CN115742043B - 一种切割机工作盘非标设计机构 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种切割机工作盘非标设计机构，包括支撑台面、X轴移动滑台、Y轴移动滑台和工作盘组件，通过在活动工作盘外侧设置了限位夹具，通过电动推杆伸缩对环形板的转动进行控制四个夹板同时向内移动对晶圆外侧进行支撑和限位，使晶圆与活动工作盘呈同心放置固定，通过确定活动工作盘的圆心位置即可确定晶圆的圆心，进而便于对晶圆进行切割加工，通过设置了活动工作盘，通过对盘体内部空气抽取，使晶圆吸附于支撑盘上，通过对盘体内部底端进行进气，使活动板向上移动，且顶销向上移动插入至气孔内部，顶销顶端面与支撑盘顶端面呈同一平面设置，便于支撑盘表面进行清理，避免对支撑盘表面清理时杂物落入至气孔内部。

Description

一种切割机工作盘非标设计机构

技术领域

本发明涉及晶圆制作设备相关领域，具体是一种切割机工作盘非标设计机构。

背景技术

硅半导体集成电路的应用越来越广泛，其中，硅半导体集成电路都需要使用到晶圆，而应用在硅半导体集成电路的晶圆前期是进行过加工的，传统对晶圆的加工是纯手工操作，即工人使用切割机(金刚石切割机、激光切割机等)对晶圆进行加工，晶圆加工时需要放置在工作盘上进行切割加工。

目前的工作盘在优化时，多体现在对工作盘的保护方面，例如专利号为CN202120892973.6的中国专利公开了晶圆固定结构及切割装置，该晶圆固定结构包括：固定膜；切割膜，具有第一粘性层，切割膜上背向第一粘性层的一端与固定膜固定连接；定位件，设置在切割膜上，能够限制晶圆固定在第一粘性层上的位置，又通过设置切割装置，切割装置包括主体、划片刀以及工作盘，晶圆固定结构能够固定在工作盘上，通过上述设置，通过定位件能够将晶圆准确地固定在切割膜上规定的切割区域内，将固定膜固定在工作盘上，利用划片刀对晶圆进行切割，当切透晶圆后需要将晶圆分区时，利用切割装置将晶圆分区，能够提高效率且保证切割品质，固定膜位于切割膜与工作盘之间，能够保证划片刀不易过切至工作盘，进而保护工作盘不易受到损坏。

虽然上述工作盘在保护方面具有一定优势，但仍然存在一定弊端；

1：采用吸附方式对晶圆进行吸附固定，但不便于对非标设计的晶圆位置进行居中固定，需要对晶圆的位置进行扫描计算后进行确定，对扫描位置设备精度要求高，容易对晶圆的切割位置产生偏差。

2：采用吸附方式在工作盘上需要设置有气孔，不便于对工作盘表面的碎屑进行清理，碎屑清理时容易进入至气孔内部，导致在工作盘内部堆积粉尘，晶圆在切割时产生的碎屑容易通过气孔进入至工作盘内部，长期使用后容易导致工作盘内部堆积粉尘，造成抽气端口或管路堵塞，影响对晶圆的吸附固定效果。

发明内容

因此，为了解决上述不足，本发明在此提供一种切割机工作盘非标设计机构。

本发明是这样实现的，构造一种切割机工作盘非标设计机构，该装置包括支撑台面和工作盘组件，所述支撑台面顶端安装有X轴移动滑台，所述X轴移动滑台顶端安装有Y轴移动滑台，所述工作盘组件安装于Y轴移动滑台顶部，所述工作盘组件包括支撑板、环形滑槽、转动控制机构、活动工作盘和限位夹具，所述支撑板顶端面开设有环形滑槽，所述支撑板顶端中部安装有转动控制机构，所述转动控制机构顶端安装有活动工作盘，所述活动工作盘外壁顶部安装有限位夹具，所述支撑板底端与Y轴移动滑台固定连接。

优选的，所述X轴移动滑台包括支板、滑轨、滑块、第一电机、螺杆、活动块和轴承及其轴座，所述支板顶端前后两侧均横向固定有滑轨，且两个滑轨顶部均套装有滑块，所述滑块沿滑轨表面横向滑动，所述支板顶端右侧中部固定有第一电机，所述第一电机左端的输出轴通过联轴器与螺杆同心转动，所述螺杆横向贯穿活动块，且活动块内壁与螺杆螺纹连接，所述螺杆左端与轴承及其轴座相连接，且轴承及其轴座固定于支板顶端左侧中部，所述支板底端与支撑台面固定连接，所述滑块顶端与Y轴移动滑台固定连接。

