CN114965500B - 一种aoi图像检测装置及检测方法 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种AOI图像检测装置，包括皮带传送轨道，皮带传送轨道内侧一端上设置有阻挡块，阻挡块底部与升降阻挡机构连接，阻挡块顶部设置有十字坐标刻痕，阻挡块一侧设置有升降平台，升降平台上设置有吸附板，吸附板与真空模块连接，吸附板上方设置有图像捕捉组件，图像捕捉组件与AOI图像处理系统连接，吸附板与图像捕捉组件之间的皮带传送轨道表面上设置有U型导轨，U型导轨上设置有滑动底座，滑动底座上设置有水平伸缩组件，水平伸缩组件上设置有斜向底座，斜向底座上设置有斜向伸缩组件，斜向伸缩组件上设置有除尘硅胶棒；还用开一种检测方法，通过坐标系建立确定除尘位置。本发明结构简单，集成效果好，能够准确的对污染物进行去除。
Description
技术领域
本发明涉及晶圆加工技术领域，具体涉及一种AOI图像检测装置及检测方法。
背景技术
芯片检测最早采用人工目检的方式，但随着产业技术的逐步提升，封装器件的小型化趋势对芯片检测提出了更严苛的要求。人工目检难度增大、误判率升高、并且无法检测某些类型的缺陷，已经不能满足市场的检测要求。自动光学AOI检测技术可以自动定位和检测芯片，能有效降低工人劳动强度、降低检测误判率，并大大提高工作效率，节省了大量的人力物力成本，因此在晶圆制备领域中得到大量广泛的运用。
特别是在晶圆清洗后，晶圆表面存在因清洁液体洁净度降低而导致污染物附着在晶圆表面，通过AOI检测技术可以快速的找到污染物所在位置，但是在后续清理过程中，一般是对清洁液体进行更换，然后再次清洁，这样的操作方式极大的降低了清洁效率，并且AOI检测设备功能单一，不利于使用
发明内容
本发明要解决上述技术问题并提供一种AOI图像检测装置及检测方法，结构简单，集成效果好，能够准确高效的将污染物进行去除。
为了解决上述技术问题，本发明提供了一种AOI图像检测装置，包括皮带传送轨道，所述皮带传送轨道内侧一端上设置有阻挡块，所述阻挡块底部与升降阻挡机构连接，所述阻挡块顶部设置有十字坐标刻痕，所述阻挡块一侧设置有升降平台，所述升降平台上设置有吸附板，所述吸附板与真空模块连接，所述吸附板上方设置有图像捕捉组件，所述图像捕捉组件与AOI图像处理系统连接，所述吸附板与图像捕捉组件之间的皮带传送轨道表面上设置有U型导轨，所述U型导轨上设置有滑动底座，所述滑动底座上设置有水平伸缩组件，所述水平伸缩组件上设置有斜向底座，所述斜向底座上设置有斜向伸缩组件，所述斜向伸缩组件上设置有除尘硅胶棒。
进一步的，所述皮带传送轨道上设置有传送载具，所述传送载具用于固定晶圆。
进一步的，所述升降阻挡机构包括导向板，所述导向板上安装有升降气缸和导向柱，所述升降气缸和导向柱均与阻挡块连接。
进一步的，所述滑动底座上设置有第一驱动组件，所述第一驱动组件与第一驱动齿轮连接，所述U型导轨上还设置有U型齿条，所述第一驱动组件、第一驱动齿轮与U型齿条配合驱动滑动底座移动。
进一步的，所述水平伸缩组件包括直线导轨和直线齿条，所述直线导轨通过滑块与滑动底座连接，所述直线齿条通过齿条驱动组件与滑动底座连接，所述直线导轨和直线齿条的端部均与斜向底座的底部固定连接。
进一步的，所述斜向伸缩组件为电动推杆，所述电动推杆的端部上设置有夹持部，所述夹持部用于固定除尘硅胶棒。
进一步的，所述图像捕捉组件与三轴移动模组连接。
一种检测方法，采用上述任意一项所述的检测装置，包括以下步骤：
步骤1)阻挡块伸出，皮带传送轨道将晶圆输送并抵靠在阻挡块侧边上；
步骤2)通过图像捕捉组件获取晶圆以及阻挡块表面的图像信息；
步骤3)根据获取的图像信息进行污染物辨别，当不存在污染物，阻挡块下降，皮带传送轨道将晶圆送出，并跳转至步骤1)，当存在污染物，继续下一个步骤；
