CN115148639B - 一种免交叉污染的晶圆槽式清洗机 - Google Patents

Abstract

本发明涉及电子产品加工领域，具体是涉及一种免交叉污染的晶圆槽式清洗机，包括清洗机，还包括总框架、两组托架组件、同步杆和包括有调节夹块和两个楔形块的收缩装置，每组托架组件均包括伸缩架、导向装置和若干个托板，位于最中间的托板为定位板，每相邻的两个托板之间均设置有V形弹性板，每个托板的侧壁上均成型有条形卡槽和弧形卡槽，在若干个V形弹性板和伸缩架的作用下，若干个托板在导向杆上等间距滑动展开，扩大相邻两个晶圆之间的间隙，晶圆清洗的更干净且不会交叉污染，同步杆使得两组托架组件同步运动，避免晶圆的受到横向剪切力损坏，夹具能将调节夹块的上限位部向上推动，避免楔形块与调节夹块卡死，并且批量装载和卸料晶圆方便。

Description

一种免交叉污染的晶圆槽式清洗机

技术领域

本发明涉及电子产品加工领域，具体是涉及一种免交叉污染的晶圆槽式清洗机。

背景技术

晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅。高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅。硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆。晶圆清洗，将晶圆在不断被加工成形及抛光处理的过程中，由于与各种有机物、粒子及金属接触而产生的污染物清除的工艺。是晶圆制造过程中的一个重要工艺步骤。槽式清洗机具有效率高、批量清洗等优点，但是现有的槽式清洗机中配对的载具盒在使用时具有以下不便，在将晶圆放置在载具盒内时，相邻的两个晶圆间距小，不易清洗液流入间隙进行清洗，而且相邻的两个晶圆距离过近易交叉污染，因此需要设计一种免交叉污染的晶圆槽式清洗机。

发明内容

基于此，有必要针对现有技术问题，提供一种免交叉污染的晶圆槽式清洗机。

为解决现有技术问题，本发明采用的技术方案为：一种免交叉污染的晶圆槽式清洗机，包括清洗机，还包括：

总框架；

两组沿水平方向呈对称状态设置的托架组件，均固定设置在总框架上，每组托架组件均包括伸缩架、导向装置和若干个与导向装置水平滑动连接的竖直的托板，位于最中间的托板为定位板，定位板与总框架固定连接，并且若干个托板沿滑动方向等间距设置，导向装置固定在总框架上，并且伸缩架与若干个托板远离另一组托架组件的一侧铰接，每相邻的两个托板之间均设置有推动两个托板相互远离的V形弹性板，每个托板靠近另一组托架组件的一侧成型有竖直的条形卡槽，并且条形卡槽的下端成型有与晶圆弧度一致的弧形卡槽，弧形卡槽的下端朝向另一组托架组件倾斜，所述晶圆向下插入两组托架组件中对应的两个托板的条形卡槽内；

水平的同步杆，两端分别与两组托架组件中位于最边缘的托板的下端固定卡接；

两组呈对称状态设置的收缩装置，与两组托架组件一一对应，每组收缩装置均包括调节夹块和两个分别固定在定位板两侧的托板上的楔形块，调节夹块位于总框架的外侧且与总框架的上端铰接，两个楔形块均与调节夹块的下端接触，清洗机上的两个夹具从两侧夹住两个调节夹块，两个楔形块随着调节夹块向靠近另一调节夹块的旋转而相互靠近。

进一步的，所述总框架包括：

水平的上U形边框，开口端远离同步杆设置，调节夹块的上端与上U形边框铰接；

位于上U形边框正下方的水平的下U形边框，开口端远离同步杆设置，导向装置与上U形边框的侧边和下U形边框对应的侧边固定连接；

主支撑臂和两个辅支撑臂，均呈竖直状态，两个辅支撑臂的上端分别与上U形边框的两端固定连接，两个辅支撑臂的下端分别与下U形边框的两端固定连接，主支撑臂的上端和下端分别与上U形边框的中部和下U形边框的中部固定连接；