优选的，所述转动控制机构包括外壳、第二电机、蜗杆、蜗轮和连接柱，所述外壳右端前侧固定有第二电机，所述第二电机左端的输出轴与蜗杆同心连接，所述蜗杆后侧与蜗轮相互啮合，所述蜗轮圆心处贯穿有连接柱，且蜗轮内壁与连接柱固定连接，所述连接柱底端通过轴承与外壳转动连接，所述连接柱顶端与活动工作盘固定连接，所述外壳底端与支撑板固定连接。

优选的，所述活动工作盘包括盘体、直杆、滑轮、支撑盘、气孔、第一接气端口组件、第二接气端口组件、光杆、活动板、顶销和集尘结构，所述盘体底端边沿处固定有直杆，所述直杆底端安装有滑轮，所述盘体顶端边沿处与支撑盘固定连接，所述支撑盘内部开设有气孔，所述盘体右侧中部设置有第一接气端口组件，所述盘体底端边沿处设置有第二接气端口组件，所述盘体内部嵌入有活动板，且活动板与盘体内部贴合，所述活动板内部边沿处竖直贯穿有光杆，且光杆上下两端分别与支撑盘和盘体固定连接，所述活动板顶端中部固定有顶销，所述第一接气端口组件与集尘结构相连接，且集尘结构固定于支撑板右侧，所述盘体底端圆心处与连接柱固定连接，所述滑轮底部沿环形滑槽滑动。

优选的，所述限位夹具包括环形板、支撑轴承、夹具组件、电动推杆、第一万向节连接件和第二万向节连接件，所述环形板内壁与支撑轴承外壁固定连接，所述环形板顶端面边沿处安装有四组夹具组件，所述电动推杆两端分别固定有第一万向节连接件和第二万向节连接件，所述第一万向节连接件固定于环形板底端左侧，所述第二万向节连接件固定于盘体左侧底部，所述支撑轴承内壁与支撑盘固定连接。

优选的，所述夹具组件设置有四个，四个夹具组件以支撑盘圆心处为圆心呈环形阵列设置，所述夹具组件包括固定板、限位管、活动杆、夹板、限位销和弧形槽，所述固定板内壁固定限位管，所述限位管内部贯穿有活动杆，所述活动杆内侧与夹板固定连接，所述活动杆底端外侧固定有限位销，所述限位销底端插入至弧形槽内部，且弧形槽开设于环形板顶端面，所述固定板固定于支撑盘顶端面边沿处。

优选的，所述集尘结构包括过滤壳、出气接口、过滤板、集尘壳、收集壳、单向阀、连接软管、激光测距器、导灰壳、第三电机、转动轴、导灰辊和导灰槽，所述过滤壳前端设置有出气接口，所述过滤壳内部前侧设置有过滤板，所述过滤壳后端通过导管与单向阀相连接，所述单向阀后端与连接软管一端相连接，且连接软管另一端与第一接气端口组件相连接，所述过滤壳内部顶端安装有激光测距器，所述过滤壳底部设置有导灰壳，所述导灰壳后端固定有第三电机，所述第三电机前端的输出轴与转动轴相连接，所述转动轴贯穿导灰辊，且导灰辊内壁与转动轴之间采用键连接，所述导灰辊外侧开设有导灰槽，所述导灰壳内壁与导灰辊贴合，所述导灰壳底部设置有集尘壳，所述集尘壳右侧与收集壳相互插接，所述集尘壳固定于支撑板右侧。

优选的，所述X轴移动滑台和Y轴移动滑台结构一致，且X轴移动滑台和Y轴移动滑台俯视呈十字交叉，所述Y轴移动滑台的支板底端与X轴移动滑台的滑块和活动块固定连接，且Y轴移动滑台的滑块和活动块顶端均与支撑板固定连接。

优选的，所述蜗轮、连接柱、盘体、支撑盘、环形板和支撑轴承圆心呈同一竖直线设置。

优选的，所述弧形槽内壁与限位销贴合，且四个夹具组件的弧形槽由内之外呈逆时针方向倾斜。

本发明具有如下优点：本发明通过改进在此提供一种切割机工作盘非标设计机构，与同类型设备相比，具有如下改进：

优点一：本发明所述一种切割机工作盘非标设计机构，通过在活动工作盘外侧设置了限位夹具，限位夹具的环形板顶部设置有四个夹具组件，通过电动推杆伸缩对环形板的转动进行控制，且环形板转动带动四个夹具组件的夹板同时进行伸缩，通过四个夹板同时向内移动对晶圆外侧进行支撑和限位，使晶圆与活动工作盘呈同心放置固定，通过确定活动工作盘的圆心位置即可确定晶圆的圆心，进而便于对晶圆进行切割加工。