步骤4)在图像信息的图像中，根据阻挡块表面的十字坐标刻痕建立X轴和Y轴的第一坐标系，将Y轴位置朝向晶圆方向偏移得到Y’轴，建立X轴和Y’轴的第二坐标系，根据污染物在第二坐标系上的位置确定移动坐标，根据移动坐标确定除尘硅胶棒的移动位置和伸出距离；
偏移位置为十字坐标刻痕中心点至U型导轨中心点的距离，十字坐标刻痕中心点和U型导轨中心点均位于X轴上；
步骤5)根据移动坐标，通过水平伸缩组件和斜向伸缩组件驱动除尘硅胶棒移动除尘。
进一步的，根据第二坐标系对除尘硅胶棒的除尘方式进行分类，当污染物位于第二坐标系的第一象限和第二象限内时，除尘硅胶棒移动至污染物和第二坐标系原点连线的延伸方向上，且位于U型导轨的弧形区域上，当污染物位于第二坐标系的第三象限和第四象限内时，除尘硅胶棒移动至污染物沿X轴方向对应的U型导轨的直线段上。
本发明的有益效果：
1、通过图像捕捉组件能够快速的辨别晶圆表面是否存在污染物，而根据污染物可以及时的通过除尘硅胶棒清理，由于清理位置和图像采集位置均在同一处，因此清理结束后可以再次辨别，效率高。
2、通过U型导轨的设计，能够满足除尘硅胶棒对晶圆表面清洁时所需要的移动位置，并且还对图像捕捉组件的固定进行有效避让，图像捕捉组件可以通过立柱或者多轴移动组件固定在平台上，无需进行吊装设置。
3、检测方法能够准确的在图像上找到污染物位置，并且根据坐标轴的建立，确定污染物与除尘硅胶棒实际位置之间的关系，达到快速且准确的清污效果。
附图说明
图1是本发明的检测装置整体结构示意图；
图2是本发明的除尘硅胶棒驱动结构部分示意图；
图3是本发明的阻挡块部分结构示意图；
图4是本发明在使用时且除尘硅胶棒伸出的结构示意图；
图5是本发明在确定污染物位置时建立坐标系的示意图。
具体实施方式
下面结合附图和具体实施例对本发明作进一步说明，以使本领域的技术人员可以更好地理解本发明并能予以实施，但所举实施例不作为对本发明的限定。
参照图1至图4所示，本发明的AOI图像检测装置的一实施例，包括皮带传送轨道1，皮带传送轨道内侧一端上设置有阻挡块2，用于阻挡晶圆的移动，阻挡块底部与升降阻挡机构3连接，升降阻挡机构能够带动阻挡块移动，实现阻挡和避让的效果，从而满足晶圆的流出或者反向流出，阻挡块顶部设置有十字坐标刻痕4，十字坐标刻痕用于标定坐标，阻挡块一侧设置有升降平台5，升降平台上设置有吸附板6，吸附板与真空模块连接，通过真空模块，吸附板能够将晶圆吸附固定，并通过升降平台在纵向上移动位置，并且吸附板还能够在清污时，起到定位固定效果，不晃动，吸附板上方设置有图像捕捉组件7，图像捕捉组件与AOI图像处理系统连接，用于捕捉晶圆表面图像并进行识别和检测，图像捕捉组件与三轴移动模组连接，安装稳定，吸附板与图像捕捉组件之间的皮带传送轨道表面上设置有U型导轨8，U型导轨上设置有滑动底座9，滑动底座上设置有水平伸缩组件10，水平伸缩组件上设置有斜向底座11，斜向底座上设置有斜向伸缩组件12，斜向伸缩组件上设置有除尘硅胶棒13，通过U型导轨能够对三轴移动模组进行有效避让，并且也能够满足除尘硅胶棒在晶圆周边的移动。由于水平伸缩组件伸出长度过长后会存在下扰的问题，因此通过U型导轨能够移动至晶圆两侧边，因此水平伸缩组件伸出长度只需要满足晶圆一半的清理距离即可，保证整体结构的稳定性。
上述的皮带传送轨道上还设置有传送载具，传送载具用于固定晶圆111，便于晶圆的稳定输送。斜向伸缩组件为电动推杆，结构小，重量轻，电动推杆的端部上设置有夹持部，夹持部用于固定除尘硅胶棒，便于操作更换。
为了提高阻挡块的位置稳定性，将升降阻挡机构设计为包括导向板，导向板上安装有升降气缸和导向柱，升降气缸和导向柱均与阻挡块连接，结构简单，位置固定。