若干组呈矩阵状态分布的支撑脚垫，均固定设置在下U形边框上。

进一步的，所述导向装置包括：

两个沿竖直方向间距设置的水平的导向杆，每个导向杆的长度方向均与上U形边框的侧边长度方向一致，位于上方的导向杆的两端均通过第一连接件与上U形边框固定连接，位于下方的导向杆的两端均通过第二连接件与下U形边框固定连接，托板的上端和下端分别滑动套设在两个导向杆上；

两个限位套，分别套设在定位板的两端，并且两个限位套分别与上U形边框和下U形边框固定连接。

进一步的，所述伸缩架通过第一铰接铆钉与托板铰接，所述托板的中部成型有用于增厚的水平的圆柱部，圆柱部上成型有同轴线的圆形凹槽，且圆柱部的侧壁上成型有矩形通槽，矩形通槽与圆形凹槽联通，所述第一铰接铆钉的端部穿过圆形凹槽插入矩形通槽内。

进一步的，所述V形弹性板的两端均成型定位部，所述托板上成型有供定位部插入的定位凹槽，所述定位凹槽的底部成型有圆形通槽，所述V形弹性板的两端均通过第二铰接铆钉与两个托板固定，每个第二铰接铆钉均穿过定位部和圆形通槽，所述托板上连接的两个V形弹性板分别位于圆柱部的上方和下方。

进一步的，所述伸缩架包括：

两个短型连接杆，一端分别与位于最边缘的两个托板上的第一铰接铆钉铰接；

若干个一一对应与位于中间的若干个第一铰接铆钉铰接的长型连接杆，每个长型连接杆的中部与第一铰接铆钉铰接，每个长型连接杆的两端分别与相邻的两个长型连接杆的端部铰接，其中位于边缘的两个长型连接杆与两个短型连接杆的端部铰接。

进一步的，位于定位板两侧的托板为调节板，两个调节板的上部均成型有供楔形块固定连接的第一连接部。

进一步的，所述调节夹块包括水平的第二连接部、水平的上限位部、水平的下限位部、竖直的支撑部和水平的调节部，第二连接部与上U形边框铰接，第二连接部和上限位部均与支撑部的上端固定连接，并且第二连接部和上限位部位于支撑部的两侧，下限位部和调节部均与支撑部的下端固定连接，且上限位部和下限位部位于支撑部的同一侧，调节部和第二连接部位于支撑部的同一侧，调节部上成型有竖直的锥形通槽，并且锥形通槽的尖端朝向下限位部设置，两个楔形块分别与锥形通槽的两个侧壁相抵触。

进一步的，所述条形卡槽的上端成型有利于晶圆插入的扩口部。

进一步的，所述上U形边框的上端固定设置有四个呈矩阵状态设置的支撑夹块，每个支撑夹块的结构均与调节夹块的结构一致，其中，支撑夹块无调节部，支撑夹块的第二连接部与上U形边框固定连接，并且支撑夹块的上限位部端部到支撑部的距离小于调节夹块的上限位部端部到支撑部的距离。

本发明与现有技术相比具有的有益效果是：其一，在设备装载若干个晶圆放入清洗机时，在若干个V形弹性板的推动下，若干个托板会在导向杆上滑动展开，在伸缩架的作用下，若干个托板会等间距展开，扩大相邻两个晶圆之间的间隙，使得清洗液能够在相邻的两个晶圆之间流动，晶圆清洗的更干净，且不会交叉污染，同步杆使得两组托架组件同步运动，避免晶圆的受到横向剪切力损坏；

其二，调节夹块上的上限位部的长度长于支撑夹块的上限位部的长度，使得夹具在向上移动时能给予调节夹块的上限位部向上的推力，使得调节夹块从两个楔形块上移出，避免了楔形块与调节夹块卡死的问题，使得若干个托板顺利展开；

