CN115365109B - 一种晶粒筛分装置 - Google Patents
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Abstract
一种晶粒筛分装置,包括安装部、接料斗、驱动部、多个筛分部等,安装部用于安装接料斗、驱动部以及筛分部,驱动部包括电机、主动齿轮等,用于为筛分部提供动力,筛分部设有多个,并作为一级筛分,用于筛分裂片后的晶粒,筛分部设于接料斗的正上方,筛分部在接料斗上的投影落入接料斗的范围内,筛分部包括推动组件、拨动件、导向板、筛分篓、连接组件,接料斗用于为筛分部筛出的晶粒提供容置空间,且接料斗内倾斜设有筛分网,筛分网上方设有导流板,用于二级筛分以得到合格的晶粒,代替人工操作,实现自动化批量筛选晶粒,不仅能够保证较好的筛选效果和效率,且装置运行稳定性强,并结合了两个级次的筛选,缩短了工序。
Description
技术领域
本发明属于芯片制备技术领域,尤其涉及一种晶粒筛分装置。
背景技术
芯片一般通过晶圆制备,具体的,一般通过将硅棒切割成晶圆,而后对晶圆进行相应的处理后,再将晶圆经过裂片形成晶粒,以获得芯片颗粒。
在晶圆裂片过程中,会有裂片不彻底而形成的连片,连片比合格的晶粒尺寸大;也有相邻晶粒之间受力不均而产生断片,断片比合格的晶粒尺寸小;因此,需要通过筛分来快速得到合格的晶粒。
利用人工进行筛分是一个不错的方式,可以柔性化的完成筛分,过程可控,但效率低,且对操作人员的强度要求不低,大多数厂商目前多采用此种方式进行。目前,现有技术中也出现了一些筛分装置,可以实现自动化筛分晶粒,比如公告号为:CN211660425U的专利,其提供的自动晶圆筛选机采用倾斜卧式筒状结构进行筛选,可以起到自动筛选的效果,但是由于倾斜卧式,会容易导致在筒内的下部堆积而影响效率;又比如公开号为:CN114472129A的专利,是本申请人在先申请的一种筛选设备方案,该设备利用在螺旋输送道上架设旋转的多个筛选机构,并利用凸轮和弹簧,配合固定的理料杆完成筛选,这种方式可以避免输送线过于冗长而占车间内空间的问题,同时也有一定的自动化筛选效果,但是仅能完成一个级次的筛选,对于分选后的晶粒,还需要再次送入另一个筛选设备完成另一级次的筛选,并且,这种凸轮与弹簧配合进行往复移动筛网的方式,运行的稳定性并不理想,在长期使用后,弹簧的恢复弹性形变的能力逐渐减弱,甚至弱化到失去对往复作用的有效性,从而导致筛选不能进行,而此时,则需要维护设备,更换零件才可继续运行,可能造成工期耽误。
发明内容
为解决上述现有技术不足,本发明提供一种晶粒筛分装置,代替人工操作,实现自动化批量筛选晶粒,不仅能够保证较好的筛选效果和效率,且装置运行稳定性强,并结合两个级次的筛选,缩短工序。
为了实现本发明的目的,拟采用以下方案:
一种晶粒筛分装置,包括:
安装部,包括安装架,呈门字形,其横部设有连接轴,连接轴向下的一端连接阶梯轴一端,阶梯轴中部设有齿盘;
接料斗,其外壁连接于安装架的两臂,接料斗内倾斜设有筛分网,筛分网上方设有导流板,导流板倾斜方向与筛分网倾斜方向相反,导流板最低端与筛分网具有预定间距,筛分网最低端与接料斗连接处设有出料管;
驱动部,包括电机,电机设于安装架顶部,电机输出端连接传动轴,传动轴一端穿过安装架顶部后连接主动齿轮,主动齿轮啮合配合从动齿轮,从动齿轮与阶梯轴转动配合,并位于齿盘的上方,齿盘下方设有转动座,转动座与阶梯轴另一端转动配合,从动齿轮的一面呈圆周阵列设有多个行星齿轮和L型板,行星齿轮和L型板间隔设置,行星齿轮均与齿盘啮合配合,L型板的横部连接转动座;
筛分部,有多个,位于接料斗上方,筛分部数量与行星齿轮数量相同,筛分部的一端连接转动座,并与L型板间隔设置,筛分部包括推动组件、拨动件、导向板、筛分篓、连接组件,推动组件一端连接行星齿轮,另一端连接拨动件,连接组件一端连接筛分篓,另一端连接转动座,导向板连接于连接组件,并位于筛分篓上方,导向板上设有导向槽,拨动件一端穿过导向槽,并伸入筛分篓内。
进一步的,连接轴的一端设有第一法兰盘,阶梯轴的一端设有第二法兰盘,第一法兰盘与第二法兰盘通过多个螺栓连接。