优点二：本发明所述一种切割机工作盘非标设计机构，通过设置了活动工作盘，活动工作盘顶部的支撑盘内部设置有气孔，通过第一接气端口组件对盘体内部空气抽取，使晶圆吸附于支撑盘上，通过在盘体内部底端设置有活动板，且在活动板顶端设置了顶销，通过第二接气端口组件对盘体内部底端进行进气，使活动板向上移动，且顶销向上移动插入至气孔内部，便于支撑盘表面进行清理，顶销顶端面与支撑盘顶端面呈同一平面设置，避免对支撑盘表面清理时杂物落入至气孔内部，

优点三：通过设置了集尘结构，集尘结构与盘体的第一接气端口组件相连接，外部气动控制设备通过集尘结构对盘体内部的空气进行抽取，抽取的空气通过过滤壳内的过滤板进行过滤，且通过过滤板过滤的粉尘下落至导灰辊上，通过激光测距器对导灰辊上堆积的粉尘高度进行检测，堆积粉尘高度达到额定高度后，启动第三电机通过输出轴带动转动轴转动，转动轴带动导灰辊转动，导灰辊转动时粉尘落入至导灰槽内，且通过导灰辊转动将导灰槽内的粉尘转送至底部，使粉尘下落至集尘壳的收集壳内，即可在吸尘的同时自动定量对粉尘的转移，避免粉尘在过滤壳内堆积过多，影响其内部空气流通以及粉尘的过滤效果，通过将收集壳取出即可对内部粉尘进行清理，避免盘体内部堆积粉尘，造成第一接气端口组件或管路堵塞。

附图说明

图1是本发明结构示意图；

图2是本发明的X轴移动滑台结构示意图；

图3是本发明的工作盘组件结构示意图；

图4是本发明的转动控制机构结构俯视剖面图；

图5是本发明的活动工作盘结构示意图；

图6是本发明的活动工作盘结构剖面图；

图7是本发明的限位夹具结构示意图；

图8是本发明的限位夹具结构俯视图；

图9是本发明的电动推杆结构示意图；

图10是本发明图7的A区局部放大图；

图11是本发明图的集尘结构示意图；

图12是本发明图的集尘结构右视剖面图；

图13是本发明图的过滤壳结构剖面图。

其中：支撑台面-1、X轴移动滑台-2、Y轴移动滑台-3、工作盘组件-4、支板-21、滑轨-22、滑块-23、第一电机-24、螺杆-25、活动块-26、轴承及其轴座-27、支撑板-41、环形滑槽-42、转动控制机构-43、活动工作盘-44、限位夹具-45、外壳-431、第二电机-432、蜗杆-433、蜗轮-434、连接柱-435、盘体-441、直杆-442、滑轮-443、支撑盘-444、气孔-445、第一接气端口组件-446、第二接气端口组件-447、光杆-448、活动板-449、顶销-4410、集尘结构-4411、环形板-451、支撑轴承-452、夹具组件-453、电动推杆-454、第一万向节连接件-455、第二万向节连接件-456、固定板-4531、限位管-4532、活动杆-4533、夹板-4534、限位销-4535、弧形槽-4536、过滤壳-44111、出气接口-44112、过滤板-44113、集尘壳-44114、收集壳-44115、单向阀-44116、连接软管-44117、激光测距器-44118、导灰壳-44119、第三电机-441110、转动轴-441111、导灰辊-441112、导灰槽-441113。

具体实施方式

下面将结合附图1-13对本发明进行详细说明，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

实施例一；

请参阅图1，本发明的一种切割机工作盘非标设计机构，包括支撑台面1和工作盘组件4，支撑台面1顶端安装有X轴移动滑台2，X轴移动滑台2顶端安装有Y轴移动滑台3，工作盘组件4安装于Y轴移动滑台3顶部。

请参阅图3，本发明的一种切割机工作盘非标设计机构，工作盘组件4包括支撑板41、环形滑槽42、转动控制机构43、活动工作盘44和限位夹具45，支撑板41顶端面开设有环形滑槽42，支撑板41顶端中部安装有转动控制机构43，转动控制机构43顶端安装有活动工作盘44，活动工作盘44外壁顶部安装有限位夹具45，支撑板41底端与Y轴移动滑台3固定连接。

