CN219303624U - 一种晶圆储存装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种晶圆储存装置，包括基座，以及设置在其上的晶圆储存仓，基座和晶圆储存仓之间设置有定位部和定位槽；所述定位部的底部形成有平面支撑结构，用于使晶圆储存仓水平支撑在基座的顶面，当定位部与定位槽嵌合，晶圆储存仓固定在基座的顶部，通过定位部使晶圆储存仓在安装过程中始终在基座的顶面保持水平状态，因此避免了晶圆储存仓装配倾斜，解决了晶圆片滑落的问题，降低了半导体零件的制作成本。
Description
技术领域
本实用新型涉及晶圆加工技术领域，具体为一种晶圆储存装置。
背景技术
晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅。高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种形成圆柱形的单晶硅，硅晶棒经过切片后形成晶圆片，晶圆片进行每一道加工时，需要将多个晶圆片放置在晶圆储存仓转运至对应的加工位区域的基座上并固定，晶圆储存仓为一端开口结构，其侧壁上自上而下设置有多个固定槽，多个晶圆片自晶圆储存仓的开口端水平放置在固定槽中，晶圆储存仓采用点定位的方式与基座进行定位连接，晶圆储存仓的开口端两侧的底部设置有两个定位柱，基座表面的对应位置设置有定位孔，将定位柱插入定位孔中，然后通过固定块对晶圆储存仓的后端固定，实现晶圆储存仓与基座的定位连接。
但是由于现有晶圆储存仓的定位柱位于晶圆储存仓开口端的两侧，操作工人在将定位柱与定位孔对正的过程中，会降低晶圆储存仓开口端的位置以便定位柱与定位孔快速定位，这样会导致晶圆储存仓出现倾斜，由于晶圆片非常光滑，此时就非常容易出现晶圆片自晶圆储存仓滑落的现象，导致晶圆片损坏造成损失。
实用新型内容
针对现有技术中存在的问题，本实用新型提供能够实现晶圆储存仓与基座的快速定位，解决了晶圆片意外滑落的问题。
本实用新型是通过以下技术方案来实现：
一种晶圆储存装置，包括基座，以及设置在其上的晶圆储存仓，基座和晶圆储存仓之间设置有定位部和定位槽；
所述定位部的底部形成有平面支撑结构，用于使晶圆储存仓水平支撑在基座的顶面，当定位部与定位槽嵌合，晶圆储存仓固定在基座的顶部。
优选的，所述定位部为多个一定长度的定位条，定位槽为与定位条配合的凹槽。
优选的，多个定位条设置在晶圆储存仓的底面边缘并向下延伸，所述多个定位条的底面为水平面。
优选的，所述定位部为三个定位条，两个定位条纵向平行设置在晶圆储存仓底部的两侧，另一个定位条横向设置，并且其两端分别连接两个平行定位条的中部。
优选的，所述晶圆储存仓的底部设置有连接板，横向设置的定位条位于连接板的底部。
优选的，所述晶圆储存仓开口端两侧的下端分别设置有导向块，基座的表面设置有与导向块配合的导向槽。
优选的，导向块的高度小于定位部的高度。
优选的，所述基座包括基板以及设置在其底部的多个支撑柱，定位槽设置在基板的表面。
与现有技术相比，本实用新型具有以下有益的技术效果：
本实用新型提供的一种晶圆储存装置，包括基座和晶圆储存仓，安装时将晶圆储存仓转移至基座的上方，然后通过定位部将晶圆储存仓支撑在基座的顶部，由于定位部底部的平面支撑结构能够使晶圆储存仓始终保持水平状态，然后水平移动晶圆储存仓时定位部和定位槽嵌合，实现晶圆储存仓与基座的定位连接，在晶圆储存仓的安装过程中，通过定位部使晶圆储存仓在安装过程中始终在基座的顶部保持水平状态，因此避免了晶圆储存仓装配倾斜，解决了晶圆片滑落的问题，采用定位条定位，并且多个定位条沿晶圆储存仓的边缘分布，较现有的定位柱的点定位方式，增大了定位面积，提高了晶圆储存仓与基座的连接稳定性。
附图说明
图1为本实用新型晶圆储存装置的正面结构示意图；
图2为本实用新型晶圆储存装置的正面结构示意图；
图3为本实用新型晶圆储存仓的结构示意图；
图4为本实用新型晶圆储存仓的底部结构示意图；
图5为本实用新型基座的结构示意图。
图中：1、晶圆储存仓；2、晶圆片；3、基板；4、支撑柱；5、固定槽；6、定位部；7、连接板；8、第一导向块；9、第二导向块；10、定位槽；11、第二导向槽；12、第一导向槽。
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型做进一步的详细说明，所述是对本实用新型的解释而不是限定。
