CN114916100A - 陶瓷加热器 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及一种陶瓷加热器，其防止在制造时、使用时在陶瓷基体上产生裂纹。本发明的陶瓷加热器，具备埋设于陶瓷基体的内周侧区域的内周侧电阻发热体、埋设于陶瓷基体的外周侧区域的外周侧电阻发热体、对外周侧电阻发热体供电的外周侧供电端子、以及连接外周侧电阻发热体和外周侧供电端子的金属网制的跳线(36a、36b、37a、37b、38a、38b)。跳线(36a等)埋设于与设置有内周侧电阻发热体的平面、设置有外周侧电阻发热体的平面不同的跳线埋设面。跳线(36a等)由将跳线埋设面的金属网圆板分割成多个而成的网状电极构成。
Description
技术领域
本发明涉及一种陶瓷加热器。
背景技术
以往，公知有内周侧电阻发热体和外周侧电阻发热体存在于陶瓷基体的同一平面的陶瓷加热器。例如，在专利文献1中公开了：在这样的陶瓷加热器中，外周侧电阻发热体的一端经由设置于陶瓷基体的另外的平面上并与内周侧电阻发热体立体交叉的第一导电面而与一对外周侧供电端子的一个连接，外周侧电阻发热体的另一端经由设置于陶瓷基体的另外的平面上并与内周侧电阻发热体立体交叉的第二导电面而与一对外周侧供电端子的另一个连接。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开2015-18704号公报
发明内容
发明所要解决的课题
然而，由于第一和第二导电面由面构成，因此在陶瓷加热器的制造时、使用时有可能产生裂纹。
本发明是为了解决这样的课题而完成的，其主要目的在于，在内周侧电阻发热体和外周侧电阻发热体存在于陶瓷基体的同一平面的陶瓷加热器中，防止在制造时、使用时在陶瓷基体上产生裂纹。
用于解决课题的手段
本发明的陶瓷加热器为具备埋设于陶瓷基体的内周侧区域的内周侧电阻发热体和埋设于所述陶瓷基体的外周侧区域的外周侧电阻发热体的陶瓷加热器，所述陶瓷加热器具备：
外周侧供电端子，其设置在所述陶瓷基体的中央区域并向所述外周侧电阻发热体供电，以及
金属网制的跳线，其将所述外周侧电阻发热体与所述外周侧供电端子连接，并埋设于与设置有所述内周侧电阻发热体的平面和设置有所述外周侧电阻发热体的平面不同的跳线埋设面；
所述跳线由将所述跳线埋设面上的金属网圆板分割成多个而成的网状电极构成。
在该陶瓷加热器中，由于跳线为金属网制，因此与跳线为一致的金属面的情况相比，跳线也容易配合陶瓷基体的伸缩而伸缩。另外，由于陶瓷进入到跳线的网的间隙，因此与跳线为一致的金属面的情况相比，跳线的热膨胀系数接近于陶瓷基体。跳线由将跳线埋设面上的金属网圆板分割成多个而成的网状电极构成，因此跳线埋设面基本被网状电极覆盖。由此，即使在陶瓷加热器的制造时、使用时对陶瓷加热器进行加热或冷却，也难以在陶瓷基体产生裂纹。
本发明的陶瓷加热器也可以是，所述跳线与所述外周侧电阻发热体经由金属制的连接构件而连接，所述连接构件的形状也可以是与所述跳线相接的面的面积比与所述外周侧电阻发热体相接的面的面积大的形状。这样，在该陶瓷加热器的制法中，即使包含通过磨削加工使埋入陶瓷基体(或其前体)的连接构件中的与连接于跳线的面相反侧的面露出的工序，也能够防止在该工序中连接构件从陶瓷基体(或其前体)脱落。即，即使在这样的磨削加工中对连接构件施加负荷，由于连接构件的侧面卡挂于周围的陶瓷基体(或其前体)，因此难以脱落。在该情况下，该所述连接构件也可以是金属网多层层叠而形成的构件。
本发明的陶瓷加热器也可以是，所述跳线与所述外周侧电阻发热体经由金属网制的连接构件连接。这样，在陶瓷加热器的制造时和使用时，由于连接构件为金属网制因而容易伸缩，由于陶瓷进入网的间隙，因此热膨胀系数接近于陶瓷基体。因此，陶瓷基体不易产生裂纹。