其三，上U形边框和下U形边框开口端的设置，方便晶圆进行批量装载和卸料。

附图说明

图1是实施例的立体结构示意图一；

图2是实施例的展开状态时的立体结构示意图；

图3是实施例的立体结构示意图二；

图4是实施例的托架组件的立体结构示意图；

图5是实施例的图4中A处的放大示意图；

图6是实施例的托架组件的局部立体结构示意图；

图7是实施例的定位板的立体结构示意图一；

图8是实施例的收缩装置带动立体结构示意图；

图9是实施例的定位板的立体结构示意图二；

图10是实施例的V形弹性板的立体结构示意图；

图11是实施例的图6中B处的放大示意图；

图12是实施例的图7中C处的放大示意图；

图13是实施例的伸缩架的立体结构示意图；

图14是载具和晶圆的立体结构示意图。

图中标号为：1、总框架；2、伸缩架；3、托板；4、定位板；5、V形弹性板；6、条形卡槽；7、弧形卡槽；8、晶圆；9、导向装置；10、同步杆；11、调节夹块；12、楔形块；13、夹具；14、上U形边框；15、下U形边框；16、主支撑臂；17、辅支撑臂；18、支撑脚垫；19、导向杆；20、第一连接件；21、第二连接件；22、限位套；23、第一铰接铆钉；24、圆柱部；25、圆形凹槽；26、矩形通槽；27、定位部；28、定位凹槽；29、圆形通槽；30、第二铰接铆钉；31、短型连接杆；32、长型连接杆；33、调节板；34、第一连接部；35、第二连接部；36、上限位部；37、下限位部；38、支撑部；39、调节部；40、锥形通槽；41、扩口部；42、支撑夹块；43、载具。

具体实施方式

为能进一步了解本发明的特征、技术手段以及所达到的具体目的、功能，下面结合附图与具体实施方式对本发明作进一步详细描述。

参考图1至图14所示，一种免交叉污染的晶圆槽式清洗机，包括清洗机，还包括：

总框架1；

两组沿水平方向呈对称状态设置的托架组件，均固定设置在总框架1上，每组托架组件均包括伸缩架2、导向装置9和若干个与导向装置9水平滑动连接的竖直的托板3，位于最中间的托板3为定位板4，定位板4与总框架1固定连接，并且若干个托板3沿滑动方向等间距设置，导向装置9固定在总框架1上，并且伸缩架2与若干个托板3远离另一组托架组件的一侧铰接，每相邻的两个托板3之间均设置有推动两个托板3相互远离的V形弹性板5，每个托板3靠近另一组托架组件的一侧成型有竖直的条形卡槽6，并且条形卡槽6的下端成型有与晶圆8弧度一致的弧形卡槽7，弧形卡槽7的下端朝向另一组托架组件倾斜，所述晶圆8向下插入两组托架组件中对应的两个托板3的条形卡槽6内；

水平的同步杆10，两端分别与两组托架组件中位于最边缘的托板3的下端固定卡接；

两组呈对称状态设置的收缩装置，与两组托架组件一一对应，每组收缩装置均包括调节夹块11和两个分别固定在定位板4两侧的托板3上的楔形块12，调节夹块11位于总框架1的外侧且与总框架1的上端铰接，两个楔形块12均与调节夹块11的下端接触，清洗机上的两个夹具13分别从两侧夹住两个调节夹块11，两个楔形块12随着调节夹块11向靠近另一调节夹块11的旋转而相互靠近。

所述总框架1包括：

水平的上U形边框14，开口端远离同步杆10设置，调节夹块11的上端与上U形边框14铰接；

位于上U形边框14正下方的水平的下U形边框15，开口端远离同步杆10设置，导向装置9与上U形边框14的侧边和下U形边框15对应的侧边固定连接；

主支撑臂16和两个辅支撑臂17，均呈竖直状态，两个辅支撑臂17的上端分别与上U形边框14的两端固定连接，两个辅支撑臂17的下端分别与下U形边框15的两端固定连接，主支撑臂16的上端和下端分别与上U形边框14的中部和下U形边框15的中部固定连接；

