CN115123790A - 旋转气路机构、搬运装置及测试系统 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种旋转气路机构、搬运装置及测试系统；旋转气路机构包括气路组件和安装组件，气路组件内设有不连通的第一真空通道和第二真空通道，安装组件套设在气路组件外部，安装组件与气路组件间设有与第一真空通道和第二真空通道连通的第一气路通道和第二气路通道，安装组件上设有分别与第一气路通道和第二气路通道连通的第一连接口和第二连接口；通过将第一连接口和第二连接口分别与不同的真空发生器连接，使得压缩空气可到达对应的第一真空通道和第二真空通道处，进而实现对工件进行单独真空发生和真空破坏的目的；同时安装组件可使第一连接口和第二连接口在与真空发生器的真空管道进行连接后，气路组件的转动不会影响安装组件。

Description

旋转气路机构、搬运装置及测试系统

技术领域

本发明涉及芯片搬运技术领域，特别是涉及旋转气路机构、搬运装置及测试系统。

背景技术

随着集成电路技术的发展，出现了测试分选技术，它是IC测试封装领域不可缺少的一道工序。通过自动转塔式测试系统对QFN、CSP、SOIC等新型封装形式电路进行测试分选。

现有的自动转塔式测试系统大多通过设有旋转机构的转盘或转塔结构对芯片进行搬运，转塔结构通过其上设置的真空吸盘对芯片进行固定，并通过旋转机构将芯片移动到另一位置。

然而，目前的转塔结构上的各个工位上的真空吸盘之间无法单独进行真空发生和真空破坏操作，不便于根据工作需要进行单独控制，使用效果一般。

发明内容

基于此，有必要针对上述问题，提供一种可根据工作需要进行单独控制的旋转气路机构、搬运装置及测试系统。

一种旋转气路机构，包括：

气路组件，所述气路组件内设有不连通的第一真空通道和第二真空通道，所述第一真空通道具有第一进气口和第一出气口，所述第二真空通道具有第二进气口和第二出气口，所述第一出气口和所述第二出气口用于为工件提供吸附力；

安装组件，所述安装组件套设在所述气路组件外部，所述安装组件与所述气路组件间设有不连通的第一气路通道和第二气路通道，且所述第一气路通道和所述第二气路通道分别与所述第一进气口及所述第二进气口相通，所述安装组件上设有分别与所述第一气路通道和所述第二气路通道连通的第一连接口和第二连接口。

上述旋转气路机构，通过将第一连接口和第二连接口分别与不同的真空发生器连接，使得压缩空气可分别沿着第一气路通道和第二气路通道到达对应的第一进气口及第二进气口处，进而通过第一真空通道和第二真空通道对第一出气口和第二出气口上的工件进行吸附固定并实现分别对第一出气口和第二出气口上的工件进行单独真空发生和真空破坏的目的；同时套设在气路组件外部的安装组件可使第一连接口和第二连接口分别通过第一真空通道和第二真空通道与第一气路通道和第二气路通道相通，使得第一连接口和第二连接口在与真空发生器的真空管道进行连接后，气路组件的转动不会影响安装组件，即真空管道不会随着气路组件进行转动。

在其中一个实施例中，所述第一进气口与所述第二进气口设置在所述气路组件的两个具有落差的平面上，所述第一气路通道和所述第二气路通道均为环形通道。

在上述实施例中，通过不同高度的环形通道，使得当气路组件进行转动时，第一气路通道可一直与第一真空通道相通，第二气路通道也可一直与第二真空通道相通，保证气路组件在转动时，安装组件可不随之转动。

在其中一个实施例中，所述安装组件包括安装座和密封座，所述密封座套设在所述气路组件外部，所述安装座套设在所述密封座外部，所述第一气路通道和所述第二气路通道均位于所述密封座上。

在上述实施例中，通过密封座保证安装组件与气路组件间的密封效果，同时通过将第一气路通道和所述第二气路通道设置在密封座上，保证第一气路通道与第一连接口和第一进气口间的密封性，以及第二气路通道与第二进气口和第二连接口间的密封性。

