CN113376977A - 一种用于匀胶显影机的hmds防漏保护装置 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及HMDS处理设备技术领域，具体是涉及一种用于匀胶显影机的HMDS防漏保护装置，包括：HMDS罐；密封保护罩；氮气上料机构；还包括：机架；排风机构，安装在机架上，排风机构的抽气端设置在密封保护罩内部；吸收机构，设置在排风机构上；自动回收机构，设置在机架上，自动回收机构的抽气端与密封保护罩内侧顶端密封连接；控制器，设置在密封保护罩外侧壁上；泄露检测传感器，设置在密封保护罩内侧，泄露检测传感器与控制器电连接；密封保护罩外侧壁上安装有警报器，警报器与泄露检测传感器和控制器均电连接，本发明所示设备可以完全杜绝因为HMDS泄露造成的安全事故，若发生泄露则发出报警信号，切断原料供应，避免持续泄露，对泄露的HMDS进行收集。
Description
技术领域
本发明涉及HMDS处理设备技术领域，具体是涉及一种用于匀胶显影机的HMDS防漏保护装置。
背景技术
现有技术中，在涂覆光刻胶之前，人们需将基片放入HMDS预处理设备中进行预处理，其目的在于降低HMDS处理后的硅片与光刻胶的接触角，进而降低匀胶时光刻胶在硅片表面铺展开的难度，提高光刻胶与硅片的黏附性。增黏剂HMDS(六甲基二硅氮烷)可以很好地改善这种状况。将HMDS涂到硅片表面后，经烘箱加温可反应生成以硅氧烷为主体的化合物。它成功地将硅片表面由亲水变为疏水，其疏水基可很好地与光刻胶结合，起着偶联剂的作用。
因HMDS是很强的致癌、致病物质，被列为极高毒性物质，如直接排放会对环境造成很大污染，在很多实验室、小型工厂、科研教学单位，并无专用废气收集管道，尾气直接排放到大气之中，如直接排放会对环境造成很大污染，且对操作人员会有较大的伤害，具有一定安全隐患；
如中国发明专利CN111708259B所公开的一种匀胶显影机增粘单元，属于光刻设备技术领域，包括底盘、上盖、喷淋装置以及支撑盘，所述底盘和上盖上均设置有加热装置，所述上盖位于底盘的上端且与底盘配合形成真空腔，所述底盘的底部设置有真空泵接口，所述喷淋装置设置在上盖内，所述支撑盘设置在底盘内用于支撑晶圆，所述支撑盘与底盘转动连接且通过电机驱动转动，所述喷淋装置包括整流板、喷管、喷头和连接管，所述喷管在水平面内呈螺旋形布置；该结构的匀胶显影机没有很好的是实现防漏保护。
发明内容
一、要解决的技术问题
本发明是针对现有技术所存在的上述缺陷，特提出一种用于匀胶显影机的HMDS防漏保护装置，解决了HMDS容易泄露以及如何收集处理的问题。
二、技术方案
为解决上述技术问题，本发明提供一种用于匀胶显影机的HMDS防漏保护装置，包括：
HMDS罐，用于提供HMDS气体；
密封保护罩，HMDS罐安装在密封保护罩内部，密封保护罩内部处于密封状态；
氮气上料机构，设置在密封保护罩旁侧，氮气上料机构的输出端延伸至密封保护罩内部，用于提供氮气；
还包括：
机架，设置在密封保护罩旁侧；
排风机构，安装在机架上，排风机构的抽气端设置在密封保护罩内部，排风机构的排气端设置在密封保护罩外侧，用于对密封保护罩内部进行抽气操作，实现密封保护罩内部气体排气功能；
吸收机构，设置在排风机构上，用于对排风机构抽取的气体中的HMDS进行吸收收集，将剩余气体排出；
自动回收机构，设置在机架上，自动回收机构的抽气端与密封保护罩内侧顶端密封连接，用于将泄露的HMDS气体压缩收集；
控制器，设置在密封保护罩外侧壁上；
