CN220589433U - 一种半导体处理洁净室新风处理过滤器 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种半导体处理洁净室新风处理过滤器，涉及粉尘过滤设备领域，包括过滤箱，所述过滤箱内设置有隔板，所述隔板分别将过滤箱分隔为混合腔、过滤腔，所述隔板内一侧设置有内凹槽，所述隔板靠近所述内凹槽的内壁的一侧设置有移动板。本实用新型通过第一过滤板与第二过滤板对自来水进行过滤，进而对自来水进行净化过滤，提高了过滤效率，通过水泵将过滤腔内的水抽入混合腔内，从而做到对自来水的循环利用，提高了资源利用率，通过电机带动连通杆转动，从而使出水板在竖直方向进行旋转，使自来水充分与混合腔内废气接触，从而对混合腔内的废气多次处理，进而提高了对废气处理的效率。

Description

一种半导体处理洁净室新风处理过滤器

技术领域

本实用新型涉及粉尘过滤设备技术领域，更具体地说，本实用新型涉及一种半导体处理洁净室新风处理过滤器。

背景技术

半导体在加工过程中会产生的大量的废气，其中废气中包含有粉尘，这些粉尘会在空气中扩散，而半导体废气处理设备中的粉尘过滤器是一种安装在半导体废气处理设备中，对半导体废气处理设备在加工中产生的废气进行净化，达到保护环境的效果，如今半导体行业发展迅速，粉尘过滤器的应用越来越广泛，对半导体行业的发展起到了不可磨灭的作用。

现有专利中专利公开号CN205435213U的实用新型公开了一种装设于半导体废气处理设备中的粉尘过滤器，包括一器壳，内部形成一提供含藏有水分子及粉尘的气体通过的腔室，且该腔室内以能抽取方式植入至少一过滤箱，该过滤箱内设有用来过滤气体中水分子及粉尘的多个捕集环及一过滤棉，该气体依序通过捕集环及过滤棉，以改善传统粉尘过滤器的结构复杂且不易清洗的问题。

该结构在实际使用的过程中，由于该装置通过过滤棉对粉末进行过滤，过滤方式单一，过滤效果较差，导致与水融合的粉末无法回收利用，从而造成资源浪费。

实用新型内容

为了克服现有技术的上述缺陷，本实用新型提供一种半导体处理洁净室新风处理过滤器，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种半导体处理洁净室新风处理过滤器，包括过滤箱，所述过滤箱内设置有隔板，所述隔板分别将过滤箱分隔为混合腔、过滤腔；

所述隔板内一侧设置有内凹槽，所述隔板靠近所述内凹槽的内壁的一侧设置有移动板，所述内凹槽靠近所述移动板的左侧设置有移动杆，所述移动杆右端与所述移动板左端中心固定，所述移动杆一端贯穿内凹槽并延伸至过滤箱外，所述移动杆靠近所述过滤箱的外部的一侧滑动连接有弹簧。

优选地，所述过滤箱顶端设置有与所述混合腔连通的进水管，所述进水管靠近所述过滤箱的顶部设置，所述过滤箱一侧设置有与所述混合腔连通的进料管，所述进料管靠近所述过滤箱的左侧设置，所述进料管延伸至混合腔内的一端固定有一喇叭状的通气套。

优选地，所述过滤箱外两侧均设置有滑槽，所述滑槽位于所述过滤腔靠近所述过滤箱的内壁的一侧，所述滑槽内分别滑动连接有第一过滤板、第二过滤板。

可以看出，上述技术方案中，工作人员将废气导入混合腔内，同时将自来水导入混合腔内，使自来水与废气之间充分接触混合，从而使废气内的颗粒溶解在自来水中，进而有利于对自来水中溶解的颗粒进行过滤。

优选地，所述过滤箱的一侧设置有与所述过滤箱连通的出水管，所述出水管靠近所述过滤箱的右侧设置，所述出水管靠近所述过滤箱的外壁的一侧设置有水泵，所述出水管顶端与所述水泵输入端连通，所述水泵输出端设置有连通管。