进一步的,阶梯轴包括第一轴段和第二轴段,第一轴段位于第二轴段的上方,第一轴段的一端与第二轴段连接处设置有连接盘,齿盘设于连接盘外周。
进一步的,行星齿轮的一面设有矩形轴,推动组件包括转杆,转杆一端设有矩形孔,矩形轴设于矩形孔内,转杆的另一端与推杆的一端转动连接,推杆的另一端转动连接有移动板,移动板与拨动件的一端转动连接。
进一步的,拨动件包括两个连杆、安装板、气囊、多个拨齿,连杆一端穿过导向槽,并与移动板转动连接,连杆的另一端与安装板转动连接,气囊设于安装板的底面,拨齿均布于气囊的外表面。
进一步的,气囊外壁呈流线弧形,气囊上设有气孔,拨齿的一端呈圆珠结构。
进一步的,筛分篓包括篓筒,沿篓筒底部径向设有一块平板,平板两侧分别设有斜板,斜板呈扇形,其扇形边与篓筒匹配,平板和斜板上均设置有孔。
进一步的,篓筒外壁两侧分别设有耳板,耳板上设有限位孔,连接组件包括连接杆、U型座、“7”型板,U型座水平设置,且开口朝外,连接杆的一端连接转动座,另一端连接U型座的横部,“7”型板的竖部垂直于U型座的横部顶面,“7”型板的横部连接导向板的一端,U型座的两支臂内侧分别对称设有条形槽,条形槽内安装有弹簧销,弹簧销与耳板上的限位孔配合。
进一步的,导向板呈椭圆型,导向槽呈波浪形,具有多个凸部和凹部,且凸部和凹部依次间隔设置,导向槽中部的凸部最高,最高的凸部两侧的凸部的幅度向导向槽的两端逐渐减弱。
本发明的有益效果在于:
1、行星齿轮和L型板均与从动齿轮连接,在从动齿轮的转动下可使筛分部在导流板的上方转动,从而使合格晶粒、断片以及碎屑缓慢的洒落到导流板上,再经过导流板滑入筛分网上进行筛分,避免合格晶粒、断片以及碎屑堆积,提高筛分效率;
2、行星齿轮与齿盘啮合,使行星齿轮跟随从动齿轮做圆周运动的同时自转,行星齿轮自转时驱动转杆转动,从而使转杆推动推杆往复移动,便实现拨齿在筛分篓内往复移动,以拨动筛分篓内的晶粒,从而代替人工操作,效率高;
3、导向槽上具有多个凸部和凹部,且凸部和凹部依次间隔设置,导向槽中部的凸部最高,最高的凸部两侧的凸部的幅度向导向槽的两端逐渐减弱,使导向槽构成具有凹凸结构的波浪形,从而使拨动件在往复移动的同时左右摆动,进一步的提高拨齿对晶粒的拨动范围,使筛分的效率进一步的提高。
附图说明
本文描述的附图只是为了说明所选实施例,而不是所有可能的实施方案,更不是意图限制本发明的范围。
图1示出了本申请的整体结构示意图。
图2示出了本申请的剖视图。
图3示出了本申请的筛分部立体结构图。
图4示出了图3的A处的局部放大视图。
图5示出了图4的A1处的局部放大视图。
图6示出了本申请的筛分部另一视角立体结构图。
图7示出了图6的B处的局部放大视图。
图8示出了本申请的从动齿轮、齿盘、行星齿轮、推动组件的位置关系图。
图9示出了图8的C处的局部放大视图。
图10示出了本申请的图8的剖视图。
图11示出了本申请的图筛分篓的结构示意图。
图12示出了本申请的筛分篓与U型座的连接关系示意图。
图13示出了图12的D处的局部放大视图。
图14示出了本申请的出料管的位置图。
图15示出了本申请的导流板的结构示意图。
图中标记:安装部-100、安装架-110、连接轴-120、第一法兰盘-121、阶梯轴-130、第一轴段-131、第二轴段-132、第二法兰盘-133、齿盘-140、接料斗-200、筛分网-210、导流板-220、出料管-230、驱动部-300、电机-310、传动轴-320、主动齿轮-330、从动齿轮-340、行星齿轮-350、矩形轴-351、转动座-360、L型板-370、筛分部-400、推动组件-410、转杆-411、推杆-412、移动板-413、拨动件-420、连杆-421、安装板-422、气囊-423、气孔-4231、拨齿-424、导向板-430、导向槽-431、筛分篓-440、篓筒-441、平板-442、斜板-443、耳板-444、连接组件-450、连接杆-451、U型座-452、条形槽-4521、弹簧销-4522、“7”型板-453。
具体实施方式
为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚,下面结合附图对本发明的实施方式进行详细说明,但本发明所描述的实施例是本发明一部分实施例,而不是全部的实施例。
如图1所示,本申请实施例的一种晶粒筛选装置,包括:安装部100、接料斗200、驱动部300、多个筛分部400等,安装部100用于安装接料斗200、驱动部300以及筛分部400,驱动部300用于为筛分部400提供动力,筛分部400用于筛分裂片后的晶粒,接料斗200用于为筛分部400筛出的晶粒提供容置空间。
具体的,如图1、图6、图8、图10所示,安装部100包括安装架110,安装架110呈门字形,门字形安装架110的横部向下延伸地设置有连接轴120,连接轴120位于安装架110横部的中心,连接轴120的下端连接阶梯轴130的一端,阶梯轴130的中部设置有齿盘140,齿盘140上设有多个减重孔,以降低齿盘140的重量,从而减少阶梯轴130的承载力。
具体的,如图1所示,接料斗200连接安装架110,接料斗200的外壁两侧分别设有连接块,通过连接块将接料斗200安装于安装架110的两臂上。如图2所示,接料斗200内设有筛分网210和导流板220,筛分网210的外周与接料斗200的内壁连接,筛分网210与接料斗200的横截面呈预定角度,使筛分网210倾斜设于接料斗200内,筛分网210将接料斗220分隔成第一腔和第二腔,第一腔位于第二腔的上方,导流板220设于第一腔内,使导流板220位于筛分网210的上方,导流板220的倾斜方向与筛分网210相反。如图15所示,导流板220朝向筛分网210高的一端具有缺口,所述缺口处用于排料,导流板220连接接料斗200内壁,其缺口处呈悬空状态;缺口与筛分网210之间具有预定间距,使筛分部400内落出的合格晶粒、断片以及碎屑落入导流板220上,然后再通过导流板220的缺口滑入筛分网210的上部,再沿筛分网210下滑,以去除断片和碎屑。
具体的,筛分网210的最低端与接料斗200连接处设置有出料管230,出料管230一端连通第一腔,另一端向下延伸出接料斗200,出料管230用于合格晶粒出料,出料管230伸出接料斗200的一端设有合格品收集盒,便于合格晶粒的收集;如图14所示,为了避免合格晶粒滞留于第一腔内,出料管230与第一腔的连通处设为弧形口。第二腔用于收集晶粒断片及碎屑,避免从筛分网210上落出的晶粒断片和碎屑四处散落,将第二腔的下部设为圆锥形的腔体,在圆锥形的腔体小端的出口处设置残次品收集盒,便于收集落出的晶粒断片和碎屑。
具体的,如图1-图3、图6、图8、图10所示,驱动部300包括电机310、传动轴320、主动齿轮330、从动齿轮340、四个行星齿轮350、转动座360以及四个L型板370,电机310设于安装架110的顶部,电机310的输出端连接传动轴320,传动轴320的一端穿过安装架110的顶部后连接主动齿轮330,主动齿轮330啮合配合从动齿轮340,从动齿轮340通过轴承安装于阶梯轴130上,使从动齿轮340在阶梯轴130上转动,且从动齿轮340位于齿盘140的正上方,齿盘140与从动齿轮340之间设有推力球轴承,以减小齿盘140与从动齿轮340接触面的摩擦力,提高从动齿轮340的使用寿命,从动齿轮340上设有限位板,限位板通过键连接的方式与阶梯轴130连接,用于限制从动齿轮340的轴向移动;转动座360与阶梯轴130的另一端转动配合,转动座360位于齿盘140的正下方。如图6、图8、图9所示,从动齿轮340的一面呈圆周阵列设有四个销轴,行星齿轮350转动设于销轴上,行星齿轮350与L型板370间隔设置,L型板370的竖部顶部连接从动齿轮340,横部的一端连接转动座360的外壁。各行星齿轮350均与齿盘140啮合,本实施例中行星齿轮350和L型板370均采用四个,也可根据需要设置多个,具体设置数量可根据需要自行选择。
使用时,启动电机310,电机310带动主动齿轮330转动,从而驱动从动齿轮340在阶梯轴130上转动,使从动齿轮340带动四个行星齿轮350和L型板370与从动齿轮340同步转动,同时因行星齿轮350啮合齿盘140,从而行星齿轮350自转,也就是说行星齿轮350跟从动齿轮340同步转动的同时也要自转;转动座360在L型板370的转动下与从动齿轮340在阶梯轴130的另一端同步转动。
具体的,如图1、图3所示,筛分部400的数量与行星齿轮350的数量相同,设置有四个,并沿从动齿轮340圆周分布,各筛分部400均位于接料斗200的上方,如图2所示,筛分部400在接料斗200上的投影落入导流板220的范围内。如图4-图9所示,筛分部400包括推动组件410、拨动件420、导向板430、筛分篓440、连接组件450,推动组件410一端与行星齿轮350的一面转动连接,另一端与拨动件420转动连接,当行星齿轮350自转时,推动组件410往复运动,从而驱动拨动件420往复运动。
具体的,连接组件450一端连接筛分篓440,另一端连接转动座360,导向板430连接于连接组件450,并位于筛分篓440上方,导向板430上设置有导向槽431,拨动件420的一端穿过导向槽431,并伸入筛分篓440内。
当转动座360跟随从动齿轮340转动时,便可使连接于转动座360的连接组件450同步转动,从而使筛分部400与从动齿轮340同步转动。行星齿轮350自转时,推动组件410往复运动,从而驱动拨动件420往复运动,进而使拨动件420拨动筛分篓440内的晶粒进行筛分,使合格晶粒、断片以及碎屑从筛分篓440内落出。在筛分部400的转动下使落出的筛分篓440的合格晶粒、断片以及碎屑缓慢的洒落在导流板220上,洒落在导流板220上的合格晶粒、断片以及碎屑具有一定的初速度,之后再沿导流板210顺畅滑出,为了减小导流板220上的合格晶粒、断片以及碎屑沿导流板210下滑的速度过快,可将导流板220与水平面的倾斜角设为锐角,通过控制导流板220与水平面的夹角来控制导流板220上合格晶粒、断片以及碎屑的下滑速度,避免合格晶粒、断片以及碎屑下滑速度过快而产生二次损伤。合格晶粒、断片以及碎屑沿导流板220的缺口滑入筛分网210上进行筛分,以去除断片和碎屑,使合格晶粒通过出料管230进入合格品收集盒,断片和碎屑通过第二腔进入残次品收集盒,晶粒连片保持在筛分篓440内。
具体的,如图1、图3、图8、图10所示,连接轴120的一端设有第一法兰盘121,阶梯轴130的一端设有第二法兰盘133,第一法兰盘121与第二法兰盘133通过多个螺栓连接,当阶梯轴130上的部件有损坏时,便于拆卸维修。阶梯轴130包括第一轴段131和第二轴段132,第一轴段131位于第二轴段132的上方,第一轴段131的一端与第二轴段132连接处设置有连接盘,齿盘140设于连接盘外周,使齿盘140装置运转过程中,保持固定。
具体的,如图9所示,行星齿轮350的一面设有矩形轴351,推动组件410包括转杆411和推杆412,转杆411一端设有矩形孔,矩形轴351设于矩形孔内,转杆411的另一端与推杆412的一端通过销轴同轴转动连接,如图5推杆412的另一端转动连接有移动板413,移动板413与拨动件420的一端转动连接。当行星齿轮350自转时,矩形轴351跟随行星齿轮350同步转动,从而使转杆411绕矩形轴351转动,推杆412在转杆411的转动下往复运动,从而推动拨动件420在导向槽431内往复运动,从而拨动筛分篓440内的晶粒进行筛分。
具体的,如图5、图7所示,拨动件420包括两个连杆421、安装板422、气囊423、多个拨齿424,连杆421一端穿过导向槽431与移动板413转动连接,另一端与安装板422转动连接,气囊423设于安装板422的底面,拨齿424均布于气囊423表面。气囊423一端设有气孔4231,气囊423外壁呈流线弧形,气囊423采用具有弹性形变的塑形材料制成,当拨齿424对晶粒进行往复拨动时,气囊423可缓冲拨齿424的作用力,有效保护晶粒,避免晶粒出现二次损伤。拨齿424的一端呈圆珠结构,避免拨齿424伸入筛分篓440的一端有刃口,而划伤晶粒表面,拨齿424采用塑料材质制成,使拨齿424在筛分篓440内拨动晶粒时更具柔和性,有效的保护晶粒。
