CN115770554A - 一种改性吸附剂及其在一氟甲烷中脱除六氟乙烷的应用 - Google Patents
一种改性吸附剂及其在一氟甲烷中脱除六氟乙烷的应用 Download PDFInfo
- Publication number
- CN115770554A CN115770554A CN202211417636.7A CN202211417636A CN115770554A CN 115770554 A CN115770554 A CN 115770554A CN 202211417636 A CN202211417636 A CN 202211417636A CN 115770554 A CN115770554 A CN 115770554A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- modified adsorbent
- monofluoromethane
- adsorbent
- hexafluoroethane
- adsorption
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- NBVXSUQYWXRMNV-UHFFFAOYSA-N monofluoromethane Natural products FC NBVXSUQYWXRMNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 89
- 239000003463 adsorbent Substances 0.000 title claims abstract description 54
- WMIYKQLTONQJES-UHFFFAOYSA-N hexafluoroethane Chemical compound FC(F)(F)C(F)(F)F WMIYKQLTONQJES-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 35
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 claims abstract description 44
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 38
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims abstract description 38
- 238000005470 impregnation Methods 0.000 claims abstract description 25
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims abstract description 23
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 22
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N Hydrochloric acid Chemical compound Cl VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 19
- ZDOBFUIMGBWEAB-XGFHMVPTSA-N cucurbit[7]uril Chemical compound N1([C@H]2[C@H]3N(C1=O)CN1[C@H]4[C@H]5N(C1=O)CN1[C@H]6[C@H]7N(C1=O)CN1[C@H]8[C@H]9N(C1=O)CN1[C@H]%10[C@H]%11N(C1=O)CN([C@@H]1N(C%12=O)CN%11C(=O)N%10CN9C(=O)N8CN7C(=O)N6CN5C(=O)N4CN3C(=O)N2C2)C3=O)CN4C(=O)N5[C@H]6[C@@H]4N2C(=O)N6CN%12[C@@H]1N3C5 ZDOBFUIMGBWEAB-XGFHMVPTSA-N 0.000 claims abstract description 14
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims abstract description 13
- 239000012535 impurity Substances 0.000 claims abstract description 13
- 239000012299 nitrogen atmosphere Substances 0.000 claims abstract description 12
- 230000003213 activating effect Effects 0.000 claims abstract description 8
- 238000011049 filling Methods 0.000 claims abstract description 8
- 238000011065 in-situ storage Methods 0.000 claims abstract description 8
- 239000008367 deionised water Substances 0.000 claims abstract description 7
