CN115729058A - 一种用于涂胶显影设备的全自动供液系统 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种用于涂胶显影设备的全自动供液系统，包括涂胶显影设备和螺栓在涂胶显影设备前端左顶侧的控制面板，通过第一贮留罐和气泡罐以及泄放罐等部件为涂胶显影药液提供存储，缓冲和回收作用，并通过第一气动阀和控制阀门等部件为涂胶显影药液提供导流和输出等作用，然后通过过滤器和溢流阀为药液提供回收过滤利用效果，通过电路控制系统和单片机的智能化控制从而能实时监测各单元、传感器的状态，从当前停止位置判断出问题所在并快速解决问题，进而可通过下载新的程序，添加连接需求硬件，从而可满足各种工作需要，通过压力表和调节阀以及流量表的实时监测显影用药液或者气体的各种数据，从而能实时得到供液系统的运行状态数据。

Description

一种用于涂胶显影设备的全自动供液系统

技术领域

本发明涉及涂胶显影设备相关领域，具体是一种用于涂胶显影设备的全自动供液系统。

背景技术

涂胶显影设备包括涂胶机、喷胶机、显影机，是光刻工序中与光刻机配套使用的设备，是集成电路制造的核心设备。

涂胶显影设备的药液供应系统，是向设备涂胶、显影和增粘单元进行药液供给的系统，系统负责对药液的供液、加液等方面进行控制，自动供液系统基于PLC的控制模式，由PLC中的程序对系统硬件的状态进行响应，供液系统对涂胶设备涂胶、显影和增粘单元供应药液，涂胶和显影单元，由两个供液罐交替自动供液，保证药液不间断且不产生气泡，增粘单元由一个供液罐自动供液。

目前现有的涂胶显影设备自动供液系统，各电路板间线路复杂，各单元的实际状态较难从表面观察，一旦出现问题，系统只会将报警发送到机台，非专业人员较难快速有效的凭此解决各种故障问题；若需依据设备状态或新的需求更新，则需要重新设计PCB及其程序，修改所有线路，变动大，难度大。

发明内容

因此，为了解决上述不足，本发明在此提供一种用于涂胶显影设备的全自动供液系统。

本发明是这样实现的，构造一种用于涂胶显影设备的全自动供液系统，该装置包括涂胶显影设备和螺栓在涂胶显影设备前端左顶侧的控制面板：还包括安装在涂胶显影设备内部的供液组件和控制组件以及安装在涂胶显影设备前端右顶侧的监测组件，所述供液组件包括螺栓安装在涂胶显影设备内部右腔的HMDS系统以及螺栓安装在涂胶显影设备内部左腔的第一供液系统和第二供液系统，所述第一供液系统和第二供液系统分别设为COAT供液系统和DEV供液系统，且第一供液系统和第二供液系统的构成部件结构相同。

优选的，所述HMDS系统包括通过套环螺栓安装在涂胶显影设备内右腔右壁的第一贮留罐和气泡罐以及泄放罐，所述第一贮留罐底部管道安装有起到导流作用的第一气动阀，所述第一贮留罐和第一气动阀连接管道上螺栓安装有起到流量监测作用的流量计，所述第一气动阀底部管道安装有起到缓冲作用的气泡罐，所述气泡罐顶部顶部螺栓安装有起到液位检测作用的第一液位传感器和管道安装在气泡罐顶部的第二气动阀以及管道安装在气泡罐底部起到增压作用的增压泵以及螺栓安装在气泡罐左端的过滤器。

优选的，所述第二气动阀后端进气口管道安装有起到导流作用的N管，所述增压泵顶部管口螺栓安装在过滤器底部开口处，所述过滤器顶部管道安装有起到溢流作用的溢流阀，所述溢流阀后端管口通过连管焊接安装在泄放罐顶部开口处和管道安装在溢流阀左端的控制阀门，所述第一气动阀、流量计、第一液位传感器、第二气动阀、增压泵和溢流阀以及控制阀门均与控制面板电连接。

