CN115445356A - 一种电子级硫酸车间尾气处理装置及使用方法 - Google Patents

一种电子级硫酸车间尾气处理装置及使用方法 Download PDF

Info

Publication number
CN115445356A
CN115445356A CN202211151768.XA CN202211151768A CN115445356A CN 115445356 A CN115445356 A CN 115445356A CN 202211151768 A CN202211151768 A CN 202211151768A CN 115445356 A CN115445356 A CN 115445356A
Authority
CN
China
Prior art keywords
base
water
tail gas
sulfuric acid
electronic
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN202211151768.XA
Other languages
English (en)
Inventor
魏浩
坎勇
陈力
姚玲
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Jianghuawei Zhenjiang Electronic Material Co ltd
Original Assignee
Jianghuawei Zhenjiang Electronic Material Co ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Jianghuawei Zhenjiang Electronic Material Co ltd filed Critical Jianghuawei Zhenjiang Electronic Material Co ltd
Priority to CN202211151768.XA priority Critical patent/CN115445356A/zh
Publication of CN115445356A publication Critical patent/CN115445356A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D47/00—Separating dispersed particles from gases, air or vapours by liquid as separating agent
    • B01D47/06—Spray cleaning
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D47/00—Separating dispersed particles from gases, air or vapours by liquid as separating agent
    • B01D47/14—Packed scrubbers
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D53/00—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols
    • B01D53/34—Chemical or biological purification of waste gases
    • B01D53/46—Removing components of defined structure
    • B01D53/48—Sulfur compounds
    • B01D53/50—Sulfur oxides
    • B01D53/501—Sulfur oxides by treating the gases with a solution or a suspension of an alkali or earth-alkali or ammonium compound
    • B01D53/502—Sulfur oxides by treating the gases with a solution or a suspension of an alkali or earth-alkali or ammonium compound characterised by a specific solution or suspension
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D53/00—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols
    • B01D53/34—Chemical or biological purification of waste gases
    • B01D53/46—Removing components of defined structure
    • B01D53/48—Sulfur compounds
    • B01D53/50—Sulfur oxides
    • B01D53/501—Sulfur oxides by treating the gases with a solution or a suspension of an alkali or earth-alkali or ammonium compound
    • B01D53/504—Sulfur oxides by treating the gases with a solution or a suspension of an alkali or earth-alkali or ammonium compound characterised by a specific device
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D53/00—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols
    • B01D53/34—Chemical or biological purification of waste gases
    • B01D53/74—General processes for purification of waste gases; Apparatus or devices specially adapted therefor
    • B01D53/77—Liquid phase processes
    • B01D53/78—Liquid phase processes with gas-liquid contact
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D2251/00—Reactants
    • B01D2251/30—Alkali metal compounds
    • B01D2251/304—Alkali metal compounds of sodium
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D2251/00—Reactants
    • B01D2251/60—Inorganic bases or salts
    • B01D2251/604—Hydroxides
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D2258/00—Sources of waste gases
    • B01D2258/02—Other waste gases

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Environmental & Geological Engineering (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Biomedical Technology (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Oil, Petroleum & Natural Gas (AREA)
  • Gas Separation By Absorption (AREA)

Abstract

本发明公开了一种电子级硫酸车间尾气处理装置及使用方法，包括：底座；所述底座上设置有洗涤塔壳体；所述洗涤塔壳体的顶端面设置有喷淋壳体；加水机构，设于所述底座的内腔；电导率测试仪探针，设于所述底座的表面；所述电导率测试仪探针伸入至底座的内腔，用于检测水源电导率；电机，设于所述底座的表面；所述电机与加水机构配合；其中，所述加水机构沿电机轴心线往复运动；其中，所述加水机构与底座的底端面接触；本发明的有益效果是：通过上述的对于底座进行加水的方式，在对电子级硫酸尾气进行处理时，能及时地对于底座内溶液的浓度进行稀释，从而防止溶液中的Na2SO4浓度越来越高，超过饱和吸收度，析出Na2SO4晶体造成底座内部出现堵塞。

