CN113611653A - 一种多气路吸附装置 - Google Patents

Abstract

本发明涉及半导体制造和检测技术领域，公开一种多气路吸附装置。多气路吸附装置包括同轴设置的框架基座、轴承基座、滑柱和吸盘，框架基座内部设置有第一气路；轴承基座固定于框架基座，轴承基座设置有第二气路；滑柱可转动安装于轴承基座内，滑柱设置有第三气路，滑柱的外侧壁设置有连通第二气路和第三气路的环形凹槽；吸盘固定于滑柱的顶端，吸盘设置有第四气路；第一气路、第二气路、环形凹槽、第三气路和第四气路依次连通形成一气路通道；第一气路、第二气路、环形凹槽、第三气路和第四气路均至少为两组，一一对应以形成至少两条气路通道，分别对应的至少两个环形凹槽沿滑柱的轴线方向间隔设置；驱动组件驱动吸盘和滑柱相对轴承基座转动。

Description

一种多气路吸附装置

技术领域

本发明涉及半导体制造和检测技术领域，尤其涉及一种多气路吸附装置。

背景技术

在半导体制造和检测设备中，硅片承载和交接运动平台的应用十分广泛。普通的运动平台可实现XY向大行程运动、旋转、小行程水平运动、小行程垂向运动，以及多自由度组合运动(比如Rx，Ry，Rz，X，Y，Z运动)，这些运动自由度的实现会在微动平台中实现。特别是有旋转功能需求的微动运动平台，吸盘上气路的旋转运动成为设计的困扰。旋转运动平台多使用空心电机加轴承或伺服电机加减速器的设计方法，即选择一个旋转接头固定在旋转吸盘的中心位置。但是硅片承载结构(如吸盘)在检测或工艺制造中会有吸附、气浮以及多种规格(6inch\8inch\12inch)晶圆兼容等需求,这时需要多气路的旋转机构与旋转吸盘连接。常规的多气路旋转结构体积大，接口尺寸单一，无法实现小负载，结构紧凑等功能需求。且现有技术中，有些多气路旋转机构的旋转气路采用了气管，而气管的应用，会引起旋转气路和旋转电路线缆缠绕的问题，进而引起多气路旋转机构中气管在旋转行程受限的问题。

现有技术中，专利CN104882402B提出了一种基片承载装置，兼容200mm和300mm两种晶圆，但是内部的2个气路分气块与旋转吸盘之间靠密封环密封，当气路分气块与旋转吸盘作相对旋转运动时密封环的磨损严重，时间长了，会发生密封性能失效的现象。同时，吸盘的厚度要预留出气路分气块衔接的高度，使吸盘体积质量过大，电机功耗过大。

基于此，亟需一种多气路吸附装置，以解决上述存在的问题。

发明内容

基于以上所述，本发明的目的在于提供一种多气路吸附装置，解决了现有技术中多气路旋转机构中气管在旋转行程受限的问题，在检测流程中，可以瞬时切换两种规格晶圆，且本发明未设计气路分气块和密封环结构，提高了该多气路吸附装置的使用寿命，以及减少了吸盘的体积。

为达上述目的，本发明采用以下技术方案：

一种多气路吸附装置，包括同轴设置的框架基座、轴承基座、滑柱和吸盘；

所述框架基座内部设置有第一气路；

所述轴承基座固定于所述框架基座，所述轴承基座设置有第二气路；

所述滑柱可转动安装于所述轴承基座内，所述滑柱设置有第三气路，所述滑柱的外侧壁设置有连通所述第二气路和所述第三气路的环形凹槽；

所述吸盘固定于所述滑柱的顶端，所述吸盘设置有第四气路；

所述第一气路、所述第二气路、所述环形凹槽、所述第三气路和所述第四气路依次连通形成一气路通道；

所述第一气路、所述第二气路、所述环形凹槽、所述第三气路和所述第四气路均至少为两组，一一对应以形成至少两条所述气路通道，分别对应的至少两个所述环形凹槽沿所述滑柱的轴线方向间隔设置；