优选地，所述水泵输出端与所述连通管固定连通，所述连通管一延伸至过滤箱内，所述连通管靠近所述过滤箱的内壁的一侧传动连接有转轴套，所述连通管靠近所述过滤箱的外壁的一侧设置有电机。

优选地，所述电机传动连接有沿横向设置的连通杆，所述连通杆一延伸至过滤箱内，所述连通杆左端安装有第一齿轮，所述第一齿轮一侧传动连接有第二齿轮，所述第二齿轮与所述转轴套固定连接。

优选地，所述转轴套一侧固定连接有出水板，所述出水板一侧设置有喷水口，且喷水口沿竖向间隔排布。

可以看出，上述技术方案中，工作人员启动电机，使电机带动连通杆上的第一齿轮带动转轴套上的第二齿轮转动，从而使出水板能在竖直方向进行旋转，使自来水充分与混合腔内的剩余废气接触，从而对混合腔内的废气进行多次处理，进而提高了对废气处理的效率。

优选地，所述过滤箱底端两侧均设置有支撑杆，所述支撑杆顶端与所述过滤箱底端中心连接，所述过滤箱外壁设置有透明板，所述过滤箱顶端贯穿设置有过滤盒，所述过滤盒顶端一侧设置有防尘罩，所述过滤盒内滑动连接有过滤套。

本实用新型的技术效果和优点：通过通气套能增大废气与自来水之间的接触面积，从而使废气与自来水之间充分接触，进而提高废气的溶解率，通过弹簧自身的弹性，使弹簧带动移动杆上的移动板复位至内凹槽内，从而有利于工作人员拉动移动杆，进而提高了工作人员的便捷性，通过第一过滤板与第二过滤板对自来水里的杂质和颗粒进行过滤，进而对自来水进行净化过滤，提高了过滤效率。

通过水泵将过滤腔内的水抽入混合腔内，从而做到对自来水的循环利用，提高了资源利用率，通过电机带动连通杆转动，从而使出水板能在竖直方向进行旋转，使自来水充分与混合腔内的剩余废气接触，从而对混合腔内的废气多次处理，进而提高了对废气处理的效率，通过过滤盒内的过滤套对废气进行过滤，进而对废气进行处理，防止废气对环境造成污染，提高了过滤效率，通过过滤盒上的防尘罩能有效的对灰尘进行过滤，防止灰尘堵塞过滤套，从而影响对废气的过滤效果。

附图说明

图1为本实用新型的整体结构示意图。

图2为本实用新型的正视图。

图3为本实用新型的图1中A处放大结构示意图。

图4为本实用新型的图1中B处放大结构示意图。

附图标记为：1过滤箱、2隔板、3混合腔、4过滤腔、5内凹槽、6移动板、7移动杆、8弹簧、9进水管、10进料管、11通气套、12滑槽、13第一过滤板、14第二过滤板、15出水管、16水泵、17连通管、18转轴套、19电机、20连通杆、21第一齿轮、22第二齿轮、23出水板、24喷水口、25支撑杆、26透明板、27过滤盒、28防尘罩、29过滤套。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

如附图1-4所示的一种半导体处理洁净室新风处理过滤器，包括过滤箱1，过滤箱1内设置有隔板2，隔板2分别将过滤箱1分隔为混合腔3、过滤腔4。

隔板2内一侧设置有内凹槽5，隔板2靠近内凹槽5的内壁的一侧设置有移动板6，内凹槽5靠近移动板6的左侧设置有移动杆7，移动杆7右端与移动板6左端中心固定，移动杆7一端贯穿内凹槽5并延伸至过滤箱1外，移动杆7靠近过滤箱1的外部的一侧滑动连接有弹簧8。