在本发明的陶瓷加热器中，所述内周侧区域也可以是与所述陶瓷基体呈同心圆状的圆形区域，所述外周侧区域也可以是所述圆形区域的外侧的环状区域，所述外周侧电阻发热体也可以设置于将所述环状区域分割为多个而成的分割区域的每一个、或者在所述环状区域设置1个，所述跳线相对于所述外周侧电阻发热体的每一个以成对的方式设置。在该情况下，所述外周侧区域可以将所述环状区域分割成同心圆，也可以将所述环状区域用半径方向的线段分割，也可以将所述环状区域分割成同心圆并且用半径方向的线段进行分割。
在本发明的陶瓷加热器中，所述网状电极彼此的间隔也可以为3mm以上且5mm以下。如果该间隔为3mm以上，则能够充分确保相互的网状电极的绝缘，因此优选。如果该间隔为5mm以下，则不存在网状电极的区域变小，在防止裂纹这一点上是有利的，因此优选。
在本发明的陶瓷加热器中，也可以是，所述网状电极的外缘位于比所述外周侧电阻发热体的最外缘靠内侧的位置，所述网状电极与所述外周侧电阻发热体重叠2mm以上。这样，容易确保基于连接构件的外周侧电阻发热体与网状电极的电连接。另外，若重叠3mm以上，则连接部分的面积变大，因此能够抑制连接部分的发热。
在本发明的陶瓷加热器中，也可以是，所述分割的网状电极中的至少1个是未与所述内周侧电阻发热体和所述外周侧电阻发热体电连接的虚设跳线。
附图说明
图1是陶瓷加热器10的俯视图。
图2是图1的A-A剖面图。
图3是图2的B-B剖面图。
图4是图2的C-C剖面图。
图5是表示陶瓷加热器10的制造方法的说明图。
图6是表示陶瓷加热器10的使用状态的说明图。
图7是陶瓷加热器110的横剖面图。
图8是陶瓷加热器210的横剖面图。
图9是连接构件118c的放大图。
图10是连接构件218c的放大图。
符号说明
10、110、210陶瓷加热器、11陶瓷基体、11a晶片载置面、11b冷却板接合面、12静电电极、15内周侧电阻发热体、15a、16a、17a、18a一端、15b、16b、17b、18b另一端、16第一外周侧电阻发热体、16c、16d、17c、17d、18c、18d、118c、218c连接构件、17第二外周侧电阻发热体、18第三外周侧电阻发热体、19外周侧电阻发热体、23a、23b、123虚设跳线、25a、25b内周侧供电端子、26a、26b第一外周侧供电端子、27a、27b第二外周侧供电端子、28a、28b第三外周侧供电端子、30冷却板、30a制冷剂通路、30b贯通孔、36a、36b、37a、37b、38a、38b、236a、236b、237a、237b、238a、238b跳线、41陶瓷烧成体、41a、41b、51a、51b主面、41c磨削面、51、61、62陶瓷成型体、60支撑台、65层叠体、66腔室、70制冷单元、80加热器电源、B1第一边界、B2第二边界、B3第三边界、M1、M2、M3、M4、M5、M6、M7金属网、P1平面、P2跳线埋设面、W晶片、Zin内周侧区域、Zout外周侧区域、Zout1第一分割区域、Zout2第二分割区域、Zout3第三分割区域。
具体实施方式
以下，参照附图对本发明的优选实施方式进行说明。图1是陶瓷加热器10的俯视图，图2是图1的A-A剖面图，图3是图2的B-B剖面图，图4是图2的C-C剖面图。需要说明的是，在图3和图4中，省略了陶瓷基体11的剖面线。另外，在本说明书中，“上”、“下”并不表示绝对的位置关系，而是表示相对的位置关系。因此，根据陶瓷加热器10的朝向，“上”、“下”成为“下”、“上”、或成为“左”、“右”、或成为“前”、“后”。
陶瓷加热器10具备陶瓷基体11、静电电极12、内周侧电阻发热体15以及外周侧电阻发热体19。
陶瓷基体11是由陶瓷(例如氧化铝陶瓷、氮化铝陶瓷)制成的圆盘状的构件。该陶瓷基体11的上表面是载置晶片W的晶片载置面11a，陶瓷基体11的下表面是与冷却板30(参照图6)接合的冷却板接合面11b。
静电电极12是金属网制的圆形构件。在该静电电极12上电连接有未图示的供电端子。供电端子从静电电极12的下表面经过陶瓷基体11后在电绝缘的状态下通过冷却板30(参照图6)向下方延伸出来。陶瓷基体11中的比静电电极12更靠近晶片载置面11a的部分作为电介质层发挥功能。