- 229910021641 deionized water Inorganic materials 0.000 claims abstract description 7
- 238000001914 filtration Methods 0.000 claims abstract description 7
- 230000007935 neutral effect Effects 0.000 claims abstract description 7
- 238000005406 washing Methods 0.000 claims abstract description 7
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Chemical compound O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 7
- 238000001035 drying Methods 0.000 claims abstract description 6
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 claims abstract description 5
- 238000007654 immersion Methods 0.000 claims description 4
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 claims description 2
- 238000011068 loading method Methods 0.000 claims 1
- 239000000047 product Substances 0.000 description 14
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- YUCFVHQCAFKDQG-UHFFFAOYSA-N fluoromethane Chemical compound F[CH] YUCFVHQCAFKDQG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 4
- 239000000706 filtrate Substances 0.000 description 4
- 239000002808 molecular sieve Substances 0.000 description 4
- URGAHOPLAPQHLN-UHFFFAOYSA-N sodium aluminosilicate Chemical compound [Na+].[Al+3].[O-][Si]([O-])=O.[O-][Si]([O-])=O URGAHOPLAPQHLN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 3
- 238000011069 regeneration method Methods 0.000 description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
- XPDWGBQVDMORPB-UHFFFAOYSA-N Fluoroform Chemical compound FC(F)F XPDWGBQVDMORPB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- ATUOYWHBWRKTHZ-UHFFFAOYSA-N Propane Chemical compound CCC ATUOYWHBWRKTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 2
- 238000003795 desorption Methods 0.000 description 2
- 230000008929 regeneration Effects 0.000 description 2
- VXNZUUAINFGPBY-UHFFFAOYSA-N 1-Butene Chemical compound CCC=C VXNZUUAINFGPBY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 1
- OTMSDBZUPAUEDD-UHFFFAOYSA-N Ethane Chemical compound CC OTMSDBZUPAUEDD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VGGSQFUCUMXWEO-UHFFFAOYSA-N Ethene Chemical compound C=C VGGSQFUCUMXWEO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000005977 Ethylene Substances 0.000 description 1
- HSFWRNGVRCDJHI-UHFFFAOYSA-N alpha-acetylene Natural products C#C HSFWRNGVRCDJHI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000000498 ball milling Methods 0.000 description 1