上述的滑动底座上设置有第一驱动组件14，第一驱动组件与第一驱动齿轮连接，U型导轨上还设置有U型齿条，第一驱动组件、第一驱动齿轮与U型齿条配合驱动滑动底座移动，滑动底座能够通过齿轮齿条的动作配合实现在U型导轨上的自由移动。为了保证自由伸缩，将水平伸缩组件设计为包括直线导轨15和直线齿条16，直线导轨通过滑块与滑动底座连接，直线齿条通过齿条驱动组件17与滑动底座连接，直线导轨和直线齿条的端部均与斜向底座的底部固定连接，直线齿条通过齿条驱动组件可以实现自由伸缩，直线齿条的伸缩带动直线导轨通过伸缩，通过直线导轨和直线齿条的配合，实现斜向底座在移动过程中的稳定性。
具体的，在使用时，晶圆被皮带传送轨道朝向阻挡块输送，直至被阻挡块阻挡，随后升降平台动作，带动吸附板上升，吸附板顶着晶圆上升，在上升过程中通过真空吸附将晶圆吸附固定在吸附板上，随后图像捕捉组件对晶圆进行捕捉图像，并对图像进行污染物识别，当未发现污染物，则代表晶圆合格，当发现污染物，则通过滑动底座和水平伸缩组件带动除尘硅胶棒移动至污染物附近，随后通过斜向伸缩组件带动除尘硅胶棒斜向伸出，将污染物擦除。斜向伸出的方式能够较好的将污染物去除，施加压力小，对晶圆的伤害也降至最低。
本发明还公开一种检测方法，采用上述的检测装置，包括以下步骤：
首先通过阻挡块伸出，用于阻挡晶圆移动，皮带传送轨道将晶圆输送并抵靠在阻挡块侧边上；随后通过图像捕捉组件获取晶圆以及阻挡块表面的图像信息；根据获取的图像信息进行污染物辨别，当不存在污染物，阻挡块下降，皮带传送轨道将晶圆送出，当存在污染物，则在图像信息的图像中，根据阻挡块表面的十字坐标刻痕建立X轴和Y轴的第一坐标系，参照图5所示，将Y轴位置朝向晶圆方向偏移得到Y’轴，建立X轴和Y’轴的第二坐标系，根据污染物在第二坐标系上的位置确定移动坐标，根据移动坐标确定除尘硅胶棒的移动位置和伸出距离；
由于现实工况中，U型导轨的位置是固定的，十字坐标刻痕位置也是固定的，因此，两者之间的相对距离也是固定的，即十字坐标刻痕中心点至U型导轨中心点的距离也是固定的，将此距离定义为偏移位置，十字坐标刻痕中心点和U型导轨中心点均位于X轴上，便于定位以及建立坐标轴，提高精度，降低计算复杂度；
随后根据移动坐标，通过水平伸缩组件和斜向伸缩组件驱动除尘硅胶棒移动除尘，U型导轨的位置是固定的，当知晓污染物在第二坐标系上的位置后，即可反向计算出滑动底座需要在U型导轨上移动的位置。为了便于移动位置的计算，根据第二坐标系对除尘硅胶棒的除尘方式进行分类，当污染物位于第二坐标系的第一象限和第二象限内时，除尘硅胶棒移动至污染物和第二坐标系原点连线的延伸方向上，且位于U型导轨的弧形区域上，当污染物位于第二坐标系的第三象限和第四象限内时，除尘硅胶棒移动至污染物沿X轴方向对应的U型导轨的直线段上，通过分区域进行确定位置，满足在U型导轨上定位需要。
以上实施方式仅用以说明本发明的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施方式对本发明进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施方式所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施方式技术方案的精神和范围。
Claims (7)
1.一种AOI图像检测方法，其特征在于，包括皮带传送轨道，所述皮带传送轨道内侧一端上设置有阻挡块，所述阻挡块底部与升降阻挡机构连接，所述阻挡块顶部设置有十字坐标刻痕，所述阻挡块一侧设置有升降平台，所述升降平台上设置有吸附板，所述吸附板与真空模块连接，所述吸附板上方设置有图像捕捉组件，所述图像捕捉组件与AOI图像处理系统连接，所述吸附板与图像捕捉组件之间的皮带传送轨道表面上设置有U型导轨，所述U型导轨上设置有滑动底座，所述滑动底座上设置有水平伸缩组件，所述水平伸缩组件上设置有斜向底座，所述斜向底座上设置有斜向伸缩组件，所述斜向伸缩组件上设置有除尘硅胶棒；