内周侧电阻发热体15埋设于陶瓷基体11的内周侧区域Zin。在此，内周侧区域Zin是指图3中的第一边界B1的内侧的圆形区域。第一边界B1与陶瓷基体11为同心圆，其直径比陶瓷基体11的直径小。该内周侧电阻发热体15以一笔画的要领以遍及内周侧区域Zin的整个区域的方式从一端15a配线至另一端15b。另外，内周侧电阻发热体15的一端15a和另一端15b分别与一个内周侧供电端子25a和另一个内周侧供电端子25b连接。一对内周侧供电端子25a、25b从陶瓷基体11的冷却板接合面11b向外部露出。当向一对内周侧供电端子25a、25b供给电力时，电流流过内周侧电阻发热体15，内周侧电阻发热体15发热。
外周侧电阻发热体19埋设于陶瓷基体11的外周侧区域Zout。在此，外周侧区域Zout是图3中的比第一边界B1靠外侧的环状区域。具体而言，在将比第一边界B1靠外侧且比第二边界B2靠内侧的环状区域设为第一分割区域Zout1、将比第二边界B2靠外侧且比第三边界B3靠内侧的环状区域设为第二分割区域Zout2、将比第三边界B3靠外侧的环状区域设为第三分割区域Zout3时，外周侧区域Zout是将第一～第三分割区域Zout1～Zout3合并而成的环状区域。第二边界B2与陶瓷基体11为同心圆，其直径比陶瓷基体11的直径小且比第一边界B1的直径大。第三边界B3与陶瓷基体11为同心圆，其直径比陶瓷基体11的直径小且比第二边界B2的直径大。外周侧电阻发热体19具备设置于第一分割区域Zout1的第一外周侧电阻发热体16、设置于第二分割区域Zout2的第二外周侧电阻发热体17以及设置于第三分割区域Zout3的第三外周侧电阻发热体18。第一外周侧电阻发热体16以一笔画的要领以遍及第一分割区域Zout1的整个区域的方式从一端16a配线至另一端16b，且在与内周侧电阻发热体15相同的平面P1上配线。第二外周侧电阻发热体17以一笔画的要领以遍及第二分割区域Zout2的整个区域的方式从一端17a配线至另一端17b且在平面P1上配线。第三外周侧电阻发热体18以一笔画的要领以遍及第三分割区域Zout3的整个区域的方式从一端18a配线至另一端18b且在平面P1上配线。
如图3所示，第一外周侧电阻发热体16的一端16a和另一端16b分别与在陶瓷基体11的厚度方向上延伸的一个连接构件16c和另一个连接构件16d连接。连接构件16c、16d在图3中从第一外周侧电阻发热体16向纸面上方设置，在图4中从跳线36a、36b向纸面下方设置。图2中示出另一个连接构件16d。另外，一对第一外周侧供电端子26a、26b设置为在内周侧区域Zin的中央区域在陶瓷基体11的厚度方向上延伸的形状，下端从陶瓷基体11的冷却板接合面11b向外部露出。图2示出了第一外周侧供电端子26b。一个跳线36a和另一个跳线36b以与内周侧电阻发热体15立体交叉的方式各自独立地埋设于与平面P1不同的跳线埋设面P2。图2示出了跳线36b。跳线36a、36b是Mo等的金属网制，在俯视时，是比具有陶瓷基体11的外周圆的半径的中心角45°的扇形稍小的形状。跳线埋设面P2位于平面P1与晶片载置面11a之间。而且，第一外周侧电阻发热体16的一端16a经由一个连接构件16c和一个跳线36a与第一外周侧供电端子26a连接，第一外周侧电阻发热体16的另一端16b经由另一个连接构件16d和另一个跳线36b与第一外周侧供电端子26b连接。因此，当向一对第一外周侧供电端子26a、26b供给电力时，电流流过第一外周侧电阻发热体16，第一外周侧电阻发热体16发热。
