CN213122595U - 一种涂胶显影机化学液供料系统 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种涂胶显影机化学液供料系统，包括：第一缓冲罐、第二缓冲罐、原料输出泵、原料储存罐；所述第一缓冲罐通过第一管道连接所述原料输出泵；所述第一管道上设置有第一阀门，用于控制所述第一管道的通闭；所述第二缓冲罐通过第二管道连接所述原料输出泵；所述第二管道上设置有第二阀门，用于控制所述第二管道的通闭；所述原料储存罐通过第三管道连接所述第一缓冲罐；所述第三管道上设置有第三阀门，用于控制所述第三管道的通闭；所述原料储存罐通过第四管道连接所述第二缓冲罐；所述第四管道上设置有第四阀门，用于控制所述第四管道的通闭。本实用新型的技术效果是：运行过程维护方便，供料过程中不中断。

Description

一种涂胶显影机化学液供料系统

技术领域

本实用新型涉及涂胶显影设备，特别涉及一种涂胶显影机化学液供料系统。

背景技术

涂胶显影设备是芯片制程中必不可少的处理设备，利用机械手实现晶圆在各系统间的传输和加工，与光刻机达成完美配合从而完成晶圆的光刻胶涂覆、固化、显影等工艺过程。作为光刻机的输入即曝光前光刻胶涂覆和输出即曝光后图形的显影，涂胶显影机的性能不仅对细微曝光处的形成造成直接影响，而且其显影工艺的图形质量和误差控制对后续蚀刻、离子注入工艺中的图形转移结果也有着深刻的影响。

而在涂胶显影设备运行的过程中，涂胶显影设备需要大量的原料进行不间断供应，需要工作人员不停地换料，从而导致设备运行维护麻烦，成本过高，同时，容易因为换料不及时而导致供料不连续，从而导致生产线生产中断。

实用新型内容

为提高在涂胶显影机工作过程中，涂胶作业的连续性，避免因供料问题而导致涂胶作业中断，本实用新型提供一种涂胶显影机化学液供料系统，包括：第一缓冲罐、第二缓冲罐、原料输出泵、原料储存罐；所述第一缓冲罐通过第一管道连接所述原料输出泵；所述第一管道上设置有第一阀门，用于控制所述第一管道的通闭；所述第二缓冲罐通过第二管道连接所述原料输出泵；所述第二管道上设置有第二阀门，用于控制所述第二管道的通闭；所述原料储存罐通过第三管道连接所述第一缓冲罐；所述第三管道上设置有第三阀门，用于控制所述第三管道的通闭；所述原料储存罐通过第四管道连接所述第二缓冲罐；所述第四管道上设置有第四阀门，用于控制所述第四管道的通闭；在第一状态下，所述第一阀门打开，所述第二阀门关闭，所述第三阀门关闭，所述第四阀门关闭；所述第一缓冲罐内设置有第一液位测量器；所述第二缓冲罐内设置有第二液位测量器；当所述第一液位测量器检测到所述第一缓冲罐处于低液位状态且所述第二液位测量器检测到所述第二缓冲罐不处于低液位状态时，进入第二状态；在所述第二状态下，所述第一阀门关闭，所述第二阀门打开，所述第三阀门打开，所述第四阀门关闭；在所述第二状态下，当所述第一液位测量器检测到所述第一缓冲罐处于高液位状态且所述第二液位测量器检测到所述第二缓冲罐不处于低液位状态时，进入第三状态，在所述第三状态下，所述第一阀门关闭，所述第二阀门打开，所述第三阀门关闭，所述第四阀门关闭；当所述第二液位测量器检测到所述第二缓冲罐处于低液位状态且所述第一液位测量器检测到所述第一缓冲罐不处于低液位状态时，进入第四状态；在所述第四状态下，所述第一阀门打开，所述第二阀门关闭，所述第三阀门关闭，所述第四阀门打开；在所述第四状态下，当所述第二液位测量器检测到所述第二缓冲罐处于高液位状态且所述第一液位测量器检测到所述第一缓冲罐不处于低液位状态时，进入第一状态。