请参阅图2，本发明的一种切割机工作盘非标设计机构，X轴移动滑台2包括支板21、滑轨22、滑块23、第一电机24、螺杆25、活动块26和轴承及其轴座27，支板21顶端前后两侧均横向固定有滑轨22，且两个滑轨22顶部均套装有滑块23，滑块23沿滑轨22表面横向滑动，支板21顶端右侧中部固定有第一电机24，第一电机24左端的输出轴通过联轴器与螺杆25同心转动，螺杆25横向贯穿活动块26，且活动块26内壁与螺杆25螺纹连接，螺杆25左端与轴承及其轴座27相连接，且轴承及其轴座27固定于支板21顶端左侧中部，支板21底端与支撑台面1固定连接，滑块23顶端与Y轴移动滑台3固定连接，X轴移动滑台2和Y轴移动滑台3结构一致，且X轴移动滑台2和Y轴移动滑台3俯视呈十字交叉，Y轴移动滑台3的支板21底端与X轴移动滑台2的滑块23和活动块26固定连接，且Y轴移动滑台3的滑块23和活动块26顶端均与支撑板41固定连接，通过X轴移动滑台2带动Y轴移动滑台3以及Y轴移动滑台3顶部的工作盘组件4横向移动，通过Y轴移动滑台3的活动块26带动工作盘组件4前后移动，对工作盘组件4以及顶部固定的晶圆进行前后左右移动进行控制。

请参阅图4，本发明的一种切割机工作盘非标设计机构，转动控制机构43包括外壳431、第二电机432、蜗杆433、蜗轮434和连接柱435，外壳431右端前侧固定有第二电机432，第二电机432左端的输出轴与蜗杆433同心连接，蜗杆433后侧与蜗轮434相互啮合，蜗轮434圆心处贯穿有连接柱435，且蜗轮434内壁与连接柱435固定连接，连接柱435底端通过轴承与外壳431转动连接，连接柱435顶端与活动工作盘44固定连接，外壳431底端与支撑板41固定连接，蜗轮434、连接柱435、盘体441、支撑盘444、环形板451和支撑轴承452圆心呈同一竖直线设置，通过蜗杆433转动带动蜗轮434转动，蜗轮434转动通过连接柱435带动活动工作盘44和限位夹具45同心转动，进而对工作盘44上固定的晶圆进行同心转动，对其角度进行调节。

请参阅图5-6，本发明的一种切割机工作盘非标设计机构，活动工作盘44包括盘体441、直杆442、滑轮443、支撑盘444、气孔445、第一接气端口组件446、第二接气端口组件447、光杆448、活动板449、顶销4410和集尘结构4411，盘体441底端边沿处固定有直杆442，直杆442底端安装有滑轮443，盘体441顶端边沿处与支撑盘444固定连接，支撑盘444内部开设有气孔445，盘体441右侧中部设置有第一接气端口组件446，盘体441底端边沿处设置有第二接气端口组件447，盘体441内部嵌入有活动板449，且活动板449与盘体441内部贴合，活动板449内部边沿处竖直贯穿有光杆448，且光杆448上下两端分别与支撑盘444和盘体441固定连接，活动板449顶端中部固定有顶销4410，第一接气端口组件446与集尘结构4411相连接，且集尘结构4411固定于支撑板41右侧，盘体441底端圆心处与连接柱435固定连接，滑轮443底部沿环形滑槽42滑动。

请参阅图7-9，本发明的一种切割机工作盘非标设计机构，限位夹具45包括环形板451、支撑轴承452、夹具组件453、电动推杆454、第一万向节连接件455和第二万向节连接件456，环形板451内壁与支撑轴承452外壁固定连接，环形板451顶端面边沿处安装有四组夹具组件453，电动推杆454两端分别固定有第一万向节连接件455和第二万向节连接件456，第一万向节连接件455固定于环形板451底端左侧，第二万向节连接件456固定于盘体441左侧底部，支撑轴承452内壁与支撑盘444固定连接。