在其中一个实施例中，所述气路组件包括旋转轴和旋转座，所述旋转座设置在所述旋转轴上，所述旋转轴远离所述旋转座的一侧设有用于与旋转机构的转动轴固定的固定位。

在上述实施例中，通过固定位使旋转轴可与电机的电机轴进行直联，解决了皮带安装等方式的不方便问题，以及现有的旋转气路机构无法直接与电机进行固定的问题；同时相较于其他连接方式，通过旋转轴直接与电机轴连接，可有效提高旋转气路机构的旋转精度。

在其中一个实施例中，还包括第一真空座和第二真空座，所述第一真空座和所述第二真空座均安装在所述气路组件上，所述第一真空座远离所述气路组件的侧面上设有容纳工件的第一容纳槽，所述第二真空座远离所述气路组件的侧面上设有容纳工件的第二容纳槽，所述第一容纳槽和所述第二容纳槽分别与所述第一真空通道和所述第二真空通道相连通。

在上述实施例中，通过第一真空座和第二真空座为工件提供固定的位置，提高工件在旋转气路机构上的稳定性。

在其中一个实施例中，所述旋转气路机构还包括至少一个第三真空座，所述第三真空座安装在所述气路组件上，所述第三真空座远离所述气路组件的侧面上设有容纳工件的第三容纳槽，所述气路组件内设有至少一个第三真空通道，所述第三容纳槽与所述第三真空通道相连通，所述第三真空通道具有第三进气口和第三出气口，所述安装组件内设有至少一个第三气路通道，且所述第三气路通道与所述第三进气口相通，所述安装组件上设有与所述第三气路通道连通的第三连接口。

在上述实施例中，通过增加第三真空座，可使第一真空座、第二真空座和第三真空座相互配合，同时工作，减少测试系统的等待时间，提升产能。

在其中一个实施例中，所述第一容纳槽的水平截面面积、所述第二容纳槽的水平截面面积以及所述第三容纳槽的水平截面面积均与要固定的工件的水平截面面积一致，所述第一容纳槽、所述第二容纳槽以及所述第三容纳槽上均设有与外部相通的排气槽。

在上述实施例中，通过水平截面面积的一致性保证工件在容纳槽内的稳固性，同时排气槽保证再将工件放置到水平截面面积的一致性的容纳槽内时，容纳槽内的空气可随排气槽排出，使工件可顺利放入容纳槽内。

在其中一个实施例中，所述第一真空座、所述第二真空座和所述第三真空座均以所述旋转轴的中轴线为轴，均匀设置在所述旋转座上。

在上述实施例中，通过将第一真空座、第二真空座和第三真空座均匀设置在所述旋转座上，使在对第一真空座、第二真空座和第三真空座进行位置变动时，旋转轴只需转动相同的角度即可。

在其中一个实施例中，还包括第一连接件和第二连接件，所述第一连接件和所述第二连接件分别安装在所述第一连接口和所述第二连接口上，所述第一连接件和所述第二连接件均用于与不同的真空发生器连接。

在上述实施例中，通过第一连接件和第二连接件辅助真空发生器与旋转气路机构中的第一真空通道和第二真空通道进行连通。

一种搬运装置，包括旋转机构及上述旋转气路机构，所述旋转机构的转动轴与所述旋转气路机构连接。

在上述实施例中，通过将旋转机构的电机轴与旋转气路机构进行直联，使旋转机构可直接驱动转动轴带动进行旋转气路机构转动，同时相较于其他连接方式，通过将旋转气路机构直接与转动轴连接，可有效提高旋转气路机构的旋转精度。

一种测试系统，包括拾取机构、检测机构、旋转机构及上述旋转气路机构，所述拾取机构上设有第一拾取件和第二拾取件，所述第一拾取件、检测机构和第二拾取件对应设置在所述第一真空座、所述第二真空座和所述第三真空座处，所述拾取机构用于拾取所述旋转气路机构上的工件，所述检测机构用于对所述旋转气路机构上的工件进行检测，所述旋转机构的电机轴与所述旋转气路机构连接。

在上述实施例中，通过第一拾取件可将工件放置在旋转气路机构上，使旋转气路机构带动工件移动到检测机构处进行检测，检测后的工件可被第二拾取件拾取到下一处理机构处进行处理。

