本实用新型中定位销的结构原理示意图。

图3为本实用新型用于POLY反应腔陶瓷件的清洗载具装载陶瓷件的结构原理示意图。

图4为本实用新型用于POLY反应腔陶瓷件的清洗载具放置到机台上的结构原理示意图。

图例说明：1、舟脚；2、舟耳；3、连杆；4、定位销；41、销体；42、底座；5、支撑杆；6、限位块；7、支撑块；8、安装板；100、清洗载具；200、机台；300、陶瓷件；310、一号陶瓷件；320、二号陶瓷件；330、三号陶瓷件；340、四号陶瓷件；350、五号陶瓷件；360、六号陶瓷件。

具体实施方式

以下结合说明书附图和具体优选的实施例对本实用新型作进一步描述，但并不因此而限制本实用新型的保护范围。

实施例

如图1至图4所示，本实用新型的用于POLY反应腔陶瓷件的清洗载具，该清洗载具100装载陶瓷件300进入石墨舟干法清洗设备中完成干法清洗。清洗载具100包括：支撑杆5和安装板8。多根支撑杆5并排设置，且每根支撑杆5的两端均分别连接安装板8，支撑杆5与安装板8围成清洗载具100的架体。支撑杆5上设有多个辅助定位件，用于实现不同规格的陶瓷件300固定到清洗载具100上。安装板8底部设有舟脚1，舟脚1的结构尺寸和功能与POLY石墨舟的舟脚相同，舟脚1可以与石墨舟干法清洗设备的机台200相匹配，用于辅助清洗载具100在石墨舟干法清洗设备中定位和输送。本实施例中，支撑杆5采用型材制备得到，具有结构强度高、承载能力强的特点，提高了清洗载具对陶瓷件的装载能力。

可以理解，本实施例适用的干法清洗方式是在腔体内对反应气体进行电离，得到清洗离子；反应气体包括有效气体成分，有效气体成分含有氟元素，以使清洗离子含有氟离子。含有氟离子的清洗离子轰击POLY舟表面的膜层，使膜层的结合键例如s i-n键、s i-o键等发生断裂，此时清洗离子中的氟离子与之发生结合变成气体，完成清洗。同样的原理，含有氟离子的清洗离子轰击陶瓷件表面的膜层，以完成清洗。

本实施例中，通过将多根支撑杆5进行并排设置，并且将每根支撑杆5的两端均分别连接安装板8，利用支撑杆5与安装板8围合成了清洗载具的基本架体，清洗载具的规格与POLY石墨舟一致，可匹配POLY石墨舟的干法清洗设备。进一步地，支撑杆5上设有多个辅助定位件，实现了不同规格的陶瓷件300固定到清洗载具100上，通过在安装板8底部设置了舟脚1，利用舟脚1辅助清洗载具100在石墨舟干法清洗设备中定位和输送，即实现了装载了陶瓷件300的清洗载具100在POLY石墨舟的干法清洗设备中完成陶瓷件的清洗，解决了因采用人工浸泡方式清洗陶瓷件而导致清洗成本高、自动化程度低、人工劳动强度大等问题，提高了陶瓷件300的清洗质量，同时也提高生产产品的良率。

如图1和图3所示，本实施例中，辅助定位件包括：定位销4和限位块6，多个定位销4并排设置在支撑杆5上，用于实现陶瓷件沿竖直方向固定；多个限位块6并排设置在支撑杆5上，用于实现陶瓷件沿水平方向固定。考虑到陶瓷件300尺寸的多样性，清洗载具100中设计了水平和竖直两种安装形式的辅助定位件，可以满足长、短陶瓷件的清洗需求，适配多种规格尺寸的陶瓷件。

本实施例中，沿着清洗载具的宽度方向，定位销4位于清洗载具中部，限位块6位于清洗载具两侧，即两侧的限位块6将定位销4包围在内。如图3中所示，一号陶瓷件310、三号陶瓷件330、五号陶瓷件350和六号陶瓷件360沿竖直方向嵌套固定在定位销4上，上述四种陶瓷件在竖直方向上的高度都是相同的，区别主要在于厚度和外径大小不同。二号陶瓷320和四号陶瓷340的长度较前述的四种陶瓷件更长，因此它们沿水平方向固定在清洗载具100侧部的限位块6上。

本实施例中，定位销4和限位块6在支撑杆5上的安装位置均可调节，以更好地满足不同规格的陶瓷件300的清洗需求。

本实施例中，辅助定位件还包括支撑块7，支撑块7设置在支撑杆5上，且位于相邻限位块6之间，用于辅助支撑陶瓷件300。

如图2所示，本实施例中，定位销4包括销体41和底座42。底座42下部与支撑杆5连接，底座42上部与销体41连接，底座42呈锥形，陶瓷件沿竖直方向嵌套在销体41外侧，且陶瓷件底部固定在底座42外侧。确保陶瓷件300的外圆面和端面不被定位销4遮挡，进而保证陶瓷件300被清洗干净。