在本技术方案中，通过根据第一缓冲罐和第二缓冲罐内的液位判断，控制相应的阀门的闭合与打开，从而实现了运行过程中的方便维护，任一一个缓冲罐处于低液位状态，便切换到另外一个缓冲罐进行供料，从而实现在供料过程中供料的不中断。

优选地，还包括排出瓶；所述第一缓冲罐通过第五管道连接所述排出瓶；所述第五管道上设置有第五阀门，用于控制所述第五管道的通闭；所述第二缓冲罐通过第六管道连接所述排出瓶；所述第六管道上设置有第六阀门，用于控制所述第六管道的通闭；在所述第一状态下，所述第五阀门打开，所述第六阀门打开；在所述第三状态下，所述第五阀门打开，所述第六阀门打开；在所述第二状态下，所述第五阀门关闭，所述第六阀门打开；在所述第四状态下，所述第五阀门打开，所述第六阀门关闭。

优选地，所述第一缓冲罐还通过第三副管道与所述原料储存罐连接；所述第三副管道上设置有第七阀门，用于控制所述第三副管道的通闭；所述第二缓冲罐还通过第四副管道与所述原料储存罐连接。所述第四副管道上设置有第八阀门，用于控制所述第八阀门的通闭；在所述第一状态下，所述第七阀门关闭；所述第八阀门关闭；在所述第三状态下，所述第七阀门关闭；所述第八阀门关闭；在所述第二状态下，所述第七阀门打开；所述第八阀门关闭；在所述第四状态下，所述第七阀门关闭；所述第八阀门打开。

优选地，当所述第一液位测量器检测到所述第一缓冲罐处于低液位状态且所述第二液位测量器检测到所述第二缓冲罐处于低液位状态时，进入第五状态；在所述第五状态下，所述第三阀门打开，所述第四阀门打开；若从所述第一状态进入到所述所述第五状态，所述第一阀门打开，所述第二阀门关闭；若从所述第三状态进入到所述所述第五状态，所述第二阀门打开，所述第一阀门关闭。

进一步优选地，在所述第五状态下，所述第五阀门关闭，所述第六阀门关闭。

进一步优选地，当处于所述第五状态下，所述第七阀门打开，所述第八阀门打开。

在本进一步优选的实施例中，通过对各个阀门的控制，解决了双缓冲罐皆处于低液位的极端情况下的供料问题，提高了作业的连续性，有效提高了作业的效率。

优选地，所述原料储存罐包括第一原料储存罐、第二原料储存罐；所述第一原料储存罐上设置有第三流量计和第一原料罐阀门；所述第二原料储存罐上设置有第四流量计和第二原料罐阀门；当所述第三流量计检测到所述第一原料储存罐为空时，进入第二原料罐供料状态；在所述第二原料罐供料状态下，所述第一原料阀门关闭，所述第二原料阀门打开；当所述第四流量计检测到所述第二原料存储罐为空时，进入第一原料罐供料状态；在所述第二原料罐供料状态下，所述第一原料阀门打开，所述第二原料阀门关闭。

在本优选的技术方案中，通过设置两个原料储存罐用于给缓冲罐进行供料，当其中一个原料罐空了之后，便切换到另外一个原料罐进行供料，从而提高了供料的连续性，避免供料作业过程中断。

优选地，所述排出瓶内设置有排出瓶液位传感器；当所述排出瓶液位传感器检测到所述排出瓶处于高液位状态时，向外部控制器发出高液位状态警告。

优选地，还包括泄漏监测器，用于检测是否出现漏液；当所述泄漏监测器检测到出现漏液时，发出漏液警告。

优选地，当所述第一液位测量器检测到所述第一缓冲罐处于溢出液位状态时，向外部控制器发出第一缓冲罐溢出警告；当所述第一液位测量器检测到所述第一缓冲罐处于空液位状态时，向外部控制器发出第一缓冲罐空液警告；当所述第二液位测量器检测到所述第二缓冲罐处于溢出液位状态时，向外部控制器发出第二缓冲罐溢出警告；当所述第二液位测量器检测到所述第二缓冲罐处于空液位状态时，向外部控制器发出第二缓冲罐空液警告。

本实用新型至少包括以下一项技术效果：

1、通过根据第一缓冲罐和第二缓冲罐内的液位判断，控制相应的阀门的闭合与打开，从而实现了运行过程中的方便维护，任一一个缓冲罐处于低液位状态，便切换到另外一个缓冲罐进行供料，从而实现在供料过程中供料的不中断；

2、通过设置两个原料储存罐用于给缓冲罐进行供料，当其中一个原料罐空了之后，便切换到另外一个原料罐进行供料，从而提高了供料的连续性，避免供料作业过程中断。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简要介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域的普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为本实用新型的状态转换图。

1-第一阀门；

2-第二阀门；

3-第三阀门；

4-第四阀门；

5-第五阀门；

6-第六阀门；

7-第七阀门；

8-第八阀门；

9-第一液位测量器；

10-第二液位测量器；

11-第三流量计；

12-第四流量计；

13-排出瓶液位传感器；

14-排出瓶；

15-第一缓冲罐；

16-第二缓冲罐；

17-原料输出泵；

18-原料储存罐；

18-1第一原料储存罐；18-1-1第一原料罐阀门；

18-2第二原料储存罐；18-2-1第二原料罐阀门。

具体实施方式

以下描述中，为了说明而不是为了限定，提出了诸如特定系统结构、技术之类的具体细节，以便透彻理解本申请实施例。然而，本领域的技术人员应当清楚，在没有这些具体细节的其他实施例中也可以实现本申请。在其他情况中，省略对众所周知的系统、装置、电路以及方法的详细说明，以免不必要的细节妨碍本申请的描述。

应当理解，当在本说明书和所附权利要求书中使用时，术语“包括”指示所述描述特征、整体、步骤、操作、元素和/或组件的存在，但并不排除一个或多个其他特征、整体、步骤、操作、元素、组件和/或集合的存在或添加。

为使图面简洁，各图中只示意性地表示出了与本实用新型相关的部分，它们并不代表其作为产品的实际结构。另外，以使图面简洁便于理解，在有些图中具有相同结构或功能的部件，仅示意性地绘出了其中的一个，或仅标出了其中的一个。在本文中，“一个”不仅表示“仅此一个”，也可以表示“多于一个”的情形。

还应当进一步理解，在本申请说明书和所附权利要求书中使用的术语“和/或”是指相关联列出的项中的一个或多个的任何组合以及所有可能组合，并且包括这些组合。

另外，在本申请的描述中，术语“第一”、“第二”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对照附图说明本实用新型的具体实施方式。显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图，并获得其他的实施方式。

实施例1：

如图1、2所示，本实施例提供一种涂胶显影机化学液供料系统，包括：第一缓冲罐(15)、第二缓冲罐(16)、原料输出泵(17)、原料储存罐(18)；所述第一缓冲罐(15)通过第一管道连接所述原料输出泵(17)；所述第一管道上设置有第一阀门(1)，用于控制所述第一管道的通闭；所述第二缓冲罐(16)通过第二管道连接所述原料输出泵(17)；所述第二管道上设置有第二阀门(2)，用于控制所述第二管道的通闭；所述原料储存罐(18)通过第三管道连接所述第一缓冲罐(15)；所述第三管道上设置有第三阀门(3)，用于控制所述第三管道的通闭；所述原料储存罐(18)通过第四管道连接所述第二缓冲罐(16)；所述第四管道上设置有第四阀门(4)，用于控制所述第四管道的通闭；在第一状态下，所述第一阀门(1)打开，所述第二阀门(2)关闭，所述第三阀门(3)关闭，所述第四阀门(4)关闭；所述第一缓冲罐(15)内设置有第一液位测量器(9)；所述第二缓冲罐(16)内设置有第二液位测量器(10)；当所述第一液位测量器(9)检测到所述第一缓冲罐(15)处于低液位状态且所述第二液位测量器(10)没有检测到所述第二缓冲罐(16)处于低液位状态时，进入第二状态，同时向外部控制器发出第一缓冲罐(15)处于低液位状态的信息，从而告知外部第一缓冲罐(15)内容耗尽；在所述第二状态下，所述第一阀门(1)关闭，所述第二阀门(2)打开，打开所述第三阀门(3)，关闭所述第四阀门(4)；在所述第二状态下，当所述第一液位测量器(9)检测到所述第一缓冲罐(15)处于高液位状态且所述第二液位测量器(10)没有检测到所述第二缓冲罐(16)处于低液位状态时，进入第三状态，同时向外部控制器发出第二缓冲罐(16)处于低液位状态的信息，从而告知外部第二缓冲罐(16)内容耗尽，在所述第三状态下，所述第一阀门(1)关闭，所述第二阀门(2)打开，所述第三阀门(3)关闭，所述第四阀门(4)关闭；当所述第二液位测量器(10)检测到所述第二缓冲罐(16)处于低液位状态且所述第一液位测量器(9)没有检测到所述第一缓冲罐(15)处于低液位状态时，进入第四状态；在所述第四状态下，所述第一阀门(1)打开，所述第二阀门(2)关闭，所述第三阀门(3)关闭，所述第四阀门(4)打开；在所述第四状态下，当所述第二液位测量器(10)检测到所述第二缓冲罐(16)处于高液位状态且所述第一液位测量器(9)没有检测到所述第一缓冲罐(15)处于低液位状态时，进入第三状态，一般用于需要HDMS的情形。

在本实施例中，一般而言，两个缓冲罐为3L的罐体，而原料储存罐(18)为20L的罐体，在初始状态下，第一缓冲罐(15)和第二缓冲罐(16)都是满的，也就是处于高液位状态，第一阀门(1)打开，第二阀门(2)关闭，此时由第一缓冲罐(15)对原料输出泵(17)进行供液，同时由于两个缓冲罐都不需要补液，所以第三阀门(3)和第四阀门(4)都是关闭的，化学液通过第一管道流入原料输出泵(17)内进行原料输出，液位测量器则有4个传感器，分别对应于高液位、低液位、溢出液位和空液位。

随着第一缓冲罐(15)内的化学液体不断地消耗，第一液位测量器(9)检测到第一缓冲罐(15)内的液位逐渐下降到了低液位的状态，当到达低液位的状态时，切换使用第二缓冲罐(16)进行液体供应，也就是说先进入到第二状态，在此时，关闭第一阀门(1)，打开第二阀门(2)，打开第三阀门(3)，原料储存罐(18)内的化学液沿着第三管道流入第一缓冲罐(15)内，第二缓冲罐(16)代替第一缓冲罐(15)进行原料供给任务，原料输出泵(17)进行原料输出任务所需要的化学液从第二缓冲罐(16)沿第四管道流入到原料输出泵(17)内，当第一液位测量器(9)检测到第一缓冲罐(15)的液位恢复到高液位状态的时候，再进入到第三状态，关闭第三阀门(3)。

同理，随着第二缓冲罐(16)内的化学液体不断地消耗，第二液位测量器(10)检测到第二缓冲罐(16)内的液位逐渐下降到了低液位的状态，当到达低液位的状态时，切换使用第一缓冲罐(15)进行液体供应，也就是说先进入到第四状态，在此时，关闭第二阀门(2)，打开第一阀门(1)，打开第四阀门(4)，原料储存罐(18)内的化学液沿着第四管道流入第一缓冲罐(15)内，第一缓冲罐(15)代替第二缓冲罐(16)进行原料供给任务，原料输出泵(17)进行原料输出任务所需要的化学液从第一缓冲罐(15)沿第三管道流入到原料输出泵(17)内，当第二液位测量器(10)检测到第二缓冲罐(16)的液位恢复到高液位状态的时候，再进入到第一状态，关闭第四阀门(4)。

同时在第二状态和第四状态下，会对处于补液状态的时间进行计时，计算处于补液状态的时间，若超出规定的时间，便会向外部控制器发出超时警告，在这种情况下，可能出现第四管道、第三管道堵塞或者是液位测量器出现故障等多种情形。

本实施例通过根据第一缓冲罐(15)和第二缓冲罐(16)内的液位判断，控制相应的阀门的闭合与打开，从而实现了运行过程中的方便维护，任一一个缓冲罐处于低液位状态，便切换到另外一个缓冲罐进行供料，从而实现在供料过程中供料的不中断。

实施例2：

如图1、2所示，本实施例基于实施例1，还包括排出瓶(14)；所述第一缓冲罐(15)通过第五管道连接所述排出瓶(14)；所述第五管道上设置有第五阀门(5)，用于控制所述第五管道的通闭；所述第二缓冲罐(16)通过第六管道连接所述排出瓶(14)；所述第六管道上设置有第六阀门(6)，用于控制所述第六管道的通闭；在所述第一状态下，所述第五阀门(5)打开，所述第六阀门(6)打开；在所述第三状态下，所述第五阀门(5)打开，所述第六阀门(6)打开；在所述第二状态下，所述第五阀门(5)关闭，所述第六阀门(6)打开；在所述第四状态下，所述第五阀门(5)打开，所述第六阀门(6)关闭；所述排出瓶(14)内设置有排出瓶液位传感器(13)；当所述排出瓶液位传感器(13)检测到所述排出瓶(14)处于高液位状态时，向外部控制器发出高液位状态警告。

在本实施例中，排出瓶(14)用于将从第一缓冲罐(15)或者第二缓冲罐(16)内挥发处的气体收集到排出瓶(14)内，用于喷洒作业；在第一状态下，第五阀门(5)打开，第六阀门(6)打开，第一缓冲罐(15)和第二缓冲罐(16)内挥发的蒸汽沿着第五管道和第六管道进入到排出瓶(14)中；当第一缓冲罐(15)处于补液状态下，为了避免在补液过程中液体直接由于飞溅等原因直接进入到管道中，故在补液过程中将第五阀门(5)关闭，当第二缓冲罐(16)处于补液状态下同理；同时，在排出瓶(14)内设置有排出瓶液位传感器(13)可以告知用户排出瓶(14)的情况，如果排出瓶(14)内原先从第一缓冲罐(15)和第二缓冲罐(16)内挥发出来的化学液重新冷凝成的液体处于高液位的状态，则向外部控制器发出高液位状态警告，告知其实际的状态，要求工作人员根据流水线的需要对排出瓶(14)进行操作。

实施例3：

如图1、2所示，本实施例基于实施例1，所述第一缓冲罐(15)还通过第三副管道与所述原料储存罐(18)连接；所述第三副管道上设置有第七阀门(7)，用于控制所述第三副管道的通闭；所述第二缓冲罐(16)还通过第四副管道与所述原料储存罐(18)连接；所述第四副管道上设置有第八阀门(8)，用于控制所述第八阀门(8)的通闭；在所述第一状态下，所述第七阀门(7)关闭；所述第八阀门(8)关闭；在所述第三状态下，所述第七阀门(7)关闭；所述第八阀门(8)关闭；在所述第二状态下，所述第七阀门(7)打开；所述第八阀门(8)关闭；在所述第四状态下，所述第七阀门(7)关闭；所述第八阀门(8)打开。

在本实施例中，在初始状态下，也就是第一状态下，第七阀门(7)和第八阀门(8)都处于关闭的状态，而随着第一缓冲罐(15)内化学液的耗尽，要对第一缓冲罐(15)内的化学液进行补液，而此时，由于气压的问题，位于第三管道内的液体不容易流出来，故需要打开第三阀门(3)，通过第三管道实现缓冲罐与原料罐之间的均压，避免位于第三管道内的液体流不出来；当第一缓冲罐(15)补液完毕之后，便将其关闭。第六阀门(6)的关闭和打开的原理同理。

实施例4：

如图1、2所示，在本实施例中，当所述第一液位测量器(9)检测到所述第一缓冲罐(15)处于低液位状态且所述第二液位测量器(10)检测到所述第二缓冲罐(16)处于低液位状态时，进入第五状态；在所述第五状态下，所述第三阀门(3)打开，所述第四阀门(4)打开；若从所述第一状态进入到所述所述第五状态，所述第一阀门(1)打开，所述第二阀门(2)关闭；若从所述第三状态进入到所述所述第五状态，所述第二阀门(2)打开，所述第一阀门(1)关闭；在所述第五状态下，所述第五阀门(5)关闭，所述第六阀门(6)关闭。当处于所述第五状态下，所述第七阀门(7)打开，所述第八阀门(8)打开。

在本实施例中，存在一种情况，在该种情况下，第一缓冲罐(15)和第二缓冲罐(16)内均处于低液位状态，但是由于流水线作业连续性的原因，并不能对第一阀门(1)或者第二阀门(2)进行关闭，必须要有且仅有一个处于打开的状态，从而保证流水线作业的连续性，若从所述第一状态进入到所述所述第五状态，所述第一阀门(1)打开，所述第二阀门(2)关闭；若从所述第三状态进入到所述所述第五状态，所述第二阀门(2)打开，所述第一阀门(1)关闭；同时，出于实施例3中所述的原因，打开第七阀门(7)和第八阀门(8)，化学液从第三管道和第四管道流入到第一缓冲罐(15)和第二缓冲罐(16)中，同时由于两边都处于补液的状态，所以需要同时关闭排出瓶(14)的供应口，也就是第五阀门(5)和第六阀门(6)。

本实施例通过对各个阀门的控制，解决了双缓冲罐皆处于低液位的极端情况下的供料问题，提高了作业的连续性，有效提高了作业的效率。

实施例5：

如图1、2所示，在本实施例中，所述原料储存罐(18)包括第一原料储存罐(18-1)、第二原料储存罐(18-2)；所述第一原料储存罐(18-1)上设置有第三流量计(11)和第一原料罐阀门(18-1-1)；所述第二原料储存罐(18-2)上设置有第四流量计(12)和第二原料罐阀门(18-2-1)；当所述第三流量计(18-1-1)检测到所述第一原料储存罐(18-1)为空时，进入第二原料罐供料状态，同时向外部控制器发出第一原料罐为空的警告；在所述第二原料罐供料状态下，所述第一原料阀门关闭，所述第二原料阀门打开；当所述第四流量计(18-2-1)检测到所述第二原料存储罐为空时，进入第一原料罐供料状态，同时向外部控制器发出第一原料罐为空的警告；在所述第二原料罐供料状态下，所述第一原料阀门打开，所述第二原料阀门关闭。

在本实施例中，出于连续供料的目的，避免在连续供料过程中由于不及时更换原料储存罐(18)而导致的作业终端，设置有两个原料储存罐用于供液，当然在使用逻辑上可以视为一个原料储存罐；具体而言，第三流量计(11)通过测量通过第一原料罐阀门(18-1-1)流过的化学液的流量来判断第一原料储存罐(18-1)内是否为空，当判断第一原料储存罐(18-1)内为空的时候，便打开第二原料罐阀门(18-2-1)，由第二原料罐进行供料，而这时，就可以对第一原料罐进行更换，第四流量计(12)和第二原料罐阀门(18-2-1)的工作方式同理，

本实施例通过设置两个原料储存罐用于给缓冲罐进行供料，当其中一个原料罐空了之后，便切换到另外一个原料罐进行供料，从而提高了供料的连续性，避免供料作业过程中断。

实施例6：

如图1、2所示，本实施例基于实施例5，还包括泄漏监测器，用于检测是否出现漏液；当所述泄漏监测器检测到出现漏液时，发出漏液警告；同时根据区域的不同，将漏液检测器放置到不同的区域，当不同的区域出现漏液时，便可以在不同的区域发出相应的警告，可以有效的减少由于漏液问题所造成的损害。

当所述第一液位测量器(9)检测到所述第一缓冲罐(15)处于溢出液位状态时，向外部控制器发出第一缓冲罐(15)溢出警告；当所述第一液位测量器(9)检测到所述第一缓冲罐(15)处于空液位状态时，向外部控制器发出第一缓冲罐(15)空液警告；当所述第二液位测量器(10)检测到所述第二缓冲罐(16)处于溢出液位状态时，向外部控制器发出第二缓冲罐(16)溢出警告；当所述第二液位测量器(10)检测到所述第二缓冲罐(16)处于空液位状态时，向外部控制器发出第二缓冲罐(16)空液警告，通过第一液位测量器(9)和第二液位测量器(10)的设置，可以有效避免液位溢出，并及时告知控制人员及时补料等。

在本实施例中，通过设置多种传感器测量的方式，可以有效地解决和警告因为各种生产过程中的异常而导致的问题，从而提高生产线的安全系数，避免以为生产线中的异常而导致设备损坏等问题。

尽管已描述了本实用新型的优选实施例，但本领域内的技术人员一旦得知了基本创造性概念，则可对这些实施例作出另外的变更和修改。所以，所附权利要求意欲解释为包括优选实施例以及落入本实用新型范围的所有变更和修改。

显然，本领域的技术人员可以对本实用新型进行各种改动和变型而不脱离本实用新型的精神和范围。这样，倘若本实用新型的这些修改和变型属于本实用新型权利要求及其等同技术的范围之内，则本实用新型也意图包含这些改动和变型在内。

Claims (10)

1.一种涂胶显影机化学液供料系统，其特征在于，包括：

第一缓冲罐、第二缓冲罐、原料输出泵、原料储存罐；

所述第一缓冲罐通过第一管道连接所述原料输出泵；所述第一管道上设置有第一阀门，用于控制所述第一管道的通闭；

所述第二缓冲罐通过第二管道连接所述原料输出泵；所述第二管道上设置有第二阀门，用于控制所述第二管道的通闭；

所述原料储存罐通过第三管道连接所述第一缓冲罐；所述第三管道上设置有第三阀门，用于控制所述第三管道的通闭；

所述原料储存罐通过第四管道连接所述第二缓冲罐；所述第四管道上设置有第四阀门，用于控制所述第四管道的通闭；

在第一状态下，所述第一阀门打开，所述第二阀门关闭，所述第三阀门关闭，所述第四阀门关闭；

所述第一缓冲罐内设置有第一液位测量器；所述第二缓冲罐内设置有第二液位测量器；

当所述第一液位测量器检测到所述第一缓冲罐处于低液位状态且所述第二液位测量器检测到所述第二缓冲罐不处于低液位状态时，进入第二状态；

在所述第二状态下，所述第一阀门关闭，所述第二阀门打开，所述第三阀门打开，所述第四阀门关闭；

在所述第二状态下，当所述第一液位测量器检测到所述第一缓冲罐处于高液位状态且所述第二液位测量器检测到所述第二缓冲罐不处于低液位状态时，进入第三状态，在所述第三状态下，所述第一阀门关闭，所述第二阀门打开，所述第三阀门关闭，所述第四阀门关闭；

当所述第二液位测量器检测到所述第二缓冲罐处于低液位状态且所述第一液位测量器检测到所述第一缓冲罐不处于低液位状态时，进入第四状态；

在所述第四状态下，所述第一阀门打开，所述第二阀门关闭，所述第三阀门关闭，所述第四阀门打开；

在所述第四状态下，当所述第二液位测量器检测到所述第二缓冲罐处于高液位状态且所述第一液位测量器检测到所述第一缓冲罐不处于低液位状态时，进入第一状态。

2.根据权利要求1所述的一种涂胶显影机化学液供料系统，其特征在于，还包括排出瓶；

所述第一缓冲罐通过第五管道连接所述排出瓶；所述第五管道上设置有第五阀门，用于控制所述第五管道的通闭；

所述第二缓冲罐通过第六管道连接所述排出瓶；所述第六管道上设置有第六阀门，用于控制所述第六管道的通闭；

在所述第一状态下，所述第五阀门打开，所述第六阀门打开；

在所述第三状态下，所述第五阀门打开，所述第六阀门打开；

在所述第二状态下，所述第五阀门关闭，所述第六阀门打开；

在所述第四状态下，所述第五阀门打开，所述第六阀门关闭。

3.根据权利要求2所述的一种涂胶显影机化学液供料系统，其特征在于，所述第一缓冲罐还通过第三副管道与所述原料储存罐连接；所述第三副管道上设置有第七阀门，用于控制所述第三副管道的通闭；

所述第二缓冲罐还通过第四副管道与所述原料储存罐连接；所述第四副管道上设置有第八阀门，用于控制所述第八阀门的通闭；

在所述第一状态下，所述第七阀门关闭；所述第八阀门关闭；

在所述第三状态下，所述第七阀门关闭；所述第八阀门关闭；

在所述第二状态下，所述第七阀门打开；所述第八阀门关闭；

在所述第四状态下，所述第七阀门关闭；所述第八阀门打开。

4.根据权利要求3所述的一种涂胶显影机化学液供料系统，其特征在于，当所述第一液位测量器检测到所述第一缓冲罐处于低液位状态且所述第二液位测量器检测到所述第二缓冲罐处于低液位状态时，进入第五状态；

在所述第五状态下，所述第三阀门打开，所述第四阀门打开；若从所述第一状态进入到所述第五状态，所述第一阀门打开，所述第二阀门关闭；若从所述第三状态进入到所述第五状态，所述第二阀门打开，所述第一阀门关闭。

5.根据权利要求4所述的一种涂胶显影机化学液供料系统，其特征在于，

在所述第五状态下，所述第五阀门关闭，所述第六阀门关闭。

6.根据权利要求4所述的一种涂胶显影机化学液供料系统，其特征在于，当处于所述第五状态下，所述第七阀门打开，所述第八阀门打开。

7.根据权利要求1所述的一种涂胶显影机化学液供料系统，其特征在于，

所述原料储存罐包括第一原料储存罐、第二原料储存罐；

所述第一原料储存罐上设置有第三流量计和第一原料罐阀门；

所述第二原料储存罐上设置有第四流量计和第二原料罐阀门；

当所述第三流量计检测到所述第一原料储存罐为空时，进入第二原料罐供料状态；在所述第二原料罐供料状态下，所述第一原料阀门关闭，所述第二原料阀门打开；

当所述第四流量计检测到所述第二原料存储罐为空时，进入第一原料罐供料状态；在所述第二原料罐供料状态下，所述第一原料阀门打开，所述第二原料阀门关闭。

8.根据权利要求2所述的一种涂胶显影机化学液供料系统，其特征在于，所述排出瓶内设置有排出瓶液位传感器；

当所述排出瓶液位传感器检测到所述排出瓶处于高液位状态时，向外部控制器发出高液位状态警告。

9.根据权利要求1所述的一种涂胶显影机化学液供料系统，其特征在于，还包括泄漏监测器，用于检测是否出现漏液；

当所述泄漏监测器检测到出现漏液时，发出漏液警告。

10.根据权利要求1所述的一种涂胶显影机化学液供料系统，其特征在于，当所述第一液位测量器检测到所述第一缓冲罐处于溢出液位状态时，向外部控制器发出第一缓冲罐溢出警告；

当所述第一液位测量器检测到所述第一缓冲罐处于空液位状态时，向外部控制器发出第一缓冲罐空液警告；

当所述第二液位测量器检测到所述第二缓冲罐处于溢出液位状态时，向外部控制器发出第二缓冲罐溢出警告；

当所述第二液位测量器检测到所述第二缓冲罐处于空液位状态时，向外部控制器发出第二缓冲罐空液警告。

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