驱动组件，所述驱动组件被配置为驱动所述吸盘和所述滑柱相对所述轴承基座转动。

作为一种多气路吸附装置的优选技术方案，所述驱动组件包括同轴设置的电机定子、电机动子和连接部，所述电机定子固定于所述框架基座上，所述连接部转动且同轴安装于所述轴承基座外周侧且固定于所述吸盘底部，所述电机动子固定于所述连接部上，所述电机定子能够驱动所述电机动子转动，进而带动所述连接部、所述吸盘和所述滑柱转动。

作为一种多气路吸附装置的优选技术方案，所述多气路吸附装置设置有两条所述气路通道，两条所述气路通道对应的两组所述第四气路分别为第一子气路和第二子气路；

所述吸盘设置有第一通气槽、第二通气槽和第三通气槽，所述第一通气槽、所述第二通气槽和所述第三通气槽的顶部均设置有若干吸附孔连通于所述吸盘的上表面；

所述第一子气路连通于所述第一通气槽和所述第二通气槽，所述第二子气路连通于所述第三通气槽。

作为一种多气路吸附装置的优选技术方案，所述第一通气槽、所述第二通气槽和所述第三通气槽均呈C型，所述第二通气槽环设于所述第一通气槽外侧，所述第三通气槽环设于所述第二通气槽外侧；

所述第一通气槽和所述第二通气槽的C型的开口与所述第二子气路沿垂向投影重叠；

所述第三通气槽的C型的开口与所述第一子气路沿垂向投影重叠。

作为一种多气路吸附装置的优选技术方案，所述滑柱与所述轴承基座之间设置有第一轴承，所述第一轴承的外圈固定于所述轴承基座，所述第一轴承的内圈固定于所述滑柱。

作为一种多气路吸附装置的优选技术方案，所述连接部与所述轴承基座之间设置有第二轴承，所述第二轴承的外圈固定于所述连接部上，所述第二轴承的内圈固定于所述轴承基座上。

作为一种多气路吸附装置的优选技术方案，所述轴承基座与所述滑柱之间设置有滑套，所述滑套上开设有与所述第二气路和所述环形凹槽位置对应的滑套通气孔。

作为一种多气路吸附装置的优选技术方案，所述第二气路与所述滑套通气孔衔接处的上下两侧均设置有第一密封圈，且所述第一密封圈位于所述滑套与所述轴承基座之间。

作为一种多气路吸附装置的优选技术方案，所述框架基座包括同轴设置的环形基座和支撑底板，所述环形基座的内壁设置有凸缘，所述支撑底板设置于所述环形基座内，且抵接于所述凸缘的底壁；

所述环形基座设置有第三子气路，所述支撑底板设置有第四子气路，所述第三子气路和所述第四子气路连通，以形成所述第一气路。

作为一种多气路吸附装置的优选技术方案，

所述第三子气路和所述第四子气路的衔接处设置有第二密封圈；

所述第一气路和所述第二气路的衔接处设置有第三密封圈；

所述第三气路和所述第四气路的衔接处设置有第四密封圈。

作为一种多气路吸附装置的优选技术方案，所述吸盘与所述滑柱之间通过PEEK材质的连接件固定连接。

本发明的有益效果为：

本发明提供一种多气路吸附装置，其中，第一气路、第二气路、环形凹槽、第三气路和第四气路依次连通形成一气路通道；本发明包括至少两条气路通道，实现吸附不同尺寸的晶圆。工作时，将晶圆放置于吸盘上，气路通道通过第一气路连通气泵，气泵抽真空或输送气体，通过气路通道实现对吸盘上的晶圆吸附和气浮，驱动组件驱动吸盘和滑柱相对轴承基座转动；吸盘和滑柱带动晶圆转动，此时环形凹槽能够使气路通道时刻处于连通状态，实现了在气路连通的状态下吸盘能够无限制的360°正反向转动。本发明在使多气路吸附装置的结构设计尺寸更小更轻量化的前提下满足了多种气源供应和多尺寸晶圆承载、交接兼容的需求。

多气路通道的旋转结构的应用省去了气管的设计，并能使吸盘带动多气路通道无限制的360°正反向旋转，在检测或制造工艺流程中，可以瞬时切换多种规格的晶圆，解决了多气路旋转机构中气管在旋转行程受限的问题。

本发明未设计气路分气块和密封环结构，提高了该多气路吸附装置的使用寿命，以及减少了吸盘的体积。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例中的技术方案，下面将对本发明实施例描述中所需要使用的附图作简单的介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据本发明实施例的内容和这些附图获得其他的附图。