附图1-2，过滤箱1顶端设置有与混合腔3连通的进水管9，进水管9靠近过滤箱1的顶部设置，过滤箱1一侧设置有与混合腔3连通的进料管10，进料管10靠近过滤箱1的左侧设置，进料管10延伸至混合腔3内的一端固定有一喇叭状的通气套11，通过通气套11能增大废气与自来水之间的接触面积，从而使废气与自来水之间充分接触，进而提高废气的溶解率，过滤箱1外两侧均设置有滑槽12，滑槽12位于过滤腔4靠近过滤箱1的内壁的一侧，滑槽12内分别滑动连接有第一过滤板13、第二过滤板14。

附图2，过滤箱1的一侧设置有与过滤箱1连通的出水管15，出水管15靠近过滤箱1的右侧设置，出水管15靠近过滤箱1的外壁的一侧设置有水泵16，通过水泵16将过滤腔4内的水抽入混合腔3内，从而做到对自来水的循环利用，提高了资源利用率，出水管15顶端与水泵16输入端连通，水泵16输出端设置有连通管17，水泵16输出端与连通管17固定连通，连通管17一延伸至过滤箱1内，连通管17靠近过滤箱1的内壁的一侧传动连接有转轴套18，连通管17靠近过滤箱1的外壁的一侧设置有电机19。

附图1-4，电机19传动连接有沿横向设置的连通杆20，连通杆20一延伸至过滤箱1内，连通杆20左端安装有第一齿轮21，第一齿轮21一侧传动连接有第二齿轮22，第二齿轮22与转轴套18固定连接，转轴套18一侧固定连接有出水板23，出水板23一侧设置有喷水口24，且喷水口24沿竖向间隔排布，过滤箱1底端两侧均设置有支撑杆25，支撑杆25顶端与过滤箱1底端中心连接，过滤箱1外壁设置有透明板26，过滤箱1顶端贯穿设置有过滤盒27，过滤盒27顶端一侧设置有防尘罩28，过滤盒27内滑动连接有过滤套29，通过过滤盒27上的防尘罩28能有效的对灰尘进行过滤，防止灰尘堵塞过滤套29，从而影响对废气的过滤效果。

本实用新型工作原理：本实用新型在使用时，首先工作人员将进料管10与半导管废气传输管道进行对接，然后使废气通过进料管10上的通气套11导入过滤箱1内，同时通过进水管9将自来水注入混合腔3内，使自来水与废气之间充分接触混合，从而使废气内的颗粒溶解在自来水中，进而有利于对自来水中溶解的颗粒进行过滤，通过通气套11能增大废气与自来水之间的接触面积，从而使废气更好的溶解在自来水内，工作人员随即拉动移动杆7，使移动杆7带动移动板6从内凹槽5内移出，从而使混合腔3内的自来水流入过滤腔4内，通过透明板26能观察混合腔3内的水位情况，从而使混合腔3内的水充分流入过滤腔4内，然后工作人员松开移动杆7，通过弹簧8自身的弹性，使弹簧8带动移动杆7上的移动板6复位至内凹槽5内，从而有利于工作人员拉动移动杆7，进而提高了工作人员的便捷性。

当自来水流入过滤腔4内时，自来水分别通过第一过滤板13与第二过滤板14进行过滤，从而对自来水里的杂质和颗粒进行过滤，进而对自来水进行净化过滤，提高了过滤效率，然后启动水泵16，使水泵16通过出水管15将自来水导入连通管17内，然后由出水板23上的喷水口24喷出，从而做到对自来水的循环利用，提高了资源利用率，随即启动电机19，使电机19带动连通杆20上的第一齿轮21带动转轴套18上的第二齿轮22转动，从而使出水板23能在竖直方向进行旋转，使自来水充分与混合腔3内的剩余废气接触，从而对混合腔3内的废气进行多次处理，进而提高了对废气处理的效率。

喷水口24对混合腔3内废气处理后，混合腔3内残留的废气通过过滤盒27内的过滤套29对废气进行过滤，进而对废气进行处理，防止废气对环境造成污染，提高了过滤效率，通过过滤盒27上的防尘罩28能有效的对灰尘进行过滤，防止灰尘堵塞过滤套29，从而影响对废气的过滤效果。