检测方法包括以下步骤：
步骤1）阻挡块伸出，皮带传送轨道将晶圆输送并抵靠在阻挡块侧边上；
步骤2）通过图像捕捉组件获取晶圆以及阻挡块表面的图像信息；
步骤3）根据获取的图像信息进行污染物辨别，当不存在污染物，阻挡块下降，皮带传送轨道将晶圆送出，并跳转至步骤1），当存在污染物，继续下一个步骤；
步骤4）在图像信息的图像中，根据阻挡块表面的十字坐标刻痕建立X轴和Y轴的第一坐标系，将Y轴位置朝向晶圆方向偏移得到Y’轴，建立X轴和Y’轴的第二坐标系，根据污染物在第二坐标系上的位置确定移动坐标，根据移动坐标确定除尘硅胶棒的移动位置和伸出距离；
偏移位置为十字坐标刻痕中心点至U型导轨中心点的距离，十字坐标刻痕中心点和U型导轨中心点均位于X轴上；
步骤5）根据移动坐标，通过水平伸缩组件和斜向伸缩组件驱动除尘硅胶棒移动除尘；
根据第二坐标系对除尘硅胶棒的除尘方式进行分类，当污染物位于第二坐标系的第一象限和第二象限内时，除尘硅胶棒移动至污染物和第二坐标系原点连线的延伸方向上，且位于U型导轨的弧形区域上，当污染物位于第二坐标系的第三象限和第四象限内时，除尘硅胶棒移动至污染物沿X轴方向对应的U型导轨的直线段上。
2.如权利要求1所述的AOI图像检测方法，其特征在于，所述皮带传送轨道上设置有传送载具，所述传送载具用于固定晶圆。
3.如权利要求1所述的AOI图像检测方法，其特征在于，所述升降阻挡机构包括导向板，所述导向板上安装有升降气缸和导向柱，所述升降气缸和导向柱均与阻挡块连接。
4.如权利要求1所述的AOI图像检测方法，其特征在于，所述滑动底座上设置有第一驱动组件，所述第一驱动组件与第一驱动齿轮连接，所述U型导轨上还设置有U型齿条，所述第一驱动组件、第一驱动齿轮与U型齿条配合驱动滑动底座移动。
5.如权利要求1所述的AOI图像检测方法，其特征在于，所述水平伸缩组件包括直线导轨和直线齿条，所述直线导轨通过滑块与滑动底座连接，所述直线齿条通过齿条驱动组件与滑动底座连接，所述直线导轨和直线齿条的端部均与斜向底座的底部固定连接。
6.如权利要求1所述的AOI图像检测方法，其特征在于，所述斜向伸缩组件为电动推杆，所述电动推杆的端部上设置有夹持部，所述夹持部用于固定除尘硅胶棒。
7.如权利要求1所述的AOI图像检测方法，其特征在于，所述图像捕捉组件与三轴移动模组连接。
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Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN116026858B (zh) * | 2023-03-29 | 2023-06-20 | 常州申立通模具有限公司 | 一种多类型模具用抛光面检测设备 |
Citations (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102854195A (zh) * | 2012-09-21 | 2013-01-02 | 京东方科技集团股份有限公司 | 彩色滤光片上缺陷坐标的检测方法 |
| JP2014036071A (ja) * | 2012-08-08 | 2014-02-24 | Hitachi High-Tech Control Systems Corp | 半導体ウェーハの位置決め機構および検査装置 |
| CN104364892A (zh) * | 2012-06-06 | 2015-02-18 | Ev集团E·索尔纳有限责任公司 | 用于确定对准误差的装置和方法 |
| CN204758493U (zh) * | 2015-06-26 | 2015-11-11 | 汕头市灵迪机械设备有限公司 | 一种用于平板玻璃的全自动aoi设备 |