图1是本发明具体实施方式提供的多气路吸附装置的剖视图；

图2是本发明具体实施方式提供的多气路吸附装置的第一部分结构剖视图；

图3是本发明具体实施方式提供的吸盘、滑柱和滑套的剖视图；

图4是本发明具体实施方式提供的吸盘固定的结构示意图；

图5是本发明具体实施方式提供的吸盘固定的部分结构爆炸图。

图中标记如下：

10、框架基座；101、第一气路；1011、第三子气路；1012、第四子气路；102、环形基座；1021、凸缘；103、支撑底板；

11、轴承基座；111、第二气路；1111、垂直气路；1112、水平气路；

12、滑柱；121、第三气路；122、环形凹槽；

13、吸盘；131、第四气路；1311、第一子气路；1312、第二子气路；132、第一通气槽；133、第二通气槽；134、第三通气槽；135、吸附孔；136、密封板；

14、驱动组件；141、电机定子；142、电机动子；143、连接部；144、电机压板；145、上压板；146、下压板；

15、第一轴承；151、弹性挡圈；152、隔板；

16、第二轴承；17、滑套；171、滑套通气孔；

18、第一密封圈；19、第二密封圈；20、第三密封圈；21、第四密封圈；22、连接件；23、堵头。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本发明作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本发明，而非对本发明的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与本发明相关的部分而非全部结构。

在本发明的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”、“固定”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

在本发明中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

在本实施例的描述中，术语“上”、“下”、“左”、“右”等方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述和简化操作，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅仅用于在描述上加以区分，并没有特殊的含义。

如图1-图3所示，本实施例提供一种多气路吸附装置，其包括同轴设置的框架基座10、轴承基座11、滑柱12和吸盘13。其中，框架基座10内部设置有第一气路101；轴承基座11固定于框架基座10，轴承基座11设置有第二气路111；滑柱12可转动安装于轴承基座11内，滑柱12设置有第三气路121，滑柱12的外侧壁设置有连通第二气路111和第三气路121的环形凹槽122；吸盘13固定于滑柱12的顶端，吸盘13设置有第四气路131；第一气路101、第二气路111、环形凹槽122、第三气路121和第四气路131依次连通形成一气路通道；第一气路101、第二气路111、环形凹槽122、第三气路121和第四气路131均至少为两组，一一对应以形成至少两条气路通道，分别对应的至少两个环形凹槽122沿滑柱12的轴线方向间隔设置；驱动组件14被配置为驱动吸盘13和滑柱12相对轴承基座11转动。

本实施例包括至少两条气路通道，实现对不同尺寸的晶圆吸附或气浮。工作时，将晶圆放置于吸盘13上，气路通道通过第一气路101连通气泵，气泵抽真空或输送气体，通过气路通道实现对吸盘13上的晶圆吸附和气浮，驱动组件14驱动吸盘13和滑柱12相对轴承基座11转动；滑柱12带动晶圆相对轴承基座11转动过程中，环形凹槽122能够使气路通道时刻处于连通状态，本实施例在使多气路吸附装置的结构设计尺寸更小更轻量化的前提下满足了多种气源供应和多尺寸晶圆承载、交接兼容的需求。且本实施例省去了气管的设计，并实现了在气路连通的状态下吸盘13能够无限制的360°正反向转动，解决了现有技术中多气路旋转机构中气管在旋转行程受限的问题，在检测流程中，可以瞬时切换两种规格晶圆，再者，本实施例结构紧凑，提高了空间利用率。相对于现有技术，本实施例未设计气路分气块和密封环结构，提高了该多气路吸附装置的使用寿命，以及减少了吸盘的体积。优选地，本实施例中，气路通道为两组，两组气路通道相对设置，气泵通过气管接头螺纹连接的方式连接于第一气路101。

