CN220779597U - 一种多晶硅酸洗废气排放处理装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型属于多晶硅生产技术领域，尤其涉及一种多晶硅酸洗废气排放处理装置，包括酸洗池和喷淋塔，所述酸洗池的内部设置有酸洗装置，所述酸洗装置包括酸洗单元和进出料单元，所述喷淋塔的内部设置有喷淋净化装置，所述喷淋净化装置包括输送单元和净化单元。该多晶硅酸洗废气排放处理装置，通过进出料单元来将多晶硅投入酸洗单元中酸洗辊的内部，并对酸洗池和酸洗辊进行密封，避免在酸洗的过程中，所产生的有害气体溢出，危害人们的身体健康，通过输送单元将碱液传输至净化单元内部的喷淋头处喷出，从而对酸洗废气进行净化处理，排气管内部的SDG吸附剂则更进一步的对废气中的残留有害气体进行吸附净化，提高净化处理的效果。

Description

一种多晶硅酸洗废气排放处理装置

技术领域

本实用新型涉及多晶硅生产技术领域，具体为一种多晶硅酸洗废气排放处理装置。

背景技术

在多晶硅的生产过程中，多晶硅需要进行酸洗将多晶硅上的杂质去处以保证多晶硅的纯度，而多晶硅的酸洗则需要使用酸洗设备，现有的多晶硅酸洗设备不能保证多晶硅与酸溶液的充分接触，酸洗效果不佳，同时杂质在酸溶液中化学反应后残留的杂质会覆盖在多晶硅的表面造成酸洗不彻底影响多晶硅质量。

如中国专利公告号CN208613172U所公开了一种多晶硅料酸洗装置，在使用时，通过电机控制酸洗滚筒缓慢转动使多晶硅料通过排料管进入到酸洗滚筒内部进行酸洗，而酸洗滚筒缓慢的滚动使多晶硅料不断的搅动充分均匀接触酸溶液，而第一耐酸泵则将酸洗槽内的酸溶液抽出并通过喷液管上的喷头喷出实现对多晶硅表面的冲刷，当酸洗完毕后通过打开电磁阀将酸洗槽内的酸溶液排放到储液箱内并在过滤板的作用下进行杂质过滤，而排空的酸洗槽实现对多晶硅料上的酸溶液的控液，通过电机带动酸洗滚筒的反方向缓慢转动将控干的多晶硅料通过排料管排出，然后关闭电磁阀并通过第二耐酸泵将储液箱内过滤后的酸溶液送回酸洗槽内。

但是上述申请中的多晶硅料酸洗装置，在酸洗的过程中会产生大量有害气体，如直接排入大气中会严重污染大气环境，所以在排放前必须要经过净化处理，因此，存在一定的局限性。

为此，我们亟需提供一种多晶硅酸洗废气排放处理装置。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种多晶硅酸洗废气排放处理装置，以解决上述背景技术中提出的多晶硅料酸洗装置，在酸洗的过程中会产生大量有害气体，如直接排入大气中会严重污染大气环境，所以在排放前必须要经过净化处理的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种多晶硅酸洗废气排放处理装置，包括酸洗池和喷淋塔，所述喷淋塔设置于酸洗池的后方，所述酸洗池的内部设置有酸洗装置，所述喷淋塔的内部设置有喷淋净化装置。

所述酸洗装置包括酸洗单元和进出料单元，所述酸洗单元设置于酸洗池的内部，所述进出料单元设置于酸洗池的外部。

所述酸洗单元包括安装板、驱动电机、密封轴承、旋转轴、酸洗辊，所述安装板固定连接于酸洗池的左侧外表面，所述驱动电机安装于安装板的上表面，两个所述密封轴承分别安装于酸洗池的左右两侧外表面中心，两根所述旋转轴分别转动连接于密封轴承的内部，所述酸洗辊固定连接于两根旋转轴的内端。

进一步改进在于，左侧所述旋转轴的左端连接于驱动电机的输出端，右侧所述旋转轴的内部开设有进料孔，且延伸入酸洗辊的内部，通过驱动电机来带动酸洗辊旋转，从而使其内部的多晶硅进行旋转，从而于酸洗池内部的溶液进行充分的接触反应。

进一步改进在于，所述进出料单元包括进水管、排料管、密封门、电磁阀门，进水管固定连接于酸洗池的顶部左侧，所述排料管固定连接于酸洗辊的外表面右侧，所述密封门安装于酸洗池的右侧外表面底部，两个所述电磁阀门分别安装于进水管和排料管的外表面，通过电磁阀门来将酸洗池进行密封，避免在酸洗过程中所产生的有害气体溢出，危害人体健康。