具体的,如图11-图12所示,筛分篓440包括篓筒441,篓筒441底部中心设有一块平板442,平板442沿篓筒441底部的径向设置,平板442两侧分别设有斜板443,斜板443呈扇形,其扇形边与篓筒441匹配,平板442和斜板443上均设置有孔。当拨齿424在筛分篓440内拨动晶粒时,晶粒受拨齿424的作用力向筛分篓440两侧的斜板443上移动,当拨齿424的作用力消失后,晶粒在重力作用下自动落入平板442的区域内,避免晶粒堆积于筛分篓440的边缘处,提高筛分效率。
具体的,如图11所示,篓筒441外壁两侧分别设有耳板444,耳板444上设有限位孔,如图4-图6所示,连接组件450包括连接杆451、U型座452、“7”型板453,U型座452水平设置,且开口朝外,连接杆451的一端连接转动座360,另一端连接U型座452的横部外侧,“7”型板453的竖部垂直于U型座452的横部顶面,“7”型板453的横部连接导向板430的一端,U型座452的两支臂内侧分别对称设有条形槽4521,如图13所示,条形槽4521内安装有弹簧销4522,弹簧销4522与耳板444上的限位孔连接。当筛分结束后,向外拉动筛分篓440,便可将筛分篓440取下,方便将筛分篓440内的晶粒连片倒出,操作方便。
具体的,如图3-图5所示,为了减轻设备重量,将导向板430设置为椭圆型,导向槽431呈波浪形,其上具有多个凸部和凹部,且凸部和凹部依次间隔设置,导向槽431中部的凸部最高,最高的凸部两侧的凸部的幅度向导向槽431的两端逐渐减弱,使导向槽431构成具有凹凸结构的波浪形,当推杆412推动拨动件420沿导向槽431运动时,便可使拨齿424在筛分篓440内一边摆动一边沿筛分篓440的径向往复移动,极大的提高了筛分的效率。
将本实施例的装置应用于芯片晶粒筛分的工作方式为:将裂片后的晶粒依次装入筛分篓440内,启动电机310,电机310带动传动轴320转动,从而使主动齿轮330带动从动齿轮340转动,位于从动齿轮340上的行星齿轮350和L型板370跟随从动齿轮340同步转动。
行星齿轮350跟随从动齿轮340转动的同时,行星齿轮350啮合齿盘140,从而使行星齿轮350开始自转,行星齿轮350自转时带动矩形轴351转动,从而使转杆411与行星齿轮350的自转同步转动,转杆411便可对推杆412往复运动,从而使推杆412推动移动板413移动,移动板413带动连杆421往复移动,连杆421沿导向槽431的轨迹运动,从而使拨齿424在筛分篓440内往复运动而拨动晶粒,从而实现对晶粒的一次筛分,使合格晶粒、断片以及碎屑进入导流板220上,再经过导流板220的缺口滑入筛分网210上进行二次筛分。
L型板370跟随从动齿轮340转动的同时,带动转动座360同步转动,从而使筛分部400绕阶梯轴130转动,使合格晶粒、断片以及碎屑导流板220上,再经过导流板220的缺口滑入筛分网210上进行二次筛分。使合格晶粒、断片以及碎屑在同一位置滑入到筛分网210上,提高筛分效果。
以上所述仅为本发明的优选实施例,并不表示是唯一的或是限制本发明。本领域技术人员应理解,在不脱离本发明的范围情况下,对本发明进行的各种改变或同等替换,均属于本发明保护的范围。
Claims (4)
1.一种晶粒筛分装置,其特征在于,包括:
安装部(100),包括安装架(110),呈门字形,其横部设有连接轴(120),连接轴(120)向下的一端连接阶梯轴(130)一端,阶梯轴(130)中部设有齿盘(140);
接料斗(200),其外壁连接于安装架(110)的两臂,接料斗(200)内倾斜设有筛分网(210),筛分网(210)上方设有导流板(220),导流板(220)倾斜方向与筛分网(210)倾斜方向相反,导流板(220)最低端与筛分网(210)具有预定间距,导流板(220)朝向筛筛分网(210)高的一端具有缺口,筛分网(210)最低端与接料斗(200)连接处设有出料管(230);
驱动部(300),包括电机(310),电机(310)设于安装架(110)顶部,电机(310)输出端连接传动轴(320),传动轴(320)一端穿过安装架(110)顶部后连接主动齿轮(330),主动齿轮(330)啮合从动齿轮(340),从动齿轮(340)与阶梯轴(130)转动配合,并位于齿盘(140)的上方,齿盘(140)下方设有转动座(360),转动座(360)与阶梯轴(130)另一端转动配合,从动齿轮(340)的一面呈圆周阵列设有多个行星齿轮(350)和L型板(370),行星齿轮(350)和L型板(370)间隔设置,行星齿轮(350)均与齿盘(140)啮合,L型板(370)的横部连接转动座(360),行星齿轮(350)的一面设有矩形轴(351);
筛分部(400),有多个,位于接料斗(200)上方,筛分部(400)数量与行星齿轮(350)数量相同,筛分部(400)的一端连接转动座(360),并与L型板(370)间隔设置,筛分部(400)包括推动组件(410)、拨动件(420)、导向板(430)、筛分篓(440)、连接组件(450),推动组件(410)一端连接行星齿轮(350),另一端连接拨动件(420),连接组件(450)一端连接筛分篓(440),另一端连接转动座(360),导向板(430)连接于连接组件(450),并位于筛分篓(440)上方,导向板(430)上设有导向槽(431),推动组件(410)包括转杆(411)和推杆(412),转杆(411)一端设有矩形孔,矩形轴(351)设于矩形孔内,转杆(411)的另一端与推杆(412)的一端转动连接,推杆(412)的另一端转动连接有移动板(413),移动板(413)与拨动件(420)的一端转动连接;拨动件(420)包括两个连杆(421)、安装板(422)、气囊(423)、多个拨齿(424),连杆(421)一端穿过导向槽(431),并与移动板(413)转动连接,连杆(421)的另一端与安装板(422)转动连接,气囊(423)设于安装板(422)的底面,拨齿(424)均布于气囊(423)的外表面,气囊(423)外壁呈流线弧形,气囊(423)上设有气孔(4231),拨齿(424)的一端呈圆珠结构,导向板(430)呈椭圆型,导向槽(431)呈波浪形,具有多个凸部和凹部,且凸部和凹部依次间隔设置,导向槽(431)中部的凸部最高,最高的凸部两侧的凸部的幅度向导向槽(431)的两端逐渐减弱,筛分篓(440)包括篓筒(441),沿篓筒(441)底部径向设有一块平板(442),平板(442)两侧分别设有斜板(443),斜板(443)呈扇形,其扇形边与篓筒(441)匹配,平板(442)和斜板(443)上均设置有孔,拨齿(424)伸入筛分篓(440)内。
2.根据权利要求1所述的晶粒筛分装置,其特征在于,连接轴(120)的一端设有第一法兰盘(121),阶梯轴(130)的一端设有第二法兰盘(133),第一法兰盘(121)与第二法兰盘(133)通过多个螺栓连接。
3.根据权利要求1所述的晶粒筛分装置,其特征在于,阶梯轴(130)包括第一轴段(131)和第二轴段(132),第一轴段(131)位于第二轴段(132)的上方,第一轴段(131)的一端与第二轴段(132)连接处设置有连接盘,齿盘(140)设于连接盘外周。
4.根据权利要求1所述的晶粒筛分装置,其特征在于,篓筒(441)外壁两侧分别设有耳板(444),耳板(444)上设有限位孔,连接组件(450)包括连接杆(451)、U型座(452)、“7”型板(453),U型座(452)水平设置,且开口朝外,连接杆(451)的一端连接转动座(360),另一端连接U型座(452)的横部,“7”型板(453)的竖部垂直于U型座(452)的横部顶面,“7”型板(453)的横部连接导向板(430)的一端,U型座(452)的两支臂内侧分别对称设有条形槽(4521),条形槽(4521)内安装有弹簧销(4522),弹簧销(4522)与耳板(444)上的限位孔配合。
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