优选地，轴承基座11与滑柱12之间设置有滑套17，滑套17上开设有与第二气路111和环形凹槽122位置对应的滑套通气孔171。滑柱12、滑套17、轴承基座11是同心结构。滑套17和滑柱12的材质均为不锈钢，且滑套17内圈与滑柱12外圈的摩擦系数较小，本实施例中，滑柱12与滑套17之间的摩擦系数小于0.2，可以保证一定的刚性，同时提高滑柱12和滑套17的使用寿命。本实施例中，滑套17的外壁表面粗糙度为1.6，滑套17的外径尺寸公差-0.007～0，滑套17安装于轴承基座11的中心孔，滑套17与轴承基座11中心孔保证0.01同心度，间隙配合。轴承基座11为铝合金材质。滑套17的内壁表面粗糙度为0.2，内径尺寸公差+0.018～+0.022，高度H的尺寸公差0～0.1，滑柱12的外径尺寸公差为-0.005～0，滑柱12装入滑套17的中心孔，二者间隙配合，滑套17内壁表面粗糙度0.2。

在滑柱12和轴承基座11之间通过滑套17进行气路密封，滑套17分别和滑柱12、轴承基座11间隙配合；本发明通过滑套17代替了密封圈，避免了因使用密封圈造成的如下问题：滑柱12和轴承基座11之间若使用密封圈会对旋转运动有摩擦力矩的影响，且滑柱12和轴承基座11之间作相对旋转运动时，密封圈会产生磨损，时间长了，会发生密封性能失效的现象。

优选地，滑柱12与轴承基座11之间设置有第一轴承15，第一轴承15的外圈固定于轴承基座11，第一轴承15的内圈固定于滑柱12，提高滑柱12转动时的稳定性。具体地，第一轴承15套在滑柱12上，使用弹性挡圈151将第一轴承15的内圈压抵在滑套17上，以将第一轴承15的内圈固定于滑柱12上。隔板152固定于轴承基座11上，使用隔板152将第一轴承15的外圈抵压在滑套17上，以将第一轴承15的外圈固定于轴承基座11上。本实施例中，第一轴承15为两个，安装于滑柱12的上、下两侧，并分别位于滑套17的顶部和底部。隔板152的材质为铝合金。使用两个弹性挡圈151将两个第一轴承15的内圈分别抵压在滑套17的顶部和底部，使用两个隔板152将两个第一轴承15的外圈分别抵压在滑套17的顶部和底部。两个第一轴承15对滑柱12具有导向作用，以保证滑柱12和吸盘13旋转时的刚度。

专利CN111681984A提出了一种片材承载装置及晶圆检测设备。为了解决旋转机构中旋转气路和旋转电路线缆缠绕的问题，设计了一种无线缆和气管随动，靠机械配合和橡胶密封的机械方式解决这一问题。旋转机构位于基座底部外圈，导致旋转电机必须占用吸盘内部空间，使吸盘厚度增加，增大了外形尺寸。同时未阐述具有多种尺寸晶圆兼容的功能需求。为解决上述问题，本实施例中驱动组件14包括同轴设置的电机定子141、电机动子142和连接部143，电机定子141固定于框架基座10上，连接部143转动且同轴安装于轴承基座11外周侧且固定于吸盘13底部，电机动子142固定于连接部143上，电机定子141能够驱动电机动子142转动，进而带动连接部143、吸盘13和滑柱12相对轴承基座11转动。连接部143与轴承基座11之间设置有第二轴承16，第二轴承16的外圈固定于连接部143上，第二轴承16的内圈固定于轴承基座11上，提高了连接部143相对轴承基座11转动的稳定性。本实施例中，吸盘13部分仅留出气路空间，驱动组件14没有占用吸盘13内部空间，故不会额外增加吸盘13的厚度、质量和外形尺寸，利用了电机动子142中部空腔和第二轴承16的中心环路空间以及框架基座10的内部空间，设计多气路通道，提高了空间利用率。本实施例结构紧凑，提高了空间利用率，解决了现有技术旋转运动台空间尺寸受限的问题，且满足了多气路吸附装置质量轻量化的要求。