进一步改进在于，所述酸洗辊的外表面均匀开设有进液孔，从而使酸洗池中的酸洗液进入到酸洗辊的内部，所述右侧旋转轴的外表面也安装有电磁阀门。

进一步改进在于，所述喷淋净化装置包括输送单元和净化单元，所述输送单元设置于喷淋塔的左侧，所述净化单元设置于输送单元的顶部。

所述输送单元包括输气管、储液箱、水泵、抽水管，所述输气管的前端固定连接于酸洗池的顶部，其后端延伸入喷淋塔的内部下方，所述储液箱放置于喷淋塔的左侧，所述水泵安装于储液箱的顶部，所述抽水管的顶部连接于水泵的抽水口，其底部延伸入储液箱的内部底部。

进一步改进在于，所述净化单元包括输水管、喷淋头、排气管，所述输水管的底部固定连接于水泵的出水口，其顶部延伸入喷淋塔的内部，所述喷淋头固定连接于输水管的底部，所述排气管固定连接于喷淋塔的顶部后端。

进一步改进在于，所述储液箱的内部存放有碱液(NaOH或Ca溶液)，所述排气管的内部放置有SDG吸附剂，通过水泵来将储液箱内部的碱液抽送至喷淋塔的顶部进行喷洒，对酸洗废气进行净化处理，排气管内部的SDG吸附剂则更进一步的对废气中的残留有害气体进行吸附净化，提高净化处理的效果。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1.该多晶硅酸洗废气排放处理装置，通过进出料单元来将多晶硅投入酸洗单元中酸洗辊的内部，并对酸洗池和酸洗辊进行密封，避免在酸洗的过程中，所产生的有害气体溢出，危害人们的身体健康。

2.该多晶硅酸洗废气排放处理装置，通过输送单元将碱液传输至净化单元内部的喷淋头处喷出，从而对酸洗废气进行净化处理，排气管内部的SDG吸附剂则更进一步的对废气中的残留有害气体进行吸附净化，提高净化处理的效果。

附图说明

图1为本实用新型的左侧结构示意图；

图2为本实用新型的右侧结构示意图；

图3为本实用新型的酸洗装置正视剖面结构示意图；

图4为本实用新型的喷淋净化装置正视剖面结构示意图。

图中：1、酸洗池；2、喷淋塔；301、安装板；302、驱动电机；303、密封轴承；304、旋转轴；305、酸洗辊；306、进水管；307、排料管；308、密封门；309、电磁阀门；401、输气管；402、储液箱；403、水泵；404、抽水管；405、输水管；406、喷淋头；407、排气管。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-图4，本实用新型提供一种技术方案：

实施例一：

一种多晶硅酸洗废气排放处理装置，包括酸洗池1和喷淋塔2，喷淋塔2设置于酸洗池1的后方，酸洗池1的内部设置有酸洗装置。

酸洗装置包括酸洗单元和进出料单元，酸洗单元设置于酸洗池1的内部，进出料单元设置于酸洗池1的外部。

酸洗单元包括安装板301、驱动电机302、密封轴承303、旋转轴304、酸洗辊305，安装板301固定连接于酸洗池1的左侧外表面，驱动电机302安装于安装板301的上表面，两个密封轴承303分别安装于酸洗池1的左右两侧外表面中心，两根旋转轴304分别转动连接于密封轴承303的内部，酸洗辊305固定连接于两根旋转轴304的内端。

左侧旋转轴304的左端连接于驱动电机302的输出端，右侧旋转轴304的内部开设有进料孔，且延伸入酸洗辊305的内部，通过驱动电机302来带动酸洗辊305旋转，从而使其内部的多晶硅进行旋转，从而于酸洗池1内部的溶液进行充分的接触反应。

进出料单元包括进水管306、排料管307、密封门308、电磁阀门309，进水管306固定连接于酸洗池1的顶部左侧，排料管307固定连接于酸洗辊305的外表面右侧，密封门308安装于酸洗池1的右侧外表面底部，两个电磁阀门309分别安装于进水管306和排料管307的外表面，通过电磁阀门309来将酸洗池1进行密封，避免在酸洗过程中所产生的有害气体溢出，危害人体健康。

酸洗辊305的外表面均匀开设有进液孔，从而使酸洗池1中的酸洗液进入到酸洗辊305的内部，右侧旋转轴304的外表面也安装有电磁阀门309。

在使用时，首先通过外界控制器打开右侧旋转轴304的电磁阀门309，将多晶硅通过其内部的进料孔导入酸洗辊305的内部，然后关闭电磁阀门309，再将酸洗溶液通过进水管306的排入酸洗池1的内部，之后再启动驱动电机302，带动旋转轴304在密封轴承303的内部旋转，从而带动酸洗辊305旋转，从而使其内部的多晶硅进行旋转，从而于酸洗池1内部的溶液进行充分的接触反应。

