CN210775272U - 晶圆检测装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种晶圆检测装置，包括检测镜头以及晶圆放置台，检测镜头位于晶圆放置台上方，所述晶圆放置台表面设置有负压吸孔用于吸附晶圆，所述晶圆放置台可沿轴心转动，还包括第一滑动基板和第二滑动基板，在第一滑动基板和第二滑动基板上均设置有滑轨以及丝杠模组，其中晶圆放置台位于第一滑动基板的轨道上且由该滑动基板上的丝杠模组带动沿轨道滑动；第一滑动基板位于第二滑动基板的轨道上且由第二滑动基板上的丝杠模组带动沿该轨道滑动。通过第一滑动基板、第二滑动基板配合相应的丝杠模组可以实现晶圆的双轴向移动，检测显微镜可以对晶圆的各个位置均进行检测。
Description
技术领域
本实用新型涉及晶圆检测技术领域，具体涉及一种晶圆检测装置。
背景技术
在半导体工艺中，光学检测方法由于具有不破坏晶圆表面的清洁度、可实时检测等优点成为最为常用的晶圆检测方法之一。通常用的光学检测方法是使用显微镜来探测晶圆表面颗粒的有无、是否有缺陷。而现有技术中一般采用移动显微镜的方式对晶圆进行检测，而显微镜的移动往往受限于设备结构，无法移动至晶圆指定位置。
实用新型内容
本实用新型要解决的技术问题是解决上述现有技术的不足，提供一种晶圆检测装置。
为了解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案为：一种晶圆检测装置，包括检测镜头以及晶圆放置台，检测镜头位于晶圆放置台上方，所述晶圆放置台表面设置有负压吸孔用于吸附晶圆，所述晶圆放置台可沿轴心转动，还包括第一滑动基板和第二滑动基板，在第一滑动基板和第二滑动基板上均设置有滑轨以及丝杠模组，其中晶圆放置台位于第一滑动基板的轨道上且由该滑动基板上的丝杠模组带动沿轨道滑动；第一滑动基板位于第二滑动基板的轨道上且由第二滑动基板上的丝杠模组带动沿该轨道滑动。
进一步的，还包括第三滑动基板，第三滑动基板上设置有滑动轨道以及丝杠模组，在第三滑动基板上还设置有一个滑板，滑板由丝杠模组带动水平滑动，在滑板上设置有倾斜的滑块，第二滑动基板底部设置有倾斜的滑槽，滑块与滑槽相配合，滑块在滑槽中滑动带动第二滑动基板上下移动。
进一步的，所述第二滑动基板底部设置有多个固定块，固定块一侧设置有竖直的滑块，另一侧设置有倾斜部用于安装倾斜的滑槽；在第三滑动基板上设置有竖直的固定板，该固定板设置有竖直的滑槽，固定块通过竖直的滑槽以及滑块与可固定板相对滑动。
进一步的，所述晶圆放置台表面设置有凹陷部用于晶圆载运工具插入。
从上述技术方案可以看出本实用新型具有以下优点：通过第一滑动基板、第二滑动基板配合相应的丝杠模组可以实现晶圆的双轴向移动，再配合第三滑动基板则又实现了晶圆的纵向移动。且晶圆放置台还可以沿轴向转动，因此检测显微镜可以对晶圆的各个位置均进行检测。提高检测效率。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意图；
图2为本实用新型的结构示意图。
具体实施方式
以下结合附图对本实用新型的具体实施方式做具体说明。
如图1和图2所示，本实用新型的晶圆检测装置包括检测镜头1以及晶圆放置台2，检测镜头位于晶圆放置台上方，所述晶圆放置台2表面设置有负压吸孔用于吸附晶圆，所述晶圆放置台2可沿轴心转动。本实用新型还包括第一滑动基板3和第二滑动基板5，在第一滑动基板3和第二滑动基板5上均设置有滑轨4以及丝杠模组6，其中晶圆放置台2位于第一滑动基板的轨道上且由该滑动基板上的丝杠模组带动沿轨道滑动；第一滑动基板3位于第二滑动基板5的轨道上且由第二滑动基板5上的丝杠模组带动沿该轨道滑动。
此外，本实用新型还设置了第三滑动基板7，第三滑动基板7上设置有滑动轨道以及丝杠模组，在第三滑动基板7上还设置有一个滑板8，滑板8由丝杠模组带动水平滑动，在滑板8上设置有倾斜的滑块11，第二滑动基板5底部设置有倾斜的滑槽10，滑块11与滑槽10相配合，滑块10在滑槽中滑动带动第二滑动基板5上下移动。具体的，第二滑动基板5底部设置有多个固定块9，固定块9一侧设置有竖直的滑块14，另一侧设置有倾斜部用于安装倾斜的滑槽10；在第三滑动基板7上设置有竖直的固定板12，该固定板设置有竖直的滑槽13，固定块9通过竖直的滑槽13以及滑块14与可固定板12相对滑动。
通过第一、第二以及第三滑动基板配合丝杠模组，实现了晶圆放置台的三轴向移，从而可以实现对晶圆表面所有区域的检测。
晶圆放置台设置有凹陷部用于晶圆载运工具插入，运载工具一般为扁平状的吸盘，吸盘插入凹陷部以后可以使晶圆与放置台表面恰好吻合。
Claims (4)
1.一种晶圆检测装置，包括检测镜头以及晶圆放置台，检测镜头位于晶圆放置台上方，所述晶圆放置台表面设置有负压吸孔用于吸附晶圆，所述晶圆放置台可沿轴心转动，其特征在于：还包括第一滑动基板和第二滑动基板，在第一滑动基板和第二滑动基板上均设置有滑轨以及丝杠模组，其中晶圆放置台位于第一滑动基板的轨道上且由该滑动基板上的丝杠模组带动沿轨道滑动；第一滑动基板位于第二滑动基板的轨道上且由第二滑动基板上的丝杠模组带动沿该轨道滑动。
2.根据权利要求1所述的晶圆检测装置，其特征在于：还包括第三滑动基板，第三滑动基板上设置有滑动轨道以及丝杠模组，在第三滑动基板上还设置有一个滑板，滑板由丝杠模组带动水平滑动，在滑板上设置有倾斜的滑块，第二滑动基板底部设置有倾斜的滑槽，滑块与滑槽相配合，滑块在滑槽中滑动带动第二滑动基板上下移动。
3.根据权利要求2所述的晶圆检测装置，其特征在于：所述第二滑动基板底部设置有多个固定块，固定块一侧设置有竖直的滑块，另一侧设置有倾斜部用于安装倾斜的滑槽；在第三滑动基板上设置有竖直的固定板，该固定板设置有竖直的滑槽，固定块通过竖直的滑槽以及滑块与可固定板相对滑动。
4.根据权利要求1、2或者3所述的晶圆检测装置，其特征在于：所述晶圆放置台表面设置有凹陷部用于晶圆载运工具插入。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201921164997.9U CN210775272U (zh) | 2019-07-23 | 2019-07-23 | 晶圆检测装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201921164997.9U CN210775272U (zh) | 2019-07-23 | 2019-07-23 | 晶圆检测装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN210775272U true CN210775272U (zh) | 2020-06-16 |
Family
ID=71033199
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201921164997.9U Active CN210775272U (zh) | 2019-07-23 | 2019-07-23 | 晶圆检测装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN210775272U (zh) |
-
2019
- 2019-07-23 CN CN201921164997.9U patent/CN210775272U/zh active Active
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Legal Events
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