| CN105486995A (zh) * | 2015-12-07 | 2016-04-13 | 杭州长川科技股份有限公司 | 全自动探针台图像定位装置及视觉对准方法 |
| CN107014826A (zh) * | 2017-04-12 | 2017-08-04 | 武汉华星光电技术有限公司 | Cf基板微观检查机 |
| CN109990841A (zh) * | 2019-04-23 | 2019-07-09 | 惠州市品川智能科技有限公司 | 一种灰尘检测清洁装置 |
| CN111307828A (zh) * | 2020-03-13 | 2020-06-19 | 安徽工程大学 | 一种用于智能家居控制面板缺陷检测的设备及其检测方法 |
| CN212041850U (zh) * | 2020-04-10 | 2020-12-01 | 东莞高伟光学电子有限公司 | 一种晶圆清洁设备 |
| CN112666184A (zh) * | 2021-03-15 | 2021-04-16 | 常州微亿智造科技有限公司 | 手机后盖玻璃视觉检测设备 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2004109793A1 (ja) * | 2003-05-30 | 2004-12-16 | Ebara Corporation | 試料検査装置及び方法並びに該試料検査装置及び方法を用いたデバイス製造方法 |
-
2022
- 2022-05-18 CN CN202210551772.9A patent/CN114965500B/zh active Active
Patent Citations (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104364892A (zh) * | 2012-06-06 | 2015-02-18 | Ev集团E·索尔纳有限责任公司 | 用于确定对准误差的装置和方法 |
| JP2014036071A (ja) * | 2012-08-08 | 2014-02-24 | Hitachi High-Tech Control Systems Corp | 半導体ウェーハの位置決め機構および検査装置 |
| CN102854195A (zh) * | 2012-09-21 | 2013-01-02 | 京东方科技集团股份有限公司 | 彩色滤光片上缺陷坐标的检测方法 |
| CN204758493U (zh) * | 2015-06-26 | 2015-11-11 | 汕头市灵迪机械设备有限公司 | 一种用于平板玻璃的全自动aoi设备 |
| CN105486995A (zh) * | 2015-12-07 | 2016-04-13 | 杭州长川科技股份有限公司 | 全自动探针台图像定位装置及视觉对准方法 |
| CN107014826A (zh) * | 2017-04-12 | 2017-08-04 | 武汉华星光电技术有限公司 | Cf基板微观检查机 |
| CN109990841A (zh) * | 2019-04-23 | 2019-07-09 | 惠州市品川智能科技有限公司 | 一种灰尘检测清洁装置 |
| CN111307828A (zh) * | 2020-03-13 | 2020-06-19 | 安徽工程大学 | 一种用于智能家居控制面板缺陷检测的设备及其检测方法 |
| CN212041850U (zh) * | 2020-04-10 | 2020-12-01 | 东莞高伟光学电子有限公司 | 一种晶圆清洁设备 |
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