优选的，所述第一供液系统包括通过套环螺栓在涂胶显影设备内左腔的第二贮留罐和第一缓冲罐以及第二缓冲罐，所述涂胶显影设备内左腔顶部右端螺栓安装有压力表和调节阀，所述第二贮留罐底部管道安装第三气动阀，所述第三气动阀底部通过连管螺栓安装有起到换向作用的换向阀，所述换向阀前后两端通过连管分别与第一缓冲罐和第二缓冲罐顶部开口管道安装，所述第一缓冲罐和第二缓冲罐顶部均螺栓安装有第二液位传感器，所述第三气动阀、换向阀、第二液位传感器和压力表以及调节阀均与控制面板电连接。

优选的，所述控制组件包括电路控制系统和单片机，所述电路控制系统和单片机均通过螺栓固定安装在涂胶显影设备顶部内腔，所述电路控制系统包括开关电源、电磁阀和接线柱，所述电路控制系统接线板顶部分别焊锡连接有开关电源、电磁阀和接线柱。

优选的，所述监测组件由压力表和调节阀以及流量表组成，且该压力表和调节阀分别与第一贮留罐和气泡罐以及泄放罐之间的气体管路进行管道连接。

优选的，所述流量表与第一贮留罐和气泡罐以及泄放罐之间的药液管道进行管道连接，且监测组件与控制面板电连接。

优选的，所述气体管路和药液管道分别排布于涂胶显影设备内侧安装板。

优选的，所述第一供液系统和第二供液系统内部的第二贮留罐分别与控制阀门进行管道安装。

优选的，所述第一缓冲罐和第二缓冲罐用于供液给涂胶显影增粘单元所需的化学药液，所述第一贮留罐和第二贮留罐用于存储所需测试用的化学药液，所述泄放罐用于排出收集多余的药液。

本发明具有如下优点：本发明通过改进在此提供一种用于涂胶显影设备的全自动供液系统，与同类型设备相比，具有如下改进：

本发明所述一种用于涂胶显影设备的全自动供液系统，通过设置了供液组件在涂胶显影设备内部，通过第一贮留罐和气泡罐以及泄放罐等部件为涂胶显影药液提供存储，缓冲和回收作用，并通过第一气动阀和控制阀门等部件为涂胶显影药液提供导流和输出等作用，然后通过过滤器和溢流阀为药液提供回收过滤利用效果。

本发明所述一种用于涂胶显影设备的全自动供液系统，通过设置了控制组件在涂胶显影设备内部，通过电路控制系统和单片机的智能化控制从而能实时监测各单元、传感器的状态，从当前停止位置判断出问题所在并快速解决问题，进而可通过下载新的程序，添加连接需求硬件，从而可满足各种工作需要。

本发明所述一种用于涂胶显影设备的全自动供液系统，通过设置了监测组件在涂胶显影设备内部，通过压力表和调节阀以及流量表的实时监测显影用药液或者气体的各种数据，从而能实时得到供液系统的运行状态数据，进而提高自动化和智能化。

本发明所述一种用于涂胶显影设备的全自动供液系统，通过系统安装的按照电路输入接线图和电路输出接线图以及硬件接线图资料，可以快速的完成系统的安装。

附图说明

图1是本发明结构示意图；

图2是本发明的涂胶显影设备内部和供液组件立体结构示意图；

图3是本发明的图2中A处的放大结构示意图；

图4是本发明的HMDS系统立体结构示意图；

图5是本发明的第一供液系统立体结构示意图；

图6是本发明的电路输入接线图；

图7是本发明的电路输出接线图；

图8是本发明的硬件接线图。

其中：涂胶显影设备-1、控制面板-2、供液组件-3、控制组件-4、监测组件-5、HMDS系统-31、第一供液系统-32、第二供液系统-33、电路控制系统-41、单片机-42、第一贮留罐-311、第一气动阀-312、流量计-313、气泡罐-314、第一液位传感器-315、第二气动阀-316、N管-317、增压泵-318、过滤器-319、溢流阀-3110、泄放罐-3111、控制阀门-3112、第二贮留罐-321、第三气动阀-322、换向阀-323、第一缓冲罐-324、第二缓冲罐-325、第二液位传感器-326、压力表-327、调节阀-328、开关电源-411、电磁阀-412、接线柱-413。