本实施例中，限位块6和支撑块7与陶瓷件的接触面均呈锥面结构，以减少对陶瓷件300的遮挡，提升清洗效果。

如图1所示，本实施例中，安装板8上部设有舟耳2，舟耳2的作用与POLY石墨舟的舟耳功能对应，用于辅助清洗载具100搬运，同时也便于清洗载具100在干法清洗设备的机台内定位和输送。

如图1所示，本实施例中，清洗载具100还包括平行设置的两根连杆3，连杆3的两端分别连接两块安装板8，用于增强清洗载具100的整体结构强度，与此同时，也可以在一定程度上辅助陶瓷件300定位，避免陶瓷件300发生偏移。

本实施例中，为了完全匹配POLY舟干法清洗设备的托盘、机械手、缓存架和舟输送系统，完全兼容POLY舟干法清洗设备，陶瓷件载具采用了分离式设计，每套清洗载具100尺寸规格与实际POLY石墨舟一致，可实现陶瓷件自动化传入POLY舟干法清洗腔体。与此同时，考虑陶瓷件尺寸的多样性，清洗载具100设计了水平和竖直两种安装形式的辅助定位件，可以满足长、短陶瓷件的清洗需求，适配了多种规格尺寸的陶瓷件。

虽然本实用新型以较佳实施例揭示如上，然而并非用以限定本实用新型。任何熟悉本领域的技术人员，在不脱离本实用新型的精神实质和技术方案的情况下，都可利用上述揭示的方法和技术内容对本实用新型技术方案做出许多可能的变动和修饰，或修改为等同变化的等效实施例。因此，凡是未脱离本实用新型技术方案的内容，依据本实用新型的技术实质对以上实施例所做的任何简单修改、等同替换、等效变化及修饰，均仍属于本实用新型技术方案保护的范围内。

Claims (10)

1.一种用于POLY反应腔陶瓷件的清洗载具，其特征在于，所述清洗载具装载陶瓷件进入石墨舟干法清洗设备中完成干法清洗，清洗载具包括：支撑杆(5)和安装板(8)，多根所述支撑杆(5)并排设置，且每根支撑杆(5)的两端均分别连接安装板(8)，支撑杆(5)与安装板(8)围成清洗载具的架体；所述支撑杆(5)上设有多个辅助定位件，用于实现不同规格的陶瓷件固定到清洗载具上；所述安装板(8)底部设有舟脚(1)，用于辅助清洗载具在石墨舟干法清洗设备中定位和输送。

2.根据权利要求1所述的用于POLY反应腔陶瓷件的清洗载具，其特征在于，所述辅助定位件包括：定位销(4)和限位块(6)，多个所述定位销(4)并排设置在支撑杆(5)上，用于实现陶瓷件沿竖直方向固定；多个限位块(6)并排设置在支撑杆(5)上，用于实现陶瓷件沿水平方向固定。

3.根据权利要求2所述的用于POLY反应腔陶瓷件的清洗载具，其特征在于，沿着清洗载具的宽度方向，所述定位销(4)位于清洗载具中部，所述限位块(6)位于清洗载具两侧。

4.根据权利要求2所述的用于POLY反应腔陶瓷件的清洗载具，其特征在于，所述定位销(4)和限位块(6)在支撑杆(5)上的安装位置均可调节。

5.根据权利要求2所述的用于POLY反应腔陶瓷件的清洗载具，其特征在于，所述辅助定位件还包括支撑块(7)，所述支撑块(7)设置在支撑杆(5)上，且位于相邻限位块(6)之间，用于辅助支撑陶瓷件。

6.根据权利要求2所述的用于POLY反应腔陶瓷件的清洗载具，其特征在于，所述定位销(4)包括销体(41)和底座(42)；所述底座(42)下部与支撑杆(5)连接，底座(42)上部与销体(41)连接，所述底座(42)呈锥形，陶瓷件沿竖直方向嵌套在销体(41)外侧，且陶瓷件底部固定在底座(42)外侧。

7.根据权利要求4所述的用于POLY反应腔陶瓷件的清洗载具，其特征在于，所述限位块(6)和支撑块(7)与陶瓷件的接触面均呈锥面结构。

8.根据权利要求1至7中任意一项所述的用于POLY反应腔陶瓷件的清洗载具，其特征在于，所述安装板(8)上部设有舟耳(2)，所述舟耳(2)用于辅助清洗载具搬运。

9.根据权利要求1至7中任意一项所述的用于POLY反应腔陶瓷件的清洗载具，其特征在于，所述清洗载具还包括平行设置的两根连杆(3)，所述连杆(3)的两端分别连接两块安装板(8)。

10.根据权利要求1至7中任意一项所述的用于POLY反应腔陶瓷件的清洗载具，其特征在于，所述支撑杆(5)采用型材制备得到。