Description

一种电子级硫酸车间尾气处理装置及使用方法
技术领域
本发明涉及一种电子级硫酸车间尾气处理装置及使用方法。
背景技术
电子级硫酸又称高纯硫酸、超纯硫酸，属于超净高纯试剂，是一种微电子技术发展过程中不可缺少的关键基础化学试剂，在电子级硫酸的生产过程中，会产生SO3以及H2SO4气体，需要对尾气进行处理。
现有的处理方法是将有害的尾气导入至洗涤塔中，使得尾气通过多组填料段、除雾单元进行处理，并在处理的过程中，通过由高浓度NaOH与水混合配置而成混合溶液进行清洗，从而完成处理，但是在对尾气进行处理时，尾气处理设备中Na2SO4浓度越来越高，超过饱和吸收度，会析出Na2SO4晶体，而Na2SO4晶体会堵塞洗涤塔的管道，影响正常的处理工作，鉴于此，本发明提出了一种电子级硫酸车间尾气处理装置及使用方法，以解决上述问题。
发明内容
本发明的目的在于提供一种电子级硫酸车间尾气处理装置及使用方法，以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：
一种电子级硫酸车间尾气处理装置，包括：
底座；所述底座上设置有洗涤塔壳体；所述洗涤塔壳体的顶端面设置有喷淋壳体；
加水机构，设于所述底座的内腔，用于加水降低浓度；
电导率测试仪探针，设于所述底座的表面；所述电导率测试仪探针伸入至底座的内腔，用于检测水源电导率；
电机，设于所述底座的表面；所述电机与加水机构配合；
其中，所述加水机构沿电机轴心线往复运动；
其中，所述加水机构与底座的底端面接触。
作为上述技术方案的改进，所述底座内设置有多组隔板，多组隔板将底座分割成一组第一腔体、三组第二腔体，所述加水机构设置有三组，且三组加水机构分别设置在第二腔体中，所述第一腔体中设置有第一托架，三组所述第二腔体中均设置有第二托架。
作为上述技术方案的改进，所述加水机构包括移动板，所述移动板设置在第二腔体中，所述移动板上滑动设置有导向杆，所述导向杆与底座连接，所述移动板上还螺纹连接有螺杆，所述螺杆转动连接在底座上，所述螺杆与电机连接。
作为上述技术方案的改进，所述加水机构还包括出水管道，所述出水管道设置在移动板上，所述出水管道上设置有加水软管，所述底座的外壁还设置有内腔连通的固定管道，所述加水软管与固定管道连接。
作为上述技术方案的改进，所述移动板开设有槽口，所述第二托架设置在槽口中，所述移动板表面还开设有多组通孔，所述移动板与底座、隔板表面接触。
作为上述技术方案的改进，所述底座上连接有安装座，所述安装座上设置有多组循环泵，所述循环泵与喷淋壳体之间通过管路连接，所述循环泵还与固定管道之间通过管路连接。
作为上述技术方案的改进，所述固定管道上还设置有三通接头，所述三通接头每个接口上均设置有加水电磁阀，所述循环泵通过管路与三通接头内腔连通。
作为上述技术方案的改进，所述底座上还设置有三组连通管道，所述连通管道上设置有连通电磁阀，三组所述连通管道将一组第一腔体、三组第二腔体连通。
一种电子级硫酸车间尾气处理装置的使用方法，包括以下步骤：
S1、壳体接通：
将高浓度NaOH与水混合液体导入之底座中，并将洗涤塔壳体进气口与产生尾气的设备对接，使得尾气依次通过多组填料段、一组除雾段进行处理，之后通过洗涤塔壳体的出气口将处理完成后的尾气进行排放；
S2、尾气处理：
在尾气进入至洗涤塔壳体内部时，循环泵将高浓度NaOH与水混合液体导入之喷淋壳体中，并且喷淋在多组填料段中，对于经过填料段的尾气进行处理；
S3、浓度监控：
电导率测试仪探针对于底座多组溶液的混合液进行电导率监控，当电导率高于α时，进行加水稀释；当电导率低于α时，保持原有状态继续对尾气进行处理（其中α为预先设定的电导率的值）；
S4、加水稀释：
在S3、浓度监控中，当电导率高于α时，三通接头中d1、d2打开，d3关闭，从而使得外部的水源进入至底座中，同时电机带动螺杆进行旋转，从而带动移动板沿着导向杆轴心进行往复运动，带动出水管道往复移动，进行加水，加水完成后d2、d3打开，d1关闭，并继续对于尾气进行处理。
作为上述技术方案的改进，在S4、加水稀释中，如果底座中的液位过高，停止加水，并且三通接头中d1、d2打开，d3关闭，将d2与抽水泵连接，并且电机带动螺杆进行旋转，从而带动移动板沿着导向杆轴心进行往复运动，带动出水管道往复移动，将底座内的混合溶液导出。
与现有技术相比，本发明的有益效果是：
