CN217443732U - 一种光刻胶补给装置 - Google Patents
一种光刻胶补给装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN217443732U CN217443732U CN202221480903.0U CN202221480903U CN217443732U CN 217443732 U CN217443732 U CN 217443732U CN 202221480903 U CN202221480903 U CN 202221480903U CN 217443732 U CN217443732 U CN 217443732U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- photoresist
- backflow
- valve
- port
- outlet
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 title claims abstract description 127
- 238000003860 storage Methods 0.000 claims abstract description 55
- 238000004891 communication Methods 0.000 claims description 18
- 238000005507 spraying Methods 0.000 claims description 15
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 13
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 10
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims description 8
- 239000006260 foam Substances 0.000 claims description 4
- 210000001503 joint Anatomy 0.000 claims description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 4
- 238000001259 photo etching Methods 0.000 abstract description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 8
- 238000000034 method Methods 0.000 description 8
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 6
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 5
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 3
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 3
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 2
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000001125 extrusion Methods 0.000 description 1
- 239000003292 glue Substances 0.000 description 1
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000011084 recovery Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Coating Apparatus (AREA)
Abstract
本申请涉及一种光刻胶补给装置，该装置涉及光刻制造设备领域。该光刻胶补给装置包括：回流通路；储存罐，包括光刻胶入口、光刻胶出口和第一回流口，所述光刻胶入口用于与光刻胶容器连通；容置腔，至少包括第一排泡出口、第二回流口和第三回流口，所述第二回流口与所述第一回流口连通；以及，驱动组件，其一端通过所述回流通路与所述第三回流口连通，所述驱动组件另一端与所述光刻胶出口连通，以带动所述光刻胶出口流出的光刻胶沿所述回流通路流入所述容置腔并通过所述第一排泡出口排出光刻胶中的气泡。本申请可有效解决浪费光刻胶的问题。
Description
技术领域
本申请涉及光刻制造设备领域，尤其涉及一种光刻胶补给装置。
背景技术
光刻工艺时目前半导体制造工艺中的重要技术之一，通过光刻就能够实现掩膜图形向实际器件图形的转移，因此光刻的质量直接左右着最终形成的器件的质量。
在进行喷涂之前通常需要排除光刻胶中的气泡以保障喷涂质量，现有的喷涂装置中，经过储存罐的光刻胶假如还有气泡，则只有通过过滤器或喷涂口将有气泡的光刻胶一并排掉，从而达到去除气泡的效果。但这种方式会浪费掉大量的光刻胶才能完成排净气泡，也就是说，现有的装置在排泡时非常浪费光刻胶。
