CN107014826A - Cf基板微观检查机 - Google Patents

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    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
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    • G01N2021/9513—Liquid crystal panels

Abstract

本发明提供了一种CF基板微观检查机，所述检查机包括AOI自动光学检测仪、CF基板微观复核装置，所述CF基板微观复核装置包括摄像组件支架、至少四组摄像组件，每组摄像组件包括图像获取装置以及驱动图像获取装置水平移动的驱动机构，所述驱动机构固定在摄像组件支架上，每组摄像组件形成一个摄像区域；所述摄像组件支架固定在机架上，每个摄像区域分别对应CF基板上的至少一个基板单元，所述图像获取装置的镜头朝下，所述图像获取装置以及驱动机构与图像处理装置连接。与现有技术相比，实现每组摄像组件负责该区域内的缺陷拍照，缩短了每组摄像组件的行程，而且每组摄像组件之间互不干涉，提高了工作效率。

Description

CF基板微观检查机
技术领域
本发明涉及一种液晶面板生产技术，特别是一种用于检查CF基板表面的CF基板微观检查机。
背景技术
在面板制造中，生产效率几乎是公司的生命，生产效率不高不但利润低成本高，竞争力也会比业内其他企业弱很多，生产效率是非常关键的；而对于CF(color filter彩色滤光片、彩膜)基板的检查尤其重要，通过检查，能够避免因产品质量问题导致的报废的问题，通过CF基板微观检查机能够查找到CF基板表面的膜层缺陷，目前的CF基板围观检查机中所使用的拍照单元目前的镜头位置为设置在CF基板的相对两侧，使用了两组摄像头进行缺陷位置的拍照由于两组摄像头的行程较长，在对缺陷进行拍照时存在大量的空运转时间，导致拍照数量较少，耗时较长。
发明内容
为克服现有技术的不足，本发明提供一种CF基板微观检查机，从而节省拍照时间，提高工作效率。
本发明提供了一种CF基板微观检查机，所述检查机包括AOI自动光学检测仪，该AOI自动光学检测仪包括机架、设于机架上的光源、位于光源上方的扫描单元以及与扫描单元连接的图像处理装置，所述检查机还包括CF基板微观复核装置，所述CF基板微观复核装置包括摄像组件支架、至少四组摄像组件，每组摄像组件包括图像获取装置以及驱动图像获取装置水平移动的驱动机构，所述驱动机构固定在摄像组件支架上，每组摄像组件形成一个摄像区域；所述摄像组件支架固定在机架上，每个摄像区域分别对应CF基板上的至少一个基板单元，所述图像获取装置的镜头朝下，所述图像获取装置以及驱动机构与图像处理装置连接。
进一步地，所述扫描单元设于CF基板微观复核装置上方。
进一步地，所述摄像组件阵列排布。
进一步地，所述摄像组件矩形阵列排布。
进一步地，所述驱动机构包括X轴行走装置以及Y轴行走装置，所述Y轴行走装置固定在摄像组件支架上，所述X轴行走装置与Y轴行走装置连接，实现Y轴行走装置驱动X轴行走装置沿Y轴方向水平移动，图像获取装置固定在X轴行走装置上，实现X轴行走装置驱动图像获取装置沿X轴方向水平移动。
进一步地，所述驱动机构包括X轴行走装置以及Y轴行走装置，所述X轴行走装置固定在摄像组件支架上，所述Y轴行走装置与X轴行走装置连接，实现X轴行走装置驱动Y轴行走装置沿X轴方向水平移动，图像获取装置固定在Y轴行走装置上，实现Y轴行走装置驱动图像获取装置沿Y轴方向水平移动。
进一步地，所述X轴行走装置和Y轴行走装置采用光栅尺或电动滑台。
进一步地，所述驱动机构为电动十字滑台。
进一步地，所述图像获取装置为工业相机。
本发明与现有技术相比，通过设置至少四组摄像组件，每组摄像组件构成一个摄像区域9，从而实现每组摄像组件负责该区域内的缺陷拍照，缩短了每组摄像组件的行程，而且每组摄像组件之间互不干涉，提高了工作效率。
附图说明
图1是本发明的主视图；
图2是本发明CF基板微观复核装置的俯视图；
图3是本发明的一组摄像组件的结构示意图。
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本发明作进一步详细说明。