需要说明的是，电机19和水泵16具体的型号规格需根据该装置的实际规格等进行选型确定，故不再详细阐述。

以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (8)

1.一种半导体处理洁净室新风处理过滤器，包括过滤箱(1)，其特征在于：所述过滤箱(1)内设置有隔板(2)，所述隔板(2)分别将过滤箱(1)分隔为混合腔(3)、过滤腔(4)；

所述隔板(2)内一侧设置有内凹槽(5)，所述隔板(2)靠近所述内凹槽(5)的内壁的一侧设置有移动板(6)，所述内凹槽(5)靠近所述移动板(6)的左侧设置有移动杆(7)，所述移动杆(7)右端与所述移动板(6)左端中心固定，所述移动杆(7)一端贯穿内凹槽(5)并延伸至过滤箱(1)外，所述移动杆(7)靠近所述过滤箱(1)的外部的一侧滑动连接有弹簧(8)。

2.根据权利要求1所述的一种半导体处理洁净室新风处理过滤器，其特征在于：所述过滤箱(1)顶端设置有与所述混合腔(3)连通的进水管(9)，所述进水管(9)靠近所述过滤箱(1)的顶部设置，所述过滤箱(1)一侧设置有与所述混合腔(3)连通的进料管(10)，所述进料管(10)靠近所述过滤箱(1)的左侧设置，所述进料管(10)延伸至混合腔(3)内的一端固定有一喇叭状的通气套(11)。

3.根据权利要求2所述的一种半导体处理洁净室新风处理过滤器，其特征在于：所述过滤箱(1)外两侧均设置有滑槽(12)，所述滑槽(12)位于所述过滤腔(4)靠近所述过滤箱(1)的内壁的一侧，所述滑槽(12)内分别滑动连接有第一过滤板(13)、第二过滤板(14)。

4.根据权利要求3所述的一种半导体处理洁净室新风处理过滤器，其特征在于：所述过滤箱(1)的一侧设置有与所述过滤箱(1)连通的出水管(15)，所述出水管(15)靠近所述过滤箱(1)的右侧设置，所述出水管(15)靠近所述过滤箱(1)的外壁的一侧设置有水泵(16)，所述出水管(15)顶端与所述水泵(16)输入端连通，所述水泵(16)输出端设置有连通管(17)。

5.根据权利要求4所述的一种半导体处理洁净室新风处理过滤器，其特征在于：所述水泵(16)输出端与所述连通管(17)固定连通，所述连通管(17)一端延伸至过滤箱(1)内，所述连通管(17)靠近所述过滤箱(1)的内壁的一侧传动连接有转轴套(18)，所述连通管(17)靠近所述过滤箱(1)的外壁的一侧设置有电机(19)。

6.根据权利要求5所述的一种半导体处理洁净室新风处理过滤器，其特征在于：所述电机(19)传动连接有沿横向设置的连通杆(20)，所述连通杆(20)一延伸至过滤箱(1)内，所述连通杆(20)左端安装有第一齿轮(21)，所述第一齿轮(21)一侧传动连接有第二齿轮(22)，所述第二齿轮(22)与所述转轴套(18)固定连接。

7.根据权利要求6所述的一种半导体处理洁净室新风处理过滤器，其特征在于：所述转轴套(18)一侧固定连接有出水板(23)，所述出水板(23)一侧设置有喷水口(24)，且喷水口(24)沿竖向间隔排布。

8.根据权利要求7所述的一种半导体处理洁净室新风处理过滤器，其特征在于：所述过滤箱(1)底端两侧均设置有支撑杆(25)，所述支撑杆(25)顶端与所述过滤箱(1)底端中心连接，所述过滤箱(1)外壁设置有透明板(26)，所述过滤箱(1)顶端贯穿设置有过滤盒(27)，所述过滤盒(27)顶端一侧设置有防尘罩(28)，所述过滤盒(27)内滑动连接有过滤套(29)。