因此，如何保证喷涂效果的前提下减少光刻胶的浪费成为当前亟需解决的问题。
实用新型内容
鉴于上述现有技术的不足，本申请的目的在于提供一种光刻胶补给装置，旨在解决现有方法排泡过程中会造成大量光刻胶浪费，极大影响生产成本的问题。
本申请提供一种光刻胶补给装置，包括：
回流通路；
储存罐，包括光刻胶入口、光刻胶出口和第一回流口，所述光刻胶入口用于与光刻胶容器连通；
容置腔，至少包括第一排泡出口、第二回流口和第三回流口，所述第二回流口与所述第一回流口连通；以及，
驱动组件，其一端通过所述回流通路与所述第三回流口连通，所述驱动组件另一端与所述光刻胶出口连通，以带动所述光刻胶出口流出的光刻胶沿所述回流通路流入所述容置腔并通过所述第一排泡出口排出光刻胶中的气泡。
在本申请一实施例中，所述装置还包括：
第一通断阀，设置于所述回流通路与所述驱动组件之间，以控制所述驱动组件连通所述回流通路或喷涂口。
在本申请一实施例中，所述容置腔包括：
第一腔体，对接所述第一排泡出口，所述第一腔体上还设置有第一排泡入口，所述第一排泡入口与所述储存罐连通，以使所述储存罐中的气体或光刻胶由所述第一排泡入口进入所述第一腔体；
第二腔体，与所述第一腔体连通，所述第二腔体对接所述第二回流口和所述第三回流口。
在本申请一实施例中，所述容置腔还包括：
第二排泡出口，设置于所述第二腔体上，且位置高于所述第二回流口和所述第三回流口。
在本申请一实施例中，所述装置还包括：
第二通断阀，设置于靠近所述第一排泡入口位置，以控制所述第一排泡入口的开启或关闭状态；
第三通断阀，设置于靠近所述第一排泡出口位置，以控制所述第一排泡出口的开启或关闭状态。
在本申请一实施例中，所述容置腔还包括：
第四通断阀，设置于所述第一腔体和所述第二腔体的连通通路上；
第五通断阀，设置于靠近所述第二排泡出口位置，以控制所述第二排泡出口的开启或关闭状态。
在本申请一实施例中，所述装置还包括：
第六通断阀，设置于所述第一回流口和所述第二回流口的连通通路上。
在本申请一实施例中，所述装置还包括：
气泡侦测单元，设置于所述驱动组件远离所述光刻胶出口的一侧。
在本申请一实施例中，所述第一通断阀包括三通阀。
在本申请一实施例中，所述装置还包括：液位侦测单元，设置于所述容置腔内。
上述光刻胶补给装置，通过驱动组件将储存罐中光刻胶出口的光刻胶和气泡沿回流通路流入容置腔进行排泡，不需要经过喷涂口进行排泡，排泡后的光刻胶可通过第一回流口回流到储存罐中，减少排泡时光刻胶的浪费，实现自循环排泡；在补给储存罐中光刻胶时，可将储存罐中气体从容置腔的第一排泡出口排出以配合完成补给过程，实现补给和排泡一体化作业。
附图说明
为了更清楚地说明本申请实施例的技术方案，下面将对实施例描述所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本申请一实施例中光刻胶补给装置的结构示意图；
图2为本申请一实施例中光刻胶补给装置连接喷涂口的结构示意图；
图3为本申请一实施例中设置有气泡侦测单元的光刻胶补给装置的结构示意图；
图4为本申请一实施例中储存罐设置有第三排泡出口的光刻胶补给装置的结构示意图；
图5为本申请一实施例中设置有第一腔体和第二腔体的光刻胶补给装置的结构示意图；
图6为本申请一实施例中设置有第二排泡出口的光刻胶补给装置的结构示意图；
图7为本申请一实施例中设置有通断阀的光刻胶补给装置的结构示意图；
图8为本申请一实施例中设置有液位侦测单元的光刻胶补给装置的结构示意图。
附图标记说明：
01-光刻胶入口，02-储存罐，03光刻胶出口，04-第一回流口，05-容置腔，051-第一腔体，052-第二腔体，06-第一排泡出口，07-第三回流口，08-第二回流口，09-回流通路，10-驱动组件，11-第一通断阀，12-喷涂口，13-气泡侦测单元，14-第三排泡出口，15-第一排泡入口，16-第二排泡出口，17-第二通断阀，18-第三通断阀，19-第四通断阀，20-第五通断阀，21-第六通断阀，22-液位侦测单元。
具体实施方式
为了便于理解本申请，下面将参照相关附图对本申请进行更全面的描述。附图中给出了本申请的较佳实施方式。但是，本申请可以以许多不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施方式。相反地，提供这些实施方式的目的是使对本申请的公开内容理解的更加透彻全面。
除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本申请的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本申请的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施方式的目的，不是旨在于限制本申请。
在本申请的描述中，需要理解的是，术语中“中心”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或组件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
请参阅图1，本申请提供一种光刻胶补给装置，该装置至少包括回流通路、储存罐02、容置腔05和驱动组件10。储存罐02可包括光刻胶入口01、光刻胶出口03和第一回流口04。光刻胶可通过光刻胶入口01进入储存罐02以填充储存罐02中的储存空间。需要进行喷涂作业时，可将光刻胶从储存罐02的光刻胶出口03排出。容置腔05可包括第一排泡出口06、第二回流口08和第三回流口07，第二回流口08和储存罐02的第一回流口04连通。在光刻胶由储存罐02的光刻胶入口01流入储存罐02过程中，储存罐02中的空气也可由第一回流口04进入容置腔05，由容置腔05中的第一排泡出口06排出。
请参阅图1，在本申请一实施例中，储存罐02的光刻胶入口01可与光刻胶瓶连通，在氮气的挤压作用下，将光刻胶瓶中的光刻胶压入储存罐02中。在光刻胶入口01的挤压力作用下，储存罐02中的气体由第一回流口04和第二回流口08的连通通路进入容置腔05中，并从容置腔05的第一排泡出口06排出。当光刻胶填满储存罐02时，多余的光刻胶会沿第一回流口04和第二回流口08的连通通路进入容置腔05中，随着储存罐02中光刻胶的持续消耗，容置腔05中的光刻胶可沿第一回流口04和第二回流口08的连通通路回流到储存罐02中。
请参阅图1，在本申请一实施例中，回流通路09的一端与容置腔05的第三回流口07连通，另一端与驱动组件10连通。在使用光刻胶喷涂前，需要通过驱动组件10排出储存罐02的光刻胶出口03位置的气泡。可启动驱动组件10，在驱动组件10的作用下，将储存罐02的光刻胶出口03处的光刻胶和气泡一起送入回流通路09，并沿回流通路09进入容置腔05，通过容置腔05的第一排泡出口06将流入容置腔05中的气泡排出。排出气泡后，光刻胶可沿第一回流口04和第二回流口08的连通通路回流到储存罐02以完成光刻胶回收，减少光刻胶浪费。此过程中，储存罐02中的光刻胶和气泡在驱动组件10的作用下，由回流通路09持续压入到容置腔05中，通过容置腔05的第一排泡出口06完成排泡。在一实施例中，驱动组件10可包括泵机，在泵机的压力下，光刻胶会沿回流通路09压入容置腔05中，泵机的压力将会从容置腔05的第一排泡出口06释放，直到气泡排出完成。
请参阅图2，在本申请一实施例中，可在驱动组件10和回流通路09之间设置第一通断阀11。通过切换第一通断阀11，使得驱动组件10与回流通路09连通或者驱动组件10与喷涂口12连通。具体地，在进行喷涂作业前，可切换第一通断阀11使得驱动组件10和回流通路09连通，驱动组件10将储存罐02的光刻胶出口03处的光刻胶和气泡通过回流通路09排入容置腔05进行排泡。排泡完成后，再次切换第一通断阀11，使得驱动组件10与喷涂口12连通，在驱动组件10的作用下，使得储存罐02中的光刻胶流向喷涂口12以完成后续的喷涂作业。在一实施例中，第一通断阀11也可采用三通阀或其他任何可实现选择性导通两条通路的器件，这里不作限制。
请参阅图3，在本申请一实施例中，可在驱动组件10远离储存罐02的光刻胶出口03的一侧设置气泡侦测单元13，用于侦测流出驱动组件10的光刻胶中是否包含气泡。若侦测到流出驱动组件10的光刻胶中包含气泡，则需要进行排泡，切换第一通断阀11，使得驱动组件10与回流通路09连通以完成排泡动作，直到气泡侦测单元13无法侦测到光刻胶中的气泡信号，再切换第一通断阀11，使得驱动组件10与喷涂口12连通，执行喷涂作业。在一实施例中，气泡侦测单元13可包括超声波气泡传感器等侦测器件。
请参阅图4，储存罐02还可设置一第三排泡出口14，容置腔05上还可设置第一排泡入口15，第一排泡入口15与第三排泡出口14连通。在执行储存罐02中光刻胶补给时，储存罐02中的气体也可通过第一排泡入口15与第三排泡出口14的连通通路排入容置腔05中，由容置腔05中的第一排泡出口06将气体排出。当容置腔05中的光刻胶液位较高时，驱动组件10在将容置腔05中的光刻胶由第一回流口04和第二回流口08的连通通路压回储存罐02的过程中，会在储存罐02中形成压力。当容置腔05的第一排泡出口06保持开通状态时，储存罐02中的压力可通过第一排泡入口15和第三排泡出口14形成的连通通路进行释放。
请参阅图5，容置腔05可包括第一腔体051和第二腔体052，第一腔体051和第二腔体052连通，第一腔体051上设置有第一排泡出口06和第一排泡入口15。第二腔体052上设置有第二回流口08和第三回流口07。在对储存罐02中的光刻胶进行补给时，储存罐02中的气体将由第一排泡入口15进入第一腔体051，再由第一腔体051上的第一排泡出口06排出；也可由第二回流口08进入第二腔体052，再由第一腔体051和第二腔体052的连通通路进入第一腔体051，进而由第一腔体051的第一排泡出口06排出气体，配合储存罐02的光刻胶入口01的挤压力作用完成光刻胶补给。在对储存罐02的光刻胶出口03流出的光刻胶进行排泡时，驱动组件10在将容置腔05中光刻胶由第一回流口04和第二回流口08的连通通路压回储存罐02的过程中，储存罐02内部压力会通过第一腔体051上的第一排泡出口06进行释放。
请参阅图6，在本申请一实施例中，在第二腔体052上还可设置第二排泡出口16。进入第二腔体052的气泡可通过第二排泡出口16排出。第二排泡出口16可设置于第二腔体052的顶部或靠近顶部对应位置，只要保证第二排泡出口16的位置高于第二回流口08和第三回流口07即可，具体设置位置这里不作限制。
请参阅图7，在本申请一实施例中，可在容置腔05对应位置设置第一通断阀11、第二通断阀17、第三通断阀18、第四通断阀19、第五通断阀20和第六通断阀21。具体地，可在靠近第一排泡入口15位置设置第二通断阀17，通过第二通断阀17控制第一排泡入口15的开启或关闭状态，第一排泡入口15处于关闭状态时，不允许储存罐02中的光刻胶通过第一排泡入口15。同样地，也可在第一排泡出口06对应位置设置第三通断阀18，通过第三通断阀18控制第一排泡出口06的开启或关闭状态。在第一腔体051和第二腔体052的连通通路上还可设置第四通断阀19，通过第四通断阀19控制第一腔体051和第二腔体052之间连通通路的开闭状态。在第二排泡出口16对应位置设置第五通断阀20，通过第五通断阀20控制第二排泡出口16的开闭状态。在第一回流口04和第二回流口08的连通通路上设置第六通断阀21，通过第六通断阀21控制第一回流口04和第二回流口08的连通通路的开闭状态。其中，第一通断阀11、第二通断阀17、第三通断阀18、第四通断阀19、第五通断阀20和第六通断阀21可采用同种开关阀门或者不同种类的开关阀门，开关阀门的型号规格可根据应用需求进行选择，这里不作限制。在进行光刻胶补给时，第二通断阀17、第四通断阀19和第五通断阀20打开，其余通断阀关闭，此时储存罐02的中的气泡和光刻胶可通过第一排泡入口15进入第一腔体051，而后第一腔体051中的光刻胶及气泡可通过第一腔体051与第二腔体052之间的连通通路流入第二腔体052，绝大部分气泡会通过第二腔体052上的第二排泡出口16排出，储存罐02中的光刻胶补给完成后，关闭第二通断阀17、第四通断阀19和第五通断阀20。
请参阅图8，在本申请一实施例中，可在容置腔05的第二腔体052内设置液位侦测单元22，通过液位侦测单元22侦测第二腔体052内的光刻胶液位高度，根据侦测的液位高度控制对应的通断阀的开启或关闭。示例性地，当气泡侦测单元13侦测到储存罐02的光刻胶出口03流出的光刻胶有气泡或者需要将第二腔体052中的光刻胶导回到储存罐02中时，将第一通断阀11调节至驱动组件10与回流通路09连通。此时，若液位侦测单元22侦测到第二腔体052内的液位处于预设的低位时，第四通断阀19打开，第一腔体051中的光刻胶持续流入第二腔体052中，直到液位侦测单元22侦测到液位达到预设高位时，关闭第四通断阀19，打开第二通断阀17、第三通断阀18和第六通断阀21，光刻胶由于驱动组件10的压力会从第二腔体052压回储存罐02，储存罐02内部压力会从第一排泡出口06释放，直到气泡排出完成，关闭所有通断阀。
综上所述，本申请提出一种光刻胶补给装置，通过回流通路将储存罐的光刻胶出口流出的气泡和光刻胶导入容置腔进行排泡，完成排泡后可将光刻胶导回到储存罐中，极大地减少了排泡时光刻胶的浪费；在驱动组件出口端有气泡时，可侦测气泡自动进行排泡，不需要将光刻胶从喷涂口排出，实现自动循环排泡，提高装置的自动化水平。
应当理解的是，本申请的应用不限于上述的举例，对本领域普通技术人员来说，可以根据上述说明加以改进或变换，所有这些改进和变换都应属于本申请所附权利要求的保护范围。
Claims (10)
1.一种光刻胶补给装置，其特征在于，包括：
回流通路；
储存罐，包括光刻胶入口、光刻胶出口和第一回流口，所述光刻胶入口用于与光刻胶容器连通；
容置腔，至少包括第一排泡出口、第二回流口和第三回流口，所述第二回流口与所述第一回流口连通；以及，
驱动组件，其一端通过所述回流通路与所述第三回流口连通，所述驱动组件另一端与所述光刻胶出口连通，以带动所述光刻胶出口流出的光刻胶沿所述回流通路流入所述容置腔并通过所述第一排泡出口排出光刻胶中的气泡。
2.根据权利要求1所述的光刻胶补给装置，其特征在于，所述装置还包括：
第一通断阀，设置于所述回流通路与所述驱动组件之间，以控制所述驱动组件连通所述回流通路或喷涂口。
3.根据权利要求1所述的光刻胶补给装置，其特征在于，所述容置腔包括：
第一腔体，对接所述第一排泡出口，所述第一腔体上还设置有第一排泡入口，所述第一排泡入口与所述储存罐连通，以使所述储存罐中的气体或光刻胶由所述第一排泡入口进入所述第一腔体；
第二腔体，与所述第一腔体连通，所述第二腔体对接所述第二回流口和所述第三回流口。
4.根据权利要求3所述的光刻胶补给装置，其特征在于，所述容置腔还包括：
第二排泡出口，设置于所述第二腔体上，且位置高于所述第二回流口和所述第三回流口。
5.根据权利要求3所述的光刻胶补给装置，其特征在于，所述装置还包括：
第二通断阀，设置于靠近所述第一排泡入口位置，以控制所述第一排泡入口的开启或关闭状态；
第三通断阀，设置于靠近所述第一排泡出口位置，以控制所述第一排泡出口的开启或关闭状态。
6.根据权利要求4所述的光刻胶补给装置，其特征在于，所述容置腔还包括：
第四通断阀，设置于所述第一腔体和所述第二腔体的连通通路上；
第五通断阀，设置于靠近所述第二排泡出口位置，以控制所述第二排泡出口的开启或关闭状态。
7.根据权利要求1所述的光刻胶补给装置，其特征在于，所述装置还包括：
第六通断阀，设置于所述第一回流口和所述第二回流口的连通通路上。
8.根据权利要求1所述的光刻胶补给装置，其特征在于，所述装置还包括：
气泡侦测单元，设置于所述驱动组件远离所述光刻胶出口的一侧。
9.根据权利要求2所述的光刻胶补给装置，其特征在于，所述第一通断阀包括三通阀。
10.根据权利要求1所述的光刻胶补给装置，其特征在于，所述装置还包括：