如图3所示，第二外周侧电阻发热体17的一端17a和另一端17b分别与在陶瓷基体11的厚度方向上延伸的一个连接构件17c和另一个连接构件17d连接。连接构件17c、17d在图3中从第二外周侧电阻发热体17向纸面上方设置，在图4中从跳线37a、37b向纸面下方设置。另外，一对第二外周侧供电端子27a、27b设置为在内周侧区域Zin的中央区域在陶瓷基体11的厚度方向上延伸的形状，下端从陶瓷基体11的冷却板接合面11b向外部露出。一个跳线37a和另一个跳线37b以与内周侧电阻发热体15立体交叉的方式各自独立地埋设于跳线埋设面P2。跳线37a、37b为Mo等的金属网制，与跳线36a、36b为相同形状。而且，第二外周侧电阻发热体17的一端17a经由一个连接构件17c和一个跳线37a与第二外周侧供电端子27a连接，第二外周侧电阻发热体17的另一端17b经由另一个连接构件17d和另一个跳线37b与第二外周侧供电端子27b连接。因此，当向一对第二外周侧供电端子27a、27b供给电力时，电流流过第二外周侧电阻发热体17，第二外周侧电阻发热体17发热。
如图3所示，第三外周侧电阻发热体18的一端18a和另一端18b分别与在陶瓷基体11的厚度方向上延伸的一个连接构件18c和另一个连接构件18d连接。连接构件18c、18d在图3中从第三外周侧电阻发热体18向纸面上方设置，在图4中从跳线38a、38b向纸面下方设置。图2中示出一个连接构件18c。另外，一对第三外周侧供电端子28a、28b设置为在内周侧区域Zin的中央区域在陶瓷基体11的厚度方向上延伸的形状，下端从陶瓷基体11的冷却板接合面11b向外部露出。图2示出了第三外周侧供电端子28a。一个跳线38a和另一个跳线38b以与内周侧电阻发热体15立体交叉的方式各自独立地埋设于跳线埋设面P2。图2示出了跳线38a。跳线38a、38b为Mo等的金属网制，且为与跳线36a、36b为相同形状。而且，第三外周侧电阻发热体18的一端18a经由一个连接构件18c和一个跳线38a与第三外周侧供电端子28a连接，第三外周侧电阻发热体18的另一端18b经由另一个连接构件18d和另一个跳线38b与第三外周侧供电端子28b连接。因此，当向一对第三外周侧供电端子28a、28b供给电力时，电流流过第三外周侧电阻发热体18，第三外周侧电阻发热体18发热。
内周侧电阻发热体15和第一～第三外周侧电阻发热体16～18是线圈形状、带状或网状，例如由以W、Mo、Ti、Si、Ni的单质或化合物(碳化物等)为主成分的材料、将它们组合而成的材料、或者它们与陶瓷基体11的原料的混合材料等制作。
跳线36a、36b、37a、37b、38a、38b由将覆盖跳线埋设面P2的大致整个面的金属网圆板分割成多个而成的网状电极构成。在本实施方式中，金属网圆板被半径方向的线段等分为8个扇形的网状电极。相邻的网状电极的间隔优选为3mm以上且5mm以下。所分割的8个网状电极中的6个是跳线36a、36b、37a、37b、38a、38b，剩余的2个是虚设跳线23a、23b。虚设跳线23a、23b与跳线为相同的材质，成为不与内周侧电阻发热体15电连接也不与外周侧电阻发热体19电连接的独立的电极。各网状电极的外缘优选位于比外周侧电阻发热体19的最外缘(即第三外周侧电阻发热体18的外缘)稍靠内侧的位置。在该情况下，优选各网状电极与第三外周侧电阻发热体18重叠2mm以上。
图2的放大图所示的连接构件18c是与跳线38a相接的面的面积比与第三外周侧电阻发热体18相接的面的面积大的形状。连接构件18c的形状优选为，将连接构件18c用与跳线埋设面P2平行的面切断时的截面积随着从跳线38a向第三外周侧电阻发热体18接近而变小的形状，例如，第三外周侧电阻发热体18侧的面比跳线38a侧的面小的圆锥台形状。连接构件18c例如是由在碳化钨中添加了钌合金(例如RuAl)的混合材料等制作的块体(块状体)。连接构件16c、16d、17c、17d、18d也与连接构件18c为相同的材料、相同的形状。
接着，对陶瓷加热器10的制造方法的一例进行说明。图5是表示陶瓷加热器10的制造方法的一例的说明图。图5(a)～(f)是用与图2同样的切断面切断时的剖面图，因此仅能看到各构件的一部分。