具体地，驱动组件14还包括电机压板144、上压板145和下压板146，电机压板144固定于框架基座10上，框架基座10的内壁设置有台阶，电机压板144将电机定子141压紧固定于台阶上；上压板145固定于轴承基座11上，轴承基座11的外圈设置有台阶，上压板145将第二轴承16的内圈压紧固定于轴承基座11外圈的台阶上；下压板146固定于连接部143上，连接部143的内圈设置有台阶，下压板146将第二轴承16的外圈压紧固定于连接部143内圈的台阶上，实现了第二轴承16的固定。连接部143可通过焊接或螺钉连接的方式刚性固定于吸盘13的底部，电机动子142通过粘接方式固定于连接部143的外周侧上。当电机定子141供电时，驱动电机动子142作旋转运动，电机动子142带动连接部143转动，连接部143带动吸盘13和滑柱12转动，吸盘13和滑柱12在旋转运动或是静止状态时均保持相对静止。综上，利用了电机动子142中部空腔和第二轴承16的中心环路空间以及框架基座10的内部空间，设计双气路通道，提高了空间利用率；双气路通道的旋转结构的应用省去了气管的设计，并能使吸盘13带动双气路通道无限制的360°正反向旋转，在检测流程中，可以瞬时切换两种规格的晶圆。

进一步地，如图3-图5所示，本实施例中，多气路吸附装置设置有两条气路通道，两条气路通道对应的两组第四气路131分别为第一子气路1311和第二子气路1312；吸盘13设置有第一通气槽132、第二通气槽133和第三通气槽134，第一通气槽132、第二通气槽133和第三通气槽134的顶部均设置有若干吸附孔135连通于吸盘13的上表面；第一子气路1311连通于第一通气槽132和第二通气槽133，第二子气路1312连通于第三通气槽134。本实施例中，两条气路通道分别能够作用于第一晶圆和第二晶圆，第一晶圆为200mm晶圆，第二晶圆为300mm晶圆。其中一条气路通道通过第一子气路1311、第一通气槽132、第二通气槽133和吸盘13上表面的吸附孔135作用于第一晶圆或第二晶圆的内圈，实现第一晶圆承载、交接功能；另外一条气路通道通过第二子气路1312、第三通气槽134和吸盘13上表面的吸附孔135作用于第二晶圆的外圈，实现第二晶圆承载、交接功能。在其他实施例中，气路通道也可以为多组，实现对多种规格晶圆的吸附和气浮。例如：第一气路101、第二气路111、环形凹槽122、第三气路121和第四气路131也可以为三组，一一对应形成三条气路通道，以实现了对三种规格晶圆的吸附和气浮。

需要说明的是，吸盘13和第四气路131均水平设置，两条第四气路131分别由吸盘13的外侧向吸盘13的中心方向水平打通，直至一一对应连通于滑柱12的两个第三气路121，然后通过使用堵头23封堵两个第四气路131远离第三气路121的一端，工艺简单，提高加工效率。本实施例中，第一通气槽132、第二通气槽133和第三通气槽134只能在吸盘13的底部加工，第一通气槽132、第二通气槽133和第三通气槽134加工完毕后，分别通过密封板136封堵，以实现第一通气槽132、第二通气槽133和第三通气槽134的底部密封，防止底部漏气。

优选地，第一通气槽132、第二通气槽133和第三通气槽134均呈C型，第二通气槽133环设于第一通气槽132外侧，第三通气槽134环设于第二通气槽133外侧；第一通气槽132和第二通气槽133的C型的开口与第二子气路1312沿垂向投影重叠，以实现第一通气槽132和第二通气槽133与第二子气路1312之间不连通；第三通气槽134的C型的开口与第一子气路1311沿垂向投影重叠。以实现第三通气槽134与第一子气路1311不连通。第一通气槽132、第二通气槽133和第三通气槽134为C型开口的结构，工艺简单，晶圆受到均匀的作用力。在其他实施例中，第一通气槽132、第二通气槽133和第三通气槽134也可为其他结构，仅需要保证第一通气槽132和第二通气槽133避开第二子气路1312，第三通气槽134避开第一子气路1311即可。

进一步地，如图1-图3所示，框架基座10包括同轴设置的环形基座102和支撑底板103，环形基座102的内壁设置有凸缘1021，支撑底板103设置于环形基座102内，且抵接于凸缘1021的底壁；环形基座102设置有第三子气路1011，支撑底板103设置有第四子气路1012，第三子气路1011和第四子气路1012连通，以形成第一气路101。在其他实施例中，第一气路101也可仅设置于支撑底板103上，第一气路101的进气口位于支撑底板103的底部。

本实施例中，轴承基座11的第二气路111为了便于加工，两个第二气路111均包括垂直气路1111和水平气路1112，加工时，水平气路1112由轴承基座11的外壁向轴承基座11的中心方向加工，直至连通于滑柱12的环形凹槽122，然后使用堵头23封堵水平气路1112远离环形凹槽122一端，堵头23可以阻挡轴承基座11的水平气路1112与外部大气相连通；然后垂直气路1111从轴承基座11的底部加工，垂直气路1111的顶部与水平气路1112垂直相交连通，垂直气路1111的底部连通于第一气路101。

优选地，第二气路111与滑套通气孔171衔接处的上下两侧均设置有第一密封圈18，且第一密封圈18位于滑套17与轴承基座11之间，本实施例中滑套通气孔171和第二气路111均为两组，分别需要两个第一密封圈18，以实现第二气路111与滑套通气孔171连接的密封性。本实施例中，由于两个环形凹槽122沿着滑柱12的轴线方向间隔设置，所以共用了三个第一密封圈18，其中两个第一密封圈18分别位于两个环形凹槽122的上、下两端，另外一个第一密封圈18位于两个环形凹槽122之间。第三子气路1011和第四子气路1012的衔接处设置有第二密封圈19。本实施例中第三子气路1011和第四子气路1012均为两组，共需要两个第二密封圈19，以实现第四子气路1012与第三子气路1011连接的密封性。第一气路101和第二气路111的衔接处设置有第三密封圈20。本实施例中第一气路101和第二气路111均为两组，共需要两个第三密封圈20，以实现第二气路111与第一气路101连接的密封性。第三气路121和第四气路131的衔接处设置有第四密封圈21。本实施例中第三气路121和第四气路131均为两组，共需要两个第四密封圈21，以实现第四气路131与第三气路121连接的密封性。其中，第一密封圈18、第二密封圈19、第三密封圈20和第四密封圈21均为O型圈。

优选地，如图4所示，吸盘13与滑柱12之间通过PEEK材质的连接件22固定连接。连接件22为螺钉或销钉。本实施例中，使用三个螺钉将滑柱12固定于吸盘13上。由于螺钉的材质为PEEK材质，对偏心、冲击和振动具有优良的吸收抽离，从而实现气路旋转机构与运动旋转机构之间的解耦。需要说明的是，本实施例中，三个螺钉的旋转半径(即螺钉距离吸盘13中心的距离)均为r,需要说明的是：

螺钉摩擦力矩＝3*螺钉紧固力*旋转半径(r)*摩擦系数(螺纹摩擦系数一般取0.4～0.5)；

滑柱12的旋转力矩＝径向力*旋转半径(R)＝滑柱12转动惯量*角加速度。

连接件22的型号选择以及位置选择需要满足三个树脂螺钉的摩擦力矩大于滑柱12的旋转力矩的要求。

注意，上述仅为本发明的较佳实施例及所运用技术原理。本领域技术人员会理解，本发明不限于这里所述的特定实施例，对本领域技术人员来说能够进行各种明显的变化、重新调整和替代而不会脱离本发明的保护范围。因此，虽然通过以上实施例对本发明进行了较为详细的说明，但是本发明不仅仅限于以上实施例，在不脱离本发明构思的情况下，还可以包括更多其他等效实施例，而本发明的范围由所附的权利要求范围决定。

Claims (11)

1.一种多气路吸附装置，其特征在于，包括同轴设置的框架基座(10)、轴承基座(11)、滑柱(12)和吸盘(13)；

所述框架基座(10)内部设置有第一气路(101)；

所述轴承基座(11)固定于所述框架基座(10)，所述轴承基座(11)设置有第二气路(111)；

所述滑柱(12)可转动安装于所述轴承基座(11)内，所述滑柱(12)设置有第三气路(121)，所述滑柱(12)的外侧壁设置有连通所述第二气路(111)和所述第三气路(121)的环形凹槽(122)；

所述吸盘(13)固定于所述滑柱(12)的顶端，所述吸盘(13)设置有第四气路(131)；

所述第一气路(101)、所述第二气路(111)、所述环形凹槽(122)、所述第三气路(121)和所述第四气路(131)依次连通形成一气路通道；

所述第一气路(101)、所述第二气路(111)、所述环形凹槽(122)、所述第三气路(121)和所述第四气路(131)均至少为两组，一一对应以形成至少两条所述气路通道，分别对应的至少两个所述环形凹槽(122)沿所述滑柱(12)的轴线方向间隔设置；