在对电子级硫酸尾气进行处理时，将高浓度NaOH与水混合液体导入之底座中，并将洗涤塔壳体进气口与产生尾气的设备对接，使得尾气依次通过多组填料段、一组除雾段进行处理，之后通过洗涤塔壳体的出气口将处理完成后的尾气进行排放，在处理过程中电导率测试仪探针对于底座多组溶液的混合液进行电导率监控，当电导率高于α时，进行加水机构加水稀释；当电导率低于α时，保持原有状态继续对尾气进行处理（其中α为预先设定的电导率的值）；
通过上述的对于底座进行加水的方式，在对电子级硫酸尾气进行处理时，能及时地对于底座内溶液的浓度进行稀释，从而防止溶液中的Na2SO4浓度越来越高，超过饱和吸收度，析出Na2SO4 晶体造成底座内部出现堵塞；
通过上述的对于底座进行加水的方式，在进行加水的过程中，加水机构不断地移动，能使得新加入的水与底座内原有的溶液进行快速的混合，从而提高混合的效率，防止影响处理电子级硫酸尾气的效率。
附图说明
图1为现有洗涤塔的结构示意图；
图2为本发明的结构示意图；
图3为本发明底座的结构示意图；
图4为本发明加水机构、底座的连接示意图；
图5为本发明图3中A处大的放大结构示意图；
图6为本发明底座、安装座的连接示意图；
图7为本发明图6中B处的放大结构示意图。
图中：10、洗涤塔壳体；11、喷淋壳体；20、底座；21、第一腔体；22、第二腔体；23、第一托架；24、第二托架；25、隔板；26、固定管道；30、电机；40、电导率测试仪探针；50、加水机构；51、加水软管；52、螺杆；53、导向杆；54、移动板；541、槽口；542、通孔；55、出水管道；60、安装座；70、循环泵；80、连通管道；81、连通电磁阀；90、三通接头；91、加水电磁阀。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
实施例：
如图1-7所示，本实施例提出了一种电子级硫酸车间尾气处理装置，包括：
底座20；所述底座20上设置有洗涤塔壳体10；所述洗涤塔壳体10的顶端面设置有喷淋壳体11；
加水机构50，设于所述底座20的内腔，用于加水降低浓度；
电导率测试仪探针40，设于所述底座20的表面；所述电导率测试仪探针40伸入至底座20的内腔，用于检测水源电导率；
电机30，设于所述底座20的表面；所述电机30与加水机构50配合；
其中，所述加水机构50沿电机30轴心线往复运动；
其中，所述加水机构50与底座20的底端面接触。
本案中，洗涤塔壳体10设置有进气口、出气口；电机30为伺服电机；电导率测试仪探针40为现有技术，在此不做详细陈述；
洗涤塔壳体10内壁设置有多组填料段、一组除雾段，详细请见图1，在此不作详细陈述。
本实施例中，在对电子级硫酸尾气进行处理时，将高浓度NaOH与水混合液体导入之底座20中，并将洗涤塔壳体10进气口与产生尾气的设备对接，使得尾气依次通过多组填料段、一组除雾段进行处理，之后通过洗涤塔壳体10的出气口将处理完成后的尾气进行排放，在处理过程中电导率测试仪探针40对于底座20多组溶液的混合液进行电导率监控，当电导率高于α时，进行加水机构50加水稀释；当电导率低于α时，保持原有状态继续对尾气进行处理其中α为预先设定的电导率的值；
通过上述的对于底座20进行加水的方式，在对电子级硫酸尾气进行处理时，能及时地对于底座20内溶液的浓度进行稀释，从而防止溶液中的Na2SO4浓度越来越高，超过饱和吸收度，析出Na2SO4 晶体造成底座20内部出现堵塞；
通过上述的对于底座20进行加水的方式，在进行加水的过程中，加水机构50不断地移动，能使得新加入的水与底座20内原有的溶液进行快速的混合，从而提高混合的效率，防止影响处理电子级硫酸尾气的效率。
具体的，所述底座20内设置有多组隔板25，多组隔板25将底座20分割成一组第一腔体21、三组第二腔体22，所述加水机构50设置有三组，且三组加水机构50分别设置在第二腔体22中，所述第一腔体21中设置有第一托架23，三组所述第二腔体22中均设置有第二托架24。
本实施例中，填料段设置在第二腔体22的第二托架24上，除雾段设置在第一腔体21的第一托架23上，当然填料段、除雾段为现有技术，在此不作详细陈述（详见图1）；
通过上述隔板25对于底座20内部的分割，在对电子级硫酸尾气进行处理时，由于多段填料段内的溶液相对独立，能防止溶液之间相互影响，从而影响多段填料段的过滤效率。
具体的，所述加水机构50包括移动板54，所述移动板54设置在第二腔体22中，所述移动板54上滑动设置有导向杆53，所述导向杆53与底座20连接，所述移动板54上还螺纹连接有螺杆52，所述螺杆52转动连接在底座20上，所述螺杆52与电机30连接。