- RWCCWEUUXYIKHB-UHFFFAOYSA-N benzophenone Chemical compound C=1C=CC=CC=1C(=O)C1=CC=CC=C1 RWCCWEUUXYIKHB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000012965 benzophenone Substances 0.000 description 1
- 239000008280 blood Substances 0.000 description 1
- 210000004369 blood Anatomy 0.000 description 1
- 238000009835 boiling Methods 0.000 description 1
- IAQRGUVFOMOMEM-UHFFFAOYSA-N butene Natural products CC=CC IAQRGUVFOMOMEM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 1
- 230000018109 developmental process Effects 0.000 description 1
- 125000002534 ethynyl group Chemical group [H]C#C* 0.000 description 1
- 229930195733 hydrocarbon Natural products 0.000 description 1
- 238000005342 ion exchange Methods 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000004377 microelectronic Methods 0.000 description 1
- 239000011259 mixed solution Substances 0.000 description 1
- 231100000252 nontoxic Toxicity 0.000 description 1
- 230000003000 nontoxic effect Effects 0.000 description 1
- 230000005693 optoelectronics Effects 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- LPNYRYFBWFDTMA-UHFFFAOYSA-N potassium tert-butoxide Chemical compound [K+].CC(C)(C)[O-] LPNYRYFBWFDTMA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000001294 propane Substances 0.000 description 1
- QQONPFPTGQHPMA-UHFFFAOYSA-N propylene Natural products CC=C QQONPFPTGQHPMA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000004805 propylene group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([*:1])C([H])([H])[*:2] 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Organic Low-Molecular-Weight Compounds And Preparation Thereof (AREA)
Abstract
本发明公开了一种改性吸附剂及其在一氟甲烷中脱除六氟乙烷的应用，改性吸附剂制备方法：(1)将葫芦[7]脲溶于浓度为0.5‑1.5mol/L的盐酸中，配置成葫芦[7]脲浓度为0.1‑2g/mL的浸渍液；(2)将活性炭加入浸渍液中浸渍18‑24h；(3)将浸渍后的活性炭过滤取出，并用去离子水洗涤至中性，然后在120‑150℃干燥箱中干燥过夜，得到改性吸附剂。应用方法：(1)将改性吸附剂填充于吸附柱中，在250‑350℃下，氮气氛围中原位活化2‑4h，降至室温；(2)将一氟甲烷粗品气通入填充有改性吸附剂的吸附柱中，与改性吸附剂连续接触脱除六氟乙烷杂质，可将一氟甲烷中的六氟乙烷脱除至20ppb以下。
Description
技术领域
本发明涉及一氟甲烷的制备方法，具体涉及一氟甲烷中六氟乙烷的脱除方法。
背景技术
电子气体是发展集成电路、光电子、微电子，特别是超大规模集成电路、液晶显示器件、半导体发光器件和半导体材料制造过程中不可缺少的基础性支撑源材料，它被称为电子工业的“血液”和“粮食”。一氟甲烷是一种绿色、高效的电子特气，用于半导体及电子产品的刻蚀。在刻蚀工艺中，一氟甲烷纯度对组件性能和产品优良率具有决定性影响，即使百万分之一的微量杂质进入工序也会导致产品的不合格率迅速增加，因此市场对电子气体的纯度要求越来越高，基本要求其有机杂质含量10ppm以下，甚至1ppm以下。
一氟甲烷粗品中存在以下有机杂质：乙烷(C2H6)、乙烯(C2H4)、乙炔(C2H2)、丙烷(C3H8)、丙烯(C3H6)、丁烯(C4H8)、三氟甲烷(CHF3)、六氟乙烷(C2F6)等。上述杂质中，六氟乙烷的存在会干扰一氟甲烷在刻蚀工艺中的碳氟比，严重影响刻蚀效果。而六氟乙烷沸点为-78.2℃，与一氟甲烷沸点相同，难以通过精馏等常规分离手段去除六氟乙烷。
现有技术对于一氟甲烷粗品中有机杂质的去除主要有如下报道：