实施例二：

在实施例一的基础上，喷淋塔2的内部设置有喷淋净化装置，喷淋净化装置包括输送单元和净化单元，输送单元设置于喷淋塔2的左侧，净化单元设置于输送单元的顶部。

输送单元包括输气管401、储液箱402、水泵403、抽水管404，输气管401的前端固定连接于酸洗池1的顶部，其后端延伸入喷淋塔2的内部下方，储液箱402放置于喷淋塔2的左侧，水泵403安装于储液箱402的顶部，抽水管404的顶部连接于水泵403的抽水口，其底部延伸入储液箱402的内部底部。

净化单元包括输水管405、喷淋头406、排气管407，输水管405的底部固定连接于水泵403的出水口，其顶部延伸入喷淋塔2的内部，喷淋头406固定连接于输水管405的底部，排气管407固定连接于喷淋塔2的顶部后端。储液箱402的内部存放有碱液(NaOH或Ca0溶液)，排气管407的内部放置有SDG吸附剂。

当酸洗废气通过输气管401排入喷淋塔2的内部时，启动水泵403，通过抽水管404来将储液箱402内部的碱液抽送至输水管405底部的喷淋头406处喷洒出来，从而对酸洗废气进行净化处理，处理后的废气经排气管407排出，排气管407内部的SDG吸附剂则更进一步的对废气中的残留有害气体进行吸附净化，提高净化处理的效果。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个......”限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。

Claims (7)

1.一种多晶硅酸洗废气排放处理装置，包括酸洗池(1)和喷淋塔(2)，所述喷淋塔(2)设置于酸洗池(1)的后方，其特征在于：所述酸洗池(1)的内部设置有酸洗装置，所述喷淋塔(2)的内部设置有喷淋净化装置；

所述酸洗装置包括酸洗单元和进出料单元，所述酸洗单元设置于酸洗池(1)的内部，所述进出料单元设置于酸洗池(1)的外部；

所述酸洗单元包括安装板(301)、驱动电机(302)、密封轴承(303)、旋转轴(304)、酸洗辊(305)，所述安装板(301)固定连接于酸洗池(1)的左侧外表面，所述驱动电机(302)安装于安装板(301)的上表面，两个所述密封轴承(303)分别安装于酸洗池(1)的左右两侧外表面中心，两根所述旋转轴(304)分别转动连接于密封轴承(303)的内部，所述酸洗辊(305)固定连接于两根旋转轴(304)的内端。

2.根据权利要求1所述的一种多晶硅酸洗废气排放处理装置，其特征在于：左侧所述旋转轴(304)的左端连接于驱动电机(302)的输出端，右侧所述旋转轴(304)的内部开设有进料孔，且延伸入酸洗辊(305)的内部。

3.根据权利要求2所述的一种多晶硅酸洗废气排放处理装置，其特征在于：所述进出料单元包括进水管(306)、排料管(307)、密封门(308)、电磁阀门(309)，进水管(306)固定连接于酸洗池(1)的顶部左侧，所述排料管(307)固定连接于酸洗辊(305)的外表面右侧，所述密封门(308)安装于酸洗池(1)的右侧外表面底部，两个所述电磁阀门(309)分别安装于进水管(306)和排料管(307)的外表面。

4.根据权利要求3所述的一种多晶硅酸洗废气排放处理装置，其特征在于：所述酸洗辊(305)的外表面均匀开设有进液孔，所述右侧旋转轴(304)的外表面也安装有电磁阀门(309)。

5.根据权利要求4所述的一种多晶硅酸洗废气排放处理装置，其特征在于：所述喷淋净化装置包括输送单元和净化单元，所述输送单元设置于喷淋塔(2)的左侧，所述净化单元设置于输送单元的顶部；

所述输送单元包括输气管(401)、储液箱(402)、水泵(403)、抽水管(404)，所述输气管(401)的前端固定连接于酸洗池(1)的顶部，其后端延伸入喷淋塔(2)的内部下方，所述储液箱(402)放置于喷淋塔(2)的左侧，所述水泵(403)安装于储液箱(402)的顶部，所述抽水管(404)的顶部连接于水泵(403)的抽水口，其底部延伸入储液箱(402)的内部底部。

6.根据权利要求5所述的一种多晶硅酸洗废气排放处理装置，其特征在于：所述净化单元包括输水管(405)、喷淋头(406)、排气管(407)，所述输水管(405)的底部固定连接于水泵(403)的出水口，其顶部延伸入喷淋塔(2)的内部，所述喷淋头(406)固定连接于输水管(405)的底部，所述排气管(407)固定连接于喷淋塔(2)的顶部后端。

7.根据权利要求6所述的一种多晶硅酸洗废气排放处理装置，其特征在于：所述储液箱(402)的内部存放有碱液，所述排气管(407)的内部放置有SDG吸附剂。