具体实施方式

下面将结合附图1-8对本发明进行详细说明，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

请参阅图1，本发明的一种用于涂胶显影设备的全自动供液系统，包括涂胶显影设备1和螺栓在涂胶显影设备1前端左顶侧的控制面板2。

请参阅图2、图6、图7和图8，本发明的一种用于涂胶显影设备的全自动供液系统，还包括安装在涂胶显影设备1内部的供液组件3和控制组件4以及安装在涂胶显影设备1前端右顶侧的监测组件5，供液组件3包括螺栓安装在涂胶显影设备1内部右腔的HMDS系统31以及螺栓安装在涂胶显影设备1内部左腔的第一供液系统32和第二供液系统33，第一供液系统32和第二供液系统33分别设为COAT供液系统和DEV供液系统，且第一供液系统32和第二供液系统33的构成部件结构相同。

请参阅图4、图6、图7和图8，本发明的一种用于涂胶显影设备的全自动供液系统，HMDS系统31包括通过套环螺栓安装在涂胶显影设备1内右腔右壁的第一贮留罐311和气泡罐314以及泄放罐3111，第一贮留罐311底部管道安装有起到导流作用的第一气动阀312，第一贮留罐311和第一气动阀312连接管道上螺栓安装有起到流量监测作用的流量计313，第一气动阀312底部管道安装有起到缓冲作用的气泡罐314，气泡罐314顶部顶部螺栓安装有起到液位检测作用的第一液位传感器315和管道安装在气泡罐314顶部的第二气动阀316以及管道安装在气泡罐314底部起到增压作用的增压泵318以及螺栓安装在气泡罐314左端的过滤器319，第二气动阀316后端进气口管道安装有起到导流作用的N管317，增压泵318顶部管口螺栓安装在过滤器319底部开口处，过滤器319顶部管道安装有起到溢流作用的溢流阀3110，通过溢流阀3110为过滤器319导出的药液提供回收效果，溢流阀3110后端管口通过连管焊接安装在泄放罐3111顶部开口处和管道安装在溢流阀3110左端的控制阀门3112，第一气动阀312、流量计313、第一液位传感器315、第二气动阀316、增压泵318和溢流阀3110以及控制阀门3112均与控制面板2电连接，为第一气动阀312、流量计313、第一液位传感器315、第二气动阀316、增压泵318和溢流阀3110以及控制阀门3112提供电能供应。

请参阅图5、图6、图7和图8，本发明的一种用于涂胶显影设备的全自动供液系统，第一供液系统32包括通过套环螺栓在涂胶显影设备1内左腔的第二贮留罐321和第一缓冲罐324以及第二缓冲罐325，涂胶显影设备1内左腔顶部右端螺栓安装有压力表327和调节阀328，第二贮留罐321底部管道安装第三气动阀322，第三气动阀322底部通过连管螺栓安装有起到换向作用的换向阀323，换向阀323前后两端通过连管分别与第一缓冲罐324和第二缓冲罐325顶部开口管道安装，通过换向阀323切换第一缓冲罐324和第二缓冲罐325的工作状态，第一缓冲罐324和第二缓冲罐325顶部均螺栓安装有第二液位传感器326，第三气动阀322、换向阀323、第二液位传感器326和压力表327以及调节阀328均与控制面板2电连接，为第三气动阀322、换向阀323、第二液位传感器326和压力表327以及调节阀328提供电能，第一供液系统32和第二供液系统33内部的第二贮留罐321分别与控制阀门3112进行管道安装，通过控制阀门3112为第二贮留罐321提供原料供应，第一缓冲罐324和第二缓冲罐325用于供液给涂胶显影增粘单元所需的化学药液，第一贮留罐311和第二贮留罐321用于存储所需测试用的化学药液，泄放罐3111用于排出收集多余的药液，提高对化学药液的保存、输出和回收效果。

请参阅图3、图6、图7和图8，本发明的一种用于涂胶显影设备的全自动供液系统，控制组件4包括电路控制系统41和单片机42，电路控制系统41和单片机42均通过螺栓固定安装在涂胶显影设备1顶部内腔，电路控制系统41包括开关电源411、电磁阀412和接线柱413，电路控制系统41接线板顶部分别焊锡连接有开关电源411、电磁阀412和接线柱413。

请参阅图2、图6、图7和图8，本发明的一种用于涂胶显影设备的全自动供液系统，监测组件5由压力表327和调节阀328以及流量表组成，且该压力表327和调节阀328分别与第一贮留罐311和气泡罐314以及泄放罐3111之间的气体管路进行管道连接，流量表与第一贮留罐311和气泡罐314以及泄放罐3111之间的药液管道进行管道连接，且监测组件5与控制面板2电连接，气体管路和药液管道分别排布于涂胶显影设备1内侧安装板。

