CN217346134U - 一种用于石英棒开槽的加工装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种用于石英棒开槽的加工装置，包括特制卡台，所述特制卡台的上表面开设有若干个分布均匀的卡槽，所述特制卡台的上表面开设有若干个位置与卡槽相对应的导向槽，所述特制卡台上表面的两端均设置有可滑动的夹板，所述夹板的下表面固定连接有若干个一端卡接于导向槽的滑块，所述夹板的上表面固定连接有限位板，两个夹板的相对面均固定连接有若干个橡胶吸盘；该加工装置便于放置多个石英棒并且使其位置相对应，与现有技术相比，该加工装置便于安装到开槽机平台上，可以同时对多个石英棒进行快速稳定地固定，方便操作的同时，又便于将多个石英棒统一加工，减少加工误差以提高加工的尺寸精度。

Description

一种用于石英棒开槽的加工装置

技术领域

本实用新型属于石英棒加工技术领域，特别是涉及一种用于石英棒开槽的加工装置。

背景技术

在集成电路扩散工艺制程中，需要由石英舟作为晶圆(硅片)的载体，而槽棒是组成石英舟的重要部分。因而对石英槽棒槽齿的平面度、垂直度、平行度、单个间距尺寸、总的间距尺寸都有相应的要求。

现有的加工平台结构简单，通常只能对单根槽棒进行固定，以单独开槽加工，导致其加工效率有所不足，而石英舟由三根或以上数量槽棒组成的，现有的加工平台不便于对其统一加工，存在加工误差、步骤繁琐、尺寸精度难以保证的缺陷，为此我们提出了一种用于石英棒开槽的加工装置解决上述问题。

实用新型内容

为了克服现有技术的不足，本实用新型提供一种用于石英棒开槽的加工装置，避免了现有的加工平台不便于对若干数量槽棒组成的石英舟进行统一加工，存在加工误差、步骤繁琐、尺寸精度难以保证的缺陷的问题。

为解决上述技术问题，本实用新型提供如下技术方案：一种用于石英棒开槽的加工装置，包括特制卡台，所述特制卡台的上表面开设有若干个分布均匀的卡槽，所述特制卡台的上表面开设有若干个位置与卡槽相对应的导向槽，所述特制卡台上表面的两端均设置有可滑动的夹板，所述夹板的下表面固定连接有若干个一端卡接于导向槽的滑块，所述夹板的上表面固定连接有限位板，两个夹板的相对面均固定连接有若干个橡胶吸盘。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述特制卡台的上表面为“凹”字形结构，所述夹板的底端形状结构与特制卡台的上表面形状结构相吻合。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述导向槽的横截面与滑块的横截面均为梯形结构。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述限位板的横截面为“L”字形结构，所述限位板的下表面设置有垫板，所述垫板与限位板内壁的上表面之间固定连接有若干个支撑弹簧。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述垫板的下表面设置有表面开设防滑纹的防滑层，且防滑层为橡胶材质。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述特制卡台的正面与背面均通过销轴铰接有两个挡板，所述挡板的一端通过紧固螺丝与特制卡台相连接。

与现有技术相比，本实用新型能达到的有益效果是：

1、该装置通过在特制卡台的上表面设置向中部倾斜的特定结构，并且在卡槽的配合作用下，便于放置多个石英棒并且使其位置相对应，而通过滑块与导向槽的连接配合，使得特制卡台两端的夹板能够移动，并且利用橡胶吸盘与石英棒相吸附，同时，夹板上表面的限位板移动到石英棒的上方，通过支撑弹簧对垫板挤压作用，能够利用垫板对石英棒进行挤压限位，以达到对石英棒的多级限位，便于利用刀具同时对多个石英棒开槽加工，与现有技术相比，该加工装置便于安装到开槽机平台上，可以同时对多个石英棒进行快速稳定地固定，方便操作的同时，又便于将多个石英棒统一加工，减少加工误差以提高加工的尺寸精度。

2、该装置通过在特制卡台的两端设置挡板，可以防止夹板从特制卡台上脱离下来，且挡板的一端通过销轴与特制卡台相连接，在拧开紧固螺丝后，可以对挡板解除锁定，便于操作挡板向下旋转以快速解除对夹板的阻挡，让夹板可以从特制卡台上拆卸下来，方便对其进行更换，使得该加工装置便于维护或者组装。

附图说明

图1为本实用新型的立体结构示意图；

图2为本实用新型的特制卡台立体结构示意图；

图3为本实用新型的图1中A处放大结构示意图；

图4为本实用新型的图1中B处放大结构示意图；

图5为本实用新型的垫板立体结构示意图。

其中：1、特制卡台；2、滑块；3、夹板；4、限位板；5、导向槽；6、卡槽；7、橡胶吸盘；8、支撑弹簧；9、垫板；10、紧固螺丝；11、挡板；12、销轴；13、防滑层；14、安装槽。