专利文献CN103910600A公开了一种超高纯一氟甲烷的制备方法，采用吸附法制备超高纯一氟甲烷，采用A型分子筛和/或粒径为1.5～3.0nm的活性炭脱除一氟甲烷粗品中的HCl、HF、CH3Cl、CH4、C2H4、C2H6、C3H6、C3H8等杂质。
中国专利文献CN105363407A公开了一种改性的吸附剂及其在超高纯一氟甲烷制备中的应用，吸附剂经过离子交换法、球磨法或浸渍法进行改性，所述吸附剂选自A型分子筛、X型分子筛、Y型分子筛、SiO2、Al2O3或活性炭，可有效脱除C2-C4烃类以及CHF3。
日本专利文献JP2013112612A报道了一氟甲烷中除CHF3的方法：将含CHF3的原料气通过DMF、DMF+tert-BuOK+苯甲酮混合溶液、H2SO4等多种溶液后，可完全去除CHF3。
现有技术中没有将一氟甲烷中六氟乙烷脱除的方法报道。
发明内容
本发明要解决的第一个技术问题是提供一种改性吸附剂，该改性吸附剂可有效去除一氟甲烷中的六氟乙烷。
本发明要解决的第二个技术问题是提供一种改性吸附剂在一氟甲烷中脱除六氟乙烷的应用方法，通过此方法可将一氟甲烷中的六氟乙烷脱除至20ppb以下。
为解决第一个技术问题，本发明的技术方案是，一种改性吸附剂，制备方法包括以下步骤：
(1)浸渍液配置：将葫芦[7]脲溶于浓度为0.5-1.5mol/L的盐酸中，配置成葫芦[7]脲浓度为0.1-2g/mL的浸渍液。盐酸浓度优选1-1.2mol/L，浸渍液浓度优选0.5-1.0g/mL；葫芦[7]脲负载量按重量计优选为0.05％-0.5％。
(2)将活性炭加入浸渍液中浸渍18-24h。
(3)将浸渍后的活性炭过滤取出，并用去离子水洗涤至中性，然后在120-150℃干燥箱中干燥过夜，得到改性吸附剂。
所述葫芦[7]脲是一种两端开口具有刚性空腔结构的分子化合物，结构如下：
本发明制得改性吸附剂再生后可以继续使用，本发明还提供一种改性吸附剂的再生方法：在氮气氛围150℃-350℃保持1-10h即可。再生温度优选为200-350℃。
为解决第二个技术问题，本发明的技术方案是，一种改性吸附剂在一氟甲烷中脱除六氟乙烷的应用方法：(1)将改性吸附剂填充于吸附装置中，在250-350℃下，氮气氛围中原位活化2-4h，降至室温；(2)将一氟甲烷粗品气通入填充有改性吸附剂的吸附装置中，与改性吸附剂连续接触脱除六氟乙烷杂质。所述一氟甲烷粗品气质量空速优选0.1-10g/(g吸附剂·h)，并进一步优选为0.5-5.0g/(g吸附剂·h)。吸附温度优选为-30℃-50℃，进一步优选为-10℃-30℃。吸附压力优选为0.05-2.0MPa，进一步优选为0.1-1.0MPa。经吸附处理后，一氟甲烷中六氟乙烷含量能降至20ppb以下。
本发明方法制备的改性吸附剂，再生性好，制备方便，适用于分离去除一氟甲烷中的六氟乙烷，从而制备超高纯一氟甲烷。本发明提供了一种一氟甲烷中六氟乙烷的脱除方法，该方法实现一氟甲烷中六氟乙烷气体的有效去除，六氟乙烷脱除深度高。
与现有技术相比，本发明具有如下优点：
(1)能够深度去除一氟甲烷中六氟乙烷含量，降至20ppb以下。
(2)所制备的改性吸附剂结构稳定，使用时间长，再生性好。
(3)传统气体吸附材料在吸附和解吸上有明显的热效应，气体吸附放热反应，气体解吸为吸热反应，热效应会影响气体的吸附和解吸。本发明制得的改性吸附剂有效避免了热效应问题。
(4)改性吸附剂无毒，对环境友好，无二次污染。
具体实施方式
以下结合实施例对本发明的具体实施方式进行详细说明。
本发明实施例中使用的一氟甲烷粗品中六氟乙烷的含量为133ppm。
实施例1
将葫芦[7]脲溶于0.5mol/L盐酸水溶液中，配置成0.1g/mL的浸渍液。取活性炭AC10g，加入上述浸渍液，浸渍24h。之后将活性炭取出，滤净浸渍液，并用去离子水洗涤至滤液中性。然后在120～150℃烘干过夜，实测负载量0.05％wt。取10g上述吸附剂填充进吸附柱中，在350℃下，氮气氛围中原位活化2h，降至室温后，通入一氟甲烷原料气，气体质量空速0.5g/(g吸附剂·h)，吸附温度30℃，吸附压力为0.1MPa，进行吸附除杂，测量产品气中六氟乙烷含量18.1ppb。
实施例2
将葫芦[7]脲溶于1.0mol/L盐酸溶液中，配置0.5g/mL的浸渍液。取活性炭AC 10g，加入上述浸渍液，浸渍24h。之后将活性炭取出，滤净浸渍液，并用去离子水洗涤至滤液中性。然后在120～150℃烘干过夜，实测负载量0.2％wt。取10g上述吸附剂填充进吸附柱中，在350℃下，氮气氛围中原位活化2h，降至室温后，通入一氟甲烷原料气，气体质量空速5.0g/(g吸附剂·h)，吸附温度-10℃，压力为1.0MPa进行吸附除杂，测量产品气中六氟乙烷含量16.1ppb。
实施例3
将葫芦[7]脲溶于1.5mol/L盐酸水溶液中，配置成2.0g/mL的浸渍液。取活性炭AC10g，加入上述浸渍液，浸渍18h。之后将活性炭取出，滤净浸渍液，并用去离子水洗涤至滤液中性。然后在120～150℃烘干过夜，实测负载量0.5％wt。取10g上述吸附剂填充进吸附柱中，在350℃下，氮气氛围中原位活化2h，降至室温后，通入一氟甲烷原料气，气体质量空速10.0g/(g吸附剂·h)，吸附温度50℃，吸附压力为2.0MPa，进行吸附除杂，测量产品气中六氟乙烷含量12.2ppb。
实施例4
将葫芦[7]脲溶于1.2mol/L盐酸水溶液中，配置成1.0g/mL的浸渍液。取活性炭AC10g，加入上述浸渍液，浸渍24h。之后将活性炭取出，滤净浸渍液，并用去离子水洗涤至滤液中性。然后在120～150℃烘干过夜，实测负载量0.35％wt。取10g上述吸附剂填充进吸附柱中，在350℃下，氮气氛围中原位活化2h，降至室温后，通入一氟甲烷原料气，气体质量空速0.1g/(g吸附剂·h)，吸附温度-30℃，吸附压力为0.05MPa，进行吸附除杂，测量产品气中六氟乙烷含量14.6ppb。