驱动组件(14)，所述驱动组件(14)被配置为驱动所述吸盘(13)和所述滑柱(12)相对所述轴承基座(11)转动。

2.根据权利要求1所述的多气路吸附装置，其特征在于，所述驱动组件(14)包括同轴设置的电机定子(141)、电机动子(142)和连接部(143)，所述电机定子(141)固定于所述框架基座(10)上，所述连接部(143)转动且同轴安装于所述轴承基座(11)外周侧且固定于所述吸盘(13)底部，所述电机动子(142)固定于所述连接部(143)上，所述电机定子(141)能够驱动所述电机动子(142)转动，进而带动所述连接部(143)、所述吸盘(13)和所述滑柱(12)转动。

3.根据权利要求1所述的多气路吸附装置，其特征在于，所述多气路吸附装置设置有两条所述气路通道，两条所述气路通道对应的两组所述第四气路(131)分别为第一子气路(1311)和第二子气路(1312)；

所述吸盘(13)设置有第一通气槽(132)、第二通气槽(133)和第三通气槽(134)，所述第一通气槽(132)、所述第二通气槽(133)和所述第三通气槽(134)的顶部均设置有若干吸附孔连通于所述吸盘(13)的上表面；

所述第一子气路(1311)连通于所述第一通气槽(132)和所述第二通气槽(133)，所述第二子气路(1312)连通于所述第三通气槽(134)。

4.根据权利要求3所述的多气路吸附装置，其特征在于，所述第一通气槽(132)、所述第二通气槽(133)和所述第三通气槽(134)均呈C型，所述第二通气槽(133)环设于所述第一通气槽(132)外侧，所述第三通气槽(134)环设于所述第二通气槽(133)外侧；

所述第一通气槽(132)和所述第二通气槽(133)的C型的开口与所述第二子气路(1312)沿垂向投影重叠；

所述第三通气槽(134)的C型的开口与所述第一子气路(1311)沿垂向投影重叠。

5.根据权利要求1所述的多气路吸附装置，其特征在于，所述滑柱(12)与所述轴承基座(11)之间设置有第一轴承(15)，所述第一轴承(15)的外圈固定于所述轴承基座(11)，所述第一轴承(15)的内圈固定于所述滑柱(12)。

6.根据权利要求2所述的多气路吸附装置，其特征在于，所述连接部(143)与所述轴承基座(11)之间设置有第二轴承(16)，所述第二轴承(16)的外圈固定于所述连接部(143)上，所述第二轴承(16)的内圈固定于所述轴承基座(11)上。

7.根据权利要求1所述的多气路吸附装置，其特征在于，所述轴承基座(11)与所述滑柱(12)之间设置有滑套(17)，所述滑套(17)上开设有与所述第二气路(111)和所述环形凹槽(122)位置对应的滑套通气孔(171)。

8.根据权利要求7所述的多气路吸附装置，其特征在于，所述第二气路(111)与所述滑套通气孔(171)衔接处的上下两侧均设置有第一密封圈(18)，且所述第一密封圈(18)位于所述滑套(17)与所述轴承基座(11)之间。

9.根据权利要求1所述的多气路吸附装置，其特征在于，所述框架基座(10)包括同轴设置的环形基座(102)和支撑底板(103)，所述环形基座(102)的内壁设置有凸缘(1021)，所述支撑底板(103)设置于所述环形基座(102)内，且抵接于所述凸缘(1021)的底壁；

所述环形基座(102)设置有第三子气路(1011)，所述支撑底板(103)设置有第四子气路(1012)，所述第三子气路(1011)和所述第四子气路(1012)连通，以形成所述第一气路(101)。

10.根据权利要求9所述的多气路吸附装置，其特征在于，

所述第三子气路(1011)和所述第四子气路(1012)的衔接处设置有第二密封圈(19)；

所述第一气路(101)和所述第二气路(111)的衔接处设置有第三密封圈(20)；

所述第三气路(121)和所述第四气路(131)的衔接处设置有第四密封圈(21)。

11.根据权利要求1所述的多气路吸附装置，其特征在于，所述吸盘(13)与所述滑柱(12)之间通过PEEK材质的连接件(22)固定连接。

Images