请参阅图10，本发明的一种切割机工作盘非标设计机构，夹具组件453包括固定板4531、限位管4532、活动杆4533、夹板4534、限位销4535和弧形槽4536，固定板4531内壁固定限位管4532，限位管4532内部贯穿有活动杆4533，活动杆4533内侧与夹板4534固定连接，活动杆4533底端外侧固定有限位销4535，限位销4535底端插入至弧形槽4536内部，且弧形槽4536开设于环形板451顶端面，固定板4531固定于支撑盘444顶端面边沿处，弧形槽4536内壁与限位销4535贴合，且四个夹具组件453的弧形槽4536由内之外呈逆时针方向倾斜，使环形板451转动带动弧形槽4536转动，且环形板451逆时针转动通过弧形槽4536推动限位销4535向内移动，进而使四个夹具组件453的夹板4534同时向内收缩，且环形板451顺时针转动带动四个夹具组件453的夹板4534同时向外扩展，夹具组件453设置有四个，四个夹具组件453以支撑盘444圆心处为圆心呈环形阵列设置，通过四个夹具组件453的夹板4534对晶圆进行支撑，使晶圆与支撑盘444呈同一圆心进行固定，以便于对晶圆的圆心进行确定，进而便于对晶圆进行切割。

请参阅图11-13，本发明的一种切割机工作盘非标设计机构，集尘结构4411包括过滤壳44111、出气接口44112、过滤板44113、集尘壳44114、收集壳44115、单向阀44116、连接软管44117、激光测距器44118、导灰壳44119、第三电机441110、转动轴441111、导灰辊441112和导灰槽441113，过滤壳44111前端设置有出气接口44112，过滤壳44111内部前侧设置有过滤板44113，过滤壳44111后端通过导管与单向阀44116相连接，单向阀44116后端与连接软管44117一端相连接，且连接软管44117另一端与第一接气端口组件446相连接，过滤壳44111内部顶端安装有激光测距器44118，过滤壳44111底部设置有导灰壳44119，导灰壳44119后端固定有第三电机441110，第三电机441110前端的输出轴与转动轴441111相连接，转动轴441111贯穿导灰辊441112，且导灰辊441112内壁与转动轴44111之间采用键连接，导灰辊441112外侧开设有导灰槽441113，导灰壳44119内壁与导灰辊441112贴合，导灰壳44119底部设置有集尘壳44114，集尘壳44114右侧与收集壳44115相互插接，集尘壳44114固定于支撑板41右侧。

实施例二；

本发明的一种切割机工作盘非标设计机构，光杆448呈竖直设置，且活动板449内壁与光杆448贴合，通过光杆448对活动板449的移动轨迹进行限制，活动板449顶端面的顶销4410设置数量以及位置与气孔445一致，且气孔445内壁与顶销4410贴合，活动板449向上移动带动顶销4410向上移动插入至气孔445内部，且顶销4410插入至气孔445内部后，顶销4410顶端面与支撑盘444顶端面呈同一平面设置，便于支撑盘444表面进行清理，电动推杆454从左至右向下倾斜，且电动推杆454由后至前向上倾斜，使电动推杆454伸缩带动环形板451转动，且电动推杆454两端跟随环形板451分别通过第一万向节连接件455和第二万向节连接件456进行转动。

本发明通过改进提供一种切割机工作盘非标设计机构，其工作原理如下；

第一，在使用前，首先将支撑台面1固定在所需的切割机工作台上，然后将X轴移动滑台2和Y轴移动滑台3的第一电机24以及第二电机、电动推杆454与切割机的控制设备电连接，且将第二接气端口组件447的进气口和出气口以及过滤壳44111的出气接口44112分别与外部气动设备相连接；

第二，在使用时，首先将需要进行切割加工的晶圆放置在活动工作盘44的支撑盘444顶端，然后控制电动推杆454延展，由于电动推杆454从左至右向下倾斜，且电动推杆454由后至前向上倾斜，使电动推杆454伸缩带动环形板451逆时针转动，且电动推杆454两端跟随环形板451分别通过第一万向节连接件455和第二万向节连接件456进行转动，环形板451通过支撑轴承452转动，由于弧形槽4536内壁与限位销4535贴合，且四个夹具组件453的弧形槽4536由内之外呈逆时针方向倾斜，使环形板451转动带动弧形槽4536转动，且环形板451逆时针转动通过弧形槽4536推动限位销4535向内移动，限位销4535通过活动杆4533推动夹板4534向内移动，使四个夹具组件453的夹板4534同时向内收缩，通过四个夹板4534同时向内移动对晶圆外侧进行支撑和限位，使晶圆与活动工作盘44呈同心放置固定，通过确定活动工作盘44的圆心位置即可确定晶圆的圆心，进而便于对晶圆进行切割加工；