具体实施方式

为了使本实用新型实现的技术手段；创作特征；达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施例，进一步阐述本实用新型，但下述实施例仅仅为本实用新型的优选实施例，并非全部。基于实施方式中的实施例，本领域技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得其它实施例，都属于本实用新型的保护范围。下述实施例中的实验方法，如无特殊说明，均为常规方法，下述实施例中所用的材料；试剂等，如无特殊说明，均可从商业途径得到。

实施例

如图1-图5所示的一种用于石英棒开槽的加工装置，包括特制卡台1，特制卡台1的上表面开设有若干个分布均匀的卡槽6，特制卡台1的上表面开设有若干个位置与卡槽6相对应的导向槽5，特制卡台1上表面的两端均设置有可滑动的夹板3，夹板3的下表面固定连接有若干个一端卡接于导向槽5的滑块2，夹板3的上表面固定连接有限位板4，两个夹板3的相对面均固定连接有若干个橡胶吸盘7。

在其他实施例中，特制卡台1的上表面为“凹”字形结构，夹板3的底端形状结构与特制卡台1的上表面形状结构相吻合；

通过该设计，可以将多个石英棒集中起来，为其统一加工提供了位置的方便，便于对其进行精准加工，而夹板3的底端可以与特制卡台1相稳定贴合，便于对其进行移动。

在其他实施例中，导向槽5的横截面与滑块2的横截面均为梯形结构；

通过该设计，可以在滑块2连接到导向槽5中时，防止滑块2与导向槽5相脱离，以保证夹板3能够对石英棒进行稳定夹持。

在其他实施例中，限位板4的横截面为“L”字形结构，限位板4的下表面设置有垫板9，垫板9与限位板4内壁的上表面之间固定连接有若干个支撑弹簧8；

通过该设计，在夹板3上表面的限位板4移动到石英棒的上方时，垫板9与石英棒相接触，并且通过支撑弹簧8进行收缩，同时利用支撑弹簧8复位过程中的作用力来对石英棒进行挤压固定，方便随时解除对石英棒的固定。

在其他实施例中，垫板9的下表面设置有表面开设防滑纹的防滑层13，且防滑层13为橡胶材质；

通过该设计，不仅可以增大垫板9与石英棒之间的摩擦力，防止其之间松动，同时又能够防止垫板9对石英棒造成刮损，为石英棒提供了保护。

在其他实施例中，特制卡台1的正面与背面均通过销轴12铰接有两个挡板11，挡板11的一端通过紧固螺丝10与特制卡台1相连接。

通过该设计，可以在需要拆卸夹板3时，将紧固螺丝10旋转取下，接着将挡板11的顶端旋转朝下，解除对夹板3的遮挡后再将夹板3滑动拆下，而同理，在安装夹板3后，则将挡板11旋转复位并且以紧固螺丝10固定连接即可。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”；“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”；“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

以上显示和描述了本实用新型的基本原理；主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的仅为本实用新型的优选例，并不用来限制本实用新型，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。

Claims (6)

1.一种用于石英棒开槽的加工装置，包括特制卡台(1)，其特征在于：所述特制卡台(1)的上表面开设有若干个分布均匀的卡槽(6)，所述特制卡台(1)的上表面开设有若干个位置与卡槽(6)相对应的导向槽(5)，所述特制卡台(1)上表面的两端均设置有可滑动的夹板(3)，所述夹板(3)的下表面固定连接有若干个一端卡接于导向槽(5)的滑块(2)，所述夹板(3)的上表面固定连接有限位板(4)，两个夹板(3)的相对面均固定连接有若干个橡胶吸盘(7)。

2.根据权利要求1所述的一种用于石英棒开槽的加工装置，其特征在于：所述特制卡台(1)的上表面为“凹”字形结构，所述夹板(3)的底端形状结构与特制卡台(1)的上表面形状结构相吻合。

3.根据权利要求1所述的一种用于石英棒开槽的加工装置，其特征在于：所述导向槽(5)的横截面与滑块(2)的横截面均为梯形结构。

4.根据权利要求1所述的一种用于石英棒开槽的加工装置，其特征在于：所述限位板(4)的横截面为“L”字形结构，所述限位板(4)的下表面设置有垫板(9)，所述垫板(9)与限位板(4)内壁的上表面之间固定连接有若干个支撑弹簧(8)。

5.根据权利要求4所述的一种用于石英棒开槽的加工装置，其特征在于：所述垫板(9)的下表面设置有表面开设防滑纹的防滑层(13)，且防滑层(13)为橡胶材质。

6.根据权利要求1所述的一种用于石英棒开槽的加工装置，其特征在于：所述特制卡台(1)的正面与背面均通过销轴(12)铰接有两个挡板(11)，所述挡板(11)的一端通过紧固螺丝(10)与特制卡台(1)相连接。

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