附图说明

图1为本申请一些实施例的旋转气路机构的结构示意图；

图2为本申请一些实施例的旋转气路机构的俯视结构示意图；

图3为本申请一些实施例的搬运装置的结构示意图；

图4为本申请一些实施例的测试系统的结构示意图。

附图标记：

1、气路组件；11、旋转轴；12、旋转座；

13、第一真空通道；131、第一进气口；132、第一出气口；

14、第一密封圈；

15、固定槽；

16、出气通道；

17、安装孔；

2、安装组件；21、安装座；22、密封座；

23、第一气路通道；

24、第二气路通道；

25、第二密封圈；

3、轴承；

4、第一真空座；

41、第一容纳槽；

42、排气槽；

43、出气槽；

5、第二真空座；

6、第三真空座；

7、第一连接件；

8、第二连接件；

9、旋转机构；

10、拾取机构；101、第一拾取件；102、第二拾取件；

20、检测机构；

30、指定位置；

40、下一处理机构。

具体实施方式

为使本发明的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本发明的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本发明。但是本发明能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本发明内涵的情况下做类似改进，因此本发明不受下面公开的具体实施例的限制。

在本发明的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本发明的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。

在本发明中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

在本发明中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“上”、“下”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的，并不表示是唯一的实施方式。

参阅图1，本发明一实施例提供了一种旋转气路机构，包括：气路组件1和安装组件2。其中，气路组件1用于对位于其上的工件进行固定，安装组件2用于辅助气路组件1与外部设备进行连接。

气路组件1内设有不连通的第一真空通道13和第二真空通道，第一真空通道13具有第一进气口131和第一出气口132，第二真空通道具有第二进气口和第二出气口，第一出气口132和第二出气口用于为工件提供吸附力。即，可第一进气口131和第二进气口均与真空发生器的真空管路连通，并将需要固定的工件放置在第一出气口132或第二出气口处，使真空发生器产生的吸力可经第一进气口131或第二进气口作用到第一出气口132或第二出气口，进而对第一出气口132或第二出气口上的工件进行吸附固定。使工件在运动过程中保持固定姿态，不发生偏移、飞出等异常。另外，本实施例中的工件可选用如芯片等轻巧且平整的物品，保证工件可较为稳固地吸附在气路组件1上。

安装组件2套设在气路组件1外部，安装组件2与气路组件1间设有不连通的第一气路通道23和第二气路通道24，且第一气路通道23和第二气路通道24分别与第一进气口131及第二进气口相通，安装组件2上设有分别与第一气路通道23和第二气路通道24连通的第一连接口和第二连接口，第一连接口和第二连接口用于与不同的真空发生器连接。具体地，安装组件2上设有上下贯通的通口，部分气路组件1位于通口的内部并与通口内侧壁接触，气路组件1可在安装组件2内侧进行转动。另外，为提高气路组件1在安装组件2上转动的流畅性，气路组件1与安装组件2之间还可设置轴承3，轴承3的内圈和外圈分别与气路组件1和安装组件2连接。

上述旋转气路机构在使用时，操作人员可将第一连接口和第二连接口分别与不同的真空发生器连通，也可将第一连接口和第二连接口分别与真空发生器的不同真空管路连通，将两个工件分别放置在第一出气口132或第二出气口处，之后根据需求分别控制不同的真空发生器进行工作，真空发生器工作时所产生的吸力可经第一连接口或第二连接口沿着第一气路通道23或第二气路通道24到达对应的第一进气口131或第二进气口处，再通过第一真空通道13或第二真空通道作用到第一出气口132或第二出气口上，达到对第一出气口132或第二出气口上的工件进行吸附固定的效果，气路组件1在对工件进行固定后可进行转动，将固定的工件移动到指定位置处进行操作，操作时真空发生器可通过停止工作不再产生压缩气体，以及开始工作产生压缩气体的方式来达到对第一出气口132或第二出气口上的工件进行真空破坏和真空发生的目的；另外，当第一连接口和第二连接口分别与不同的真空发生器连通时，不同的真空发生器可分别作用于第一出气口132或第二出气口，使旋转气路机构可单独进行真空破坏和真空发生的操作；当第一连接口和第二连接口分别与真空发生器的不同真空管路连通时，通过对不同的真空管路上的控制阀进行控制，使旋转气路机构可单独进行真空破坏和真空发生的操作。