第三，对晶圆的圆心确定完成后，控制外部气动设备对过滤壳44111的出气接口44112进行抽气，过滤壳44111通过单向阀44116和连接软管44117对盘体441内部空气进行抽取，使盘体441内部形成负压，使盘体441通过气孔445对晶圆进行吸附，对晶圆进行固定，且对盘体441抽取的空气经单向阀44116后进入至过滤壳44111内，通过过滤壳44111内的过滤板44113进行过滤，且通过过滤板44113过滤的粉尘下落至导灰辊441112上，通过激光测距器44118对导灰辊441112上堆积的粉尘高度进行检测，堆积粉尘高度达到额定高度后，启动第三电机441110通过输出轴带动转动轴441111转动，转动轴441111带动导灰辊441112转动，导灰辊441112转动时粉尘落入至导灰槽441113内，且通过导灰辊441112转动将导灰槽441113内的粉尘转送至底部，使粉尘下落至集尘壳44114的收集壳44115内，避免粉尘在过滤壳44111内堆积过多，影响其内部空气流通以及粉尘的过滤效果，通过将收集壳44115取出即可对内部粉尘进行清理，避免盘体441内部堆积粉尘，造成第一接气端口组件446或管路堵塞，在需要对晶圆进行取下时，通过断开对过滤壳44111的出气接口44112的抽气，停止对盘体441内部空气的抽取，进而停止对晶圆的吸附，即可将晶圆进行取下；

第四，在对晶圆进行移动时，分别控制X轴移动滑台2和Y轴移动滑台3的第一电机24，第一电机24产生动力通过输出轴带动螺杆25同心转动，螺杆25转动通过与活动块26之间的螺纹配合带动活动块26移动，X轴移动滑台2的活动块26带动Y轴移动滑台3和工作盘组件4以及顶部的晶圆横向左右移动，且Y轴移动滑台3底部前后两侧带动滑块23沿滑轨22横向滑动，通过Y轴移动滑台3带动工作盘组件4以及顶部的晶圆前后移动，分别控制控制X轴移动滑台2和Y轴移动滑台3的第一电机24对晶圆的横向移动以及前后移动位置进行调节；

第五，在需要对晶圆的位置进行一定的角度转动时，通过控制第二电机432产动力由输出轴带动蜗杆433转动，由于蜗轮434、连接柱435、盘体441、支撑盘444、环形板451和支撑轴承452圆心呈同一竖直线设置，通过蜗杆433转动带动蜗轮434转动，蜗轮434转动通过连接柱435带动活动工作盘44和限位夹具45同心转动，进而对工作盘44上固定的晶圆进行同心转动，对其角度进行调节；

第六，在需要对支撑台盘444上表面进行清洁时，通过第二接气端口组件447对盘体441内部底端进行进气，使活动板449沿光杆448向上移动，活动板449顶部的顶销4410向上移动插入至气孔445内部，顶销4410设置数量以及位置与气孔445一致，且气孔445内壁与顶销4410贴合，活动板449向上移动带动顶销4410向上移动插入至气孔445内部，且顶销4410插入至气孔445内部后，顶销4410顶端面与支撑盘444顶端面呈同一平面设置，便于支撑盘444表面进行清理，避免对支撑盘444表面清理时杂物落入至气孔445内部。

本发明通过改进提供一种切割机工作盘非标设计机构，通过在活动工作盘44外侧设置了限位夹具45，限位夹具45的环形板451顶部设置有四个夹具组件453，通过电动推杆454伸缩对环形板451的转动进行控制，且环形板451转动带动四个夹具组件453的夹板4534同时进行伸缩，通过四个夹板4534同时向内移动对晶圆外侧进行支撑和限位，使晶圆与活动工作盘44呈同心放置固定，通过确定活动工作盘44的圆心位置即可确定晶圆的圆心，进而便于对晶圆进行切割加工，通过设置了活动工作盘44，活动工作盘44顶部的支撑盘444内部设置有气孔445，通过第一接气端口组件446对盘体441内部空气抽取，使晶圆吸附于支撑盘444上，通过在盘体441内部底端设置有活动板449，且在活动板449顶端设置了顶销4410，通过第二接气端口组件447对盘体441内部底端进行进气，使活动板449向上移动，且顶销4410向上移动插入至气孔445内部，顶销4410顶端面与支撑盘444顶端面呈同一平面设置，便于支撑盘444表面进行清理，避免对支撑盘444表面清理时杂物落入至气孔445内部，且通过设置了集尘结构4411，集尘结构4411与盘体441的第一接气端口组件446相连接，外部气动控制设备通过集尘结构4411对盘体441内部的空气进行抽取，抽取的空气通过过滤壳44111内的过滤板44113进行过滤，且通过过滤板44113过滤的粉尘下落至导灰辊441112上，通过激光测距器44118对导灰辊441112上堆积的粉尘高度进行检测，堆积粉尘高度达到额定高度后，启动第三电机441110通过输出轴带动转动轴441111转动，转动轴441111带动导灰辊441112转动，导灰辊441112转动时粉尘落入至导灰槽441113内，且通过导灰辊441112转动将导灰槽441113内的粉尘转送至底部，使粉尘下落至集尘壳44114的收集壳44115内，避免粉尘在过滤壳44111内堆积过多，影响其内部空气流通以及粉尘的过滤效果，通过将收集壳44115取出即可对内部粉尘进行清理，避免盘体441内部堆积粉尘，造成第一接气端口组件446或管路堵塞。