首先，如图5(a)所示，制作如下的圆盘状的陶瓷成型体51，该陶瓷成型体51具有2个主面51a、51b，在同一平面埋设跳线36a、36b、37a、37b、38a、38b及虚设跳线23a、23b，在使各连接构件16c、16d、17c、17d、18c、18d与各跳线36a、36b、37a、37b、38a、38b接触的状态下进行埋设。陶瓷成型体51例如通过模铸法制作。在此，“模铸法”是指，将包含陶瓷原料粉末和模制化剂的陶瓷浆料注入到成型模具内，在该成型模具内使模制化剂进行化学反应而使陶瓷浆料模制化，由此得到成型体的方法。作为模制化剂，例如，可以包含异氰酸酯和多元醇，通过氨基甲酸酯反应进行模制化。
接着，如图5(b)所示，一边在厚度方向上施加压力一边对陶瓷成型体51进行热压烧成，制作具有2个主面41a、41b的圆盘状的陶瓷烧成体41。接着，如图5(c)所示，对陶瓷烧成体41的主面41a进行磨削加工，以使各连接构件16c、16d、17c、17d、18c、18d中的与各跳线36a、36b、37a、37b、38a、38b连接的面相反侧的面露出，在陶瓷烧成体41上形成磨削面41c。即使在这样的磨削加工中对连接构件16c、16d、17c、17d、18c、18d施加了负荷，由于连接构件16c、16d、17c、17d、18c、18d的侧面卡挂于周围的陶瓷烧成体41(陶瓷基体11的前体)，因此难以脱落。
接着，如图5(d)所示，通过丝网印刷等在陶瓷烧成体41的磨削面41c形成内周侧电阻发热体15和第一～第三外周侧电阻发热体16～18。
接着，如图5(e)所示，在陶瓷成型体62的上表面配置静电电极12，在其上以形成有电阻发热体15～18的面朝上的方式配置陶瓷烧成体41，在其上配置陶瓷成型体61，由此制作层叠体65。陶瓷成型体61、62例如通过模铸法制作。
接着，如图5(f)所示，一边在厚度方向上施加压力一边对层叠体65进行热压烧成，制作陶瓷基体11。然后，在陶瓷基体11上适当地设置孔并安装各供电端子，由此得到陶瓷加热器10。
接着，对陶瓷加热器10的使用方法的一例进行说明。图6是表示陶瓷加热器10的使用状态的说明图。首先，在陶瓷加热器10的冷却板接合面11b侧安装冷却板30。冷却板接合面11b与冷却板30可以经由粘接剂粘接，也可以经由钎焊接合剂接合，也可以经由O形圈(外径比陶瓷基体11的直径稍小)安装，并在O形圈内的密闭空间填充导热气体。在冷却板30的内部形成有使制冷剂通过的制冷剂通路30a。在制冷剂通路30a连接制冷单元70。制冷单元70是使制冷剂在制冷剂通路30a中循环的单元。在冷却板30中的与内周侧供电端子25a、25b、第一～第三外周侧供电端子26a、26b、27a、27b、28a、28b相对的位置，分别以在厚度方向上贯通的方式设置有贯通孔30b。经由这些贯通孔30b，将内周侧供电端子25a、25b和第一～第三外周侧供电端子26a、26b、27a、27b、28a、28b与加热器电源80连接。加热器电源80能够独立地分别向内周侧电阻发热体15和第一～第三外周侧电阻发热体16～18供给电力。接着，在冷却板30的下表面安装管状的支撑台60。之后，将晶片W载置于安装有冷却板30和支撑台60的陶瓷加热器10的晶片载置面11a，并配置于腔室66的内部。在该状态下，将腔室66的内部空间设为真空。需要说明的是，支撑台60的内部空间与大气相通。接着，通过在静电电极12与晶片W之间施加电压而利用静电力将晶片W吸附于陶瓷基体11。然后，从加热器电源80分别向内周侧电阻发热体15和第一～第三外周侧电阻发热体16～18单独地供给电力，并且使制冷剂从制冷单元70向制冷剂通路30a循环。晶片W的温度通过内周侧电阻发热体15和第一～第三外周侧电阻发热体16～18而被加热，并且通过冷却板30进行调整以使得温度不会过度上升，因此能够维持在预定的温度。