实施例5
取实施例1中吸附后的吸附剂进行再生，再生温度300℃，氮气氛围下再生时间2h。降至室温后，进行第二次吸附。吸附条件同实施例1。测量产品气中六氟乙烷含量18.6ppb。
实施例6
取实施例5中吸附后的吸附剂进行再生，再生温度300℃，氮气氛围下再生时间2h。降至室温后，进行第2次吸附。吸附条件同实施例2。测量产品气中六氟乙烷含量18.5ppb。
实施例7
取实施例6中吸附后的吸附剂进行再生，再生温度300℃，氮气氛围下再生时间2h。降至室温后，进行第3次吸附。吸附条件同实施例2。测量产品气中六氟乙烷含量18.9ppb。
实施例8
取实施例7中吸附后的吸附剂进行再生，再生温度300℃，氮气氛围下再生时间2h。降至室温后，进行第4次吸附。吸附条件同实施例2。测量产品气中六氟乙烷含量19.1ppb。
实施例9
取实施例8中吸附后的吸附剂进行再生，再生温度300℃，氮气氛围下再生时间2h。降至室温后，进行第5次吸附。吸附条件同实施例2。测量产品气中六氟乙烷含量19.4ppb。
对比实施例
取10g活性炭填充进吸附柱中，在350℃下，氮气氛围中原位活化2h，降至室温后，通入一氟甲烷原料气，气体质量空速0.5g/(g吸附剂·h)，吸附温度-10℃，压力为0.1MPa进行吸附除杂，测量产品气中六氟乙烷含量127ppm。
Claims (10)
1.一种改性吸附剂，其特征在于制备方法包括以下步骤：
(1)浸渍液配置：将葫芦[7]脲溶于浓度为0.5-1.5mol/L的盐酸中，配置成葫芦[7]脲浓度为0.1-2g/mL的浸渍液；
(2)将活性炭加入浸渍液中浸渍18-24h；
(3)将浸渍后的活性炭过滤取出，并用去离子水洗涤至中性，然后在120-150℃干燥箱中干燥过夜，得到改性吸附剂。
2.根据权利要求1所述的改性吸附剂，其特征在于所述葫芦[7]脲是一种两端开口具有刚性空腔结构的分子化合物，结构如下：
3.根据权利要求1所述的改性吸附剂，其特征在于盐酸浓度为1-1.2mol/L。
4.根据权利要求1所述的改性吸附剂，其特征在于浸渍液浓度为0.5-1.0g/mL。
5.根据权利要求1所述的改性吸附剂，其特征在于葫芦[7]脲负载量按重量计为0.05％-0.5％。
6.根据权利要求1所述的改性吸附剂，其特征在于改性吸附剂再生后可以继续使用。
7.根据权利要求6所述的改性吸附剂，其特征在于改性吸附剂的再生方法是：在氮气氛围150℃-350℃保持1-10h。
8.一种权利要求1～7之一所述的改性吸附剂在一氟甲烷中脱除六氟乙烷的应用方法：(1)将改性吸附剂填充于吸附装置中，在250-350℃下，氮气氛围中原位活化2-4h，降至室温；(2)将一氟甲烷粗品气通入填充有改性吸附剂的吸附装置中，与改性吸附剂连续接触脱除六氟乙烷杂质。
9.根据权利要求8所述的应用方法，其特征在于一氟甲烷粗品气质量空速为0.1-10g/(g吸附剂·h)；吸附温度为-30℃-50℃；吸附压力为0.05-2.0MPa。
10.根据权利要求8所述的应用方法，其特征在于一氟甲烷粗品气质量空速为0.5-5.0g/(g吸附剂·h)；吸附温度为-10℃-30℃；吸附压力为0.1-1.0MPa。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202211417636.7A CN115770554A (zh) | 2022-11-08 | 2022-11-08 | 一种改性吸附剂及其在一氟甲烷中脱除六氟乙烷的应用 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202211417636.7A CN115770554A (zh) | 2022-11-08 | 2022-11-08 | 一种改性吸附剂及其在一氟甲烷中脱除六氟乙烷的应用 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN115770554A true CN115770554A (zh) | 2023-03-10 |
Family
ID=85388957
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202211417636.7A Pending CN115770554A (zh) | 2022-11-08 | 2022-11-08 | 一种改性吸附剂及其在一氟甲烷中脱除六氟乙烷的应用 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN115770554A (zh) |
Citations (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6365734B1 (en) * | 1999-10-21 | 2002-04-02 | Pohang University Of Science And Technology Foundation | Cucurbituril derivatives, their preparation methods and uses |
| US20040147396A1 (en) * | 2001-05-28 | 2004-07-29 | Richter Andreas M. | Inorganic absorbent composites method for the production thereof and use of the same |
