JP2009141300A - 半導体ウエハなどのピッチ変換装置 - Google Patents

Abstract

【課題】半導体ウエハｗなどの薄板部材間のピッチｐを正確に変換させることができ、また構造を簡易化させて製造コストを減少させ得るものとする。
【解決手段】基礎台１上の２位置に上方突出支持部材２ａ、２ｂを設け、少なくとも一方の上方突出支持部材２ａ又は２ｂを左右方向ａ１の移動可能となし、これら２つの上方突出支持部材２ａ、２ｂ間に、一体構造となされ左右方向ａ１へ弾性変形により伸縮される弾性伸縮支持部材１５を固設し、該弾性伸縮支持部材１５は、左右方向ａ１の一定ピッチｐの位置ｐ１に、半導体ウエハｗなどの外周縁部を嵌挿される溝ｅ１を具備した保持部材１６を固設され、上方突出支持部材２ａ、２ｂが左右変位されることにより、保持部材１６群が等ピッチを保持したまま左右方向ａ１へ平行移動され、上方突出支持部材２ａ、２ｂの左右変位量に関連したピッチｐで配列された状態になる構成である。
【選択図】図１

Description

本発明は、例えば半導体ウエハなどの薄板部材の複数枚を一括して移動するさいにこれら薄板部材の配列ピッチを任意な大きさに変化させることのできるピッチ変換装置に関する。

一般的に、複数枚の半導体ウエハなどの薄板部材を一括して移動するさいに、その薄板部材間のピッチを変換する必要が生じる場合がある。即ち、１つのキャリアなどに収納されている複数枚の薄板部材を他のキャリアに移動させるさいに、この１つのキャリアにおける薄板保持部間のピッチと他のキャリアにおける薄板保持部間のピッチが異なる場合には、キャリア間における薄板部材群の移動中に、そのピッチを変換しなければならなくなる。

一方、半導体の製造工程においては塵などが半導体ウエハなどの薄板部材に付着することを避ける必要などのため、従来において、半導体ウエハなどの薄板部材間のピッチを変換するさい、例えば特許文献１〜３などに開示されているようなピッチ変換装置が用いられている。

これらのピッチ変換装置は、単一の薄板部材の外周縁のみを嵌挿される多数の保持部材と、これら保持部材を支持しその移動を案内する支持案内手段と、この支持案内手段上で各保持部材の位置を連係して変位させる保持部材連係変位手段とを備えたものとなされている。

これらの装置では、保持部材連係変位手段が外方から駆動力を付与されることにより多数の保持部材を連係して変位させるのであり、これにより多数の保持部材及びこれらの保持部材に保持された多数の半導体ウエハなどが等ピッチに保持されたまま、そのピッチを任意な大きさに変換されるのである。

このようなピッチ変換処理において、半導体ウエハなどはその外周縁のみで支持され要部に他物が何ら接触しないことから、半導体ウエハなどへの塵埃付着は効果的に回避される。

特開平５−２７５５１６号公報 特開平６−１８３５１２号公報 実開昭６２−７０４３７号公報

しかしながら、前述したように、従来から用いられているピッチ変換装置では、支持案内手段や保持部材連係変位手段が複数の部材を嵌め合い構造を介して相対変位可能に結合した構造となされているため、繰り返し使用されることにより嵌め合い構造が磨り減るなどして遊隙が過大となり、半導体ウエハなどの薄板部材間のピッチが正確に変換されない事態が生じ得るのであり、また複数の部材からなる支持案内手段や保持部材連係変位手段は装置構造を複雑化させ製造コストを増大させる要因をなすものである。

本発明は、これらの問題点を解消できるものとした半導体ウエハなどのピッチ変換装置を提供することを目的とするものである。

上記目的を達成するため、本発明に係る半導体ウエハなどのピッチ変換装置は、請求項１に記載したように、基礎台上の左右方向上の２位置のそれぞれに上方突出支持部材を設け、少なくとも一方の上方突出支持部材を左右方向の移動可能となし、これら２つの上方突出支持部材間には一体構造となされ且つ左右方向へ弾性変形により伸縮される弾性伸縮支持部材を橋渡し状に固設し、該弾性伸縮支持部材は、左右方向の一定ピッチ位置のそれぞれに、半導体ウエハなどの薄板部材の外周縁部を嵌挿される溝を具備した保持部材を固設され、前記上方突出支持部材が左右変位されることにより、該保持部材群が等ピッチを保持したまま左右方向へ平行移動され、前記上方突出支持部材の左右変位量に関連したピッチで配列された状態になることを特徴とするものである。
この発明において、弾性伸縮支持部材は一体構造でありながら、既述の、支持案内手段及び保持部材関連変位手段としての機能を奏する。