若干组呈矩阵状态分布的支撑脚垫18，均固定设置在下U形边框15上。

上U形边框14和下U形边框15均采用U形，是为了方便进行晶圆8的装载和卸料，前道工序是将若干个晶圆8等间距摆放在载具43上，载具43图中未示出，夹具13夹住总框架1进行移动，将上U形边框14的开口端水平套设在载具43上，然后带动总框架1竖直向上移动，位于载具43上的晶圆8就插入对应的条形卡槽6中，由于弧形卡槽7能够托住晶圆8，所以能够将晶圆8从载具43上取下，当晶圆8清理完成时，将总框架1移动至载具43的正上方，将总框架1竖直向下移动套设在载具43上，晶圆8就会被载具43托住，随后将总框架1沿着上U 形框架的开口端从载具43上移出，完成晶圆8的卸料，载具43见图14所示。

主支撑臂16和两个辅支撑臂17起固定连接作用，由于主支撑臂16和两个辅支撑臂17的体积小，方便清洗液流动，对晶圆8进行清洗，支撑脚垫18是将下U形边框15支撑起，使清洗下来在残留物能够下落到下U形边框15的下方，避免造成二次污染。

所述导向装置9包括：

两个沿竖直方向间距设置的水平的导向杆19，每个导向杆19的长度方向均与上U形边框14的侧边长度方向一致，位于上方的导向杆19的两端均通过第一连接件20与上U形边框14固定连接，位于下方的导向杆19的两端均通过第二连接件21与下U形边框15固定连接，托板3的上端和下端分别滑动套设在两个导向杆19上；

两个限位套22，分别套设在定位板4的两端，并且两个限位套22分别与上U形边框14和下U形边框15固定连接。

通过伸缩架2使得若干个托板3能够等间距展开，而两个限位套22将定位板4限位在导向杆19上无法滑动，使得若干个托板3以定位板4为基准向两侧滑动展开，同步杆10的作用是使两组托架组件中的相对应的托板3能够同步移动，若相对应的两个托板3不是同步运动的，晶圆8会受到横向剪切力，对晶圆8造成损伤。

所述伸缩架2通过第一铰接铆钉23与托板3铰接，所述托板3的中部成型有用于增厚的水平的圆柱部24，圆柱部24上成型有同轴线的圆形凹槽25，且圆柱部24的侧壁上成型有矩形通槽26，矩形通槽26与圆形凹槽25联通，所述第一铰接铆钉23的端部穿过圆形凹槽25插入矩形通槽26内。

因为设备使用的特殊性，需要采用塑料材料制作，所以需要通过第一铰接铆钉23连接，当需要将伸缩架2与托板3铰接时，将第一铰接铆钉23穿过伸缩架2插入圆形凹槽25内，最终第一铰接铆钉23的端部插入矩形通槽26内卡住。

所述V形弹性板5的两端均成型定位部27，所述托板3上成型有供定位部27插入的定位凹槽28，所述定位凹槽28的底部成型有圆形通槽29，所述V形弹性板5的两端均通过第二铰接铆钉30与两个托板3固定，每个第二铰接铆钉30均穿过定位部27和圆形通槽29，所述托板3上连接的两个V形弹性板5分别位于圆柱部24的上方和下方。

当V形弹性板5安装时，将定位部27插入定位凹槽28中，再将第二铰接铆钉30穿过定位部27插入圆形通槽29从圆形通槽29的另一端穿出，同理将V形弹性板5的另一端与相邻的托板3固定住。

因为圆形通槽29只能够插入一个第二铰接铆钉30，所以若干个V形弹性板5沿导向杆19的长度方向采用交替错位设置，解决了相邻的两个V形弹性板5的安装问题。

所述伸缩架2包括：

两个短型连接杆31，一端分别与位于最边缘的两个托板3上的第一铰接铆钉23铰接；

若干个一一对应与位于中间的若干个第一铰接铆钉23铰接的长型连接杆32，每个长型连接杆32的中部与第一铰接铆钉23铰接，每个长型连接杆32的两端分别与相邻的两个长型连接杆32的端部铰接，其中位于边缘的两个长型连接杆32与两个短型连接杆31的端部铰接。

当夹具13松开调节夹块11时，V形弹性板5推动相邻的两个托板3相互远离，若干个托板3以定位板4为中心展开，由于若干个长型连接杆32和两个短型连接杆31，若干个托板3会等间距的在导向杆19上滑动展开。

位于定位板4两侧的托板3为调节板33，两个调节板33的上部均成型有供楔形块12固定连接的第一连接部34。

所述调节夹块11包括水平的第二连接部35、水平的上限位部36、水平的下限位部37、竖直的支撑部38和水平的调节部39，第二连接部35与上U形边框14铰接，第二连接部35和上限位部36均与支撑部38的上端固定连接，并且第二连接部35和上限位部36位于支撑部38的两侧，下限位部37和调节部39均与支撑部38的下端固定连接，且上限位部36和下限位部37位于支撑部38的同一侧，调节部39和第二连接部35位于支撑部38的同一侧，调节部39上成型有竖直的锥形通槽40，并且锥形通槽40的尖端朝向下限位部37设置，两个楔形块12分别与锥形通槽40的两个侧壁相抵触。

当两个夹具13需要从两侧夹住两个调节夹块11时，夹具13水平移动抵触在支撑部38上，夹具13继续向靠近另一个调节夹块11的方向移动，推动两个调节夹块11旋转，两个调节夹块11的下端相互靠近，调节夹块11上的锥形通槽40会推动两个楔形块12相互靠近，上限位部36和下限位部37是为了防止夹具13滑脱。

所述条形卡槽6的上端成型有利于晶圆8插入的扩口部41。

所述上U形边框14的上端固定设置有四个呈矩阵状态设置的支撑夹块42，每个支撑夹块42的结构均与调节夹块11的结构一致，其中，支撑夹块42无调节部39，支撑夹块42的第二连接部35与上U形边框14固定连接，并且支撑夹块42的上限位部36到支撑部38的距离小于调节夹块11的上限位部36到支撑部38的距离。在没有夹具13的时候，调节夹块11如图2所示，呈倾斜状。夹具13总是会先接触到调节夹块11中的第二连接部35，紧接着夹具13会驱动该第二连接部35旋转从而使得调节夹块11上的锥形通槽40推动两个楔形块12相互靠近，然后夹具13再接触到支撑夹块42中的第二连接部35。

支撑夹块42是为了给夹具13提供支撑点，夹具13会抵触在支撑部38上，上限位部36和下限位部37起限位作用。

在两个楔形块12插入锥形通槽40内时，夹具13松开调节夹块11，由于V形弹性板5的弹力有限，存在两个楔形块12卡入锥形通槽40内无法移动，所以支撑夹块42的上限位部36端部到支撑部38的距离小于调节夹块11的上限位部36端部到支撑部38的距离，在夹具13从调节夹块11上水平移出，夹具13再竖直向上移动抵触在调节夹块11的上限位部36上，而夹具13无法抵触在支撑夹块42的上限位部36上，夹具13给予调节夹块11向上的推动调节夹块11的上限位部36，使得调节夹块11向远离楔形块12的方向旋转，使得两个楔形块12从锥形通槽40内移出，避免了被卡死无法移动。

工作原理：清洗机为现有设备，图中并未示出，图中所示所有零件均采用塑料材料制作，当两个夹具13从两侧夹住调节夹块11时，由于两个调节夹块11的上端与上U形边框14铰接，两个调节夹块11的下端会相互靠近，调节夹块11上的锥形通槽40会套设在两个楔形块12上，使得两个楔形块12相互靠近，从而带动两个调节板33在导向杆19上向靠近定位板4滑动，通过伸缩架2带动其他托板3向靠近定位板4滑动，同步杆10使得两组托架组件中的若干个托板3同步滑动，若干托板3相互靠近，V形弹性板5被压缩，使得若干个晶圆8相互靠近。