| JP2014138923A (ja) * | 2012-12-21 | 2014-07-31 | Toshiba Corp | 汚染物質除去剤及びその製造方法、並びにこれを用いた汚染物質除去構造体、汚染物質除去方法、汚染物質除去装置 |
| KR20150019312A (ko) * | 2013-08-13 | 2015-02-25 | 주식회사 엘지생활건강 | 다이옥산이 저감된 계면활성제 조성물 및 다이옥산을 제거하는 방법 |
| GB201614458D0 (en) * | 2016-08-24 | 2016-10-05 | Aqdot Ltd | Suspension compositions |
| CN109046270A (zh) * | 2018-09-04 | 2018-12-21 | 武汉纺织大学 | 葫芦[8]脲接枝壳聚糖及其制备方法和应用 |
| CN110038525A (zh) * | 2019-03-21 | 2019-07-23 | 济南大学 | 一种葫芦〔7〕脲修饰磁性多孔吸附剂的制备方法 |
| KR20200046903A (ko) * | 2018-10-26 | 2020-05-07 | 한국에너지기술연구원 | 쿠커비투릴-폴리에틸렌이민-실리카 복합체, 이의 제조방법 및 이를 포함하는 이산화탄소 흡착제 |
| KR20220084734A (ko) * | 2020-12-14 | 2022-06-21 | 한국에너지기술연구원 | 쿠커비투릴-아민 화합물-다공체 복합체, 이의 제조방법 및 이를 포함하는 이산화탄소 흡착제 |
| CN115254043A (zh) * | 2022-07-28 | 2022-11-01 | 武汉纺织大学 | 改性葫芦[n]脲-壳聚糖复合气凝胶珠及其制备方法和应用 |
-
2022
- 2022-11-08 CN CN202211417636.7A patent/CN115770554A/zh active Pending
Patent Citations (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6365734B1 (en) * | 1999-10-21 | 2002-04-02 | Pohang University Of Science And Technology Foundation | Cucurbituril derivatives, their preparation methods and uses |
| US20040147396A1 (en) * | 2001-05-28 | 2004-07-29 | Richter Andreas M. | Inorganic absorbent composites method for the production thereof and use of the same |
| JP2014138923A (ja) * | 2012-12-21 | 2014-07-31 | Toshiba Corp | 汚染物質除去剤及びその製造方法、並びにこれを用いた汚染物質除去構造体、汚染物質除去方法、汚染物質除去装置 |
| KR20150019312A (ko) * | 2013-08-13 | 2015-02-25 | 주식회사 엘지생활건강 | 다이옥산이 저감된 계면활성제 조성물 및 다이옥산을 제거하는 방법 |
| GB201614458D0 (en) * | 2016-08-24 | 2016-10-05 | Aqdot Ltd | Suspension compositions |
| CN109046270A (zh) * | 2018-09-04 | 2018-12-21 | 武汉纺织大学 | 葫芦[8]脲接枝壳聚糖及其制备方法和应用 |
| KR20200046903A (ko) * | 2018-10-26 | 2020-05-07 | 한국에너지기술연구원 | 쿠커비투릴-폴리에틸렌이민-실리카 복합체, 이의 제조방법 및 이를 포함하는 이산화탄소 흡착제 |
| CN110038525A (zh) * | 2019-03-21 | 2019-07-23 | 济南大学 | 一种葫芦〔7〕脲修饰磁性多孔吸附剂的制备方法 |
| KR20220084734A (ko) * | 2020-12-14 | 2022-06-21 | 한국에너지기술연구원 | 쿠커비투릴-아민 화합물-다공체 복합체, 이의 제조방법 및 이를 포함하는 이산화탄소 흡착제 |
| CN115254043A (zh) * | 2022-07-28 | 2022-11-01 | 武汉纺织大学 | 改性葫芦[n]脲-壳聚糖复合气凝胶珠及其制备方法和应用 |
Non-Patent Citations (7)
| Title |
|---|
| KHALEEL I. ASSAF ET AL.: "Cucurbiturils as fluorophilic receptors", 《SUPRAMOLECULAR CHEMISTRY》, 11 July 2014 (2014-07-11), pages 657 - 669 * |
| LI QING ET AL.: "Highly Selective Separation of Minimum-Boiling Azeotrope Toluene/Pyridine by Nonporous Adaptive Crystals of Cucurbit[6]uril", 《ANGEWANDTE CHEMIE-INTERNATIONAL EDITION》, vol. 59, no. 13, 23 March 2020 (2020-03-23) * |