以上显示和描述了本发明的基本原理和主要特征和本发明的优点,并且本发明使用到的标准零件均可以从市场上购买,异形件根据说明书的和附图的记载均可以进行订制,各个零件的具体连接方式均采用现有技术中成熟的螺栓铆钉、焊接等常规手段，机械、零件和设备均采用现有技术中,常规的型号,加上电路连接采用现有技术中常规的连接方式,在此不再详述。

对所公开的实施例的上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本发明。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本发明的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本发明将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。

Claims (7)

1.一种切割机工作盘非标设计机构，包括支撑台面(1)，所述支撑台面(1)顶端安装有X轴移动滑台(2)，所述X轴移动滑台(2)顶端安装有Y轴移动滑台(3)；

其特征在于：还包括工作盘组件(4)，所述工作盘组件(4)安装于Y轴移动滑台(3)顶部，所述工作盘组件(4)包括支撑板(41)、环形滑槽(42)、转动控制机构(43)、活动工作盘(44)和限位夹具(45)，所述支撑板(41)顶端面开设有环形滑槽(42)，所述支撑板(41)顶端中部安装有转动控制机构(43)，所述转动控制机构(43)顶端安装有活动工作盘(44)，所述活动工作盘(44)外壁顶部安装有限位夹具(45)，所述支撑板(41)底端与Y轴移动滑台(3)固定连接；

所述转动控制机构(43)包括外壳(431)、第二电机(432)、蜗杆(433)、蜗轮(434)和连接柱(435)，所述外壳(431)右端前侧固定有第二电机(432)，所述第二电机(432)左端的输出轴与蜗杆(433)同心连接，所述蜗杆(433)后侧与蜗轮(434)相互啮合，所述蜗轮(434)圆心处贯穿有连接柱(435)，且蜗轮(434)内壁与连接柱(435)固定连接，所述连接柱(435)底端通过轴承与外壳(431)转动连接，所述连接柱(435)顶端与活动工作盘(44)固定连接，所述外壳(431)底端与支撑板(41)固定连接；

所述活动工作盘(44)包括盘体(441)、直杆(442)、滑轮(443)、支撑盘(444)、气孔(445)、第一接气端口组件(446)、第二接气端口组件(447)、光杆(448)、活动板(449)、顶销(4410)和集尘结构(4411)，所述盘体(441)底端边沿处固定有直杆(442)，所述直杆(442)底端安装有滑轮(443)，所述盘体(441)顶端边沿处与支撑盘(444)固定连接，所述支撑盘(444)内部开设有气孔(445)，所述盘体(441)右侧中部设置有第一接气端口组件(446)，所述盘体(441)底端边沿处设置有第二接气端口组件(447)，所述盘体(441)内部嵌入有活动板(449)，且活动板(449)与盘体(441)内部贴合，所述活动板(449)内部边沿处竖直贯穿有光杆(448)，且光杆(448)上下两端分别与支撑盘(444)及盘体(441)固定连接，所述活动板(449)顶端中部固定有顶销(4410)，所述第一接气端口组件(446)与集尘结构(4411)相连接，且集尘结构(4411)固定于支撑板(41)右侧，所述盘体(441)底端圆心处与连接柱(435)固定连接，所述滑轮(443)底部沿环形滑槽(42)滑动；