上記発明は次のように具体化するのがよい。
即ち、請求項２に記載したように、前記弾性伸縮支持部材が、単一の弾性板を左右方向の波形に屈曲させたものである構成とするか、或いは、これに代えて、請求項３に記載したように、前記弾性伸縮支持部材が、左右方向と直交した多数の単位弾性板を左右方向へ配列し、隣接した単位弾性板同士の上縁部と下縁部を交互に固着させることにより左右方向の波形となされている構成とする。

また請求項４に記載したように、前記弾性伸縮支持部材が、左右方向から見て部分環形状となされ、凹み側縁部に前記保持部材を固定されている構成とする。これによれば、前記弾性伸縮支持部材が、既存のベローズの一部を使用することで形成されるものとなり、また凹み側縁部に前記保持部材が固定されていることは、円板形の半導体ウエハなどの薄板部材の外周縁部を嵌挿される溝を有する前記保持部材が半導体ウエハを嵌挿する上で便利なように左右方向視で円弧状となされている場合において、前記保持部材を変形することなく前記凹み側縁部にそのまま止着するだけで済ませることを可能となすものである。

さらには請求項５に記載したように、前記弾性伸縮支持部材がベローズ（蛇腹伸縮筒）の中心線回りの一定範囲箇所からなっている構成とする。これによれば、前記弾性伸縮支持部材が既存のベローズを２つの半径面で切断しただけで形成されるものとなる。

このさい、請求項６に記載したように、前記弾性伸縮支持部材がベローズ（蛇腹伸縮円筒）の中心線回りの１８０度よりも一定角度だけ小さい角度範囲箇所からなっている構成とする。このようにすれば、前記保持部材に嵌挿された円板形の半導体ウエハなどの薄板部材の直径両端部位が前記保持部材の外方に位置される状態になり、これにより半導体ウエハなどが直径両端部位を介して把持され移動されるようになり、半導体ウエハなどへの塵埃の付着が防止される。

本発明によれば、弾性伸縮支持部材が一体構造（相対変位可能な嵌め合い構造を有していないもの）であるため、いくら繰り返し左右方向へ伸縮変形されても、保持部材同士を結合するための部材の磨り減りによる遊隙の過大化は起こり得ないものとなり、したがってたとえ長期間、繰り返し使用されても、保持部材間のピッチ、及び、各保持部材に嵌挿された半導体ウエハなどの薄板部材間のピッチが正確に変更されるものとなる。

また弾性伸縮支持部材が一体構造であるため、部品点数が減少して組立の合理化が図られると共に、構造簡易となして製造コストを低減させることができるものである。

以下、本発明の実施形態について図面を参照して説明する。
図１は本発明に係るピッチ変換装置を示す正面視説明図、図２は前記ピッチ変換装置を示す平面視説明図、図３は前記ピッチ変換装置を右側から見た説明図、図４は市販のベローズを示す説明図、図５は前記ピッチ変換装置の保持部材周辺を示す正面視拡大断面図である。

図１〜図３において、１は平板からなる基礎台であり、２ａ及び２ｂは基礎台１上面の左右方向ａ１上の２位置のそれぞれに配設された上方突出支持部材である。これら２つの上方突出支持部材２ａ、２ｂのそれぞれは案内手段３を介して左右方向ａ１の移動自在となされている。

案内手段３は、直線軌道部材４、サドル部材５及び結合部材６ａ、６ｂとからなっている。直線軌道部材４は断面四角形の棒部材からなり、基礎台１上の左右方向ａ１と直交した横方向の各側の左右方向ａ１箇所にボルトを介して固設されている。各直線軌道部材４は２つのサドル部材５、５を左右方向の移動自在に案内している。各結合部材６ａ、６ｂは直交した２つの結合面を有しており、一方の結合面が水平となされて、その対応する１つのサドル部材６の上面にボルトを介して固定されている。

各上方突出支持部材２ａ、２ｂ下部の横方向各端部箇所にはその対応する２つのサドル部材５、５のそれぞれに固定された結合部材６ａ、６ｂの他方の結合面が垂直となされボルトを介して固定されており、これにより各上方突出支持部材２ａ、２ｂはサドル５、５を介して直線軌道部材４、４上を左右方向ａ１へ移動自在となされている。