泄露检测传感器，设置在密封保护罩内侧，泄露检测传感器与控制器电连接，用于检测密封保护罩内部的HMDS浓度，从而检测HMDS是否泄露；
密封保护罩外侧壁上安装有警报器，警报器与泄露检测传感器和控制器均电连接，用于在泄露检测传感器检测到泄露是进行报警。
优选的，排风机构有第一抽气泵、第一抽气管、第一导气管、排气管和第三电磁阀，第一抽气泵安装在机架上，第一抽气管的一端与密封保护罩的内部密封连通，第一抽气管的另一端与第一抽气泵的抽气端连通，第一导气管的一端与第一抽气泵的出气端连通，第一导气管的另一端与吸收机构进气端连通，排气管的一端与吸收机构的排气端连通，第三电磁阀安装在第一抽气管靠近密封保护罩的一端。
优选的，排风机构还包括压差表，压差表安装在第一导气管上。
优选的，排风机构还包括第一气体流量检测传感器和第一单向阀，第一气体流量检测传感器固定安装在排气管上，第一单向阀安装在排气管上，第一单向阀位于第一气体流量检测传感器远离吸收机构的一端。
优选的，吸收机构包括吸收塔、废液收集箱和喷液组件，吸收塔竖直安装在机架的旁侧，废液收集箱设置在吸收塔的正下方，吸收塔的排液管与废液收集箱内部连通，喷液组件安装在机架上，喷液组件的输出端穿过吸收塔的顶端设置在吸收塔的内部。
优选的，喷液组件包括磷酸存放箱、导液管和雾化喷头，磷酸存放箱设置在机架顶端，雾化喷头设有若干个，若干个雾化喷头沿着吸收塔轴线环形分布在吸收塔的顶端，雾化喷头的输出端贯穿吸收塔顶端延伸至吸收塔的内部，导液管的一端与磷酸存放箱内部连通，导液管的另一端分别与若干个雾化喷头的输入端依次连通。
优选的，导液管上安装有液体流量传感器和第四电磁阀，液体流量传感器和第四电磁阀均与控制器电连接。
优选的，自动回收机构包括第二抽气泵、第二抽气管、第二导气管和高压收集罐，第二抽气泵安装在机架上，第二抽气管的一端与密封保护罩的内侧顶端密封连通，第二抽气管的另一端与第二抽气泵的抽气端连通，高压收集罐设置在机架旁侧，第二导气管的一端与第二抽气泵的排气端连通，第二导气管的另一端与高压收集罐内部密封连接。
优选的，HMDS罐出气端设有第一电磁阀、第一上料管和第一内压检测传感器，第一上料管一端与HMDS罐内部连通，第一上料管的另一端设置在密封保护罩内部，第一电磁阀安装在第一上料管上，第一内压检测传感器安装在HMDS罐上。
优选的，氮气上料机构包括第二上料管、氮气存储罐、第二电磁阀和第二单向阀，氮气存储罐设有若干个，若干个设置在密封保护罩外侧，第二上料管的一端与若干个氮气存储罐的入气端连通，第二上料管的另一端与密封保护罩内部密封连通，第二电磁阀设有若干个，若干个第二电磁阀依次设置在若干个氮气存储罐的入气端上，第二单向阀设置在第二上料管靠近密封保护罩的一端上。
三、有益效果
与现有技术相比，本发明通过排风机构将HMDS排出，在排出过程中，通过吸收机构对气体中的HMDS进行收集，然后将经过收集处理后的气体排出，HMDS的排气过程，泄露检测传感器用于检测HMDS是否有泄漏情况，当检测发生泄漏时，将信号传输至控制器和警报器中，通过警报器发出警报，传感器可以感应HMDS的浓度，如果发生泄露则发出报警信号，切断氮气供应。避免持续泄露，通过自动回收机构将密封保护罩内部的气体紧急抽取并储存，由此可以完全杜绝因为HMDS泄露造成的安全事故，提高设备的安全性，采用多重防护设施，能够降低操作人员的安全隐患，且避免污染环境。
经过处理完成后的气体经过排气管排出外界，实现对密封保护罩内部气体的抽取过程，并且能够在排放之前将HMDS和氮气的混合气体中的HMDS分离收集，保证排出的气体的安全无污染，即保证了操作人员的安全，又起到环保作用。
通过压差表能够检测排风系统中的压力差，从而判断排风系统是否异常，当检测结果为异常时，通过第三电磁阀控制第一抽气管关闭，且关闭氮气上料机构3输出，打开自动回收机构，将密封保护罩2内部气体紧急收集，操作人员经过排查风险后方可再次使用，提高了设备的安全性，能够对排风机构实现自检功能，进一步降低HMDS泄露的可能。
气体中的HMDS被液体吸收后落入位于吸收塔下方的废液收集箱进行收集，剩余的无毒气体继续上升，经过排气管向外排出，实现对气体中HMDS的吸收处理过程，提高了设备的安全性和环保性。
通过若干个雾化喷头均匀喷涂在吸收塔内部，雾化喷头将磷酸吸收液雾化后进行喷洒，使得气体与磷酸吸收液充分接触，将气体中的HMDS等有毒气体充分溶解，并最终进入废液收集箱中，起到吸取收集功能。
在检测排风系统出现故障后，将排风机构关闭，且关闭氮气上料机构，防止气体继续外泄，第二抽气泵输出对密封保护罩内部气体进行抽取，气体通过第二抽气管经过第二抽气泵、第二导气管后进入高压收集罐中，第二抽气泵将气体压入高压收集罐中，实现对气体的密封收集处理，防止气体继续外泄，提高了设备的安全性和环保性。
附图说明
图1为本发明的立体结构示意图一；
图2为本发明的立体结构示意图二；
图3为本发明的正视图；
图4为本发明的俯视图；
图5为本发明的HMDS罐和密封保护罩的立体结构示意图；
图6为本发明的HMDS罐的立体结构示意图；
图7为本发明的排风机构和吸收机构的立体结构示意图；
图8为本发明的吸收机构的立体结构示意图；
图9为本发明的自动回收机构的立体结构示意图；
图10为本发明的氮气上料机构的立体结构示意图。
图中：
1为HMDS罐；2为密封保护罩；3为氮气上料机构；4为排风机构；5为吸收机构；6为自动回收机构；7为控制器；8为泄露检测传感器；9为第一抽气泵；10为第一抽气管；11为第一导气管；12为排气管；13为第三电磁阀；14为第一气体流量检测传感器；15为第一单向阀；16为压差表；17为吸收塔；18为废液收集箱；19为磷酸存放箱；20为导液管；21为雾化喷头；22为第二抽气泵；23为第二抽气管；24为第二导气管；25为高压收集罐；26为第一电磁阀；27为第一上料管；28为第一内压检测传感器；29为第二上料管；30为氮气存储罐；31为第二电磁阀；32为第二单向阀；33为警报器；34为液体流量传感器；35为第四电磁阀。
具体实施方式
下面结合附图和实施例，对本发明的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本发明，但不能用来限制本发明的范围。
实施例1：
如图1-4所示，本实施例的一种用于匀胶显影机的HMDS防漏保护装置，包括：
HMDS罐1，用于提供HMDS气体；
密封保护罩2，HMDS罐1安装在密封保护罩2内部，密封保护罩2内部处于密封状态；
氮气上料机构3，设置在密封保护罩2旁侧，氮气上料机构3的输出端延伸至密封保护罩2内部，用于提供氮气；
还包括：
机架，设置在密封保护罩2旁侧；
排风机构4，安装在机架上，排风机构4的抽气端设置在密封保护罩2内部，排风机构4的排气端设置在密封保护罩2外侧，用于对密封保护罩2内部进行抽气操作，实现密封保护罩2内部气体排气功能；
吸收机构5，设置在排风机构4上，用于对排风机构4抽取的气体中的HMDS进行吸收收集，将剩余气体排出；
自动回收机构6，设置在机架上，自动回收机构6的抽气端与密封保护罩2内侧顶端密封连接，用于将泄露的HMDS气体压缩收集；
控制器7，设置在密封保护罩2外侧壁上；
泄露检测传感器8，设置在密封保护罩2内侧，泄露检测传感器8与控制器7电连接，用于检测密封保护罩2内部的HMDS浓度，从而检测HMDS是否泄露；
密封保护罩2外侧壁上安装有警报器33，警报器33与泄露检测传感器8和控制器7均电连接，用于在泄露检测传感器8检测到泄露是进行报警。
具体的，在设备开始工作时，通过排风机构4先将密封保护罩2内部抽气，通过氮气上料机构3向密封保护罩2内充入氮气，再通过排风机构4抽气，反复操作直至将内部抽至真空，通过HMDS罐1向密封保护罩2内通入HMDS进行反应，本领域的技术人员均知晓HMDS的反应过程及原理，所以HMDS的反应过程此处不做赘述，当反应完成后，氮气上料机构3向密封保护罩2中充入氮气，通过排风机构4将HMDS排出，在排出过程中，通过吸收机构5对气体中的HMDS进行收集，然后将经过收集处理后的气体排出，HMDS的排气过程，泄露检测传感器8用于检测HMDS是否有泄漏情况，当检测发生泄漏时，将信号传输至控制器7和警报器33中，通过警报器33发出警报，传感器可以感应HMDS的浓度，如果发生泄露则发出报警信号，切断氮气供应。避免持续泄露，通过自动回收机构6将密封保护罩2内部的气体紧急抽取并储存，由此可以完全杜绝因为HMDS泄露造成的安全事故，提高设备的安全性，采用多重防护设施，能够降低操作人员的安全隐患，且避免污染环境。
如图7所示：
排风机构4有第一抽气泵9、第一抽气管10、第一导气管11、排气管12和第三电磁阀13，第一抽气泵9安装在机架上，第一抽气管10的一端与密封保护罩2的内部密封连通，第一抽气管10的另一端与第一抽气泵9的抽气端连通，第一导气管11的一端与第一抽气泵9的出气端连通，第一导气管11的另一端与吸收机构5进气端连通，排气管12的一端与吸收机构5的排气端连通，第三电磁阀13安装在第一抽气管10靠近密封保护罩2的一端。
进一步的，在排风机构4工作时，通过第一抽气泵9输出提供抽气驱动力，密封保护罩2内部的气体通过第一抽气管10被抽入第一抽气泵9中，再通过第一导气管11排出吸收机构5中进行吸收处理，经过处理完成后的气体经过排气管12排出外界，实现对密封保护罩2内部气体的抽取过程，并且能够在排放之前将HMDS和氮气的混合气体中的HMDS分离收集，保证排出的气体的安全无污染，即保证了操作人员的安全，又起到环保作用。
需要指出的是，第三电磁阀13能够控制第一抽气管10的开合，当需要进行排气、抽气操作时，控制器7将通过第三电磁阀13将第一抽气管10打开，实现第一抽气管10通气功能，当密封保护罩2内部需要反应时，控制器7将通过第三电磁阀13将第一抽气管10关闭，保证密封保护罩2内部的密封性。
如图7所示：
排风机构4还包括压差表16，压差表16安装在第一导气管11上。进一步的，通过压差表16能够检测排风系统中的压力差，从而判断排风系统是否异常，当检测结果为异常时，通过第三电磁阀13控制第一抽气管10关闭，且关闭氮气上料机构3输出，打开自动回收机构6，将密封保护罩2内部气体紧急收集，操作人员经过排查风险后方可再次使用，提高了设备的安全性，能够对排风机构4实现自检功能，进一步降低HMDS泄露的可能。
排风机构4还包括第一气体流量检测传感器14和第一单向阀15，第一气体流量检测传感器14固定安装在排气管12上，第一单向阀15安装在排气管12上，第一单向阀15位于第一气体流量检测传感器14远离吸收机构5的一端。
进一步的，第一气体流量检测传感器14对排气管12中排出气体的流量进行检测，第一单向阀15保证气体只能从吸收机构5中向外排出，保证了排气的正常进行。
如图7-8所示：本实施例中，吸收机构5包括吸收塔17、废液收集箱18和喷液组件，吸收塔17竖直安装在机架的旁侧，废液收集箱18设置在吸收塔17的正下方，吸收塔17的排液管与废液收集箱18内部连通，喷液组件安装在机架上，喷液组件的输出端穿过吸收塔17的顶端设置在吸收塔17的内部。
具体的，排风机构4中抽出的气体经过第一导气管11导入吸收塔17中进行处理，通过位于吸收塔17上方的喷液组件对吸收塔17内进行喷液吸收处理，气体中的HMDS被液体吸收后落入位于吸收塔17下方的废液收集箱18进行收集，剩余的无毒气体继续上升，经过排气管12向外排出，实现对气体中HMDS的吸收处理过程，提高了设备的安全性和环保性。
如图7-8所示：
喷液组件包括磷酸存放箱19、导液管20和雾化喷头21，磷酸存放箱19设置在机架顶端，雾化喷头21设有若干个，若干个雾化喷头21沿着吸收塔17轴线环形分布在吸收塔17的顶端，雾化喷头21的输出端贯穿吸收塔17顶端延伸至吸收塔17的内部，导液管20的一端与磷酸存放箱19内部连通，导液管20的另一端分别与若干个雾化喷头21的输入端依次连通。
进一步的，喷液组件在工作时，通过磷酸存放箱19内部的增压装置将磷酸吸收液导入导液管20中，并最终通过若干个雾化喷头21均匀喷涂在吸收塔17内部，雾化喷头21将磷酸吸收液雾化后进行喷洒，使得气体与磷酸吸收液充分接触，将气体中的HMDS等有毒气体充分溶解，并最终进入废液收集箱18中，起到吸取收集功能。
导液管20上安装有液体流量传感器34和第四电磁阀35，液体流量传感器34和第四电磁阀35均与控制器7电连接。
进一步的，喷液组件在工作时，第四电磁阀35用于对喷液的进行起到控制开关作用，液体流量传感器34对喷涂的磷酸吸收液的量进行检测，从而能够实现动态控制磷酸吸收液的喷涂开关和喷涂量的功能，能够根据需求自动进行调整，提高设备自动化程度，既能更加精准控制磷酸吸收液的用量，又能保证磷酸吸收液对HMDS的充分吸收作用。
实施例2：
相较于实施例1，本实施例中，为了解决如何对HMDS自动回收收集的技术问题，如图9所示：
自动回收机构6包括第二抽气泵22、第二抽气管23、第二导气管24和高压收集罐25，第二抽气泵22安装在机架上，第二抽气管23的一端与密封保护罩2的内侧顶端密封连通，第二抽气管23的另一端与第二抽气泵22的抽气端连通，高压收集罐25设置在机架旁侧，第二导气管24的一端与第二抽气泵22的排气端连通，第二导气管24的另一端与高压收集罐25内部密封连接。
具体的，在启动自动回收机构6时，将排风机构4关闭，且关闭氮气上料机构3，防止气体继续外泄，第二抽气泵22输出对密封保护罩2内部气体进行抽取，气体通过第二抽气管23经过第二抽气泵22、第二导气管24后进入高压收集罐25中，第二抽气泵22将气体压入高压收集罐25中，实现对气体的密封收集处理，防止气体继续外泄，提高了设备的安全性和环保性。
如图5-6所示，HMDS罐1出气端设有第一电磁阀26、第一上料管27和第一内压检测传感器28，第一上料管27一端与HMDS罐1内部连通，第一上料管27的另一端设置在密封保护罩2内部，第一电磁阀26安装在第一上料管27上，第一内压检测传感器28安装在HMDS罐1上。
具体的，HMDS罐1通过第一上料管27实现对密封保护罩2内部通入HMDS气体的功能，通过第一电磁阀26实现对HMDS罐1的自动控制开关，通过第一内压检测传感器28对HMDS罐1内的气压进行检测，实现HMDS罐1的自检功能。
如图10所示：氮气上料机构3包括第二上料管29、氮气存储罐30、第二电磁阀31和第二单向阀32，氮气存储罐30设有若干个，若干个设置在密封保护罩2外侧，第二上料管29的一端与若干个氮气存储罐30的入气端连通，第二上料管29的另一端与密封保护罩2内部密封连通，第二电磁阀31设有若干个，若干个第二电磁阀31依次设置在若干个氮气存储罐30的入气端上，第二单向阀32设置在第二上料管29靠近密封保护罩2的一端上。
具体的，通过氮气存储罐30向第二上料管29内通入氮气，第二上料管29将气体导入密封保护罩2内部，第二单向阀32能够保证气体的通入方向，使得密封保护罩2内部气体无法回流至第二上料管29中，进而保证密封保护罩2内部的密封性，第二电磁阀31用于控制氮气存储罐30的开关，保证氮气供应正常。
以上仅是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明技术原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围。
Claims (10)
1.一种用于匀胶显影机的HMDS防漏保护装置，所述用于匀胶显影机的HMDS防漏保护装置包括：
HMDS罐(1)，用于提供HMDS气体；
密封保护罩(2)，HMDS罐(1)安装在密封保护罩(2)内部，密封保护罩(2)内部处于密封状态；
氮气上料机构(3)，设置在密封保护罩(2)旁侧，氮气上料机构(3)的输出端延伸至密封保护罩(2)内部，用于提供氮气；
其特征在于，所述用于匀胶显影机的HMDS防漏保护装置还包括：
机架，设置在密封保护罩(2)旁侧；
排风机构(4)，安装在机架上，排风机构(4)的抽气端设置在密封保护罩(2)内部，排风机构(4)的排气端设置在密封保护罩(2)外侧，用于对密封保护罩(2)内部进行抽气操作，实现密封保护罩(2)内部气体排气功能；
吸收机构(5)，设置在排风机构(4)上，用于对排风机构(4)抽取的气体中的HMDS进行吸收收集，将剩余气体排出；
自动回收机构(6)，设置在机架上，自动回收机构(6)的抽气端与密封保护罩(2)内侧顶端密封连接，用于将泄露的HMDS气体压缩收集；
控制器(7)，设置在密封保护罩(2)外侧壁上；
泄露检测传感器(8)，设置在密封保护罩(2)内侧，泄露检测传感器(8)与控制器(7)电连接，用于检测密封保护罩(2)内部的HMDS浓度，从而检测HMDS是否泄露；
密封保护罩(2)外侧壁上安装有警报器(33)，警报器(33)与泄露检测传感器(8)和控制器(7)均电连接，用于在泄露检测传感器(8)检测到泄露是进行报警。
2.根据权利要求1所述的一种用于匀胶显影机的HMDS防漏保护装置，其特征在于，排风机构(4)有第一抽气泵(9)、第一抽气管(10)、第一导气管(11)、排气管(12)和第三电磁阀(13)，第一抽气泵(9)安装在机架上，第一抽气管(10)的一端与密封保护罩(2)的内部密封连通，第一抽气管(10)的另一端与第一抽气泵(9)的抽气端连通，第一导气管(11)的一端与第一抽气泵(9)的出气端连通，第一导气管(11)的另一端与吸收机构(5)进气端连通，排气管(12)的一端与吸收机构(5)的排气端连通，第三电磁阀(13)安装在第一抽气管(10)靠近密封保护罩(2)的一端。
3.根据权利要求2所述的一种用于匀胶显影机的HMDS防漏保护装置，其特征在于，排风机构(4)还包括压差表(16)，压差表(16)安装在第一导气管(11)上。
4.根据权利要求2所述的一种用于匀胶显影机的HMDS防漏保护装置，其特征在于，排风机构(4)还包括第一气体流量检测传感器(14)和第一单向阀(15)，第一气体流量检测传感器(14)固定安装在排气管(12)上，第一单向阀(15)安装在排气管(12)上，第一单向阀(15)位于第一气体流量检测传感器(14)远离吸收机构(5)的一端。
5.根据权利要求2所述的一种用于匀胶显影机的HMDS防漏保护装置，其特征在于，吸收机构(5)包括吸收塔(17)、废液收集箱(18)和喷液组件，吸收塔(17)竖直安装在机架的旁侧，废液收集箱(18)设置在吸收塔(17)的正下方，吸收塔(17)的排液管与废液收集箱(18)内部连通，喷液组件安装在机架上，喷液组件的输出端穿过吸收塔(17)的顶端设置在吸收塔(17)的内部。
6.根据权利要求5所述的一种用于匀胶显影机的HMDS防漏保护装置，其特征在于，喷液组件包括磷酸存放箱(19)、导液管(20)和雾化喷头(21)，磷酸存放箱(19)设置在机架顶端，雾化喷头(21)设有若干个，若干个雾化喷头(21)沿着吸收塔(17)轴线环形分布在吸收塔(17)的顶端，雾化喷头(21)的输出端贯穿吸收塔(17)顶端延伸至吸收塔(17)的内部，导液管(20)的一端与磷酸存放箱(19)内部连通，导液管(20)的另一端分别与若干个雾化喷头(21)的输入端依次连通。
7.根据权利要求6中任意一项所述的一种用于匀胶显影机的HMDS防漏保护装置，其特征在于，导液管(20)上安装有液体流量传感器(34)和第四电磁阀(35)，液体流量传感器(34)和第四电磁阀(35)均与控制器(7)电连接。
8.根据权利要求1-7中任意一项所述的一种用于匀胶显影机的HMDS防漏保护装置，其特征在于，自动回收机构(6)包括第二抽气泵(22)、第二抽气管(23)、第二导气管(24)和高压收集罐(25)，第二抽气泵(22)安装在机架上，第二抽气管(23)的一端与密封保护罩(2)的内侧顶端密封连通，第二抽气管(23)的另一端与第二抽气泵(22)的抽气端连通，高压收集罐(25)设置在机架旁侧，第二导气管(24)的一端与第二抽气泵(22)的排气端连通，第二导气管(24)的另一端与高压收集罐(25)内部密封连接。
9.根据权利要求1-7中任意一项所述的一种用于匀胶显影机的HMDS防漏保护装置，其特征在于，HMDS罐(1)出气端设有第一电磁阀(26)、第一上料管(27)和第一内压检测传感器(28)，第一上料管(27)一端与HMDS罐(1)内部连通，第一上料管(27)的另一端设置在密封保护罩(2)内部，第一电磁阀(26)安装在第一上料管(27)上，第一内压检测传感器(28)安装在HMDS罐(1)上。
10.根据权利要求1-7中任意一项所述的一种用于匀胶显影机的HMDS防漏保护装置，其特征在于，氮气上料机构(3)包括第二上料管(29)、氮气存储罐(30)、第二电磁阀(31)和第二单向阀(32)，氮气存储罐(30)设有若干个，若干个设置在密封保护罩(2)外侧，第二上料管(29)的一端与若干个氮气存储罐(30)的入气端连通，第二上料管(29)的另一端与密封保护罩(2)内部密封连通，第二电磁阀(31)设有若干个，若干个第二电磁阀(31)依次设置在若干个氮气存储罐(30)的入气端上，第二单向阀(32)设置在第二上料管(29)靠近密封保护罩(2)的一端上。
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