在其中一个实施例中，第一进气口131与第二进气口分别位于气路组件1的两个具有落差的平面上，第一气路通道23和第二气路通道24均为环形通道。其中，第一气路通道23所在的平面和第二气路通道24所在的平面均与安装组件2的中轴线垂直，保证第一气路通道23和第二气路通道24也分别位于两个具有落差的平面上，使得当气路组件1进行转动时，第一进气口131可沿着第一气路通道23的路径进行转动，第二进气口可沿着第二气路通道24的路径进行转动，进而使得气路组件1在转动时，安装组件2可不随之转动也能保证第一气路通道23可一直与第一真空通道13相通，第二气路通道24可一直与第二真空通道相通的效果。另外，当安装组件2上设有上下贯通的通口时，第一气路通道23和第二气路通道24可均设置在通口内侧壁上；第一气路通道23和第二气路通道24也可均设置在气路组件1的外侧壁上；也可将第一气路通道23一分为二，一半设置在通口内侧壁上，另一半设置在气路组件1的外侧壁上，第二气路通道24同理。

在其中一个实施例中，安装组件2包括安装座21和密封座22，密封座22套设在气路组件1外部，安装座21套设在密封座22外部，第一气路通道23和第二气路通道24均位于密封座22上。其中，密封座22可包括密封轴套和O型圈，O型圈设置在密封轴套与安装座21之间，保证安装组件2与气路组件1间的密封效果；安装座21可选用金属或塑料等硬性材料，方便后续在第一连接口和第二连接口处设置接头等配件来连接真空发生器。同时通过将第一气路通道23和第二气路通道24设置在密封座22上，可进一步保证第一气路通道23与第一连接口和第一进气口131间的密封性，以及第二气路通道24与第二进气口和第二连接口间的密封性。另外，当在气路组件1与安装组件2之间设置轴承3时，轴承3可至少设置两个，且两个轴承3可均套设在气路组件1外部，并分别位于密封座22两侧，由于轴承3的内圈和外圈可分别与气路组件1和安装组件2固定连接，因此既可通过轴承3增强密封座22及安装座21在气路组件1上的稳固性，又可通过轴承3对密封座22进行遮挡保护。值得一提的是，当安装组件2与气路组件1间只设有第一气路通道23和第二气路通道24时，密封座22可包括第一密封套件、第二密封套件和第三密封套件，第一密封套件、第二密封套件和第三密封套件均套设在气路组件1上，且第一密封套件与第二密封套件间存在一定间隙，该间隙即为第一气路通道23；同样的，第二密封套件和第三密封套件间也存在一定间隙，且该间隙即为第二气路通道24，该结构无需特意在安装组件2或气路组件1上开设第一气路通道23和第二气路通道24，方便第一气路通道23和第二气路通道24的设置。

在其中一个实施例中，气路组件1包括旋转轴11和旋转座12，旋转座12设置在旋转轴11上，旋转轴11远离旋转座12的一侧设有用于与电极轴固定的固定位。其中，旋转轴11可置于安装组件2内部，旋转座12垂直设置在旋转轴11上，且由于第一真空通道13和和第二真空通道均是一部分位于旋转座12内，另一部分位于旋转轴11内，因此旋转轴11和旋转座12之间可设有分别与第一真空通道13和第二真空通道相通的第一密封槽，并在第一密封槽内设有第一密封圈14，通过使第一密封圈14与旋转轴11和旋转座12接触，保证第一真空通道13和和第二真空通道在旋转轴11和旋转座12内的密封性。另外，固定位可为开设在旋转轴11上的固定槽15，当将旋转机构9与气路组件1进行连接时，可将旋转机构9的转动轴插入并固定在固定槽15内，使气路组件1可与旋转机构9进行直联(可参阅图3)；为最大程度的简化结构，旋转机构9可直接采用旋转电机，并将旋转电机的电机轴直接与旋转轴11进行连接，同时相较于皮带等其他复杂的连接方式，该直连方式可有效提高旋转气路机构的旋转精度，且可解决现有的旋转气路机构无法直接与旋转机构9进行固定的问题。值得一提的是，气路组件1的中轴线上设有与固定槽15相通的出气通道16，通过该出气通道16使得旋转机构9的转动轴在插入至固定槽15内时，固定槽15内的空气可通过出气通道16排到外界；另外，为提高旋转机构9与气路组件1间的固定效果，固定槽15也位于气路组件1的中轴线上，且固定槽15上设有用于辅助旋转机构9与气路组件1进行固定的安装孔17，当旋转机构9的转动轴插入至气路组件1的固定槽15内后，可使用螺栓等配件穿过安装孔17与转动轴固定。