所述集尘结构(4411)包括过滤壳(44111)、出气接口(44112)、过滤板(44113)、集尘壳(44114)、收集壳(44115)、单向阀(44116)、连接软管(44117)、激光测距器(44118)、导灰壳(44119)、第三电机(441110)、转动轴(441111)、导灰辊(441112)和导灰槽(441113)，所述过滤壳(44111)前端设置有出气接口(44112)，所述过滤壳(44111)内部前侧设置有过滤板(44113)，所述过滤壳(44111)后端通过导管与单向阀(44116)相连接，所述单向阀(44116)后端与连接软管(44117)一端相连接，且连接软管(44117)另一端与第一接气端口组件(446)相连接，所述过滤壳(44111)内部顶端安装有激光测距器(44118)，所述过滤壳(44111)底部设置有导灰壳(44119)，所述导灰壳(44119)后端固定有第三电机(441110)，所述第三电机(441110)前端的输出轴与转动轴(441111)相连接，所述转动轴(441111)贯穿导灰辊(441112)，且导灰辊(441112)内壁与转动轴(441111)之间采用键连接，所述导灰辊(441112)外侧开设有导灰槽(441113)，所述导灰壳(44119)内壁与导灰辊(441112)贴合，所述导灰壳(44119)底部设置有集尘壳(44114)，所述集尘壳(44114)右侧与收集壳(44115)相互插接，所述集尘壳(44114)固定于支撑板(41)右侧。

2.根据权利要求1所述一种切割机工作盘非标设计机构，其特征在于：所述X轴移动滑台(2)包括支板(21)、滑轨(22)、滑块(23)、第一电机(24)、螺杆(25)、活动块(26)和轴承及其轴座(27)，所述支板(21)顶端前后两侧均横向固定有滑轨(22)，且两个滑轨(22)顶部均套装有滑块(23)，所述滑块(23)沿滑轨(22)表面横向滑动，所述支板(21)顶端右侧中部固定有第一电机(24)，所述第一电机(24)左端的输出轴通过联轴器与螺杆(25)同心转动，所述螺杆(25)横向贯穿活动块(26)，且活动块(26)内壁与螺杆(25)螺纹连接，所述螺杆(25)左端与轴承及其轴座(27)相连接，且轴承及其轴座(27)固定于支板(21)顶端左侧中部，所述支板(21)底端与支撑台面(1)固定连接，所述滑块(23)顶端与Y轴移动滑台(3)固定连接。

3.根据权利要求1所述一种切割机工作盘非标设计机构，其特征在于：所述限位夹具(45)包括环形板(451)、支撑轴承(452)、夹具组件(453)、电动推杆(454)、第一万向节连接件(455)和第二万向节连接件(456)，所述环形板(451)内壁与支撑轴承(452)外壁固定连接，所述环形板(451)顶端面边沿处安装有四个夹具组件(453)，所述电动推杆(454)两端分别固定有第一万向节连接件(455)和第二万向节连接件(456)，所述第二万向节连接件(456)固定于环形板(451)底端左侧，所述第一万向节连接件(455)固定于盘体(441)左侧底部，所述支撑轴承(452)内壁与支撑盘(444)固定连接。

4.根据权利要求3所述一种切割机工作盘非标设计机构，其特征在于：所述夹具组件(453)设置有四个，四个夹具组件(453)以支撑盘(444)圆心处为圆心呈环形阵列设置，所述夹具组件(453)包括固定板(4531)、限位管(4532)、活动杆(4533)、夹板(4534)、限位销(4535)和弧形槽(4536)，所述固定板(4531)内壁固定限位管(4532)，所述限位管(4532)内部贯穿有活动杆(4533)，所述活动杆(4533)内侧与夹板(4534)固定连接，所述活动杆(4533)底端外侧固定有限位销(4535)，所述限位销(4535)底端插入至弧形槽(4536)内部，且弧形槽(4536)开设于环形板(451)顶端面，所述固定板(4531)固定于支撑盘(444)顶端面边沿处。

5.根据权利要求2所述一种切割机工作盘非标设计机构，其特征在于：所述X轴移动滑台(2)和Y轴移动滑台(3)结构一致，且X轴移动滑台(2)和Y轴移动滑台(3)俯视呈十字交叉，所述Y轴移动滑台(3)的支板(21)底端与X轴移动滑台(2)的滑块(23)及活动块(26)固定连接，且Y轴移动滑台(3)的滑块(23)及活动块(26)顶端均与支撑板(41)固定连接。

6.根据权利要求3所述一种切割机工作盘非标设计机构，其特征在于：所述蜗轮(434)、连接柱(435)、盘体(441)、支撑盘(444)、环形板(451)和支撑轴承(452)圆心呈同一竖直线设置。

7.根据权利要求4所述一种切割机工作盘非标设计机构，其特征在于：所述弧形槽(4536)内壁与限位销(4535)贴合，且四个夹具组件(453)的弧形槽(4536)由内之外呈逆时针方向倾斜。

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