各上方突出支持部材２ａ、２ｂの下半分範囲の略中央位置にはナット体７の嵌挿される透孔ｂ１が形成されているのであり、各ナット体７はナット部７ａとこれの外周の一端に形成された鍔部７ｂとを有するものとなされている。左側の上方突出支持部材２ａにはナット体７のナット部７ａが環形スペーサ８の内孔を通じて透孔ｂ１内に嵌挿されると共に鍔部７ｂが環形スペーサ８及びボルトを介して固定されている。一方、右側の上方突出支持部材２ｂにはナット体７のナット部７ａが透孔ｂ１内に嵌挿されると共に鍔部７ｂが直接にボルトを介して固定されている。

９は基礎台１上の横巾中央の左右方向位置に配置された回転ネジ軸であり、この回転ネジ軸９は左端部を入力部９ａとなされ且つ、該入力部９ａの後側部分の各端部寄り箇所の外周面に反対向きのリードを有する雄ネジ９ｂ、９ｃを形成されている。そして、一方の雄ネジ９ｂが左側のナット体７に螺合され、他方の雄ネジ９ｃが右側のナット体７に螺合されている。

１０は駆動部をなすサーボモータであり、基礎台１上の左端部の横方向一側に固設されている。サーボモータ１０の出力軸には駆動側の歯付プーリ１１ａが固定されており、一方、回転ネジ軸９の入力部９ａには従動側の歯付プーリ１１ｂが固定されている。そして、２つの歯付プーリ１１ａ、１１ｂ間に無端状の歯付ベルト１２が掛け回されると共に、歯付ベルト１２側の歯と歯付プーリ１１ａ、１１ｂ側の歯とが嵌合されている。

１３はラジアル軸受部１３ａとスラスト軸受部１３ｂとを備えた軸受体であり、回転ネジ軸９の入力部９ａと雄ネジ９ｂとの間箇所を回転のみ自在に支承しており、サーボモータ１０の回転を歯付プーリ１１ａ、１１ｂ及び歯付ベルト１２を介して伝達されたとき、回転ネジ軸９の回転を介して２つの上方突出支持部材２ａ、２ｂに左右方向ａ１の変位力を付与する上で寄与するものである。

２つの上方突出支持部材２ａ、２ｂの対向面箇所ｃ１、ｃ２のそれぞれには左右方向視で部分環形状となされた結合板１４がボルトを介して固定されている。そして、これら結合板１４、１４間に弾性伸縮支持部材１５が橋渡し状に固設されている。

弾性伸縮支持部材１５は一体構造となされ且つ左右方向ａ１へ弾性変形により伸縮されるもであり、例えば図１に示すように左右方向ａ１と直交した多数の単位弾性板である金属板１５ａを左右方向ａ１へ配列し、各金属板１５ａの上縁部ｄ１と下縁部ｄ２を交互に固着させることにより左右方向ａ１の波形に形成するか、或いは、単一の弾性板である図示しない帯状金属板を左右方向ａ１の波形に屈曲させて形成してもよいものである。このさい、弾性伸縮支持部材１５は左右方向ａ１から見て部分環形状となす。

上記した弾性伸縮支持部材１５は既存の材料を使用して簡便に形成するさいは、蛇腹伸縮円筒である図４に示す市販のベローズＢを２つの半径面ｒ１、ｒ２で切断するのであり、さらに具体的にはベローズＢの中心線Ｏ１回りの１８０度よりも一定角度だけ小さい角度範囲箇所からなる部分ベローズを弾性伸縮部材として代用する。図１〜図３に示された弾性伸縮支持部材１５は市販のベローズＢをこれの中心線Ｏ１回りの挟角θが略９０度である２つの半径面ｒ１、ｒ２で切断することにより形成される。

弾性伸縮支持部材１５上の左右方向ａ１の一定ピッチｐの位置ｐ１のそれぞれには、半導体ウエハなどの薄板部材ｗを保持する保持部材１６が固設されている。このさい、一定ピッチｐの位置ｐ１は図１中で隣接した金属板１５ａの上縁部ｄ１である凹み側縁部同士を結合した位置に対応しており、また保持部材１６は合成樹脂材などで形成されたもので、図３に示すように四角棒部材を金属板１５ａの凹み側縁部ｄ１の曲がりに合致した円弧状となされると共に、図５に示すように正面視断面形状を四角形となされ、また上面には半導体ウエハなどの薄板部材ｗの外周縁部を嵌挿され左右方向ａ１視形状を円弧状となされ横方向視断面形状を逆三角形となされた溝部ｅ１が形成されると共に、下面の左右方向中央位置には左右方向ａ１で隣接し結合された２つの金属板１５ａ、１５ａの凹み側縁部ｄ１、ｄ１を嵌挿され左右方向ａ１視形状を円弧状となされ横方向断面形状を四角形となされた比較的深い溝ｅ２が形成されたものとなされている。