当总框架1落在清洗机的清洗池内，两个夹具13松开两个调节夹块11时，被压缩的V形弹性板5的两端推动相邻的两个托板3在导向杆19上相互远离的滑动，在伸缩架2的作用下，若干个托板3以定位板4为中心在导向杆19上等间距滑动展开，当位于边缘的托板3与第一连接件20相抵触说明若干个托板3已经展开到位，同步杆10使得两组托架组件同步移动，从而使得对应的托板3同步滑动，清洗机对晶圆8进行清洗，由于相邻的两个晶圆8的间距较大，晶圆8清洗的更加干净，同时在清洗的过程中也避免了交叉污染。

以上实施例仅表达了本发明的一种或几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本发明专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本发明的保护范围。因此，本发明专利的保护范围应以所附权利要求为准。

Claims (7)

1.一种免交叉污染的晶圆槽式清洗机，包括清洗机，其特征在于，还包括：

总框架（1）；

两组沿水平方向呈对称状态设置的托架组件，均固定设置在总框架（1）上，每组托架组件均包括伸缩架（2）、导向装置（9）和若干个与导向装置（9）水平滑动连接的竖直的托板（3），位于最中间的托板（3）为定位板（4），定位板（4）与总框架（1）固定连接，并且若干个托板（3）沿滑动方向等间距设置，导向装置（9）固定在总框架（1）上，并且伸缩架（2）与若干个托板（3）远离另一组托架组件的一侧铰接，每相邻的两个托板（3）之间均设置有推动两个托板（3）相互远离的V形弹性板（5），每个托板（3）靠近另一组托架组件的一侧成型有竖直的条形卡槽（6），并且条形卡槽（6）的下端成型有与晶圆（8）弧度一致的弧形卡槽（7），弧形卡槽（7）的下端朝向另一组托架组件倾斜，所述晶圆（8）向下插入两组托架组件中对应的两个托板（3）的条形卡槽（6）内；

水平的同步杆（10），两端分别与两组托架组件中位于最边缘的托板（3）的下端固定卡接；

两组呈对称状态设置的收缩装置，与两组托架组件一一对应，每组收缩装置均包括调节夹块（11）和两个分别固定在定位板（4）两侧的托板（3）上的楔形块（12），调节夹块（11）位于总框架（1）的外侧且与总框架（1）的上端铰接，两个楔形块（12）均与调节夹块（11）的下端接触，清洗机上的两个夹具（13）分别从两侧夹住两个调节夹块（11），两个楔形块（12）随着调节夹块（11）向靠近另一调节夹块（11）的旋转而相互靠近；

所述总框架（1）包括：

水平的上U形边框（14），开口端远离同步杆（10）设置，调节夹块（11）的上端与上U形边框（14）铰接；

位于上U形边框（14）正下方的水平的下U形边框（15），开口端远离同步杆（10）设置，导向装置（9）与上U形边框（14）的侧边和下U形边框（15）对应的侧边固定连接；

主支撑臂（16）和两个辅支撑臂（17），均呈竖直状态，两个辅支撑臂（17）的上端分别与上U形边框（14）的两端固定连接，两个辅支撑臂（17）的下端分别与下U形边框（15）的两端固定连接，主支撑臂（16）的上端和下端分别与上U形边框（14）的中部和下U形边框（15）的中部固定连接；

若干组呈矩阵状态分布的支撑脚垫（18），均固定设置在下U形边框（15）上；

所述导向装置（9）包括：

两个沿竖直方向间距设置的水平的导向杆（19），每个导向杆（19）的长度方向均与上U形边框（14）的侧边长度方向一致，位于上方的导向杆（19）的两端均通过第一连接件（20）与上U形边框（14）固定连接，位于下方的导向杆（19）的两端均通过第二连接件（21）与下U形边框（15）固定连接，托板（3）的上端和下端分别滑动套设在两个导向杆（19）上；