根据以上详述的本实施方式的陶瓷加热器10，由于跳线36a、36b、37a、37b、38a、38b为金属网制，因此与跳线为一致的金属面的情况相比，跳线36a、36b、37a、37b、38a、38b也容易配合陶瓷基体11的伸缩而伸缩。另外，由于陶瓷进入跳线36a、36b、37a、37b、38a、38b的网的间隙，因此与跳线为一致的金属面的情况相比，跳线的热膨胀系数接近于陶瓷基体11。跳线36a、36b、37a、37b、38a、38b由将跳线埋设面P2上的金属网圆板分割成多个而成的网状电极构成，因此跳线埋设面P2基本被网状电极覆盖。由此，即使在陶瓷加热器10的制造时、使用时对陶瓷加热器10进行加热或冷却，也难以在陶瓷基体11上产生裂纹。
另外，如图2所示，连接构件16d的形状是与跳线36b相接的面的面积比与第一外周侧电阻发热体16的另一端16b相接的面的面积大的形状，连接构件18c的形状是与跳线38a相接的面的面积比与第三外周侧电阻发热体18的一端18a相接的面的面积大的形状。因此，在该陶瓷加热器10的制法中，在通过磨削加工使埋入陶瓷烧成体41的连接构件16d、18c中的与连接于跳线36b、38a的面相反侧的面露出的工序中，也能够防止在该工序中连接构件16d、18c从陶瓷烧成体41脱落。即，即使在这样的磨削加工中对连接构件16d、18c施加了负荷，由于连接构件16d、18c的侧面卡挂于周围的陶瓷烧成体41，因此也难以脱落。关于这一点，连接构件16c、17c、17d、18d也是同样的。
进一步，由于跳线埋设面P2的大致整个面基本被跳线36a、36b、37a、37b、38a、38b及虚设跳线23a、23b覆盖，因此，热在该跳线埋设面P2沿垂直方向传导时的导热率大致相同。因此，均热性提高。
另外进一步，构成跳线36a、36b、37a、37b、38a、38b的网状电极彼此的间隔优选为3mm以上且5mm以下。如果该间隔为3mm以上，则能够充分确保相互的网状电极的绝缘，因此优选。如果该间隔为5mm以下，则不存在网状电极的区域变小，在防止裂纹这一点上是有利的，因此优选。
而且另外，优选构成跳线38a、38b的网状电极与第三外周侧电阻发热体18重叠2mm以上。这样，容易确保基于连接构件18c、18d对跳线38a、38b与第三外周侧电阻发热体18的电连接。另外，若重叠3mm以上，则连接部分的面积变大，因此能够抑制连接部分的发热。这一点在跳线36a、36b和第一外周侧电阻发热体16、跳线37a、37b和第二外周侧电阻发热体17中也是同样的。
需要说明的是，本发明不受上述实施方式的任何限定，不言而喻，只要属于本发明的技术范围，就能够以各种方式实施。
例如，在上述的实施方式中，具备一对(2个)虚设跳线23a、23b(中心角约45°的扇形形状)，但虚设跳线的数量并不限定于2个。例如，如图7所示的陶瓷加热器110那样，在俯视时，也可以设置1个虚设跳线123(中心角约90°的扇形形状)。该虚设跳线123是消除了虚设跳线23a、23b的间隔而成为一体的形状。或者，也可以将虚设跳线123分割成3个以上。需要说明的是，图7是从上方观察将陶瓷加热器110的陶瓷基体11以穿过跳线36a、36b等的水平面切断时的剖面时的剖面图。另外，在图7中，对与上述的实施方式相同的构成要素标注相同的附图标记，并省略说明。
在上述的实施方式中，在跳线埋设面P2设置有虚设跳线23a、23b，但例如也可以如图8所示的陶瓷加热器210那样，不设置虚设跳线。图8是从上方观察将陶瓷加热器210的陶瓷基体11以穿过跳线236a、236b等的水平面切断时的剖面时的剖面图。另外，在图8中，对与上述的实施方式相同的构成要素标注相同的附图标记，并省略说明。在该情况下，跳线236a、236b、237a、237b、238a、238b由将覆盖跳线埋设面P2的大致整个面的金属网圆板分割成跳线总数(在此为6)的网状电极构成。
在上述的实施方式中，外周侧区域Zout被分割为第一～第三分割区域Zout1～Zout3，但并不限定于此。例如，外周侧区域Zout可以分割成2个分割区域，也可以分割成4个以上的分割区域。在该情况下，只要在每个分割区域设置外周侧电阻发热体，以1个外周侧电阻发热体对应1组跳线组的方式设置即可。另外，也可以不分割外周侧区域Zout。在该情况下，只要在外周侧区域Zout设置1个外周侧电阻发热体，以将1组跳线组与该外周侧电阻发热体对应的方式设置即可。