１７は各直線軌道部材４の左右方向ａ１長さの中央位置よりも右側へ設けたストッパーであり、該ストッパー１７はその対応する直線案内軌道４を跨いで基礎台１にボルトを介して固定された支持片１７ａと、この支持片１７ａの上部に左右向きに螺合された規制ボルト１７ｂと、これに螺着されたロックナット１７ｃからなり、右側の上方突出支持部材２ｂが左方の限界位置に移動したとき、規制ボルト１７ｂの右端面が、上方突出支持部材２ｂと一体状に固定されている結合部材６ｂの左端部の上方突部ｆ１に左右向きに螺着された衝接部材１８の左端面に衝接し、上方突出支持部材２ｂのそれ以上の左方移動を規制するものである。

１９は基礎台１上の右端部の横方向中央箇所に設けたストッパーであり、該ストッパー１９は基礎台１上面にボルトを介して固定された支持片１９ａと、この支持片１９ａの上部に左右向きに螺合された規制ボルト１９ｂと、これに螺着されたロックナット１９ｃからなり、右側の上方突出支持部材２ｂが右方の限界位置に移動したとき、規制ボルト１９ｂの左端面が上方突出支持部材２ｂの下端部中央箇所に左右向きに螺着された衝接部材２０の右端面に衝接し、上方突出支持部材２ｂのそれ以上の右方移動を規制するものである。

２１は弾性伸縮支持部材１５の最下部に近接状に固設された水平状の下側支持案内板であり、必要に応じて設けられるものである。この下側支持案内板２１は弾性伸縮支持部材１５の最下部を支持してこれの下方変位を規制すると共に伸縮支持部材１５の最下部が左右方向へ伸縮移動するとき、それに摺接して、その伸縮移動を円滑に案内するものとなされている。

２２ａ及び２２ｂはそれぞれの対応する弾性伸縮支持部材１５の横方向各端部ｇ１、ｇ２に近接され左右方向の水平状に固設された横側支持案内板であり、必要に応じて設けられるものである。この横側支持案内板２２ａ、２２ｂのそれぞれはその対応する弾性伸縮支持部材１５の横方向端部ｇ１、ｇ２に当接して弾性伸縮支持部材１５の横曲がり変形を規制すると共に、伸縮支持部材１５の横方向端部ｇ１、ｇ２が左右方向へ伸縮移動するとき、それに摺接して、その対応する側の横方向端部ｇ１、ｇ２の伸縮移動を円滑に案内するものとなされている。

２３は基礎台１上の上方を被った箱形カバーであり、基礎台１に固定されている。この箱形カバー２３は弾性伸縮支持部材１５の上方に開口ｈ１を有しており、該開口ｈ１を通じて半導体ウエハなどの薄板部材ｗが保持部材１６に対し外方から搭載され或いは搭載された後の薄板部材ｗが外方へ取り出されるものとなされている。

次に上記した本発明に係るピッチ変換装置の使用例及び作用などについて説明する。
この使用例では、多数の半導体ウエハｗが薄板保持部を介して左右方向ａ１と直交した横方向に沿った姿勢となされ左右方向ａ１へ４．７６ｍｍのピッチで一線状に配置された状態となされて収納されている第１のキャリアと、薄板保持部を介して先の半導体ウエハｗが６．３５ｍｍのピッチで第１のキャリアの場合と同様な配列姿勢で収納されるものとなされた空状態の第２のキャリアとが存在している場合に、第１のキャリアに収容されている半導体ウエハｗ群を第２のキャリア内に移動させる処理を行うものとする。

先ず、第１の把持搬送手段により、第１のキャリアに収容されている半導体ウエハｗ群を、各半導体ウエハｗの水平な直径箇所の各端縁を第１のキャリア内における配列状態のまま把持することにより、半導体ウエハｗ間のピッチを変更することなく第１のキャリアの外方へ取り出す。