本发明通过改进提供一种用于涂胶显影设备的全自动供液系统，其工作原理如下；

第一，使用本设备时，首先将本设备放置在工作区域中，然后将装置与外部电源相连接，即可为本设备提供工作所需的电源；

第二，首先，当涂胶显影设备1在清洗时，通过单片机42控制电磁阀412进行工作，从而使其启动第一气动阀312，此时第一气动阀312工作将第一贮留罐311内部药液送入气泡罐314内部，此时通过流量计313为其提供流量监测功能，从而通过气泡罐314为该药液提供输出的缓冲动作，同时通过控制第二气动阀316进行工作，从而使第二气动阀316带动N管317内部N进入气泡罐314与药液进行冒泡；

第三，然后通过增压泵318将该药液通过过滤器319和溢流阀3110导入控制阀门3112，此时过滤器319过滤去除清洁液中的杂质和气泡，保证了清洁液的高质量，也达到涂胶显影设备对药液的洁净要求，并通过控制阀门3112为第一供液系统32和第二供液系统33提供药液，然后该药液通过第二贮留罐321和第三气动阀322的导流动作下进入第一缓冲罐324内部，从而使药液能被导入涂胶显影设备1，监测组件5中的调整流量表和调节阀328以达到设备使用所需流量；

第四，同时可通过换向阀323切换第一缓冲罐324和第二缓冲罐325的工作状态，从而避免在供液时因液位或者压力问题切换罐体而导致供液功率下降，切换延迟低，药液流量和状态稳定，此时电路控制系统41实时监测第一贮留罐311和气泡罐314等部件液位状态，随时响应，并通过控制面板2和控制组件4与涂胶显影设备1的通讯进行讯息传输。

本发明通过改进提供一种用于涂胶显影设备的全自动供液系统，通过第一贮留罐311和气泡罐314以及泄放罐3111等部件为涂胶显影药液提供存储，缓冲和回收作用，并通过第一气动阀312和控制阀门3112等部件为涂胶显影药液提供导流和输出等作用，然后通过过滤器319和溢流阀3110为药液提供回收过滤利用效果，通过电路控制系统41和单片机42的智能化控制从而能实时监测各单元、传感器的状态，从当前停止位置判断出问题所在并快速解决问题，进而可通过下载新的程序，添加连接需求硬件，从而可满足各种工作需要，通过压力表327和调节阀328以及流量表的实时监测显影用药液或者气体的各种数据，从而能实时得到供液系统的运行状态数据，进而提高自动化和智能化，通过系统安装的按照电路输入接线图和电路输出接线图以及硬件接线图资料，可以快速的完成系统的安装。

以上显示和描述了本发明的基本原理和主要特征和本发明的优点，并且本发明使用到的标准零件均可以从市场上购买，异形件根据说明书的和附图的记载均可以进行订制，各个零件的具体连接方式均采用现有技术中成熟的螺栓铆钉、焊接等常规手段，机械、零件和设备均采用现有技术中，常规的型号，加上电路连接采用现有技术中常规的连接方式，在此不再详述。

对所公开的实施例的上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本发明。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本发明的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本发明将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。

Claims (10)

1.一种用于涂胶显影设备的全自动供液系统，包括涂胶显影设备(1)和螺栓在涂胶显影设备(1)前端左顶侧的控制面板(2)；

其特征在于：还包括安装在涂胶显影设备(1)内部的供液组件(3)和控制组件(4)以及安装在涂胶显影设备(1)前端右顶侧的监测组件(5)，所述供液组件(3)包括螺栓安装在涂胶显影设备(1)内部右腔的HMDS系统(31)以及螺栓安装在涂胶显影设备(1)内部左腔的第一供液系统(32)和第二供液系统(33)，所述第一供液系统(32)和第二供液系统(33)分别设为COAT供液系统和DEV供液系统，且第一供液系统(32)和第二供液系统(33)的构成部件结构相同。

2.根据权利要求1所述一种用于涂胶显影设备的全自动供液系统，其特征在于：所述HMDS系统(31)包括通过套环螺栓安装在涂胶显影设备(1)内右腔右壁的第一贮留罐(311)和气泡罐(314)以及泄放罐(3111)，所述第一贮留罐(311)底部管道安装有起到导流作用的第一气动阀(312)；