本实施例中，在对底座20内的混合溶液进行扰动时，电机30带动螺杆52进行旋转，从而通过螺杆52与移动板54之间的螺纹配合，能带动移动板54进行往复运动，从而对底座20内混合溶液进行扰动，从而便于进行加水工作。
具体的，所述加水机构50还包括出水管道55，所述出水管道55设置在移动板54上，所述出水管道55上设置有加水软管51，所述底座20的外壁还设置有内腔连通的固定管道26，所述加水软管51与固定管道26连接。
本实施例中，在移动板54进行移动的过程中，带动固定管道26进行移动，从而使得加入的水源能在底座20内不同的位置处扩散，从而提高水与底座20内混合溶液的混合效率。
具体的，所述移动板54开设有槽口541，所述第二托架24设置在槽口541中，所述移动板54表面还开设有多组通孔542，所述移动板54与底座20、隔板25表面接触。
本实施例中，在移动板54往复运动的过程中，由于移动板54与底座20、隔板25表面接触，当底座20、隔板25的表面有析出的Na2SO4 晶体时，能对晶体进行处理。
具体的，所述底座20上连接有安装座60，所述安装座60上设置有多组循环泵70，所述循环泵70与喷淋壳体11之间通过管路连接，所述循环泵70还与固定管道26之间通过管路连接。
本实施例中，每组循环泵70分别与每组加水机构50配合，在对电子级硫酸尾气进行处理时，循环泵70将底座20内的混合溶液导入至喷淋壳体11中，并从填料段落下，对于电子级硫酸尾气新型处理。
具体的，所述固定管道26上还设置有三通接头90，所述三通接头90每个接口上均设置有加水电磁阀91，所述循环泵70通过管路与三通接头90内腔连通。
本实施例中，三通接头90设置有d1、d2及d3口；
当三通接头90中d1、d2打开，d3关闭，外部的水源进入至底座20中，当然d2口上有水管连接，并通过水泵进行供水；
当d2、d3打开，d1关闭，循环泵70将底座20内的混合溶液导入至喷淋壳体11中，对于电子级硫酸尾气进行处理。
具体的，所述底座20上还设置有三组连通管道80，所述连通管道80上设置有连通电磁阀81，三组所述连通管道80将一组第一腔体21、三组第二腔体22连通。
本实施例中，在对底座20内进行集中清洗时，多组连通管道80能使得底座20多组腔体进行连通，便于进行集中清洗，提高清洗的效率。
一种电子级硫酸车间尾气处理装置的使用方法，包括以下步骤：
S1、壳体接通：
将高浓度NaOH与水混合液体导入之底座20中，并将洗涤塔壳体10进气口与产生尾气的设备对接，使得尾气依次通过多组填料段、一组除雾段进行处理，之后通过洗涤塔壳体10的出气口将处理完成后的尾气进行排放；
S2、尾气处理：
在尾气进入至洗涤塔壳体10内部时，循环泵70将高浓度NaOH与水混合液体导入之喷淋壳体11中，并且喷淋在多组填料段中，对于经过填料段的尾气进行处理；
S3、浓度监控：
电导率测试仪探针40对于底座20多组溶液的混合液进行电导率监控，当电导率高于α时，进行加水稀释；当电导率低于α时，保持原有状态继续对尾气进行处理（其中α为预先设定的电导率的值）；
S4、加水稀释：
在S3、浓度监控中，当电导率高于α时，三通接头90中d1、d2打开，d3关闭，从而使得外部的水源进入至底座20中，同时电机30带动螺杆52进行旋转，从而带动移动板54沿着导向杆53轴心进行往复运动，带动出水管道55往复移动，进行加水，加水完成后d2、d3打开，d1关闭，并继续对于尾气进行处理。
在S4、加水稀释中，如果底座20中的液位过高，停止加水，并且三通接头90中d1、d2打开，d3关闭，将d2与抽水泵连接，并且电机30带动螺杆52进行旋转，从而带动移动板54沿着导向杆53轴心进行往复运动，带动出水管道55往复移动，将底座20内的混合溶液导出。
通过上述的对于底座20进行加水的方式，在对电子级硫酸尾气进行处理时，能及时地对于底座20内溶液的浓度进行稀释，从而防止溶液中的Na2SO4浓度越来越高，超过饱和吸收度，析出Na2SO4 晶体造成底座20内部出现堵塞；
通过上述的对于底座20进行加水的方式，在进行加水的过程中，加水机构50不断地移动，能使得新加入的水与底座20内原有的溶液进行快速的混合，从而提高混合的效率，防止影响处理电子级硫酸尾气的效率。
尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (10)