两个限位套（22），分别套设在定位板（4）的两端，并且两个限位套（22）分别与上U形边框（14）和下U形边框（15）固定连接；

所述调节夹块（11）包括水平的第二连接部（35）、水平的上限位部（36）、水平的下限位部（37）、竖直的支撑部（38）和水平的调节部（39），第二连接部（35）与上U形边框（14）铰接，第二连接部（35）和上限位部（36）均与支撑部（38）的上端固定连接，并且第二连接部（35）和上限位部（36）位于支撑部（38）的两侧，下限位部（37）和调节部（39）均与支撑部（38）的下端固定连接，且上限位部（36）和下限位部（37）位于支撑部（38）的同一侧，调节部（39）和第二连接部（35）位于支撑部（38）的同一侧，调节部（39）上成型有竖直的锥形通槽（40），并且锥形通槽（40）的尖端朝向下限位部（37）设置，两个楔形块（12）分别与锥形通槽（40）的两个侧壁相抵触。

2.根据权利要求1所述的一种免交叉污染的晶圆槽式清洗机，其特征在于，所述伸缩架（2）通过第一铰接铆钉（23）与托板（3）铰接，所述托板（3）的中部成型有用于增厚的水平的圆柱部（24），圆柱部（24）上成型有同轴线的圆形凹槽（25），且圆柱部（24）的侧壁上成型有矩形通槽（26），矩形通槽（26）与圆形凹槽（25）联通，所述第一铰接铆钉（23）的端部穿过圆形凹槽（25）插入矩形通槽（26）内。

3.根据权利要求2所述的一种免交叉污染的晶圆槽式清洗机，其特征在于，所述V形弹性板（5）的两端均成型定位部（27），所述托板（3）上成型有供定位部（27）入的定位凹槽（28），所述定位凹槽（28）的底部成型有圆形通槽（29），所述V形弹性板（5）的两端均通过第二铰接铆钉（30）与两个托板（3）固定，每个第二铰接铆钉（30）均穿过定位部（27）和圆形通槽（29），所述托板（3）上连接的两个V形弹性板（5）分别位于圆柱部（24）的上方和下方。

4.根据权利要求2所述的一种免交叉污染的晶圆槽式清洗机，其特征在于，所述伸缩架（2）包括：

两个短型连接杆（31），一端分别与位于最边缘的两个托板（3）上的第一铰接铆钉（23）铰接；

若干个一一对应与位于中间的若干个第一铰接铆钉（23）铰接的长型连接杆（32），每个长型连接杆（32）的中部与第一铰接铆钉（23）铰接，每个长型连接杆（32）的两端分别与相邻的两个长型连接杆（32）的端部铰接，其中位于边缘的两个长型连接杆（32）与两个短型连接杆（31）的端部铰接。

5.根据权利要求1所述的一种免交叉污染的晶圆槽式清洗机，其特征在于，位于定位板（4）两侧的托板（3）为调节板（33），两个调节板（33）的上部均成型有供楔形块（12）固定连接的第一连接部（34）。

6.根据权利要求1所述的一种免交叉污染的晶圆槽式清洗机，其特征在于，所述条形卡槽（6）的上端成型有利于晶圆（8）插入的扩口部（41）。

7.根据权利要求1所述的一种免交叉污染的晶圆槽式清洗机，其特征在于，所述上U形边框（14）的上端固定设置有四个呈矩阵状态设置的支撑夹块（42），每个支撑夹块（42）的结构均与调节夹块（11）的结构一致，其中，支撑夹块（42）无调节部（39），支撑夹块（42）的第二连接部（35）与上U形边框（14）固定连接，并且支撑夹块（42）的上限位部（36）端部到支撑部（38）的距离小于调节夹块（11）的上限位部（36）端部到支撑部（38）的距离。

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