液位侦测单元，设置于所述容置腔内。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202221480903.0U CN217443732U (zh) | 2022-06-10 | 2022-06-10 | 一种光刻胶补给装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202221480903.0U CN217443732U (zh) | 2022-06-10 | 2022-06-10 | 一种光刻胶补给装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN217443732U true CN217443732U (zh) | 2022-09-16 |
Family
ID=83222920
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202221480903.0U Active CN217443732U (zh) | 2022-06-10 | 2022-06-10 | 一种光刻胶补给装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN217443732U (zh) |
-
2022
- 2022-06-10 CN CN202221480903.0U patent/CN217443732U/zh active Active
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN100548681C (zh) | 液体喷射装置和液体处理方法 | |
| CN101190405B (zh) | 清洗剂自动稀释装置及方法 | |
| US11401952B2 (en) | Waste liquid treatment apparatus, method and sample analyzer | |
| CN217443732U (zh) | 一种光刻胶补给装置 | |
| CN102053631B (zh) | 消防泡沫混合比例控制方法、系统及具有该系统的消防车 | |
| KR20040031128A (ko) | 반도체 코팅설비의 포토레지스트 퍼지 제어장치 | |
| JPH11280579A (ja) | 弁装置及びそれを用いた燃料タンク | |
| CN107420582B (zh) | 一种无电吹气清除残酒的阀装置及分酒机 | |
| KR100244477B1 (ko) | 반도체 웨이퍼코터의 세정액 자동공급장치 및 그방법 | |
| CN219739264U (zh) | 电池注液系统及电池制造设备 | |
| CN214717963U (zh) | 一种供胶系统 | |
| CN217239411U (zh) | 一种光刻胶自动换胶系统 | |
| TWI390597B (zh) | Photoresist supply device | |
| CN111085194A (zh) | 一种核电厂非能动球状消氢催化剂的再生工艺 | |
| CN215270208U (zh) | 供液机构、药箱装置、机架装置以及移动平台 | |
| JPH11121422A (ja) | 薬液供給装置 | |
| CN221605362U (zh) | 一种润版液出料流量控制装置 | |
| CN220851762U (zh) | 一种充注氧气系统及充换氧柜 | |
| CN111118588B (zh) | 可循环对液冷板内部镀镍的系统 | |
| CN217402298U (zh) | 一种用于不间断供气的转接器 | |
| KR100498863B1 (ko) | 포장체 인쇄 장치의 잉크 자동 공급장치 | |
| CN111451061B (zh) | 双缓冲型光阻液喷涂系统 | |
| CN221797469U (zh) | 一种基因测序仪的气液流路系统 | |
| CN213942335U (zh) | 用于化学品过滤器更换的自动排泡系统 | |
| JPH09118397A (ja) | 生ビール注出機 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| CP03 | Change of name, title or address |
Address after: 402760 No.69, Wushan Road, Biquan street, Bishan District, Chongqing Patentee after: Chongqing Kangjia Optoelectronic Technology Co.,Ltd. Country or region after: China Address before: 402760 No.69, Wushan Road, Biquan street, Bishan District, Chongqing Patentee before: Chongqing Kangjia Photoelectric Technology Research Institute Co.,Ltd. Country or region before: China |
|
| CP03 | Change of name, title or address |