参阅图2，在其中一个实施例中，上述旋转气路结构还包括第一真空座4和第二真空座5，第一真空座4和第二真空座5均安装在气路组件1上，第一真空座4远离气路组件1的侧面上设有容纳工件的第一容纳槽41，第二真空座5远离气路组件1的侧面上设有容纳工件的第二容纳槽，第一容纳槽41和第二容纳槽分别与第一真空通道13和第二真空通道相连通。通过第一真空座4和第二真空座5为工件提供固定的位置，提高工件在旋转气路机构上的稳定性。

在其中一个实施例中，旋转气路机构还包括至少一个第三真空座6，第三真空座6安装在气路组件1上，第三真空座6远离气路组件1的侧面上设有容纳工件的第三容纳槽，气路组件1内设有至少一个不与第一真空通道13和第二真空通道连通的第三真空通道，第三容纳槽与第三真空通道相连通，第三真空通道具有第三进气口和第三出气口，安装组件2内设有至少一个不与第一气路通道23和第二气路通道24连通的第三气路通道，且第三气路通道与第三进气口相通，安装组件2上设有与第三气路通道连通的第三连接口。其中，第三进气口与第一进气口131及第二进气口分别位于气路组件1的三个具有落差的平面上，且第三气路通道也为环形通道，第三气路通道所在的平面也与安装组件2的中轴线垂直，当气路组件1进行转动时，第三进气口可沿着第三气路通道的路径进行转动，保证气路组件1在转动时，安装组件2可不随之转动也能保证第三气路通道可一直与第三真空通道相通的效果。本申请通过增加第三真空座6，可使第一真空座4、第二真空座5和第三真空座6相互配合，同时工作，减少测试系统的等待时间，提升产能。另外，当安装组件2上设有上下贯通的通口时，第三气路通道可设置在通口内侧壁上，也可均设置在气路组件1的外侧壁上，也可将一分为二，一半设置在通口内侧壁上，另一半设置在气路组件1的外侧壁上。

在其中一个实施例中，第一容纳槽41的水平截面面积、第二容纳槽的水平截面面积以及第三容纳槽的水平截面面积均与要固定的工件的水平截面面积一致，第一容纳槽41、第二容纳槽以及第三容纳槽上均设有与外部相通的排气槽42。通过水平截面面积的一致性保证工件在第一容纳槽41、第二容纳槽以及第三容纳槽内的稳固性，同时排气槽42保证再将工件放置到水平截面面积的一致性的第一容纳槽41、第二容纳槽以及第三容纳槽内时，第一容纳槽41、第二容纳槽以及第三容纳槽内的空气可随排气槽42排出，使工件可顺利放入第一容纳槽41、第二容纳槽以及第三容纳槽内。另外，第一容纳槽41、第二容纳槽以及第三容纳槽的四角处也可设置与外部相通的出气槽43，排气槽42可位于第一容纳槽41、第二容纳槽以及第三容纳槽的侧边上，通过出气槽43辅助排气槽42将第一容纳槽41、第二容纳槽以及第三容纳槽内的空气排出。另外，第一容纳槽41、第二容纳槽以及第三容纳槽的的槽口面积均可大于槽底面积，使工件更易放置进第一容纳槽41、第二容纳槽以及第三容纳槽内。