1.一种电子级硫酸车间尾气处理装置，其特征在于：包括：
底座（20）；所述底座（20）上设置有洗涤塔壳体（10）；所述洗涤塔壳体（10）的顶端面设置有喷淋壳体（11）；
加水机构（50），设于所述底座（20）的内腔，用于加水降低浓度；
电导率测试仪探针（40），设于所述底座（20）的表面；所述电导率测试仪探针（40）伸入至底座（20）的内腔，用于检测水源电导率；
电机（30），设于所述底座（20）的表面；所述电机（30）与加水机构（50）配合；
其中，所述加水机构（50）沿电机（30）轴心线往复运动；
其中，所述加水机构（50）与底座（20）的底端面接触。
2.根据权利要求1所述的一种电子级硫酸车间尾气处理装置，其特征在于：所述底座（20）内设置有多组隔板（25），多组隔板（25）将底座（20）分割成一组第一腔体（21）、三组第二腔体（22），所述加水机构（50）设置有三组，且三组加水机构（50）分别设置在第二腔体（22）中，所述第一腔体（21）中设置有第一托架（23），三组所述第二腔体（22）中均设置有第二托架（24）。
3.根据权利要求1所述的一种电子级硫酸车间尾气处理装置，其特征在于：所述加水机构（50）包括移动板（54），所述移动板（54）设置在第二腔体（22）中，所述移动板（54）上滑动设置有导向杆（53），所述导向杆（53）与底座（20）连接，所述移动板（54）上还螺纹连接有螺杆（52），所述螺杆（52）转动连接在底座（20）上，所述螺杆（52）与电机（30）连接。
4.根据权利要求3所述的一种电子级硫酸车间尾气处理装置，其特征在于：所述加水机构（50）还包括出水管道（55），所述出水管道（55）设置在移动板（54）上，所述出水管道（55）上设置有加水软管（51），所述底座（20）的外壁还设置有内腔连通的固定管道（26），所述加水软管（51）与固定管道（26）连接。
5.根据权利要求3所述的一种电子级硫酸车间尾气处理装置，其特征在于：所述移动板（54）开设有槽口（541），所述第二托架（24）设置在槽口（541）中，所述移动板（54）表面还开设有多组通孔（542），所述移动板（54）与底座（20）、隔板（25）表面接触。
6.根据权利要求4所述的一种电子级硫酸车间尾气处理装置，其特征在于：所述底座（20）上连接有安装座（60），所述安装座（60）上设置有多组循环泵（70），所述循环泵（70）与喷淋壳体（11）之间通过管路连接，所述循环泵（70）还与固定管道（26）之间通过管路连接。
7.根据权利要求4所述的一种电子级硫酸车间尾气处理装置，其特征在于：所述固定管道（26）上还设置有三通接头（90），所述三通接头（90）每个接口上均设置有加水电磁阀（91），所述循环泵（70）通过管路与三通接头（90）内腔连通。
8.根据权利要求2所述的一种电子级硫酸车间尾气处理装置，其特征在于：所述底座（20）上还设置有三组连通管道（80），所述连通管道（80）上设置有连通电磁阀（81），三组所述连通管道（80）将一组第一腔体（21）、三组第二腔体（22）连通。
9.基于权利要求1-8任意一项所述的一种电子级硫酸车间尾气处理装置的使用方法，其特征在于：包括以下步骤：
S1、壳体接通：
将高浓度NaOH与水混合液体导入之底座（20）中，并将洗涤塔壳体（10）进气口与产生尾气的设备对接，使得尾气依次通过多组填料段、一组除雾段进行处理，之后通过洗涤塔壳体（10）的出气口将处理完成后的尾气进行排放；
S2、尾气处理：
在尾气进入至洗涤塔壳体（10）内部时，循环泵（70）将高浓度NaOH与水混合液体导入之喷淋壳体（11）中，并且喷淋在多组填料段中，对于经过填料段的尾气进行处理；
S3、浓度监控：
电导率测试仪探针（40）对于底座（20）多组溶液的混合液进行电导率监控，当电导率高于α时，进行加水稀释；当电导率低于α时，保持原有状态继续对尾气进行处理（其中α为预先设定的电导率的值）；
S4、加水稀释：
在S3、浓度监控中，当电导率高于α时，三通接头（90）中d1、d2打开，d3关闭，从而使得外部的水源进入至底座（20）中，同时电机（30）带动螺杆（52）进行旋转，从而带动移动板（54）沿着导向杆（53）轴心进行往复运动，带动出水管道（55）往复移动，进行加水，加水完成后d2、d3打开，d1关闭，并继续对于尾气进行处理。
10.根据权利要求9所述的一种电子级硫酸车间尾气处理装置使用方法，其特征在于：在S4、加水稀释中，如果底座（20）中的液位过高，停止加水，并且三通接头（90）中d1、d2打开，d3关闭，将d2与抽水泵连接，并且电机（30）带动螺杆（52）进行旋转，从而带动移动板（54）沿着导向杆（53）轴心进行往复运动，带动出水管道（55）往复移动，将底座（20）内的混合溶液导出。
CN202211151768.XA 2022-09-21 2022-09-21 一种电子级硫酸车间尾气处理装置及使用方法 Pending CN115445356A (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202211151768.XA CN115445356A (zh) 2022-09-21 2022-09-21 一种电子级硫酸车间尾气处理装置及使用方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202211151768.XA CN115445356A (zh) 2022-09-21 2022-09-21 一种电子级硫酸车间尾气处理装置及使用方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN115445356A true CN115445356A (zh) 2022-12-09

