CN215470362U

CN215470362U - 一种用于晶圆抛光的旋转夹具

Info

Publication number: CN215470362U
Application number: CN202121142773.5U
Authority: CN
Inventors: 李健儿; 冯永; 张正; 胡仲波; 鲜贵容
Original assignee: Sichuan Shangte Technology Co ltd
Current assignee: Sichuan Shangte Technology Co ltd
Priority date: 2021-05-26
Filing date: 2021-05-26
Publication date: 2022-01-11
Anticipated expiration: 2031-05-26

Abstract

本申请提供一种用于晶圆抛光的旋转夹具，包括：下转盘和上转盘，上转盘同轴设于下转盘上方。下转盘和上转盘安装于同一框架，框架呈环形结构，上转盘的底面与下转盘的顶面相对设置，下转盘的底部设有第一电机，第一电机安装于框架底部，框架顶部设有第二电机，第二电机的转轴设有延长杆，延长杆朝向下转盘设置，延长杆的截面为多边形，上转盘顶部同轴设有连接管，连接管与延长杆同轴设置，连接管滑动套设于延长杆外侧，连接管外周转动设有推动盘，推动盘沿连接管的轴线方向移动，夹持稳定，可防止晶圆打滑。

Description

一种用于晶圆抛光的旋转夹具

技术领域

本实用新型属于晶圆生产领域，尤其涉及一种用于晶圆抛光的旋转夹具。

背景技术

硅晶棒料经过切片后形成单片的晶圆，此时晶圆的边沿十分锋利，不利于后续生产加工，因此都需要对晶圆的边沿进行抛光处理。现有的抛光方法是将晶圆快速旋转然后利用抛光轮对其边沿逐步进行抛光，而现有抛光装置同与晶圆旋转固定的夹具常会出现夹持不牢的情况，使晶圆与夹具之间出现打滑的现象，影响抛光效果，而且还容易损坏晶圆。

实用新型内容

为解决现有技术不足，本实用新型提供一种用于晶圆抛光的旋转夹具，夹持稳定，可防止晶圆打滑，避免晶圆损坏。

为了实现本实用新型的目的，拟采用以下方案：

一种用于晶圆抛光的旋转夹具，包括：下转盘和上转盘，上转盘同轴设于下转盘上方。

下转盘和上转盘安装于同一框架，框架呈环形结构，上转盘的底面与下转盘的顶面相对设置，下转盘的底部设有第一电机，第一电机安装于框架底部，框架顶部设有第二电机，第二电机的转轴设有延长杆，延长杆朝向下转盘设置，延长杆的截面为多边形，上转盘顶部同轴设有连接管，连接管与延长杆同轴设置，连接管滑动套设于延长杆外侧，连接管外周转动设有推动盘，推动盘沿连接管的轴线方向移动。

进一步的，延长杆的截面为矩形，连接管同轴加工有矩形孔，利用矩形孔与延长杆进行滑动配合，从而带动上转盘旋转。

进一步的，推动盘与连接管之间设有轴承，轴承内圈安装于连接管顶端的外周，轴承的外圈安装于推动盘的底部，连接管的顶面设有多颗螺钉，利用螺钉的头部将轴承的内圈卡住，为防止轴承滑出推动盘，推动盘底部设有多颗螺钉，用螺钉的头部将轴承的外圈卡住。

进一步的，框架顶部设有一对气缸，气缸的推杆与延长杆平行，气缸的推杆与推动盘相连，气缸对称设于延长杆两侧。

进一步的，推动盘设有一对导杆，导杆与延长杆平行，导杆滑动穿过框架的顶部。

进一步的，框架为整体的矩形环状结构。

进一步的，延长杆上段与框架之间设有一个推力轴承以及一个球轴承。

本实用新型的有益效果在于：

1、用于放置晶圆的下转盘以及用于压紧晶圆的上转盘均设有驱动电机，使上转盘在对晶圆压紧的同时与下转盘与一同旋转，避免上转盘与下转盘之间发生相对转动，从根源上避免上转盘与下转盘对晶圆施加相反的旋转作用力。现有的装置的额加持机构通常只在其中一栋转盘安装驱动电机，通过摩擦力带动另一个转盘旋转，此种结构一旦压力过小导致摩擦力减弱，则容易造成晶圆打滑。本申请同时对上转盘和下转盘进行驱动，上转盘与下转盘同时给晶圆提供旋转力矩，从而避免了晶圆打滑。

附图说明

本文描述的附图只是为了说明所选实施例，而不是所有可能的实施方案，更不是意图限制本实用新型的范围。

图1示出了本申请的整体构造图；

图2示出了本申请的一种实施例；

图3示出了上转盘与推动盘以及延长杆的结构；

图4示出了上转盘与推动盘连接处的底部视图。

图中标记：推力轴承-1、球轴承-2、下转盘-10、上转盘-20、连接管-21、螺钉-22、框架-30、第一电机-40、第二电机-50、延长杆-60、推动盘-70、导杆-71、轴承-80、气缸-90。

具体实施方式

为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面结合附图对本实用新型的实施方式进行详细说明，但本实用新型所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。

应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。

在本实用新型的描述中需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该实用新型产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述。术语“第一”、“第二”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。术语“平行”、“垂直”等并不表示要求部件绝对平行或垂直，而是可以稍微倾斜。

在本实用新型的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接或一体地连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，或是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