参阅图1和图2，在其中一个实施例中，第一真空座4、第二真空座5和第三真空座6均以旋转轴11的中轴线为轴，均匀设置在旋转座12上。通过将第一真空座4、第二真空座5和第三真空座6均匀设置在旋转座12上，使在对第一真空座4、第二真空座5和第三真空座6进行位置变动时，旋转轴11只需转动相同的角度即可。另外，旋转座12与第一真空座4、第二真空座5以及第三真空座6间均设有第二密封槽，第二密封槽内设有第二密封圈25，且旋转座12、第一真空座4、第二真空座5和第三真空座6均与对应的第二密封圈25接触，保证第一容纳槽41与第一真空通道13间的密封效果、第二容纳槽与第二真空通道间的密封效果，以及第三容纳槽与第三真空通道间的密封效果。值得一提的是，当安装组件2与气路组件1间设有不连通的第一气路通道23、第二气路通道24和第三气路通道时，密封座22可包括第一密封套件、第二密封套件、第三密封套件和第四密封套件，第一密封套件、第二密封套件、第三密封套件和第四密封套件均套设在气路组件1上，且第一密封套件与第二密封套件间存在一定间隙，该间隙即为第一气路通道23；第二密封套件和第三密封套件间存在一定间隙，且该间隙即为第二气路通道24；第三密封套件和第四密封套件间存在一定间隙，且该间隙即为第三气路通道，该结构无需特意在安装组件2或气路组件1上开设第一气路通道23、第二气路通道24和第三气路通道，方便第一气路通道23、第二气路通道24和第三气路通道的设置。

在其中一个实施例中，还包括第一连接件7、第二连接件8和至少一个第三连接件，第一连接件7、第二连接件8和第三连接件分别安装在第一连接口、第二连接口和第三连接口上，第一连接件7、第二连接件8和第三连接件均用于与不同的真空发生器连接。其中，第一连接件7、第二连接件8和第三连接件均可选用气管接头，通过第一连接件7、第二连接件8和第三连接件辅助真空发生器的真空管路与旋转气路机构中的第一真空通道13、第二真空通道和第三真空通道进行连通。

参阅图3，一种搬运装置，包括旋转机构9及上述旋转气路机构，旋转机构9的转动轴与旋转气路机构连接。其中，旋转机构9可选用旋转电机。通过将旋转机构9的转动轴与旋转气路机构的旋转轴11进行直联，使旋转机构9可直接驱动转动轴带动进行旋转气路机构转动，同时相较于其他连接方式，通过将旋转气路机构直接与转动轴连接，可有效提高旋转气路机构的旋转精度。

参阅图2至图4，一种测试系统，包括拾取机构10、检测机构20、旋转机构9及上述旋转气路机构，拾取机构10上设有第一拾取件101和第二拾取件102，第一拾取件101、检测机构20和第二拾取件102对应设置在第一真空座4、第二真空座5和第三真空座6处，拾取机构10用于拾取旋转气路机构上的工件，检测机构20用于对旋转气路机构上的工件进行检测，旋转机构9的电机轴与旋转气路机构连接。通过第一拾取件101可将工件放置在旋转气路机构上，使旋转气路机构带动工件移动到检测机构20处进行检测，检测后的工件可被第二拾取件102拾取到下一处理机构处进行处理。

另外，第一拾取件101和第二拾取件102可安装在同一转动设备上，转动设备带动第一拾取件101和第二拾取件102进行移动，使第一拾取件101和第二拾取件102对拾取的工件进行移动。具体操作时，转动设备可先带动第一拾取件101移动到指定位置30对待检测的工件进行拾取，然后再带动第一拾取件101移动到第一真空座4处，使第一真空座4对工件进行吸附固定，此时转动设备可再次带动第一拾取件101反向转动回指定位置30，对下一待检测的工件进行拾取，同时旋转机构9可带动第一真空座4进行转动，将固定的工件移动到检测机构20处进行检测，并使第二真空座5移动到第一真空座4之前的位置处，以便第一拾取件101再将拾取的待检测的工件放置到第二真空座5处，完成循环。而检测机构20在对工件进行检测完成后，旋转机构9可继续带动第一真空座4进行转动，使检测后的工件位于第二拾取件102处，此时第一真空座4可不再对工件进行固定，以便第二拾取件102将检测后的工件移动到下一处理机构40处进行处理。

以上实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。

以上实施例仅表达了本发明的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对发明专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本发明的保护范围。因此，本发明专利的保护范围应以所附权利要求为准。

Claims (10)

1.一种旋转气路机构，其特征在于，包括：

气路组件(1)，所述气路组件(1)内设有不连通的第一真空通道(13)和第二真空通道，所述第一真空通道(13)具有第一进气口(131)和第一出气口(132)，所述第二真空通道具有第二进气口和第二出气口，所述第一出气口(132)和所述第二出气口用于为工件提供吸附力；