在上述实施方式中，使用块体(块状体)作为连接构件16c、16d、17c、17d、18c、18d，但并不限定于此。例如，如图9所示，也可以代替连接构件18c，使用直径互不相同的多片(在此为6片)金属网M1～M6从跳线埋设面P2侧按照直径从大到小的顺序层叠而形成的连接构件118c。在图9中，对与上述的实施方式相同的构成要素标注相同的附图标记并省略说明。其他连接构件16c、16d、17c、17d、18d也可以是与连接构件118c相同的结构。另外，如图10所示，也可以使用将直径彼此相等的圆状的金属网M7层叠多层(在此为6层)而形成的连接构件218c。在图10中，对与上述的实施方式相同的构成要素标注相同的附图标记并省略说明。其他连接构件16c、16d、17c、17d、18d也可以是与连接构件218c相同的结构。若采用这样的连接构件118c、218c，则在陶瓷加热器的制造时和使用时，由于连接构件118c、218c是金属网制，因此容易伸缩，由于陶瓷进入网的间隙，因此热膨胀系数接近于陶瓷基体11。另外，如果将连接构件118c、218c的周围用网形成为锯齿状，则相对于陶瓷基体11成为锚。
在上述的实施方式中，除了静电电极12、内周侧电阻发热体15以及外周侧电阻发热体19以外，还可以在陶瓷基体11中埋设RF电极。RF电极是用于产生等离子体时的电极。或者，也可以不埋设静电电极12。
在上述的实施方式中，内周侧电阻发热体15以及第一～第三外周侧电阻发热体16～18埋设于同一平面P1，但并不限定于此。例如，内周侧电阻发热体15和第一～第三外周侧电阻发热体16～18也可以埋设于不同的平面。
在上述的实施方式中，跳线36a、36b、37a、37b、38a、38b是将覆盖跳线埋设面P2的大致整个面的金属网圆板等分地分割而成的网状电极，但并不特别限定于此。例如，跳线36a、36b、37a、37b、38a、38b也可以是将金属网圆板不等分地分割而成的网状电极。
Claims (7)
1.一种陶瓷加热器，其为具备埋设于陶瓷基体的内周侧区域的内周侧电阻发热体和埋设于所述陶瓷基体的外周侧区域的外周侧电阻发热体的陶瓷加热器，所述陶瓷加热器具备：
外周侧供电端子，其设置在所述陶瓷基体的中央区域并向所述外周侧电阻发热体供电，以及
金属网制的跳线，其将所述外周侧电阻发热体与所述外周侧供电端子连接，并埋设于与设置有所述内周侧电阻发热体的平面和设置有所述外周侧电阻发热体的平面不同的跳线埋设面；
所述跳线由将所述跳线埋设面上的金属网圆板分割成多个而成的网状电极构成。
2.根据权利要求1所述的陶瓷加热器，其中，所述跳线与所述外周侧电阻发热体经由金属制的连接构件连接，所述连接构件的形状是与所述跳线相接的面的面积比与所述外周侧电阻发热体相接的面的面积大的形状。
3.根据权利要求1所述的陶瓷加热器，其中，所述跳线与所述外周侧电阻发热体经由金属网制的连接构件连接。
4.根据权利要求1～3中任一项所述的陶瓷加热器，其中，所述内周侧区域是与所述陶瓷基体呈同心圆状的圆形区域，
所述外周侧区域是所述圆形区域的外侧的环状区域，
所述外周侧电阻发热体设置于将所述环状区域分割为多个而成的分割区域的每一个，或者在所述环状区域设置1个，
所述跳线相对于所述外周侧电阻发热体的每一个以成对的方式设置。
5.根据权利要求1至4中任一项所述的陶瓷加热器，其中，所述网状电极彼此的间隔为3mm以上且5mm以下。
6.根据权利要求1至5中任一项所述的陶瓷加热器，其中，所述网状电极的外缘位于比所述外周侧电阻发热体的最外缘靠内侧的位置，所述网状电极与所述外周侧电阻发热体重叠2mm以上。
7.根据权利要求1～6中任一项所述的陶瓷加热器，其中，所述分割的网状电极的至少1个是未与所述内周侧电阻发热体和所述外周侧电阻发热体电连接的虚设跳线。
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