参阅图1-5，一种晶圆储存装置，包括基座，以及设置在其上的晶圆储存仓1，基座和晶圆储存仓之间设置有定位部6和定位槽10；
所述定位部的底面形成有平面支撑结构，用于使晶圆储存仓水平支撑在基座的顶面，当定位部6与定位槽10嵌合，晶圆储存仓固定在基座的顶部。
所述定位部6为具有一定长度的定位条，定位槽10为与定位条配合的凹槽，多个定位条设置在晶圆储存仓的底面边缘并向下延伸，定位槽10设置在基板的表面，并与定位条的位置一一对应，所述定位条的底面为水平面，多个定位条的底面形成平面支撑结构，通过平面支撑结构使晶圆储存仓水平放置在基座的顶面。
该晶圆储存装置在安装时，将晶圆储存仓转移至基座的上方，然后通过定位部6将晶圆储存仓支撑在基座的顶部，由于定位部6底部的平面支撑结构能够使晶圆储存仓始终保持水平状态，然后水平移动晶圆储存仓时定位部6和定位槽10嵌合，实现晶圆储存仓与基座的定位连接，在晶圆储存仓的安装过程中，通过定位部6使晶圆储存仓在安装过程中始终在基座的顶部保持水平状态，因此避免了晶圆储存仓装配倾斜，解决了晶圆片滑落的问题，采用定位条定位，并且多个定位条沿晶圆储存仓的边缘分布，较现有的定位柱的点定位方式，增大了定位面积，提高了晶圆储存仓与基座的连接稳定性。
参阅图3和4，所述晶圆储存仓的正面为开口端，通过开口端拿取晶圆片，晶圆储存仓的侧壁自上而下设置有多个固定槽5，每个定位槽中均用于放置一个晶圆片，定位部位于晶圆储存仓的底面，在本实施例中，所述定位部为三个定位条，两个定位条纵向平行设置在晶圆储存仓底部的两侧，另一个定位条横向设置，并且其两端分别连接两个平行定位条的中部并形成H型定位部，定位槽为H型凹槽。所述晶圆储存仓1的底部设置有连接板7，连接板的两端分别与晶圆储存仓1开口端的两端连接，横向设置的定位条位于连接板7的底部。
所述晶圆储存仓开口端两侧的下端分别设置有第一导向块8和第二导向块9，第一导向块8和第二导向块9沿开口端的侧壁向下延伸，并且导向块的高度小于定位条的高度，基座的表面设置有与导向块配合的第二导向槽11和第一导向槽12，当两个导向块与导向槽对正，则定位部与定位槽嵌合。
由于定位部和定位槽位于晶圆储存仓和基座之间，处于视觉盲区，不能够使定位部和定位槽快速嵌合，由于第一导向块8和第二导向块9为晶圆储存仓开口端的侧壁下端，因此其处于视野区域，通过调整第一导向块8和第二导向块9的位置，使其与两个导向槽对正，即可实现定位部与定位槽的定位，提高晶圆储存仓的定位安装效率。
在本实施例中，所述基座包括基板3以及设置在其底部的多个支撑柱4，支撑柱4的上端与基板固定连接，定位槽设置在基板的表面。
以上内容仅为说明本实用新型的技术思想，不能以此限定本实用新型的保护范围，凡是按照本实用新型提出的技术思想，在技术方案基础上所做的任何改动，均落入本实用新型权利要求书的保护范围之内。
Claims (8)
1.一种晶圆储存装置，其特征在于，包括基座，以及设置在其上的晶圆储存仓(1)，基座和晶圆储存仓之间设置有定位部(6)和定位槽(10)；
所述定位部的底部形成有平面支撑结构，用于使晶圆储存仓水平支撑在基座的顶面，当定位部(6)与定位槽(10)嵌合，晶圆储存仓固定在基座的顶部。
2.根据权利要求1所述的一种晶圆储存装置，其特征在于，所述定位部(6)为多个一定长度的定位条，定位槽(10)为与定位条配合的凹槽。
3.根据权利要求1所述的一种晶圆储存装置，其特征在于，多个定位条设置在晶圆储存仓的底面边缘并向下延伸，所述多个定位条的底面为水平面。
4.根据权利要求3所述的一种晶圆储存装置，其特征在于，所述定位部为三个定位条，两个定位条纵向平行设置在晶圆储存仓底部的两侧，另一个定位条横向设置，并且其两端分别连接两个平行定位条的中部。
5.根据权利要求4所述的一种晶圆储存装置，其特征在于，所述晶圆储存仓(1)的底部设置有连接板(7)，横向设置的定位条位于连接板(7)的底部。
6.根据权利要求1所述的一种晶圆储存装置，其特征在于，所述晶圆储存仓开口端两侧的下端分别设置有导向块(9)，基座的表面设置有与导向块配合的导向槽(12)。
7.根据权利要求6所述的一种晶圆储存装置，其特征在于，导向块的高度小于定位部的高度。
8.根据权利要求6所述的一种晶圆储存装置，其特征在于，所述基座包括基板(3)以及设置在其底部的多个支撑柱(4)，定位槽设置在基板的表面。
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