一方では、本発明に係るピッチ変換装置のサーボモータ１０を回転作動させて、保持部材１６の左右方向ａ１のピッチｐを４．７６ｍｍに合致させるのであり、このさいの作用を説明すると、サーボモータ１０の回転は歯付プーリ１１ａ、１１ｂ及び歯付ベルト１２を介して回転ネジ軸９を適当な特定方向へ回転させる。これにより、反対向きのリードを有する２つの雄ネジ９ｂ、９ｃが左右のナット体７、７を左右方向ａ１上で近接させ或いは離反させるものとなって、それぞれのナット体７、７を介してそれと同体の上方突出支持部材２ａ、２ｂを同様に近接させ或いは離反させる。

このさい、ラジアル軸受部１３ａ及びスラスト軸受部１３ｂは回転ネジ軸９の回転中の位置を正確に一定位置に保持し、２つの上方突出支持部材２ａ、２ｂを左右方向ａ１へ正確に移動させる。

２つの上方突出支持部材２ａ、２ｂの近接或いは離反する動作は弾性伸縮支持部材１５の両端を左右方向ａ１上で近接させ或いは離反させるものとなる。このさいの弾性伸縮支持部材１５の両端の変化量は、弾性伸縮支持部材１５の左右方向ａ１上の弾性（ばね定数）が一様であること、及び、保持部材１６同士が遊隙を有しない一体構造の弾性伸縮支持部材１５により結合されていることの双方により弾性伸縮支持部材１５の左右方向ａ１全長範囲に均等且つ正確に分散されることから、弾性伸縮支持部材１５の両端が近接されたときは、保持部材１６群は等ピッチｐ配列を保持されたまま、隣接した保持部材１６間のピッチｐを縮小され、逆に弾性伸縮支持部材１５の両端が離反されたときは、保持部材１６群は等ピッチｐ配列を保持されたまま、隣接した保持部材１６間のピッチｐを伸長される。したがって、弾性伸縮支持部材１５の両端間の距離が適正な大きさに変化された時点でサーボモータ１０の回転を停止させれば、保持部材１６間のピッチｐは４．７６ｍｍに正確に合致されるのである。

次に第１の把持搬送手段を適宜に移動させて、これの把持した半導体ウエハｗ群を弾性伸縮支持部材１５の真上に位置させた後、降下させ、開口ｈ１を通じて、各半導体ウエハｗをその対応する保持部材１６の溝ｅ１内に嵌挿させ、その後に、該把持搬送手段による各半導体ウエハｗの把持を解放させ、さらに該把持搬送手段を、保持部材１６により支持された半導体ウエハｗ群に接触させないように他所へ退避移動させる。

第１の把持搬送手段による半導体ウエハｗ群の把持が解放されたとき、該半導体ウエハｗ群の各半導体ウエハｗは保持部材１６の溝ｅ１を介して横方向に沿った垂直姿勢に支持されると共に左左右方向ａ１へ４．７６ｍｍのピッチｐで一線状に配列された状態となって弾性伸縮支持部材１５に支持される。このさい弾性伸縮支持部材１５が半導体ウエハｗ群の重量で過度に下方へ撓み変形しようとしたときは、下側支持案内板２１が弾性伸縮支持部材１５の最下部を受け止めて、それを規制する。

次に再びサーボモータ１０を保持部材１６間のピッチｐが伸長される側へ回転作動させるのであり、これにより弾性伸縮支持部材１５が伸長されて、保持部材１６間の左右方向ａ１のピッチｐが６．３５ｍｍに正確に合致される。このさい、弾性伸縮支持部材１５上の半導体ウエハｗ群の重量が一定程度を越えているため、弾性伸縮支持部材１５が過度に下方変位しようとするときには、弾性伸縮支持部材１５の最下部が下側支持案内板２１の上面に支持され該上面上を摺接移動するものとなる。また弾性伸縮支持部材１５が何らかの横方向の外力を付与され横曲がり変形しようとしたときは、横曲がりした弾性伸縮支持部材１５の上方視凸側となる横方向端部ｇ１が横側支持案内板２２ａ又は２２ｂに当接され摺接移動するものとなる。

したがって弾性伸縮支持部材１５はたとえ半導体ウエハｗ群の重量が一定程度以上であっても保持部材１６間のピッチｐが変更される過程で、上下方向及び横方向の何れの側へも過度に曲がることは生じないのであり、弾性伸縮支持部材１５上の半導体ウエハｗ群は、それぞれの半導体ウエハｗが横方向に沿った起立姿勢に保持されると共に左右方向ａ１へ６．３５ｍｍのピッチｐで一線状に配列された状態となされる。