Family

ID=84304038

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN202211151768.XA Pending CN115445356A (zh) 2022-09-21 2022-09-21 一种电子级硫酸车间尾气处理装置及使用方法

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN115445356A (zh)

Citations (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN203955024U (zh) * 2014-07-04 2014-11-26 金广恒环保技术（南京）有限公司 方型卧式洗涤塔
CN207493452U (zh) * 2017-11-20 2018-06-15 武汉惠斯顿环保科技有限公司 一种卧式错流洗涤塔及洗涤系统
WO2018136648A1 (en) * 2017-01-18 2018-07-26 Ion Engineering, Llc Carbon dioxide capture system and method with mass transfer contactor
CN207951052U (zh) * 2017-12-28 2018-10-12 天津派瑞环境工程技术有限公司 一种酸碱洗涤塔
CN208893969U (zh) * 2018-08-06 2019-05-24 凌云博际（北京）科技有限公司 一种组合式除臭系统
CN210025879U (zh) * 2019-05-17 2020-02-07 安徽美邦树脂科技有限公司 一种pvb中间膜生产用锥形混料装置
CN214513744U (zh) * 2021-03-29 2021-10-29 江苏永之清固废处置有限公司 一种危险废物高温焚烧烟气湿法脱酸装置
CN215539686U (zh) * 2021-08-10 2022-01-18 重庆利普科技股份有限公司 一种净化效率高的酸雾洗涤塔
CN215782654U (zh) * 2021-06-17 2022-02-11 苏州玖廷环保科技有限公司 一种酸碱废气洗涤塔
CN216171223U (zh) * 2021-10-21 2022-04-05 江苏博恩环境工程成套设备有限公司 一种新型的化学洗涤塔和生物滤池组合的废气除臭装置
CN216572808U (zh) * 2021-12-13 2022-05-24 孙梅英 一种环境工程用环保污水处理装置
CN216878618U (zh) * 2021-12-14 2022-07-05 扬州市职业大学(扬州市广播电视大学) 一种印刷车间用废气处理装置