如图1和图2所示，本发明的一种CF基板微观检查机，所述检查机包括AOI自动光学检测仪，该AOI自动光学检测仪(AOI)采用现有技术中对玻璃基板进行检测的AOI检测仪，其主要包括机架5、设于机架5上的光源6、位于光源6上方的扫描单元7以及与扫描单元7连接的图像处理装置8，本发明中扫描单元7用于对CF基板的整体进行拍照并将拍照后的图片发送至图像处理装置8进行处理比对，查找到相应的缺陷位置并显示，所述检查机还包括CF基板微观复核装置，所述CF基板微观复核装置包括摄像组件支架2、至少四组摄像组件，每组摄像组件包括图像获取装置1以及驱动图像获取装置1水平移动的驱动机构，所述驱动机构固定在摄像组件支架2上，每组摄像组件形成一个摄像区域9；所述摄像组件支架2固定在机架5上，所述摄像区域9分别对应CF基板上的至少一个基板单元，所述图像获取装置1的镜头朝下，所述图像获取装置1以及驱动机构与图像处理装置8连接。
图像获取装置1用于根据图像处理装置8发送的坐标位置，通过驱动机构水平移动至坐标位置获取缺陷图像后发送至图像处理装置8并且驱动机构带动图像处理装置8回到初始位置处。
如图2所示，本发明的摄像组件阵列排布，具体为矩形阵列排布，图中的摄像组件设有四组，以两行两列的形式矩形阵列排布；图中摄像组件的设置数量仅为示例，本发明中摄像组件的设置数量并不限于此。
当摄像组件的数量为四组时，其图像获取装置1的设置位置如图所示，均在摄像区域9的相同一个角处，本发明还可以将四个摄像区域9共同组成直角坐标系，以四个摄像区域9相接的角作为原点(0，0)，四个图像获取装置1的初始位置分别位于直角坐标系的(750，-925)、(750，0)、(0，-925)、(0，0)四个坐标点上，通过图像处理装置8将缺陷位置的坐标分别发送至相应摄像区域9中的驱动机构，从而实现了摄像组件在各自的摄像区域9中进行缺陷图像的获取。
如图1所示，扫描单元7设于CF基板微观复核装置上方；扫描单元7可采用工业相机。
如图3所示，为本发明中驱动机构的结构示意图，驱动机构包括X轴行走装置3以及Y轴行走装置4，所述Y轴行走装置4固定在摄像组件支架2上，所述X轴行走装置3与Y轴行走装置4连接，实现Y轴行走装置4驱动X轴行走装置3沿Y轴方向水平移动，图像获取装置1固定在X轴行走装置3上，实现X轴行走装置3驱动图像获取装置1沿X轴方向水平移动；具体地，X轴行走装置3的导轨固定在Y轴行走装置4的滑块上，图像获取装置1固定在X轴行走装置3的滑块上。本发明中X轴、Y轴均基于CF基板表面的横向、纵向而言。
通过Y轴行走装置4驱动X轴行走装置3在Y轴方向移动，而X轴行走装置3驱动图像获取装置1在X轴方向移动。
当然也可以采用将X轴行走装置3与Y轴行走装置4互换，所述X轴行走装置3固定在摄像组件支架2上，所述Y轴行走装置4与X轴行走装置3连接，实现X轴行走装置3驱动Y轴行走装置4沿X轴方向水平移动，图像获取装置1固定在Y轴行走装置4上，实现Y轴行走装置4驱动图像获取装置1沿Y轴方向水平移动；具体地，Y轴行走装置4的导轨固定在X轴行走装置3的滑块上；图像获取装置1固定在Y轴行走装置4的滑块上。
通过X轴行走装置3驱动Y轴行走装置4在X轴方向移动，而Y轴行走装置4驱动图像获取装置1在Y轴方向移动。
如图2所示，初始化状态下，驱动机构均设于摄像区域9的左上方，从而使图像获取装置1能够位于直角坐标系的(750，-925)、(750，0)、(0，-925)、(0，0)四个坐标点上。
本发明中X轴行走装置3与Y轴行走装置4可采用光栅尺或电动滑台，也可以采用由两个电动滑台组合成的电动十字滑台，该种滑台实现了XY轴的移动。
通过图像处理装置8向光栅尺、电动滑台或十字滑台发送电信号，实现了光栅尺、电动滑台或十字滑台上的滑块的直线移动，从而进行XY轴的精确移动。
本发明中的图像获取装置1中的镜头均使用通过改变内部光通路而改变放大倍率的镜头，避免了使用转盘式镜头切换镜头时浪费的时间。而且每个图像获取装置1分别负责一个摄像区域9中的拍照功能。在AOI扫描完成后将缺陷的坐标传输给CF基板微观复核装置，四个图像获取装置1通过坐标识别缺陷坐标后对相应的缺陷进行拍照工作。如果四个摄像区域9内同时有需要拍照的缺陷则四个图像获取装置1同时移动进行拍照，任何一个图像获取装置1在完成相应的拍照作业后退回到起始位置。如果四个摄像区域9内只有三个、两个或者一个需要拍照工作，则需要拍照的图像获取装置1移动拍照，不需要的则待在起始位置不动。同样，任何一个镜头在完成相应拍照作业后退回到起始位置。
通过上述方式能够提高CF基板微观复核装置的拍照能力，提升产能，为后续制程以及缺陷分析提供有力证据。
虽然已经参照特定实施例示出并描述了本发明，但是本领域的技术人员将理解：在不脱离由权利要求及其等同物限定的本发明的精神和范围的情况下，可在此进行形式和细节上的各种变化。