この後、弾性伸縮支持部材１５上に支持されている半導体ウエハｗ群における各半導体ウエハｗの水平な直径箇所の各端縁を、弾性伸縮支持部材１５上における半導体ウエハｗ群の配列状態のまま同じピッチｐで第２の把持搬送手段に把持させ、開口ｈ１を通じて、該半導体ウエハｗ群をその配列状態のまま上昇させ、弾性伸縮支持部材１５上から外方へ取り出す。さらに該把持搬送手段を動作させて、このように取り出した半導体ウエハｗ群を第２のキャリアの真上に位置させ、降下させ、該半導体ウエハｗ群の各半導体ウエハｗをその対応する第２のキャリアの薄板保持部に垂直姿勢で嵌挿させる。この後、第２の把持搬送手段による半導体ウエハｗ群の把持を解放させ、さらに該把持搬送手段を第２のキャリアに支持されている半導体ウエハｗ群に接触させないように他所へ退避移動させる。

これにより弾性伸縮支持部材１５で支持されていた半導体ウエハｗ群は同じ配列状態のまま第２のキャリア内に移動され、該キャリア内では薄板保持部を介して左右方向ａ１のピッチｐを６．３５ｍｍに保持された状態となる。

以後は必要に応じ上記した作動を繰り返すのであり、これにより半導体ウエハｗ群は特定位置に存在した第１のキャリアから、これとは収納ピッチが異なり他の特定位置に存在した第２のキャリアへ確実且つ正確に繰り返し移動される。

本発明に係るピッチ変換装置を示す正面視説明図である。 前記ピッチ変換装置を示す平面視説明図である。 前記ピッチ変換装置の右側から見た説明図である。 市販のベローズを示す説明図である。 前記ピッチ変換装置の保持部材周辺を示す正面視拡大断面図である。

符号の説明

１ 基礎台
２ａ 上方突出支持部材
２ｂ 上方突出支持部材
１５ 弾性伸縮支持部材
１５ａ 弾性板（金属板）
１６ 保持部材
Ｂ ベローズ
Ｏ１ 中心線
ａ１ 左右方向
ｐ ピッチ
ｐ１ 一定ピッチ位置
ｗ 半導体ウエハ（薄板部材）
ｄ１ 上縁部（凹み側縁部）

Claims (6)

1. 基礎台上の左右方向上の２位置のそれぞれに上方突出支持部材を設け、少なくとも一方の上方突出支持部材を左右方向の移動可能となし、これら２つの上方突出支持部材間には一体構造となされ且つ左右方向へ弾性変形により伸縮される弾性伸縮支持部材を橋渡し状に固設し、該弾性伸縮支持部材は、左右方向の一定ピッチ位置のそれぞれに、半導体ウエハなどの薄板部材の外周縁部を嵌挿される溝を具備した保持部材を固設され、前記上方突出支持部材が左右変位されることにより、該保持部材群が等ピッチを保持したまま左右方向へ平行移動され、前記上方突出支持部材の左右変位量に関連したピッチで配列された状態になることを特徴とする半導体ウエハなどのピッチ変換装置。
2. 前記弾性伸縮支持部材が、単一の弾性板を左右方向の波形に屈曲させたものであることを特徴とする請求項１記載の半導体ウエハなどのピッチ変換装置。
3. 前記弾性伸縮支持部材が、左右方向と直交した多数の単位弾性板を左右方向へ配列し、隣接した単位弾性板同士の上縁部と下縁部を交互に固着させることにより左右方向の波形となされていることを特徴とする請求項１記載の半導体ウエハなどのピッチ変換装置。
4. 前記弾性伸縮支持部材が、左右方向から見て部分環形状となされ、凹み側縁部に前記保持部材を固定されていることを特徴とする請求項１、２又は３記載の半導体ウエハなどのピッチ変換装置。
5. 前記弾性伸縮支持部材がベローズの中心線回りの一定範囲箇所からなっていることを特徴とする請求項１〜５の何れか１項に記載の半導体ウエハなどのピッチ変換装置。
6. 前記弾性伸縮支持部材がベローズの中心線回りの１８０度よりも一定角度だけ小さい角度範囲箇所からなっていることを特徴とする請求項５記載の半導体ウエハなどのピッチ変換装置。

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