| SHAOSHUAI SUN ET AL.: "Facile fabrication of macroporous carbon materials with Cucurbit[6]uril as precursor/template and its application for uranium removal", 《ENVIRONMENTAL TECHNOLOGY & INNOVATION》, vol. 28 * |
| SHAOSHUAI SUN ET AL.: "Facile fabrication of macroporous carbon materials with Cucurbit[6]uril as precursor/template and its application for uranium removal", 《ENVIRONMENTAL TECHNOLOGY & INNOVATION》, vol. 28, 26 June 2022 (2022-06-26), pages 102779 * |
| ZHUANG LI ET AL.: "Efficient removal of heavy metal ions and organic dyes with cucurbit [8] uril-functionalized chitosan", 《JOURNAL OF COLLOID AND INTERFACE SCIENCE》, vol. 539, 21 December 2018 (2018-12-21), pages 400 - 413 * |
| 丁元胜等: "高纯六氟乙烷的制备及应用研究进展", 《浙江化工》, vol. 48, no. 9 * |
| 杨辉等: "葫芦脲的研究进展", 《化学进展》, vol. 21, no. 1, 31 January 2009 (2009-01-31) * |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN103664501B (zh) | 一种六氟乙烷的纯化方法 | |
| US5135548A (en) | Oxygen selective desiccants | |
| CN107778125B (zh) | 一种粗乙炔气中高炔烃的吸附萃取分离与净化方法 | |
| JPS6265918A (ja) | Ｃｏ分離回収用吸着剤、その製造法およびそれを用いて高純度ｃｏを分離回収する方法 | |
| JP2008537720A (ja) | 三フッ化窒素の精製 | |
| CN103664502B (zh) | 一种八氟丙烷纯化方法 | |
| CN112266318A (zh) | 一种六氟-1,3-丁二烯分级提纯的方法 | |
| JP2003261480A (ja) | ヘキサフルオロ−１，３−ブタジエン精製方法 | |
| CN111116296A (zh) | 一种苯和环己烷的分离方法 | |
| CN113105303A (zh) | 一种六氟丁二烯的精制方法 | |
| WO2023236316A1 (zh) | 一种杂质气体吸附剂及其制备方法和应用 | |
| CN112591711B (zh) | 一种HF/HCl混合气体高纯度高收率的FTrPSA分离与净化提取方法 | |
| CN115770554A (zh) | 一种改性吸附剂及其在一氟甲烷中脱除六氟乙烷的应用 | |
| JP2004534744A (ja) | 有機流出物に存在する有機酸素含有分子の除去のためのアルミナ凝集物の使用方法 | |
| CN114307517B (zh) | 惰性气体保护的高纯全氟碳电子特气吸附纯化方法 | |
| JPH0379288B2 (zh) | ||
| CN112744787B (zh) | 一种含高浓度HF的HCl气体深度脱氟干燥的FTrPSA分离与净化方法 | |
| CN114249628B (zh) | 一种ch3f和c3h8的分离方法 | |
| CN112206756A (zh) | 一种吸附剂的解吸方法 | |
| US20220184578A1 (en) | Method for manufacturing a granular adsorbent for separating carbon monoxide or carbon disulfide, a granular adsorbent for separating carbon monoxide and carbon disulfide produced therefrom, and a separation device comprising the granular adsorbent | |
| KR102616155B1 (ko) | 옥타플루오로시클로부탄(c4f8)의 정제방법 | |
| CN1240783A (zh) | 一种气相选择吸附分离混合二氯苯的方法 | |
| RU2350552C1 (ru) | Способ очистки трифторида азота | |
| CN114621050B (zh) | 一种脱除六氟丁二烯中含氟烯烃的方法 | |
| CN116003215A (zh) | 一种去除一氟甲烷中三氟甲烷杂质的方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination |