CN115445859B - 一种半导体元件的制造设备 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种半导体元件的制造设备，涉及半导体制造技术领域，目的在于提供一种提高点胶效率、完成定量点胶，保障点胶质量的半导体元件的制造设备，其技术要点包括工作台，工作台的顶部设有支撑架，支撑架的顶部镶嵌有胶桶，胶桶的顶部通过连接块安装储气罐，储气罐的底部连接导气管，导气管的底端延伸至胶桶的内腔，导气管的中部设有控制阀，胶桶的一侧设有排气管，技术效果是通过定量筒内各结构的设置，储气罐内的压缩气体可以通过进气管进入到定量筒内，可以把定量筒内的胶液全部挤出，可以防止该设备在暂停过程中，点胶头内残留的胶液污染该设备及半导体元件。
Description
技术领域
本发明涉及半导体制造技术领域，具体为一种半导体元件的制造设备。
背景技术
半导体元件是导电性介于良导电体与绝缘体之间，利用半导体材料特殊电特性来完成特定功能的电子元件，可用来产生、控制、接收、变换、放大信号和进行能量转换，半导体元件的半导体材料是硅、锗或砷化镓，可用作整流器、振荡器、发光器、放大器、测光器等器材。为了与集成电路相区别，有时也称为分立元件。绝大部分二端元件(即晶体二极管)的基本结构是一个PN结。
在针对半导体元件点胶时，由于设备一般是在竖直方向上进行点胶作业，且点胶头内的胶液无法完全喷出，而且缺少在点胶暂停过程中的接胶防漏装置，在重力的作用下，点胶头内的胶液滴落在传送装置上，会造成传送装置的污染及增加了胶的消耗，增加了生产成本，降低了点胶的效率，且对不同规格的半导体元件两端进行点胶时，需要更换不同的点胶头，影响设备的工作效率，为此，提出一种半导体元件的制造设备。
发明内容
(一)解决的技术问题
针对现有技术的不足，本发明提供一种提高点胶效率、完成定量点胶，保障点胶质量的半导体元件的制造设备。
(二)技术方案
为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种半导体元件的制造设备，包括工作台，工作台的顶部设有支撑架，支撑架的顶部镶嵌有胶桶，胶桶的顶部通过连接块安装储气罐，储气罐的底部连接导气管，导气管的底端延伸至胶桶的内腔，导气管的中部设有控制阀，胶桶的一侧设有排气管，排气管的一端连通胶桶，另一端的内腔可拆卸安装塞体，胶桶的底部安装有液压杆，液压杆的底部安装有连接架，连接架的底部通过卡柱卡接安装有另一连接架，两个连接架的内腔均通过丝杆连接有固定套，固定套的内腔内卡接有定量筒，定量筒与胶桶通过胶管连接，定量筒与储气罐通过进气管连接，定量筒底部的中部设有点胶头，定量筒的内腔内设有排胶结构，定量筒的顶部设有泄压管。
优选地，控制阀包括转芯和转动电机一，转芯与导气管的内腔活动连接，且转芯的外表面与导气管的内壁接触，转动电机一的输出轴通过减速器与转芯一侧的中部连接，转芯的中部设有排气孔。
优选地，另一连接架顶部的中部设有固定槽，卡柱与固定槽的内腔卡接，两个连接架底端的中部均活动连接有丝杆，丝杆的外圈螺纹连接有螺纹块，螺纹块的一侧连接有连接管，连接管的另一端贯穿连接架的另一端并与固定套连接，且连接管与连接架活动连接，丝杆与连接管的内腔活动连接。
优选地，胶管与进气管的材质均为波纹管，泄压管内腔的顶端连接有十字瓣膜。
优选地，排胶结构包括下转盘，下转盘顶部的中部连接有转动杆，转动杆顶端的外圈活动套接有上转盘，上转盘的顶部活动连接有顶板，胶管、泄压管和进气管的底部均与顶板的顶部连接，胶管和进气管与定量筒内腔的顶部活动连接，下转盘、顶板和上转盘均与定量筒的内腔活动连接，且上转盘上设有与胶管、泄压管和进气管三者适配的贯穿孔，下转盘的一侧设有与点胶头适配的排胶孔，定量筒顶部的中部设有连接有转动电机二，转动电机二的输出轴末端与转动杆顶部的中部连接。
优选地，转动杆的横截面为矩形，上转盘的中部设有与转动杆适配的贯穿矩形孔，顶板的中部连接有固定管，转动杆与固定管的内腔活动连接，且固定管与定量筒内腔的顶部活动连接，固定管的顶端通过螺钉与定量筒的顶部连接。
优选地，固定管的一侧设有刻度线。
(三)有益效果
与现有技术相比，本发明提供了一种半导体元件的制造设备，具备以下有益效果：
1、通过两个连接架的设置，两个点胶头之间的夹角可以根据需求进行改变，通过丝杆的设置，点胶头在丝杆所在方向上的位置可以发生改变，进而该设备可以适应多种尺寸的半导体，提高了该设备的使用效果。
2、通过定量筒内各结构的设置，储气罐内的压缩气体可以通过进气管进入到定量筒内，可以把定量筒内的胶液全部挤出，可以防止该设备在暂停过程中，点胶头内残留的胶液污染该设备及半导体元件，且点胶头不会因残留的胶液而被堵塞，便于该设备的使用。
附图说明
图1为本发明结构正面示意图；
图2为本发明结构丝杆与连接架连接示意图；
图3为本发明结构导气管剖面示意图；
图4为本发明结构定量筒内部示意图；
图5为本发明结构上转盘俯视示意图。
图中：1、工作台；2、支撑架；3、胶桶；4、储气罐；5、导气管；6、转动电机一；7、排气管；8、胶管；9、液压杆；10、固定套；11、点胶头；12、定量筒；13、丝杆；14、连接管；15、连接架；16、进气管；17、螺纹块；18、排气孔；19、转芯；21、转动电机二；22、转动杆；23、上转盘；24、下转盘；25、塞体；26、顶板；27、固定管；28、泄压管。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
请参阅图1和图3，一种半导体元件的制造设备，包括工作台1，工作台1的顶部设有支撑架2，支撑架2的顶部镶嵌有胶桶3，胶桶3的顶部通过连接块安装储气罐4，储气罐4的内腔内填充有不与胶桶3内胶液反应的惰性气体，储气罐4的底部连接导气管5，导气管5的底端延伸至胶桶3的内腔内。
导气管5的中部设有控制阀，控制阀包括转芯19和转动电机一6，转芯19与导气管5的内腔活动连接，且转芯19的外表面与导气管5的内壁接触，转动电机一6的输出轴通过减速器与转芯19一侧的中部连接，转芯19的中部设有排气孔18，转动电机一6镶嵌在一个连接块上，通过转动电机一6的设置，转动电机一6的转动可以通过减速器带动转芯19转动，转芯19上的排气孔18处于竖直状态时，储气罐4内的气体可以进入到胶桶3内，增大胶桶3内腔内的压强，便于胶桶3内的胶液的排出。
请参阅图1和图2，胶桶3的一侧设有排气管7，排气管7的一端连通胶桶3，另一端的内腔可拆卸安装塞体25，通过排气管7的设置，塞体25与排气管7分离时，胶桶3的内腔内多余的气体可以排出，便于给胶桶3补充胶液。
胶桶3底部的中部通过螺栓连接有液压杆9，液压杆9的底部设有点胶结构，通过液压杆9的设置，液压杆9的伸缩可以改变点胶结构的高度，便于点胶结构给半导体元件点胶。
点胶结构包括两个定量筒12，定量筒12的内腔与胶桶3的内腔通过胶管8连接，胶桶3内的胶液可以沿着胶管8进入到定量筒12内，定量筒12的内腔与储气罐4的内腔通过进气管16连接，储气罐4内的压缩气体可以沿着进气管16进入到定量筒12内，便于把定量筒12内的胶液挤出，且胶管8与进气管16的材质均为波纹管，通过波纹管的设置，便于定量筒12与胶桶3和储气罐4连接，定量筒12顶部的一侧连接有泄压管28，且泄压管28内腔的顶端连接有十字瓣膜，通过十字瓣膜的设置，可以起到密封的作用，防止外界的灰尘沿着泄压管28的内腔进行到定量筒12内。