Patent Citations (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN203955024U (zh) * 2014-07-04 2014-11-26 金广恒环保技术（南京）有限公司 方型卧式洗涤塔
WO2018136648A1 (en) * 2017-01-18 2018-07-26 Ion Engineering, Llc Carbon dioxide capture system and method with mass transfer contactor
CN207493452U (zh) * 2017-11-20 2018-06-15 武汉惠斯顿环保科技有限公司 一种卧式错流洗涤塔及洗涤系统
CN207951052U (zh) * 2017-12-28 2018-10-12 天津派瑞环境工程技术有限公司 一种酸碱洗涤塔
CN208893969U (zh) * 2018-08-06 2019-05-24 凌云博际（北京）科技有限公司 一种组合式除臭系统
CN210025879U (zh) * 2019-05-17 2020-02-07 安徽美邦树脂科技有限公司 一种pvb中间膜生产用锥形混料装置
CN214513744U (zh) * 2021-03-29 2021-10-29 江苏永之清固废处置有限公司 一种危险废物高温焚烧烟气湿法脱酸装置
CN215782654U (zh) * 2021-06-17 2022-02-11 苏州玖廷环保科技有限公司 一种酸碱废气洗涤塔
CN215539686U (zh) * 2021-08-10 2022-01-18 重庆利普科技股份有限公司 一种净化效率高的酸雾洗涤塔
CN216171223U (zh) * 2021-10-21 2022-04-05 江苏博恩环境工程成套设备有限公司 一种新型的化学洗涤塔和生物滤池组合的废气除臭装置
CN216572808U (zh) * 2021-12-13 2022-05-24 孙梅英 一种环境工程用环保污水处理装置
CN216878618U (zh) * 2021-12-14 2022-07-05 扬州市职业大学(扬州市广播电视大学) 一种印刷车间用废气处理装置

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN101775607A (zh) 铜及铜合金管棒线材的强制循环酸洗法
CN208261348U (zh) 喷淋清洗机
CN110081310A (zh) 在线阳光控制膜镀膜系统用硅烷汇流排及其供气操作方法
JP3632334B2 (ja) ウェーハ洗浄装置
CN115445356A (zh) 一种电子级硫酸车间尾气处理装置及使用方法
CN106435785B (zh) 一种提高油剂稳定性的上油装置及其方法
CN209564852U (zh) 反渗透膜或纳滤膜制备工艺中的清洗系统
CN209967946U (zh) 一种用于印染过程中废气处理设备
CN210410163U (zh) 一种废气脱硫脱硝用喷淋净化装置
CN212050569U (zh) 一种片碱停车蒸汽自动吹扫系统
CN108217664A (zh) 一种硅微粉选择性絮凝提纯用装置
CN202129232U (zh) 一种电镀工件雾化除渍装置
CN210303137U (zh) 一种用于氟化物生产的尾气回收设备
CN208617988U (zh) 一种螺丝酸洗装置
CN219186446U (zh) 一种反应尾气中氯气的无害化处理装置
CN219149907U (zh) 一种化工厂清洗水循环利用设备
CN220520838U (zh) 一种莱赛尔纤维丝束水洗系统
CN220090989U (zh) 一种气体处理装置用单泵循环水装置
CN106139854A (zh) 一种干湿法结合除多种尾气净化器
CN217312704U (zh) 一种化工废气碱洗喷淋塔
CN220047700U (zh) 一种气体处理装置用双泵循环水装置
CN114804920B (zh) 一种新型高温磷酸腐蚀机及其控制方式
CN221027723U (zh) 一种氨气直接生产电子级氨水的生产装置
CN220779597U (zh) 一种多晶硅酸洗废气排放处理装置
CN220589433U (zh) 一种半导体处理洁净室新风处理过滤器

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination