CN115016228B - 一种聚氨酯丙烯酸酯光刻胶及其制备方法 - Google Patents
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- 239000004814 polyurethane Substances 0.000 title claims abstract description 74
- 229920002635 polyurethane Polymers 0.000 title claims abstract description 54
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 title claims abstract description 34
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 title claims abstract description 13
- -1 acrylic ester Chemical class 0.000 title claims description 41
- YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N Fluorine atom Chemical compound [F] YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 40
- CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N acetone Substances CC(C)=O CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 40
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 claims abstract description 40
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 claims abstract description 40
- 239000012948 isocyanate Substances 0.000 claims abstract description 29
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-M Acrylate Chemical compound [O-]C(=O)C=C NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-M 0.000 claims abstract description 14
- 150000002513 isocyanates Chemical group 0.000 claims abstract description 13
- AQYSYJUIMQTRMV-UHFFFAOYSA-N hypofluorous acid Chemical compound FO AQYSYJUIMQTRMV-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 5
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 44
- ZMXDDKWLCZADIW-UHFFFAOYSA-N N,N-Dimethylformamide Chemical compound CN(C)C=O ZMXDDKWLCZADIW-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 33
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 22
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 claims description 22
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 claims description 21
- UKLDJPRMSDWDSL-UHFFFAOYSA-L [dibutyl(dodecanoyloxy)stannyl] dodecanoate Chemical group CCCCCCCCCCCC(=O)O[Sn](CCCC)(CCCC)OC(=O)CCCCCCCCCCC UKLDJPRMSDWDSL-UHFFFAOYSA-L 0.000 claims description 20
- 239000012975 dibutyltin dilaurate Substances 0.000 claims description 20
- 239000005058 Isophorone diisocyanate Substances 0.000 claims description 19
- NIMLQBUJDJZYEJ-UHFFFAOYSA-N isophorone diisocyanate Chemical compound CC1(C)CC(N=C=O)CC(C)(CN=C=O)C1 NIMLQBUJDJZYEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 19
- 239000007787 solid Substances 0.000 claims description 19
- 239000000843 powder Substances 0.000 claims description 18
- 239000004925 Acrylic resin Substances 0.000 claims description 16
- WERYXYBDKMZEQL-UHFFFAOYSA-N butane-1,4-diol Chemical compound OCCCCO WERYXYBDKMZEQL-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 16
- 235000019441 ethanol Nutrition 0.000 claims description 15
- LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N Ethylene glycol Chemical compound OCCO LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 14
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims description 13
- 238000001035 drying Methods 0.000 claims description 11
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 10
- VVQNEPGJFQJSBK-UHFFFAOYSA-N Methyl methacrylate Chemical group COC(=O)C(C)=C VVQNEPGJFQJSBK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 10
- 239000002202 Polyethylene glycol Substances 0.000 claims description 10
- 239000003054 catalyst Substances 0.000 claims description 10
- 229920001223 polyethylene glycol Polymers 0.000 claims description 10
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims description 10
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims description 10
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims description 9
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims description 9
- FQYUMYWMJTYZTK-UHFFFAOYSA-N Phenyl glycidyl ether Chemical compound C1OC1COC1=CC=CC=C1 FQYUMYWMJTYZTK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- 239000000178 monomer Substances 0.000 claims description 8
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 claims description 8
- 238000002156 mixing Methods 0.000 claims description 7
- PUPZLCDOIYMWBV-UHFFFAOYSA-N (+/-)-1,3-Butanediol Chemical compound CC(O)CCO PUPZLCDOIYMWBV-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 239000004970 Chain extender Substances 0.000 claims description 6
- XEKOWRVHYACXOJ-UHFFFAOYSA-N Ethyl acetate Chemical compound CCOC(C)=O XEKOWRVHYACXOJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- MTHSVFCYNBDYFN-UHFFFAOYSA-N diethylene glycol Chemical compound OCCOCCO MTHSVFCYNBDYFN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- UPMLOUAZCHDJJD-UHFFFAOYSA-N 4,4'-Diphenylmethane Diisocyanate Chemical compound C1=CC(N=C=O)=CC=C1CC1=CC=C(N=C=O)C=C1 UPMLOUAZCHDJJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- UUODQIKUTGWMPT-UHFFFAOYSA-N 2-fluoro-5-(trifluoromethyl)pyridine Chemical compound FC1=CC=C(C(F)(F)F)C=N1 UUODQIKUTGWMPT-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- XMLYCEVDHLAQEL-UHFFFAOYSA-N 2-hydroxy-2-methyl-1-phenylpropan-1-one Chemical compound CC(C)(O)C(=O)C1=CC=CC=C1 XMLYCEVDHLAQEL-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 229920000178 Acrylic resin Polymers 0.000 claims description 4
- DNIAPMSPPWPWGF-UHFFFAOYSA-N Propylene glycol Chemical compound CC(O)CO DNIAPMSPPWPWGF-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 239000003085 diluting agent Substances 0.000 claims description 4
- WGCNASOHLSPBMP-UHFFFAOYSA-N hydroxyacetaldehyde Natural products OCC=O WGCNASOHLSPBMP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 4
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 claims description 4
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims description 4
- KSBAEPSJVUENNK-UHFFFAOYSA-L tin(ii) 2-ethylhexanoate Chemical compound [Sn+2].CCCCC(CC)C([O-])=O.CCCCC(CC)C([O-])=O KSBAEPSJVUENNK-UHFFFAOYSA-L 0.000 claims description 4
- CSUFEOXMCRPQBB-UHFFFAOYSA-N 1,1,2,2-tetrafluoropropan-1-ol Chemical compound CC(F)(F)C(O)(F)F CSUFEOXMCRPQBB-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- UWFRVQVNYNPBEF-UHFFFAOYSA-N 1-(2,4-dimethylphenyl)propan-1-one Chemical compound CCC(=O)C1=CC=C(C)C=C1C UWFRVQVNYNPBEF-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 241000790917 Dioxys <bee> Species 0.000 claims description 3
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N acrylic acid group Chemical group C(C=C)(=O)O NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 235000019437 butane-1,3-diol Nutrition 0.000 claims description 3
- AYLRODJJLADBOB-QMMMGPOBSA-N methyl (2s)-2,6-diisocyanatohexanoate Chemical compound COC(=O)[C@@H](N=C=O)CCCCN=C=O AYLRODJJLADBOB-QMMMGPOBSA-N 0.000 claims description 3
- DVKJHBMWWAPEIU-UHFFFAOYSA-N toluene 2,4-diisocyanate Chemical compound CC1=CC=C(N=C=O)C=C1N=C=O DVKJHBMWWAPEIU-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 229920003145 methacrylic acid copolymer Polymers 0.000 claims description 2
- 229940117841 methacrylic acid copolymer Drugs 0.000 claims description 2
- 229920001610 polycaprolactone Polymers 0.000 claims description 2
- 239000004632 polycaprolactone Substances 0.000 claims description 2
- 229920000921 polyethylene adipate Polymers 0.000 claims description 2
- 229920000909 polytetrahydrofuran Polymers 0.000 claims description 2
- 229960004063 propylene glycol Drugs 0.000 claims description 2
- ZIBGPFATKBEMQZ-UHFFFAOYSA-N triethylene glycol Chemical compound OCCOCCOCCO ZIBGPFATKBEMQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 claims 5
- 238000009740 moulding (composite fabrication) Methods 0.000 claims 1
- 239000012974 tin catalyst Substances 0.000 claims 1
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 7
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 abstract description 7
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 abstract description 7
- 238000006116 polymerization reaction Methods 0.000 abstract description 6
- 238000005530 etching Methods 0.000 abstract description 5
- 230000005764 inhibitory process Effects 0.000 abstract description 5
- 239000000463 material Substances 0.000 abstract description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 2
- 230000002411 adverse Effects 0.000 abstract 1
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 abstract 1
- 239000003999 initiator Substances 0.000 description 8
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 6
- JUGSKHLZINSXPQ-UHFFFAOYSA-N 2,2,3,3,4,4,5,5-octafluoropentan-1-ol Chemical compound OCC(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)C(F)F JUGSKHLZINSXPQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 4
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 4
- 238000002329 infrared spectrum Methods 0.000 description 4
- 238000000016 photochemical curing Methods 0.000 description 4
- RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N Diethyl ether Chemical compound CCOCC RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000012512 characterization method Methods 0.000 description 3
- 238000010348 incorporation Methods 0.000 description 3
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 3
- FFLPBDJSZVOFJE-UHFFFAOYSA-N 1,1,2,2,3,3,4,4,5,5,6,6,7,7,8,8,9,9,10,10,10-henicosafluorodecan-1-ol Chemical compound OC(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)F FFLPBDJSZVOFJE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- ZJCCRDAZUWHFQH-UHFFFAOYSA-N Trimethylolpropane Chemical compound CCC(CO)(CO)CO ZJCCRDAZUWHFQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 2
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 2
- ISAOCJYIOMOJEB-UHFFFAOYSA-N benzoin Chemical compound C=1C=CC=CC=1C(O)C(=O)C1=CC=CC=C1 ISAOCJYIOMOJEB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 2
- 238000001723 curing Methods 0.000 description 2
- 150000002009 diols Chemical class 0.000 description 2
- 230000000977 initiatory effect Effects 0.000 description 2
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 2
- 150000003254 radicals Chemical class 0.000 description 2
- DSSYKIVIOFKYAU-XCBNKYQSSA-N (R)-camphor Chemical compound C1C[C@@]2(C)C(=O)C[C@@H]1C2(C)C DSSYKIVIOFKYAU-XCBNKYQSSA-N 0.000 description 1
- 241000723346 Cinnamomum camphora Species 0.000 description 1
- 206010034972 Photosensitivity reaction Diseases 0.000 description 1
- 244000028419 Styrax benzoin Species 0.000 description 1
- 235000000126 Styrax benzoin Nutrition 0.000 description 1
- 235000008411 Sumatra benzointree Nutrition 0.000 description 1
- WNLRTRBMVRJNCN-UHFFFAOYSA-L adipate(2-) Chemical compound [O-]C(=O)CCCCC([O-])=O WNLRTRBMVRJNCN-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 229960002130 benzoin Drugs 0.000 description 1
- RWCCWEUUXYIKHB-UHFFFAOYSA-N benzophenone Chemical compound C=1C=CC=CC=1C(=O)C1=CC=CC=C1 RWCCWEUUXYIKHB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000012965 benzophenone Substances 0.000 description 1
- 229960000846 camphor Drugs 0.000 description 1
- 229930008380 camphor Natural products 0.000 description 1
- 125000002091 cationic group Chemical group 0.000 description 1
- 239000012952 cationic photoinitiator Substances 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 125000005520 diaryliodonium group Chemical group 0.000 description 1
- 239000012954 diazonium Substances 0.000 description 1
- 125000005442 diisocyanate group Chemical group 0.000 description 1
- UHESRSKEBRADOO-UHFFFAOYSA-N ethyl carbamate;prop-2-enoic acid Chemical compound OC(=O)C=C.CCOC(N)=O UHESRSKEBRADOO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 1
- 238000001900 extreme ultraviolet lithography Methods 0.000 description 1
- 239000012949 free radical photoinitiator Substances 0.000 description 1
- 235000019382 gum benzoic Nutrition 0.000 description 1
- 239000003973 paint Substances 0.000 description 1
- 230000036211 photosensitivity Effects 0.000 description 1
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 description 1
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 1
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 1
- 230000002195 synergetic effect Effects 0.000 description 1
- 125000005409 triarylsulfonium group Chemical group 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
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- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
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- C08G18/48—Polyethers
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- C08G18/65—Low-molecular-weight compounds having active hydrogen with high-molecular-weight compounds having active hydrogen
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- C08G18/6666—Compounds of group C08G18/48 or C08G18/52
- C08G18/667—Compounds of group C08G18/48 or C08G18/52 with compounds of group C08G18/32 or polyamines of C08G18/38
- C08G18/6674—Compounds of group C08G18/48 or C08G18/52 with compounds of group C08G18/32 or polyamines of C08G18/38 with compounds of group C08G18/3203
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Abstract
本发明属于光刻胶制备技术领域，具体涉及一种聚氨酯丙烯酸酯光刻胶及其制备方法。通过将2‑羟基‑2‑甲基‑1‑苯基‑1‑丙酮与异氰酸酯反应，引入NCO基团后，与氟醇反应成功合成一种含氟光引发剂，并将其应用于聚氨酯丙烯酸酯光刻胶中。合成的光刻胶具有高透光性、抗刻蚀能力强、表面固化更完全，同时能高效解决氧阻聚的不良影响。因此，本发明材料具有广泛的应用前景。
Description
技术领域
本发明属于光刻胶制备技术领域，具体涉及一种聚氨酯丙烯酸酯光刻胶及其制备方法。
背景技术
随着光刻技术的不断发展，EUV光刻已逐渐成为最新一代光刻技术，采用波长为10～14nm的极紫外光作为光源的光刻技术。与之相配的光刻胶则是一种光敏感耐蚀刻的材料，利用紫外光或可见光激发，形成活性中心，快速引发单体及低聚物的聚合，使其在溶解性、熔融性、亲合性等物理性能上发生明显的变化。
在光固化体系中，光引发剂是体系中重要的影响因素之一，通过吸收紫外光或可见光辐射能，经过光激发，将液态的单体快速转化为固态的聚合物。按照反应机理的不同，光引发剂可分为阳离子型和自由基型。阳离子光引发剂包含二芳基碘鎓盐、三芳基硫鎓盐、芳基重氮盐等，引发产生的活性种具有寿命长、性能优异、尺寸精度高等优点。而自由基光引发剂包含二苯甲酮和胺类化合物、硫杂蒽酮类、樟脑孔醌、安息香乙醚等，引发产生的活性种具有贮存寿命长，紫外吸收范围广，稳定性高等优点。虽然这些引发剂目前种类丰富，应用较多，但是存在着较严重的氧阻聚问题，氧气会消耗自由基，以致体系转化率下降，固化不完全，虽然增加引发剂浓度或光强，可有效解决氧阻聚的问题，但过高的引发剂浓度和光强又会造成光屏蔽效应。
氟是电负性最强的元素，具有低表面能，因此含氟材料具有优异的耐热性、耐腐蚀性、疏水性、低摩擦系数等优点，广泛应用于光固化油墨、光固化涂料等光固化领域，当把氟元素引入光引发剂中，可使表面固化更完全，含氟光引发剂体系表面的引发剂含量会增加，因此表面与底部的引发剂形成浓度差，即在表面通过引发剂和氧气反应形成一层保护膜以有效解决氧阻聚的问题。但是，含氟引发剂因其低表面能，使制得的光刻胶易于脱模，但其抗刻蚀能力较弱。
发明内容
本发明针对现有技术的不足，提出一种聚氨酯丙烯酸酯光刻胶的制备方法，解决了大部分光引发剂存在较严重的氧阻聚且表面固化不完全等技术问题，同时制得的含氟光引发剂具有表面能低、摩擦系数低、耐水性、耐腐蚀性等优点。同时采用聚氨酯丙烯酸酯有机树脂为主体，加入氟引发剂，使得制备出的光刻胶具有优异抗刻蚀性，强附着力，高感光性能又易于脱模等特点，得以使该光刻胶广泛应用于电子工业集成电路行业。
本发明采用如下技术方案：
其中，A为
R为
X为
Y为
Z为
一种聚氨酯丙烯酸酯光刻胶的制备方法步骤如下：
(1)氮气保护下将异氰酸酯滴加到装有2-羟基-2-甲基-1-苯基-1-丙酮的有机溶液和催化剂的三口烧瓶中，加料完成后，在40℃-65℃范围内反应至红外谱图上-NCO吸收峰不再变化后，停止反应，得到淡黄色粘稠液体，密封遮光保存。
其中，异氰酸酯为异佛尔酮二异氰酸酯、2,4甲苯二异氰酸酯、二苯基甲烷二异氰酸酯、赖氨酸二异氰酸酯中的一种。
溶解2-羟基-2-甲基-1-苯基-1-丙酮的有机溶剂为N,N-二甲基甲酰胺、丙酮、乙酸乙酯中的一种；
催化剂为二月桂酸二丁基锡或辛酸亚锡。
异氰酸酯与2-羟基-2-甲基-1-苯基-1-丙酮的摩尔比为1:1，催化剂用量为2-羟基-2-甲基-1-苯基-1-丙酮质量的0.3wt％。
(2)将氟醇与步骤(1)所得淡黄色粘稠液体加入三口瓶中，在40℃-65℃范围内反应直至红外谱图中-NCO的特征峰消失，冷却至室温，经干燥得到固体粉末，密封遮光保存。
其中，氟醇为2,2,3,3,4,4,5,5-八氟-1-戊醇、全氟癸醇、全氟己基乙基醇、四氟丙醇等氟醇中的一种。
氟醇与2-羟基-2-甲基-1-苯基-1-丙酮-异氰酸酯的摩尔比为1：1。
(3)氮气保护下在烧瓶中加入溶于有机溶剂的二元醇聚合物，加入二异氰酸酯后加入有机锡类催化剂，85℃下反应2h，制得异氰酸根封端的预聚体PU1；降温至45℃后加入二元醇小分子扩链剂，反应2h，制得PU2；加入丙烯酸酯类光敏单体，45℃下反应2h，制得聚氨酯丙烯酸酯树脂PU；
其中，二元醇聚合物为聚乙二醇、聚四氢呋喃二醇、聚己二酸丁二醇酯、聚己二酸乙二醇酯、聚己内酯二醇中的一种(Mn＝500-5000)。
异氰酸酯为异佛尔酮二异氰酸酯、2,4甲苯二异氰酸酯、二苯基甲烷二异氰酸酯、赖氨酸二异氰酸酯中的一种。
二元醇小分子扩链剂为1,4丁二醇、1,3丁二醇、乙二醇、1,2丙二醇、一缩二乙二醇、二缩三乙二醇中的一种。
丙烯酸酯类光敏单体为甲基丙烯酸甲酯或甲基丙烯酸共聚物。
(n(二元醇聚合物)：n(异氰酸酯)：n(二元醇小分子扩链剂)：n(和丙烯酸酯类光敏单体)＝1:3.2:1:1，有机锡催化剂用量为二元醇聚合物质量的0.25-0.4wt％。
(4)聚氨酯丙烯酸酯树脂、含氟光引发剂、活性稀释剂按照比例进行混合，均匀后涂膜、烘干，在紫外光照射一定时间后可形成聚氨酯丙烯酸酯光刻胶。
其中，活性稀释剂为苯基缩水甘油醚、双环氧基的乙二醇双缩水甘油醚、间苯二酚双缩水甘油醚中的一种。
聚氨酯丙烯酸酯树脂、含氟光引发剂的质量比1：0.05。
紫外光照射时间在60-80min范围内。
有益效果：
本发明通过聚氨酯丙烯酸酯有机树脂和含氟光引发剂的协同作用，不仅具备有机树脂优异的抗刻蚀性，强附着力，高感光性能且含有含氟材料具有优异的耐热性、耐腐蚀性、疏水性等优点。
附图说明：
图1为实施例1中含氟光引发剂的红外光谱图。
图2为实施例1中聚氨酯丙烯酸酯光刻胶的红外光谱图。
具体实施方式
下面将对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅是本发明的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施方式，都属于本发明保护的范围。
实施例1
氮气保护将15.00g异佛尔酮二异氰酸酯滴加到装有11.08g 2-羟基-2-甲基-1-苯基-1-丙酮的30ml丙酮溶液和0.03g二月桂酸二丁基锡的三口烧瓶中，加料完成后，在80℃下反应至红外谱图上-NCO吸收峰不再变化后，停止反应，得到2-羟基-2-甲基-1-苯基-1-丙酮-异氰酸酯，产率89％；
将13.89g 2,2,3,3,4,4,5,5-八氟-1-戊醇与10.00g2-羟基-2-甲基-1-苯基-1-丙酮-异氰酸酯加入三口烧瓶中，在80℃下反应直至红外谱图中-NCO的特征峰消失，冷却至室温，经干燥得到含氟光引发剂固体粉末，产率90％，密封遮光保存；
对合成的氟光引发剂进行红外表征(见图1)，在3300cm-1处出现了-OH基团的特征吸收峰，1700cm-1处出现了C＝O特征吸收峰，873cm-1和1294cm-1处分别出现了-CF3和-CF2-基团的特征吸收峰，说明含氟结构被成功引入到光引发剂产物结构里中。
氮气保护下在三口烧瓶中加入溶于20ml N,N-二甲基甲酰胺的10.00g聚乙二醇(Mn＝1000)，加入4.00g异佛尔酮二异氰酸酯后加入0.03g二月桂酸二丁基锡，85℃下反应2h，制得异氰酸根封端的预聚体PU1；降温至45℃后加入0.9g 1,4-丁二醇，反应2h，制得PU2；加入0.11g甲基丙烯酸甲酯，45℃下反应2h，制得聚氨酯丙烯酸酯树脂PU；
将聚氨酯丙烯酸酯树脂PU、含氟光引发剂、苯基缩水甘油醚按照质量比1:0.05:0.15进行混合，均匀后涂膜、烘干，在紫外光照射60s后可制得聚氨酯丙烯酸酯光刻胶。
通过合成的含氟光引发剂制备光刻胶，对其进行红外表征(见图2)，其中在3350cm-1处出现了NH特征峰和1700cm-1处出现了C＝O特征吸收峰，说明其具有聚氨酯典型特征结构，在873cm-1和1294cm-1处分别出现了-CF3和-CF2-基团的特征吸收峰，说明含氟结构被成功引入到光引发剂产物结构里中。
常温下储存期为310天。
实施例2：
氮气保护将15.05g异佛尔酮二异氰酸酯滴加到装有11.08g 2-羟基-2-甲基-1-苯基-1-丙酮的30ml丙酮溶液和0.03g二月桂酸二丁基锡的三口烧瓶中，加料完成后，在80℃下反应至红外谱图上-NCO吸收峰不再变化后，停止反应，得到2-羟基-2-甲基-1-苯基-1-丙酮-异氰酸酯，产率89％；
将18.29g全氟癸醇与10.00g2-羟基-2-甲基-1-苯基-1-丙酮-异氰酸酯加入三口烧瓶中，在80℃下反应直至红外谱图中-NCO的特征峰消失，冷却至室温，经干燥得到含氟光引发剂固体粉末，产率90％，密封遮光保存；
氮气保护下在三口烧瓶中加入溶于20ml N，N-二甲基甲酰胺的10.00g聚乙二醇(Mn＝1000)，加入4.00g异佛尔酮二异氰酸酯后加入0.03g二月桂酸二丁基锡，85℃下反应2h，制得异氰酸根封端的预聚体PU1；降温至45℃后加入0.9g 1,4-丁二醇，反应2h，制得PU2；加入0.11g甲基丙烯酸甲酯，45℃下反应2h，制得聚氨酯丙烯酸酯树脂PU；
将聚氨酯丙烯酸酯树脂PU、含氟光引发剂、苯基缩水甘油醚按照质量比1:0.05:0.15进行混合，均匀后涂膜、烘干，在紫外光照射60s后可制得聚氨酯丙烯酸酯光刻胶。
常温下储存期为350天。
实施例3：
氮气保护将18.05g二苯基甲烷二异氰酸酯滴加到装有11.08g 2-羟基-2-甲基-1-苯基-1-丙酮的30ml丙酮溶液和0.03g二月桂酸二丁基锡的三口烧瓶中，加料完成后，在80℃下反应至红外谱图上-NCO吸收峰不再变化后，停止反应，得到2-羟基-2-甲基-1-苯基-1-丙酮-异氰酸酯，产率87％；
将17.23g全氟己基乙基醇与10.00g2-羟基-2-甲基-1-苯基-1-丙酮-异氰酸酯加入三口烧瓶中，在80℃下反应直至红外谱图中-NCO的特征峰消失，冷却至室温，经干燥得到含氟光引发剂固体粉末，产率92％，密封遮光保存；
氮气保护下在三口烧瓶中加入溶于20ml N，N-二甲基甲酰胺的10.00g聚乙二醇(Mn＝1000)，加入4.00g异佛尔酮二异氰酸酯后加入0.03g二月桂酸二丁基锡，85℃下反应2h，制得异氰酸根封端的预聚体PU1；降温至45℃后加入0.9g 1,4-丁二醇，反应2h，制得PU2；加入0.11g甲基丙烯酸甲酯，45℃下反应2h，制得聚氨酯丙烯酸酯树脂PU；
将聚氨酯丙烯酸酯树脂PU、含氟光引发剂、苯基缩水甘油醚按照质量比1:0.05:0.15进行混合，均匀后涂膜、烘干，在紫外光照射60s后可制得聚氨酯丙烯酸酯光刻胶。
常温下储存期为335天。
实施例4：
氮气保护将18.05g二苯基甲烷二异氰酸酯滴加到装有11.08g 2-羟基-2-甲基-1-苯基-1-丙酮的30ml丙酮溶液和0.03g二月桂酸二丁基锡的三口烧瓶中，加料完成后，在80℃下反应至红外谱图上-NCO吸收峰不再变化后，停止反应，得到2-羟基-2-甲基-1-苯基-1-丙酮-异氰酸酯，产率91％；
将9.28g四氟丙醇与10.00g2-羟基-2-甲基-1-苯基-1-丙酮-异氰酸酯加入三口烧瓶中，在80℃下反应直至红外谱图中-NCO的特征峰消失，冷却至室温，经干燥得到含氟光引发剂固体粉末，产率88％，密封遮光保存；
氮气保护下在三口烧瓶中加入溶于20ml N，N-二甲基甲酰胺的15.00g聚己二酸丁二醇酯(Mn＝1500)，加入4.00g异佛尔酮二异氰酸酯后加入0.03g二月桂酸二丁基锡，85℃下反应2h，制得异氰酸根封端的预聚体PU1；降温至45℃后加入0.9g 1，4-丁二醇，反应2h，制得PU2；加入0.11g甲基丙烯酸甲酯，45℃下反应2h，制得聚氨酯丙烯酸酯树脂PU；
将聚氨酯丙烯酸酯树脂PU、含氟光引发剂、间苯二酚双缩水甘油醚按照质量比1:0.05:0.15进行混合，均匀后涂膜、烘干，在紫外光照射60s后可制得聚氨酯丙烯酸酯光刻胶。
常温下储存期为300天。
实施例5：
氮气保护将15.00g异佛尔酮二异氰酸酯滴加到装有11.08g 2-羟基-2-甲基-1-苯基-1-丙酮的30ml丙酮溶液和0.03g二月桂酸二丁基锡的三口烧瓶中，加料完成后，在80℃下反应至红外谱图上-NCO吸收峰不再变化后，停止反应，得到2-羟基-2-甲基-1-苯基-1-丙酮-异氰酸酯，产率89％；
将13.89g 2,2,3,3,4,4,5,5-八氟-1-戊醇与10.00g2-羟基-2-甲基-1-苯基-1-丙酮-异氰酸酯加入三口烧瓶中，在80℃下反应直至红外谱图中-NCO的特征峰消失，冷却至室温，经干燥得到含氟光引发剂固体粉末，产率87％，密封遮光保存；
氮气保护下在三口烧瓶中加入溶于20ml N，N-二甲基甲酰胺的18.00g聚乙二醇(Mn＝1800)，加入4.00g异佛尔酮二异氰酸酯后加入0.03g二月桂酸二丁基锡，85℃下反应2h，制得异氰酸根封端的预聚体PU1；降温至45℃后加入0.9g 1，4-丁二醇，反应2h，制得PU2；加入0.11g甲基丙烯酸甲酯，45℃下反应2h，制得聚氨酯丙烯酸酯树脂PU；
将聚氨酯丙烯酸酯树脂PU、含氟光引发剂、间苯二酚双缩水甘油醚按照质量比1:0.05:0.15进行混合，均匀后涂膜、烘干，在紫外光照射60s后可制得聚氨酯丙烯酸酯光刻胶。
常温下储存期为310天。
实施例6：
氮气保护将15.00g异佛尔酮二异氰酸酯滴加到装有11.08g 2-羟基-2-甲基-1-苯基-1-丙酮的30ml丙酮溶液和0.03g二月桂酸二丁基锡的三口烧瓶中，加料完成后，在80℃下反应至红外谱图上-NCO吸收峰不再变化后，停止反应，得到2-羟基-2-甲基-1-苯基-1-丙酮-异氰酸酯，产率89％；
将13.89g 2,2,3,3,4,4,5,5-八氟-1-戊醇与10.00g2-羟基-2-甲基-1-苯基-1-丙酮-异氰酸酯加入三口烧瓶中，在80℃下反应直至红外谱图中-NCO的特征峰消失，冷却至室温，经干燥得到含氟光引发剂固体粉末，产率91％，密封遮光保存；
氮气保护下在三口烧瓶中加入溶于20ml N，N-二甲基甲酰胺的30.00g聚己二酸乙二醇酯(Mn＝3000)，加入4.00g异佛尔酮二异氰酸酯后加入0.03g二月桂酸二丁基锡，85℃下反应2h，制得异氰酸根封端的预聚体PU1；降温至45℃后加入0.9g 1,3丁二醇，反应2h，制得PU2；加入0.11g甲基丙烯酸甲酯，45℃下反应2h，制得聚氨酯丙烯酸酯树脂PU；
将聚氨酯丙烯酸酯树脂PU、含氟光引发剂、苯基缩水甘油醚按照质量比1:0.05:0.15进行混合，均匀后涂膜、烘干，在紫外光照射60s后可制得聚氨酯丙烯酸酯光刻胶。
常温下储存期为310天。
实施例7：
氮气保护将15.00g异佛尔酮二异氰酸酯滴加到装有11.08g 2-羟基-2-甲基-1-苯基-1-丙酮的30ml丙酮溶液和0.03g二月桂酸二丁基锡的三口烧瓶中，加料完成后，在80℃下反应至红外谱图上-NCO吸收峰不再变化后，停止反应，得到2-羟基-2-甲基-1-苯基-1-丙酮-异氰酸酯，产率89％；
将13.89g 2,2,3,3,4,4,5,5-八氟-1-戊醇与10.00g2-羟基-2-甲基-1-苯基-1-丙酮-异氰酸酯加入三口烧瓶中，在80℃下反应直至红外谱图中-NCO的特征峰消失，冷却至室温，经干燥得到含氟光引发剂固体粉末，产率92％，密封遮光保存；
氮气保护下在三口烧瓶中加入溶于20ml N，N-二甲基甲酰胺的10.00g聚乙二醇(Mn＝1000)，加入4.00g异佛尔酮二异氰酸酯后加入0.02g辛酸亚锡，85℃下反应2h，制得异氰酸根封端的预聚体PU1；降温至45℃后加入0.9g 1,4-丁二醇，反应2h，制得PU2；加入0.11g甲基丙烯酸甲酯，45℃下反应2h，制得聚氨酯丙烯酸酯树脂PU；
将聚氨酯丙烯酸酯树脂PU、含氟光引发剂、双环氧基的乙二醇双缩水甘油醚按照质量比1:0.05:0.18进行混合，均匀后涂膜、烘干，在紫外光照射60s后可制得聚氨酯丙烯酸酯光刻胶。
常温下储存期为310天。
对照例1
氮气保护将15.00g异佛尔酮二异氰酸酯滴加到装有11.08g 2-羟基-2-甲基-1-苯基-1-丙酮的30ml丙酮溶液和0.03g二月桂酸二丁基锡的三口烧瓶中，加料完成后，在80℃下反应至红外谱图上-NCO吸收峰不再变化后，停止反应，得到2-羟基-2-甲基-1-苯基-1-丙酮-异氰酸酯，产率89％；
氮气保护下在三口烧瓶中加入溶于20ml N，N-二甲基甲酰胺的10.00g聚乙二醇(Mn＝1000)，加入4.00g异佛尔酮二异氰酸酯后加入0.03g二月桂酸二丁基锡，85℃下反应2h，制得异氰酸根封端的预聚体PU1；降温至75℃后加入0.9g三羟甲基丙烷，反应2h，制得PU2；加入0.11g甲基丙烯酸甲酯，45℃下反应2h，制得聚氨酯丙烯酸酯树脂PU；
将聚氨酯丙烯酸酯树脂PU、光引发剂2-羟基-2-甲基-1-苯基-1-丙酮、苯基缩水甘油醚按照质量比1:0.05:0.15进行混合，均匀后涂膜、烘干，在紫外光照射90s后可制得聚氨酯丙烯酸酯光刻胶。
常温下储存期为310天。
对照例2
氮气保护将15.00g异佛尔酮二异氰酸酯滴加到装有11.08g 2-羟基-2-甲基-1-苯基-1-丙酮的30ml丙酮溶液和0.03g二月桂酸二丁基锡的三口烧瓶中，加料完成后，在80℃下反应至红外谱图上-NCO吸收峰不再变化后，停止反应，得到2-羟基-2-甲基-1-苯基-1-丙酮-异氰酸酯，产率89％；
将13.89g 2,2,3,3,4,4,5,5-八氟-1-戊醇与10.00g2-羟基-2-甲基-1-苯基-1-丙酮-异氰酸酯加入三口烧瓶中，在80℃下反应直至红外谱图中-NCO的特征峰消失，冷却至室温，经干燥得到含氟光引发剂固体粉末，产率90％，密封遮光保存；
对合成的氟光引发剂进行红外表征(见图1)，在3300cm-1处出现了-OH基团的特征吸收峰，1700cm-1处出现了C＝O特征吸收峰，873cm-1和1294cm-1处分别出现了-CF3和-CF2-基团的特征吸收峰，说明含氟结构被成功引入到光引发剂产物结构里中。
氮气保护下在三口烧瓶中加入溶于20ml N，N-二甲基甲酰胺的10.00g聚乙二醇(Mn＝1000)，加入4.00g异佛尔酮二异氰酸酯后加入0.03g二月硅酸二丁基锡，95℃下反应8h，制得异氰酸根封端的预聚体PU1；降温至75℃后加入0.9g三羟甲基丙烷，反应2h，制得聚氨酯PU；
将聚氨酯PU、2-羟基-2-甲基-1-苯基-1-丙酮、苯基缩水甘油醚按照质量比1:0.05:0.15进行混合，均匀后涂膜、烘干，在紫外光照射下无法固化成光刻胶。
制得的聚氨酯丙烯酸酯光刻胶按照ASTM D882制样测试，测试速度500mm/min；常温下储存期为310天。
表1
表2
Claims (6)
1.一种聚氨酯丙烯酸酯光刻胶的制备方法，其特征在于：所述制备方法步骤如下：
（1）制备2-羟基-2-甲基-1-苯基-1-丙酮-异氰酸酯：
氮气保护下将异氰酸酯滴加到装有2-羟基-2-甲基-1-苯基-1-丙酮的有机溶液和催化剂的三口烧瓶中，加料完成后，反应至红外谱图上-NCO吸收峰不再变化后停止反应，得到淡黄色粘稠液体2-羟基-2-甲基-1-苯基-1-丙酮-异氰酸酯溶液，密封遮光保存；
溶解2-羟基-2-甲基-1-苯基-1-丙酮的有机溶剂为N,N-二甲基甲酰胺、丙酮、乙酸乙酯中的一种；催化剂为二月桂酸二丁基锡或辛酸亚锡；反应温度为：40℃-65℃；
异氰酸酯与2-羟基-2-甲基-1-苯基-1-丙酮的摩尔比为1:1，催化剂用量为2-羟基-2-甲基-1-苯基-1-丙酮质量的0.3wt%；
（2）制备含氟光引发剂：
将氟醇与2-羟基-2-甲基-1-苯基-1-丙酮-异氰酸酯溶液加入三口瓶中，反应直至红外谱图中-NCO的特征峰消失，冷却至室温，经干燥得到固体粉末含氟光引发剂，密封遮光保存；
氟醇与2-羟基-2-甲基-1-苯基-1-丙酮-异氰酸酯的摩尔比为1：1；
（3）制备感光树脂聚氨酯丙烯酸酯：
氮气保护下在烧瓶中加入溶于有机溶剂的二元醇聚合物，加入异氰酸酯后加入有机锡类催化剂，85℃下反应2h，制得异氰酸根封端的预聚体PU1；降温至45℃后加入二元醇小分子扩链剂，反应2h，制得PU2；加入丙烯酸酯类光敏单体，45℃下反应2h，制得聚氨酯丙烯酸酯树脂PU；
二元醇聚合物、有机锡催化剂、二元醇小分子扩链剂和丙烯酸酯类光敏单体的摩尔比为1:3.2:1:1；