定量筒12底部的中部镶嵌有点胶头11，通过点胶头11的设置，便于胶液的流出，定量筒12中部的外圈固定套接有固定套10，固定套10的内侧焊接有连接管14，连接管14与连接架15的一侧活动连接，连接管14的另一端焊接有螺纹块17，螺纹块17的中部螺纹连接有丝杆13，丝杆13的一端与连接管14的内腔活动连接，丝杆13的另一端贯穿连接架15的另一端，并与连接架15的另一侧活动连接，通过丝杆13的设置，丝杆13的转动可以改变螺纹块17的水平位置，螺纹块17通过与之连接的连接管14带动固定套10移动，点胶头11的位置可以发生改变，便于该设备适应多种尺寸的半导体元件。
连接架15有两个，两个连接架15通过卡柱连接，液压杆9的底端与一个连接架15顶部的中部卡接，该连接架15底部的中部焊接有卡柱，另一连接架15顶部的中部设有与卡柱适配的卡孔。
请参阅图2至图5，定量筒12的内腔内设有排胶结构，通过排胶结构的设置，便于定量筒12补充胶液和胶液的排出，排胶结构包括下转盘24，下转盘24顶部的中部焊接有转动杆22，转动杆22顶端的外圈活动套接有上转盘23，上转盘23的顶部活动连接有顶板26，胶管8、泄压管28和进气管16的底部均与顶板26的顶部连接，胶管8和进气管16与定量筒12内腔的顶部活动连接，下转盘24、顶板26和上转盘23均与定量筒12的内腔活动连接，且上转盘23上设有与胶管8、泄压管28和进气管16三者适配的贯穿孔，且胶管8和泄压管28两者与其适配的贯穿孔重叠时，进气管16和与之适配的贯穿孔处于错开的状态，便于给定量筒12补充胶液，反之进气管16和与之适配的贯穿孔处于重叠的状态时，胶管8和泄压管28两者与其适配的贯穿孔处于错开的状态，便于定量筒12内胶液的排出。
下转盘24的一侧设有与点胶头11适配的排胶孔，定量筒12顶部的中部设有连接有转动电机二21，转动电机二21的输出轴末端与转动杆22顶部的中部通过减速器连接，通过转动电机二21的设置，转动电机二21的转动可以带动与之连接的转动杆22转动，转动杆22带动上转盘23和下转盘24转动。
转动杆22的横截面为矩形，上转盘23的中部设有与转动杆22适配的贯穿矩形孔，上转盘23可以在竖直方向上移动，顶板26的中部镶嵌有固定管27，转动杆22与固定管27的内腔活动连接，且固定管27与定量筒12内腔的顶部活动连接，固定管27的顶端通过螺钉与定量筒12的顶部连接，通过固定管27的设置，顶板26的高度可以发生改变，顶板26带动上转盘23移动，上转盘23和下转盘24之间的距离发生改变，即定量筒12的有效体积发生改变，该设备可以适应多种需求，提高了该设备的实用效果。
工作原理：使用时，使用者根据需求调节两个点胶头11之间的距离和夹角，使该设备能够给半导体元件的合适部位进行点胶，且使用者根据需求调整上转盘23和下转盘24之间的距离，使定量筒12内的胶液量满足点胶头11的一次点胶量，需要给定量筒12的内腔内补充胶液时，进气管16的底部和与之适配的贯穿孔处于错开的状态，点胶头11的顶部与下转盘24上的排胶孔处于错开的状态，转芯19上的排气孔18在转动电机一6的作用下处于竖直的状态时，储气罐4内的压缩气体沿着导气管5进入到胶桶3内，胶桶3内的胶液在压力的作用下进入到定量筒12内，定量筒12内的胶液满了后，转芯19上的排气孔18与导气管5的侧壁接触，且转动电机二21转动、液压杆9伸长，液压杆9带动点胶头11靠近半导体元件，转动电机二21的转动使进气管16的底部和与之适配的贯穿孔处于重叠的状态，点胶头11的顶部与下转盘24上的排胶孔处于重叠的状态，储气罐4内的压缩气体通过进气管16进入到定量筒12内，压缩气体把定量筒12内的胶液完全挤出，挤出的胶液在重力的作用下掉落在半导体元件上合适的位置处。