所述第一贮留罐(311)和第一气动阀(312)连接管道上螺栓安装有起到流量监测作用的流量计(313)，所述第一气动阀(312)底部管道安装有起到缓冲作用的气泡罐(314)，所述气泡罐(314)顶部顶部螺栓安装有起到液位检测作用的第一液位传感器(315)和管道安装在气泡罐(314)顶部的第二气动阀(316)以及管道安装在气泡罐(314)底部起到增压作用的增压泵(318)以及螺栓安装在气泡罐(314)左端的过滤器(319)。

3.根据权利要求2所述一种用于涂胶显影设备的全自动供液系统，其特征在于：所述第二气动阀(316)后端进气口管道安装有起到导流作用的N管(317)，所述增压泵(318)顶部管口螺栓安装在过滤器(319)底部开口处，所述过滤器(319)顶部管道安装有起到溢流作用的溢流阀(3110)，所述溢流阀(3110)后端管口通过连管焊接安装在泄放罐(3111)顶部开口处和管道安装在溢流阀(3110)左端的控制阀门(3112)，所述第一气动阀(312)、流量计(313)、第一液位传感器(315)、第二气动阀(316)、增压泵(318)和溢流阀(3110)以及控制阀门(3112)均与控制面板(2)电连接。

4.根据权利要求1所述一种用于涂胶显影设备的全自动供液系统，其特征在于：所述第一供液系统(32)包括通过套环螺栓在涂胶显影设备(1)内左腔的第二贮留罐(321)和第一缓冲罐(324)以及第二缓冲罐(325)，所述涂胶显影设备(1)内左腔顶部右端螺栓安装有压力表(327)和调节阀(328)，所述第二贮留罐(321)底部管道安装第三气动阀(322)，所述第三气动阀(322)底部通过连管螺栓安装有起到换向作用的换向阀(323)，所述换向阀(323)前后两端通过连管分别与第一缓冲罐(324)和第二缓冲罐(325)顶部开口管道安装，所述第一缓冲罐(324)和第二缓冲罐(325)顶部均螺栓安装有第二液位传感器(326)，所述第三气动阀(322)、换向阀(323)、第二液位传感器(326)和压力表(327)以及调节阀(328)均与控制面板(2)电连接。

5.根据权利要求1所述一种用于涂胶显影设备的全自动供液系统，其特征在于：所述控制组件(4)包括电路控制系统(41)和单片机(42)，所述电路控制系统(41)和单片机(42)均通过螺栓固定安装在涂胶显影设备(1)顶部内腔，所述电路控制系统(41)包括开关电源(411)、电磁阀(412)和接线柱(413)，所述电路控制系统(41)接线板顶部分别焊锡连接有开关电源(411)、电磁阀(412)和接线柱(413)。

6.根据权利要求1所述一种用于涂胶显影设备的全自动供液系统，其特征在于：所述监测组件(5)由压力表(327)和调节阀(328)以及流量表组成，且该压力表(327)和调节阀(328)分别与第一贮留罐(311)和气泡罐(314)以及泄放罐(3111)之间的气体管路进行管道连接。

7.根据权利要求6所述一种用于涂胶显影设备的全自动供液系统，其特征在于：所述流量表与第一贮留罐(311)和气泡罐(314)以及泄放罐(3111)之间的药液管道进行管道连接，且监测组件(5)与控制面板(2)电连接。

8.根据权利要求6和7所述一种用于涂胶显影设备的全自动供液系统，其特征在于：所述气体管路和药液管道分别排布于涂胶显影设备(1)内侧安装板。

9.根据权利要求1所述一种用于涂胶显影设备的全自动供液系统，其特征在于：所述第一供液系统(32)和第二供液系统(33)内部的第二贮留罐(321)分别与控制阀门(3112)进行管道安装。

10.根据权利要求1～4所述一种用于涂胶显影设备的全自动供液系统，其特征在于：所述第一缓冲罐(324)和第二缓冲罐(325)用于供液给涂胶显影增粘单元所需的化学药液，所述第一贮留罐(311)和第二贮留罐(321)用于存储所需测试用的化学药液，所述泄放罐(3111)用于排出收集多余的药液。

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