安装组件(2)，所述安装组件(2)套设在所述气路组件(1)外部，所述安装组件(2)与所述气路组件(1)间设有不连通的第一气路通道(23)和第二气路通道(24)，且所述第一气路通道(23)和所述第二气路通道(24)分别与所述第一进气口(131)及所述第二进气口相通，所述安装组件(2)上设有分别与所述第一气路通道(23)和所述第二气路通道(24)连通的第一连接口和第二连接口。

2.根据权利要求1所述的旋转气路机构，其特征在于，所述第一进气口(131)与所述第二进气口分别位于所述气路组件(1)的两个具有落差的平面上，所述第一气路通道(23)和所述第二气路通道(24)均为环形通道。

3.根据权利要求1所述的旋转气路机构，其特征在于，所述安装组件(2)包括安装座(21)和密封座(22)，所述密封座(22)套设在所述气路组件(1)外部，所述安装座(21)套设在所述密封座(22)外部，所述第一气路通道(23)和所述第二气路通道(24)均位于所述密封座(22)上。

4.根据权利要求1所述的旋转气路机构，其特征在于，所述气路组件(1)包括旋转轴(11)和旋转座(12)，所述旋转座(12)设置在所述旋转轴(11)上，所述旋转轴(11)远离所述旋转座(12)的一侧设有固定位，所述固定位用于与旋转机构(9)的转动轴固定。

5.根据权利要求1所述的旋转气路机构，其特征在于，还包括第一真空座(4)和第二真空座(5)，所述第一真空座(4)和所述第二真空座(5)均安装在所述气路组件(1)上，所述第一真空座(4)远离所述气路组件(1)的侧面上设有容纳工件的第一容纳槽(41)，所述第二真空座(5)远离所述气路组件(1)的侧面上设有容纳工件的第二容纳槽，所述第一容纳槽(41)和所述第二容纳槽分别与所述第一真空通道(13)和所述第二真空通道相连通。

6.根据权利要求5所述的旋转气路机构，其特征在于，所述旋转气路机构还包括至少一个第三真空座(6)，所述第三真空座(6)安装在所述气路组件(1)上，所述第三真空座(6)远离所述气路组件(1)的侧面上设有容纳工件的第三容纳槽，所述气路组件(1)内设有至少一个不与所述第一真空通道(13)和所述第二真空通道连通的第三真空通道，所述第三容纳槽与所述第三真空通道相连通，所述第三真空通道具有第三进气口和第三出气口，所述安装组件(2)内设有至少一个不与所述第一气路通道(23)和所述第二气路通道(24)连通的第三气路通道，且所述第三气路通道与所述第三进气口相通，所述安装组件(2)上设有与所述第三气路通道连通的第三连接口。

7.根据权利要求6所述的旋转气路机构，其特征在于，所述第一容纳槽(41)的水平截面面积、所述第二容纳槽的水平截面面积以及所述第三容纳槽的水平截面面积均与要固定的工件的水平截面面积一致，所述第一容纳槽(41)、所述第二容纳槽以及所述第三容纳槽上均设有与外部相通的排气槽(42)。

8.根据权利要求6所述的旋转气路机构，其特征在于，所述第一真空座(4)、所述第二真空座(5)和所述第三真空座(6)均以所述气路组件(1)的中轴线为轴，均匀设置在所述气路组件(1)上。

9.一种搬运装置，其特征在于，包括旋转机构(9)及上述权利要求1-8任意一项所述的旋转气路机构，所述旋转机构(9)的转动轴与所述旋转气路机构连接。

10.一种测试系统，其特征在于，包括拾取机构(10)、检测机构(20)、旋转机构(9)及上述权利要求6-8任意一项所述的旋转气路机构，所述拾取机构(10)上设有第一拾取件(101)和第二拾取件(102)，所述第一拾取件(101)、所述检测机构(20)和所述第二拾取件(102)对应设置在所述第一真空座(4)、所述第二真空座(5)和所述第三真空座(6)处，所述拾取机构(10)用于拾取所述旋转气路机构上的工件，所述检测机构(20)用于对所述旋转气路机构上的工件进行检测，所述旋转机构(9)的电机轴与所述旋转气路机构连接。

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