以上仅为本发明的具体实施例，但本发明的技术特征并不局限于此。任何以本发明为基础，为解决基本相同的技术问题，实现基本相同的技术效果，所作出的简单变化、等同替换或者修饰等，皆涵盖于本发明的保护范围之中。
Claims (6)
1.一种半导体元件的制造设备，包括工作台(1)，其特征在于：工作台(1)的顶部设有支撑架(2)，支撑架(2)的顶部镶嵌有胶桶(3)，胶桶(3)的顶部通过连接块安装储气罐(4)，储气罐(4)的底部连接导气管(5)，导气管(5)的底端延伸至胶桶(3)的内腔，导气管(5)的中部设有控制阀，胶桶(3)的一侧设有排气管(7)，排气管(7)的一端连通胶桶(3)，另一端的内腔可拆卸安装塞体(25)，胶桶(3)的底部安装有液压杆(9)，液压杆(9)的底部安装有连接架(15)，连接架(15)的底部通过卡柱卡接安装有另一连接架(15)，两个连接架(15)的内腔均通过丝杆(13)连接有固定套(10)，固定套(10)的内腔内卡接有定量筒(12)，定量筒(12)与胶桶(3)通过胶管(8)连接，定量筒(12)与储气罐(4)通过进气管(16)连接，定量筒(12)底部的中部设有点胶头(11)，定量筒(12)的内腔内设有排胶结构，定量筒(12)的顶部设有泄压管(28)；
排胶结构包括下转盘(24)，下转盘(24)顶部的中部连接有转动杆(22)，转动杆(22)顶端的外圈活动套接有上转盘(23)，上转盘(23)的顶部活动连接有顶板(26)，胶管(8)、泄压管(28)和进气管(16)的底部均与顶板(26)的顶部连接，胶管(8)和进气管(16)与定量筒(12)内腔的顶部活动连接，下转盘(24)、顶板(26)和上转盘(23)均与定量筒(12)的内腔活动连接，且上转盘(23)上设有与胶管(8)、泄压管(28)和进气管(16)三者适配的贯穿孔，下转盘(24)的一侧设有与点胶头(11)适配的排胶孔，定量筒(12)顶部的中部设有连接有转动电机二(21)，转动电机二(21)的输出轴末端与转动杆(22)顶部的中部连接。
2.根据权利要求1所述的一种半导体元件的制造设备，其特征在于：控制阀包括转芯(19)和转动电机一(6)，转芯(19)与导气管(5)的内腔活动连接，且转芯(19)的外表面与导气管(5)的内壁接触，转动电机一(6)的输出轴通过减速器与转芯(19)一侧的中部连接，转芯(19)的中部设有排气孔(18)。
3.根据权利要求1所述的一种半导体元件的制造设备，其特征在于：另一连接架(15)顶部的中部设有固定槽，卡柱与固定槽的内腔卡接，两个连接架(15)底端的中部均活动连接有丝杆(13)，丝杆(13)的外圈螺纹连接有螺纹块(17)，螺纹块(17)的一侧连接有连接管(14)，连接管(14)的另一端贯穿连接架(15)的另一端并与固定套(10)连接，且连接管(14)与连接架(15)活动连接，丝杆(13)与连接管(14)的内腔活动连接。
4.根据权利要求1所述的一种半导体元件的制造设备，其特征在于：胶管(8)与进气管(16)的材质均为波纹管，泄压管(28)内腔的顶端连接有十字瓣膜。
5.根据权利要求1所述的一种半导体元件的制造设备，其特征在于：转动杆(22)的横截面为矩形，上转盘(23)的中部设有与转动杆(22)适配的贯穿矩形孔，顶板(26)的中部连接有固定管(27)，转动杆(22)与固定管(27)的内腔活动连接，且固定管(27)与定量筒(12)内腔的顶部活动连接，固定管(27)的顶端通过螺钉与定量筒(12)的顶部连接。
6.根据权利要求5所述的一种半导体元件的制造设备，其特征在于：固定管(27)的一侧设有刻度线。
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