（4）制备聚氨酯丙烯酸酯光刻胶：
将聚氨酯丙烯酸酯树脂、含氟光引发剂、活性稀释剂按照比例进行混合，均匀后涂膜、烘干，在紫外光照射后可形成聚氨酯丙烯酸酯光刻胶；
聚氨酯丙烯酸酯树脂、含氟光引发剂的质量比1：0.05。
2.如权利要求1所述的聚氨酯丙烯酸酯光刻胶的制备方法，其特征在于：步骤（1）与步骤（3）所述异氰酸酯为异佛尔酮二异氰酸酯、2，4甲苯二异氰酸酯、二苯基甲烷二异氰酸酯、赖氨酸二异氰酸酯中的一种。
3.如权利要求1所述的聚氨酯丙烯酸酯光刻胶的制备方法，其特征在于：步骤（2）所述氟醇为2,2,3,3,4,4,5,5-八氟-1-戊醇、全氟癸醇、全氟己基乙基醇、四氟丙醇中的一种；反应温度为40℃-65℃。
4.如权利要求1所述的聚氨酯丙烯酸酯光刻胶的制备方法，其特征在于：步骤（3）所述二元醇聚合物为聚乙二醇、聚四氢呋喃二醇、聚己二酸丁二醇酯、聚己二酸乙二醇酯、聚己内酯二醇中的一种；其中，二元醇Mn=500-5000；有机锡催化剂为二月桂酸二丁基锡或辛酸亚锡；二元醇小分子扩链剂为1,4丁二醇、1,3丁二醇、乙二醇、1,2 丙二醇、一缩二乙二醇、二缩三乙二醇中的一种；丙烯酸酯类光敏单体为甲基丙烯酸甲酯或甲基丙烯酸共聚物。
5.如权利要求1所述的聚氨酯丙烯酸酯光刻胶的制备方法，其特征在于：步骤（4）所述活性稀释剂为苯基缩水甘油醚、双环氧基的乙二醇双缩水甘油醚、间苯二酚双缩水甘油醚中的一种；紫外光照射时间在60-80min范围内。
6.如权利要求1-5任一项所述方法制备的聚氨酯丙烯酸酯光刻胶。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202210501961.5A CN115016228B (zh) | 2022-05-10 | 2022-05-10 | 一种聚氨酯丙烯酸酯光刻胶及其制备方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202210501961.5A CN115016228B (zh) | 2022-05-10 | 2022-05-10 | 一种聚氨酯丙烯酸酯光刻胶及其制备方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN115016228A CN115016228A (zh) | 2022-09-06 |
| CN115016228B true CN115016228B (zh) | 2024-03-15 |
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ID=83068831
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202210501961.5A Active CN115016228B (zh) | 2022-05-10 | 2022-05-10 | 一种聚氨酯丙烯酸酯光刻胶及其制备方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN115016228B (zh) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN115612040A (zh) * | 2022-09-23 | 2023-01-17 | 共享新材料(山东)有限公司 | 一种光敏树脂及其制备方法 |
| CN115651099B (zh) * | 2022-10-27 | 2024-02-20 | 中昊北方涂料工业研究设计院有限公司 | 一种低折射率光纤涂料用复配型光引发剂的制备方法 |
| CN116515379B (zh) * | 2023-05-16 | 2024-03-15 | 江苏晨光涂料有限公司 | 一种生物基超疏水导电防腐聚氨酯涂层及其制备方法 |
Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104698754A (zh) * | 2015-03-23 | 2015-06-10 | 江南大学 | 一种基于pcdl型聚氨酯丙烯酸酯制备的光刻胶组合物 |
| CN105885004A (zh) * | 2016-06-22 | 2016-08-24 | 江南大学 | 一种生物基光固化聚氨酯及其制备的光刻胶 |
| WO2018023860A1 (zh) * | 2016-08-01 | 2018-02-08 | 山东一诺威新材料有限公司 | 异氰脲酸酯聚醚多元醇及其制备方法和涂料固化剂的制备方法 |
| CN108196426A (zh) * | 2018-01-05 | 2018-06-22 | 潍坊星泰克微电子材料有限公司 | 用于gpp工艺的光刻胶、制备方法及其光刻工艺 |
| WO2018126795A1 (zh) * | 2017-01-03 | 2018-07-12 | 华南理工大学 | 以二异氰酸酯为核的低黏度端羟基树脂及其制备方法与应用 |
| CN108383974A (zh) * | 2018-01-22 | 2018-08-10 | 武汉理工大学 | 一种紫外光固化高强度聚氨酯丙烯酸酯树脂及其制备方法 |
-
2022
- 2022-05-10 CN CN202210501961.5A patent/CN115016228B/zh active Active
Patent Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104698754A (zh) * | 2015-03-23 | 2015-06-10 | 江南大学 | 一种基于pcdl型聚氨酯丙烯酸酯制备的光刻胶组合物 |
| CN105885004A (zh) * | 2016-06-22 | 2016-08-24 | 江南大学 | 一种生物基光固化聚氨酯及其制备的光刻胶 |
| WO2018023860A1 (zh) * | 2016-08-01 | 2018-02-08 | 山东一诺威新材料有限公司 | 异氰脲酸酯聚醚多元醇及其制备方法和涂料固化剂的制备方法 |
| WO2018126795A1 (zh) * | 2017-01-03 | 2018-07-12 | 华南理工大学 | 以二异氰酸酯为核的低黏度端羟基树脂及其制备方法与应用 |
| CN108196426A (zh) * | 2018-01-05 | 2018-06-22 | 潍坊星泰克微电子材料有限公司 | 用于gpp工艺的光刻胶、制备方法及其光刻工艺 |
| CN108383974A (zh) * | 2018-01-22 | 2018-08-10 | 武汉理工大学 | 一种紫外光固化高强度聚氨酯丙烯酸酯树脂及其制备方法 |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN115016228A (zh) | 2022-09-06 |
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| GR01 | Patent grant |