Claims (9)

1.一种CF基板微观检查机，所述检查机包括AOI自动光学检测仪，该AOI自动光学检测仪包括机架(5)、设于机架(5)上的光源(6)、位于光源(6)上方的扫描单元(7)以及与扫描单元(7)连接的图像处理装置(8)，其特征在于：所述检查机还包括CF基板微观复核装置，所述CF基板微观复核装置包括摄像组件支架(2)、至少四组摄像组件，每组摄像组件包括图像获取装置(1)以及驱动图像获取装置(1)水平移动的驱动机构，所述驱动机构固定在摄像组件支架(2)上，每组摄像组件形成一个摄像区域(9)；所述摄像组件支架(2)固定在机架(5)上，每个摄像区域(9)分别对应CF基板上的至少一个基板单元，所述图像获取装置(1)的镜头朝下，所述图像获取装置(1)以及驱动机构与图像处理装置(8)连接。
2.根据权利要求1所述的CF基板微观检查机，其特征在于：所述扫描单元(7)设于CF基板微观复核装置上方。
3.根据权利要求1或2任意一项所述的CF基板微观检查机，其特征在于：所述摄像组件阵列排布。
4.根据权利要求3所述的CF基板微观检查机，其特征在于：所述摄像组件矩形阵列排布。
5.根据权利要求1所述的CF基板微观检查机，其特征在于：所述驱动机构包括X轴行走装置(3)以及Y轴行走装置(4)，所述Y轴行走装置(4)固定在摄像组件支架(2)上，所述X轴行走装置(3)与Y轴行走装置(4)连接，实现Y轴行走装置(4)驱动X轴行走装置(3)沿Y轴方向水平移动，图像获取装置(1)固定在X轴行走装置(3)上，实现X轴行走装置(3)驱动图像获取装置(1)沿X轴方向水平移动。
6.根据权利要求1所述的CF基板微观检查机，其特征在于：所述驱动机构包括X轴行走装置(3)以及Y轴行走装置(4)，所述X轴行走装置(3)固定在摄像组件支架(2)上，所述Y轴行走装置(4)与X轴行走装置(3)连接，实现X轴行走装置(3)驱动Y轴行走装置(4)沿X轴方向水平移动，图像获取装置(1)固定在Y轴行走装置(4)上，实现Y轴行走装置(4)驱动图像获取装置(1)沿Y轴方向水平移动。
7.根据权利要求5或6所述的CF基板微观检查机，其特征在于：所述X轴行走装置(3)和Y轴行走装置(4)采用光栅尺或电动滑台。
8.根据权利要求1或2所述的CF基板微观检查机，其特征在于：所述驱动机构为电动十字滑台。
9.根据权利要求1所述的CF基板微观检查机，其特征在于：所述图像获取装置(1)为工业相机。
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