如图1至图4所示，一种用于晶圆抛光的旋转夹具，包括：下转盘10和上转盘20，上转盘20同轴设于下转盘10上方。

具体的，下转盘10和上转盘20安装于同一框架30，框架30呈环形结构，上转盘20的底面与下转盘10的顶面相对设置，下转盘10的底部设有第一电机40，第一电机40安装于框架30底部，第一电机40带动下转盘10旋转，下转盘10的高度位置保持固定，下转盘10用于放置晶圆，框架30顶部设有第二电机50，第二电机50的转轴设有延长杆60，延长杆60朝向下转盘10设置，延长杆60的截面为多边形，上转盘20顶部同轴设有连接管21，连接管21与延长杆60同轴设置，连接管21滑动套设于延长杆60外侧，连接管21外周转动设有推动盘70，推动盘70沿连接管21的轴线方向移动。

优选的，如图3所示延长杆60的截面为矩形，连接管21同轴加工有矩形孔，利用矩形孔与延长杆60进行滑动配合，从而带动上转盘20旋转，采用此种结构连接可以减少周向旋转的限位机构，简化连接结构。

优选的，推动盘70与连接管21之间设有轴承80，轴承80内圈安装于连接管21顶端的外周，轴承80的外圈安装于推动盘70的底部，为防止轴承80滑出连接管21，连接管21的顶面设有多颗螺钉22，利用螺钉22的头部将轴承80的内圈卡住，为防止轴承80滑出推动盘70，推动盘70底部设有多颗螺钉22，用螺钉22的头部将轴承80的外圈卡住。

更具体的，框架30顶部设有一对气缸90，气缸90的推杆与延长杆60平行，气缸90的推杆与推动盘70相连，气缸90对称设于延长杆60两侧。

优选的，如图1至图3所示，推动盘70设有一对导杆71，导杆71与延长杆60平行，导杆71滑动穿过框架30的顶部，当上转盘20压紧晶圆时通过导杆71保持推动盘70的稳定性，同时还利用导杆71提高推动盘70移动时的稳定性。

优选的，框架30为整体的矩形环状结构，以提高结构强度，相关零件的安装刚度及稳定性。

优选的，如图3所示延长杆60上段与框架30之间设有一个推力轴承1以及一个球轴承2，利用推力轴承1防止延长杆60下落，利用球轴承2提高延长杆60旋转时的稳定性，减少摆动，从而提高上转盘20旋转的稳定性。

具体实施方式：工作时，将晶圆放置于下转盘10的顶面，气缸90推动推动盘70向下转盘10方向移动，在推动盘70的带动下上转盘20也一同向下转盘10方向移动直至将晶圆压紧。抛光过程中第一电机40与第二电机50以相同的转速朝同一方向旋转，上转盘20与下转盘10同时带动晶圆移动旋转，从而避免晶圆打滑，以便于晶圆边沿的抛光加工。

以上所述仅为本实用新型的优选实施例，并不表示是唯一的或是限制本实用新型。本领域技术人员应理解，在不脱离本实用新型的范围情况下，对本实用新型进行的各种改变或同等替换，均属于本实用新型保护的范围。

Claims

1.一种用于晶圆抛光的旋转夹具，包括：下转盘（10）和上转盘（20），上转盘（20）同轴设于下转盘（10）上方，其特征在于，下转盘（10）和上转盘（20）安装于同一框架（30），框架（30）呈环形结构，上转盘（20）的底面与下转盘（10）的顶面相对设置，下转盘（10）的底部设有第一电机（40），第一电机（40）安装于框架（30）底部，框架（30）顶部设有第二电机（50），第二电机（50）的转轴设有延长杆（60），延长杆（60）朝向下转盘（10）设置，延长杆（60）的截面为多边形，上转盘（20）顶部同轴设有连接管（21），连接管（21）与延长杆（60）同轴设置，连接管（21）滑动套设于延长杆（60）外侧，连接管（21）外周转动设有推动盘（70），推动盘（70）沿连接管（21）的轴线方向移动。

2.根据权利要求1所述的一种用于晶圆抛光的旋转夹具，其特征在于，延长杆（60）的截面为矩形，连接管（21）同轴加工有矩形孔，利用矩形孔与延长杆（60）进行滑动配合，从而带动上转盘（20）旋转。

3.根据权利要求1所述的一种用于晶圆抛光的旋转夹具，其特征在于，推动盘（70）与连接管（21）之间设有轴承（80），轴承（80）内圈安装于连接管（21）顶端的外周，轴承（80）的外圈安装于推动盘（70）的底部，连接管（21）的顶面设有多颗螺钉（22），利用螺钉（22）的头部将轴承（80）的内圈卡住，为防止轴承（80）滑出推动盘（70），推动盘（70）底部设有多颗螺钉（22），用螺钉（22）的头部将轴承（80）的外圈卡住。

4.根据权利要求1所述的一种用于晶圆抛光的旋转夹具，其特征在于，框架（30）顶部设有一对气缸（90），气缸（90）的推杆与延长杆（60）平行，气缸（90）的推杆与推动盘（70）相连，气缸（90）对称设于延长杆（60）两侧。

5.根据权利要求1所述的一种用于晶圆抛光的旋转夹具，其特征在于，推动盘（70）设有一对导杆（71），导杆（71）与延长杆（60）平行，导杆（71）滑动穿过框架（30）的顶部。

6.根据权利要求1所述的一种用于晶圆抛光的旋转夹具，其特征在于，框架（30）为整体的矩形环状结构。

7.根据权利要求1所述的一种用于晶圆抛光的旋转夹具，其特征在于，延长杆（60）上段与框架（30）之间设有一个推力轴承（1）以及一个球轴承（2）。