CN114769328A - 一种多层复合铜箔生产用表面压平设备 - Google Patents

Abstract

本发明属于铜箔生产技术领域，尤其涉及一种多层复合铜箔生产用表面压平设备，包括支架总成，支架总成的进料端输送有至少三层金属材料，支架总成的进料端连接有清洁金属材料的第一清洁机构，支架总成的中端连接引导金属材料的导向机构，支架总成的出料端连接有压平机构；导向机构包括靠近第一清洁机构设置的第一导向单元、靠近压平机构设置的第二导向单元，第二导向单元用来对金属材料进行初步层压，第一导向单元与第二导向单元分别连接有第二清洁机构；压平机构包括用来减少空气密度的负压单元、用来压平金属材料的调温层压单元。本发明可以将轧制与压平有效结合，使复合铜箔的层压强度和平整度得到有效提升。

Description

一种多层复合铜箔生产用表面压平设备

技术领域

本发明属于铜箔生产技术领域，尤其涉及一种多层复合铜箔生产用表面压平设备。

背景技术

随着微电子领域、微成形制造领域的快速发展，人们对极薄层状材料的需求逐渐增大，复合铜箔得到广泛应用；在进行复合时，轧制复合法是一种常见的制备复合材料的方法，其主要包括热轧复合法和冷轧复合法，在生产效率、材料利用率以及连续化和自动化程度方面都具有较好的优势。复合铜箔一般是多层金属材料在轧制后进行压平，导致工序复杂，又由于基层金属材料与复层金属材料厚度为微米级，轧制之前，如果清理不彻底，层与层之间存在空气，那么轧制后必定会出现起浪、破损、起泡、扭曲、起拱等很多缺陷，导致轧制后的复合铜箔质量和复合强度受到影响，难以获得平整光滑的高表面质量复合铜箔，在未保证复合质量的前提下，即使通过压平工序，也难以长久保持复合铜箔的平整和强度，因此亟需一种能够保证轧制的同时进行压平的多层复合铜箔生产用表面压平设备。

发明内容

本发明的目的是提供一种多层复合铜箔生产用表面压平设备，以解决上述问题，达到节省工序，提高压平质量的目的。

为实现上述目的，本发明提供了如下方案：一种多层复合铜箔生产用表面压平设备，包括支架总成，所述支架总成的进料端输送有至少三层金属材料，所述支架总成的进料端连接有清洁所述金属材料的第一清洁机构，所述支架总成的中端连接引导所述金属材料的导向机构，所述支架总成的出料端连接有压平机构；

所述导向机构包括靠近所述第一清洁机构设置的第一导向单元、靠近所述压平机构设置的第二导向单元，所述第二导向单元用来对所述金属材料进行初步层压，所述第一导向单元与所述第二导向单元分别连接有第二清洁机构；

所述压平机构包括用来减少空气密度的负压单元、用来压平所述金属材料的调温层压单元。

优选的，所述第一清洁机构包括若干组固定块，若干所述固定块分别固定连接在所述支架总成的进料端，两组相对设置的所述固定块之间转动连接有清洁其中一层所述金属材料的两组清洁辊，两组所述清洁辊分别位于所述金属材料两侧，两组所述清洁辊之间设置有适应所述金属材料厚度的第一调节单元。

优选的，所述第一调节单元包括两组相互铰接的第一连杆与第二连杆，所述第一连杆与所述第二连杆的中端分别铰接在所述支架总成上，所述第一连杆与所述第二连杆的一端分别铰接在两组所述清洁辊相邻的一端，所述固定块上开设有两组竖直设置的腰形过孔，所述第一连杆与所述第二连杆的一端穿过分别穿过两组腰形过孔，所述第一连杆与所述第二连杆的另一端之间设置有调节两组所述清洁辊间隙的调节组件。

优选的，所述调节组件包括两组第一调节块以及位于两组所述第一调节块之间的滑轨，两组所述第一调节块分别铰接在第一连杆与所述第二连杆远离所述固定块的一端，所述滑轨固定连接在所述支架总成上，所述滑轨内侧水平滑动连接有双向丝杆的中端，两组所述第一调节块分别螺纹套接在所述双向丝杆的两端。

优选的，所述第一导向单元包括转动连接在所述支架总成上的两组第一导辊，位于两侧的所述金属材料分别绕接在两组所述第一导辊的相离侧；

所述第二导向单元包括转动连接在所述支架总成上的两组第二导辊，位于两侧的所述金属材料分别绕接在两组所述第二导辊的相对侧；

两组所述第二清洁机构分别所述第一导辊与所述第二导辊外侧且结构相同。

优选的，所述第二清洁机构包括清洁壳体，所述清洁壳体固定连接在所述支架总成上，所述清洁壳体内转动连接有带有空隙的清洁套筒，所述清洁套筒的内侧间隔设置有固定轴，所述固定轴的两端穿过所述清洁壳体与所述支架总成固定连接，所述固定轴内侧开设有负压腔，所述负压腔内连通有第一真空负压机，所述负压腔靠近所述第一导辊或所述第二导辊的一侧开设有负压口，所述清洁套筒通过第一伺服电机驱动，所述清洁套筒的外表面与所述第一导辊或所述第二导辊的外侧接触设置。

优选的，所述调温层压单元包括固定连接在所述支架总成上方的两组固定支架，两组所述固定支架之间转动连接有两组压辊，两组所述压辊内连通有热源或冷源，两组所述压辊的两端穿过两组所述固定支架且与两组所述固定支架之间分别设置有第二调节单元；

所述负压单元包括固定连接在两组所述固定支架之间的负压壳体，所述负压壳体的进、出端连接有第一密封组件，两组所述压辊的两端与两组所述固定支架之间分别设置有第二密封组件，两组所述压辊位于所述负压壳体内，所述负压壳体内侧通过负压连接口连通有第二真空负压机。

优选的，所述第二调节单元包括滑块，所述滑块竖直滑动连接在所述固定支架上，所述压辊的端部转动连接在所述滑块的过孔内侧，所述滑块与所述固定支架之间固定连接有弹簧，所述固定支架远离所述压辊的一侧转动连接有齿轮，所述齿轮远离所述固定支架的一侧固定连接有偏心轮，所述偏心轮的边部与所述滑块的一端抵接设置，所述齿轮通过固定连接在所述固定支架上的第二伺服电机驱动。

优选的，所述第一密封组件包括固定连接在所述负压壳体外侧的过滤壳体，所述过滤壳体内设置有滤纸与海绵，所述金属材料穿过所述过滤壳体、滤纸和所述海绵，所述海绵内固定连接有若干密封条，若干所述密封条远离所述海绵的一端分别与所述金属材料接触设置，所述过滤壳体外侧壁开设有与所述滤纸对应的若干透气孔，若干所述密封条靠近所述金属材料的一端向远离所述负压壳体的一侧倾斜。

优选的，所述第二密封组件包括密封槽，所述密封槽开设在负压壳体内，所述密封槽内滑动连接有密封板，所述压辊沿轴心固定贯穿有辊轴，所述辊轴的一端固定贯穿所述密封板。

本发明具有如下技术效果：第一清洁机构的主要作用是去除所有金属材料表面的杂质；导向机构的主要作用是改变两侧的金属材料的输送方向，具体的，第一导向单元和第二导向单元的主要作用是将所有的金属材料从分离状态进行初步层压，第二清洁机构的主要作用是清洁第一导向单元和第二导向单元表面的杂质；在初步层压之前，经过第一清洁机构与第二导向单元的清洁作用，减少了复合铜箔中的杂质含量，有效提升和保证了复合铜箔的压平质量和强度；负压装置的主要作用是将进行初步层压后的复合铜箔中的空气抽出，减少复合铜箔中的空气含量，再加上调温层压单元的温度调节，一方面可以减少复合铜箔中的杂质，从而克服因杂质影响复合铜箔平整度的不足，另一方面可以保证复合铜箔的层压强度，得到层压后便可以直接使用的平整的复合铜箔；达到了将轧制与压平有效结合的目的。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本发明压平设备主视方向示意图；

图2为本发明压平设备俯视方向示意图；

图3为本发明第一清洁机构主视方向示意图；

图4为本发明第二清洁机构主视方向剖视示意图；

图5为本发明压平机构主视方向示意图；

图6为本发明压平机构主视方向剖视示意图；

图7为本发明第一密封组件主视方向剖视示意图；

图8为本发明第二密封组件右视方向剖视示意图；

图9为图2中A的局部放大图；

其中，1、支架总成；2、基层金属材料；3、复层金属材料；4、固定块；5、腰形过孔；6、第一连杆；7、第二连杆；8、双向丝杆；9、第一调节块；10、第二调节块；11、滑轨；12、第一导辊；13、第一伺服电机；14、第二导辊；15、负压壳体；16、第二伺服电机；17、齿轮；18、顶杆；19、滑块；20、过滤壳体；21、第二伺服电机；22、清洁辊；23、偏心轮；24、负压口；25、导向柱；26、固定支架；27、过孔；28、负压连接口；29、调节块；30、清洁壳体；31、清洁套筒；32、固定轴；33、负压腔；34、压辊；35、海绵；36、滤纸；37、密封条；38、辊轴；39、密封板；40、密封槽；41、皮带。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

为使本发明的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图和具体实施方式对本发明作进一步详细的说明。

参照图1-9所示，本发明提供了一种多层复合铜箔生产用表面压平设备，包括支架总成1，支架总成1的进料端输送有三层金属材料，三层金属材料包括复层金属材料3以及位于复层金属材料3两侧的基层金属材料2，支架总成1的进料端连接有清洁金属材料的第一清洁机构，支架总成1的中端连接引导金属材料的导向机构，支架总成1的出料端连接有压平机构；

导向机构包括靠近第一清洁机构设置的第一导向单元、靠近压平机构设置的第二导向单元，第二导向单元用来对金属材料进行初步层压，第一导向单元与第二导向单元分别连接有第二清洁机构；

压平机构包括用来减少空气密度的负压单元、用来压平金属材料的调温层压单元。

第一清洁机构的主要作用是去除所有金属材料表面的杂质；导向机构的主要作用是改变两侧的金属材料的输送方向，具体的，第一导向单元和第二导向单元的主要作用是将所有的金属材料从分离状态进行初步层压，第二清洁机构的主要作用是清洁第一导向单元和第二导向单元表面的杂质；在初步层压之前，经过第一清洁机构与第二导向单元的清洁作用，减少了复合铜箔中的杂质含量，有效提升和保证了复合铜箔的压平质量和强度；负压装置的主要作用是将进行初步层压后的复合铜箔中的空气抽出，减少复合铜箔中的空气含量，再加上调温层压单元的温度调节，一方面可以减少复合铜箔中的杂质，从而克服因杂质影响复合铜箔平整度的不足，另一方面可以保证复合铜箔的层压强度，得到层压后便可以直接使用的平整的复合铜箔；达到了将轧制与压平有效结合的目的。

进一步优化方案，第一清洁机构包括若干组固定块4，若干固定块4分别固定连接在支架总成1的进料端，两组相对设置的固定块4之间转动连接有清洁其中一层金属材料的两组清洁辊22，两组清洁辊22分别位于金属材料两侧，两组清洁辊22之间设置有适应金属材料厚度的第一调节单元。

清洁辊22表面覆盖具有一定粘性或吸附性材料，与金属材料之间产生摩擦力，各层金属材料在传输过程转中，带动两组清洁辊22转动，在两组清洁辊22的共同作用下，保证各层金属材料表面的清洁度；第一调节单元一方面可以根据不同的金属层厚度调节两组清洁辊22之间的间隙，另一方面可以调节两组清洁辊22对金属层的贴合力度，从而实现彻底清洁杂质的效果。

进一步优化方案，第一调节单元包括两组相互铰接的第一连杆6与第二连杆7，第一连杆6与第二连杆7的中端分别铰接在支架总成1上，第一连杆6与第二连杆7的一端分别铰接在两组清洁辊22相邻的一端，固定块4上开设有两组竖直设置的腰形过孔5，第一连杆6与第二连杆7的一端穿过分别穿过两组腰形过孔5，第一连杆6与第二连杆7的另一端之间设置有调节两组清洁辊22间隙的调节组件。

通过调节组件，可以调整第一连杆6与第二连杆7之间的夹角，使两组清洁辊22的端部在腰形过孔5内进行移动，从而实现了彻底清洁杂质的目的。

进一步优化方案，调节组件包括两组第一调节块9以及位于两组第一调节块9之间的滑轨11，两组第一调节块9分别铰接在第一连杆6与第二连杆7远离固定块4的一端，滑轨11固定连接在支架总成1上，滑轨11内侧水平滑动连接有第二调节块10，第二调节块10内侧转动套接有双向丝杆8的中端，两组第一调节块9分别螺纹套接在双向丝杆8的两端，双向丝杆8的底端固定连接有调节块29。

通过转动调节块29，带动双向丝杆8转动，从而实现两组第一调节块9向第二调节块10靠近或远离，从而推动或牵引第二调节块10在滑轨11内侧滑动，从而实现了调节金属层厚度调节两组清洁辊22之间的间隙，调节两组清洁辊22对金属层的贴合力度，达到彻底清洁杂质的目的。

进一步优化方案，第一导向单元包括转动连接在支架总成1上的两组第一导辊12，位于两侧的金属材料分别绕接在两组第一导辊12的相离侧；

第二导向单元包括转动连接在支架总成1上的两组第二导辊14，位于两侧的金属材料分别绕接在两组第二导辊14的相对侧；

两组第二清洁机构分别第一导辊12与第二导辊14外侧且结构相同。

通过两组第二清洁机构，分别对两组第一导辊12与两组第二导辊14进行表面颗粒杂质进行清理，避免金属材料表面的金属颗粒脱落后附着在第一导辊12与第二导辊14表面，从而防止积累大量的颗粒物影响初步层压质量。

进一步优化方案，第二清洁机构包括清洁壳体30，清洁壳体30固定连接在支架总成1上，清洁壳体30内转动连接有带有空隙的清洁套筒31，清洁套筒31的内侧间隔设置有固定轴32，固定轴32的两端穿过清洁壳体30与支架总成1固定连接，固定轴32内侧开设有负压腔33，负压腔33内连通有第一真空负压机(图中未显示)，负压腔33靠近第一导辊12或第二导辊14的一侧开设有负压口24，清洁套筒31通过第一伺服电机13驱动，清洁套筒31的外表面与第一导辊12或第二导辊14的外侧接触设置，第一伺服电机13通过皮带41(图中未标记)清洁套筒31的端部传动。

启动第一伺服电机13，通过皮带41带动清洁套筒31转动，从而擦拭掉第一导辊12或第二导辊14表面的颗粒物，颗粒物通过空隙，被吸附至负压腔33内，从而达到了保证第一导辊12与第二导辊14表面洁净的目的。

进一步优化方案，调温层压单元包括固定连接在支架总成1上方的两组固定支架26，两组固定支架26之间转动连接有两组压辊34，两组压辊34内连通有热源或冷源(图中未显示)，两组压辊34的两端穿过两组固定支架26且与两组固定支架26之间分别设置有第二调节单元；

负压单元包括固定连接在两组固定支架26之间的负压壳体15，负压壳体15的进、出端连接有第一密封组件，两组压辊34的两端与两组固定支架26之间分别设置有第二密封组件，两组压辊34位于负压壳体15内，负压壳体15内侧通过负压连接口28连通有第二真空负压机(图中未显示)。

两组压辊34在层压各层金属材料前，在第一密封组件与第二密封组件的共同密封作用下，经过第二真空负压机抽真空，减少了负压壳体15内的空气含量，经过两组压辊34层压的同时，通过热源或冷源对压辊34进行温度调节，满足复合铜箔的层压条件，在保证各层金属材料表面清洁以及减少复合铜箔内空气含量的前提下，进行层压后的复合铜箔强度和平整度得到有效的提升，从而实现了将轧制与压平有效结合的效果。

进一步优化方案，第二调节单元包括滑块19，滑块19竖直滑动连接在固定支架26上，压辊34的端部转动连接在滑块19的过孔27内侧，滑块19与固定支架26之间固定连接有弹簧(图中未显示)，固定支架26远离压辊34的一侧转动连接有齿轮17，齿轮17远离固定支架26的一侧固定连接有偏心轮23，偏心轮23的边部与滑块19的一端抵接设置，齿轮17通过固定连接在固定支架26上的第二伺服电机16驱动。

初始状态，弹簧使滑块19为远离金属材料的位置，通过启动第二伺服电机16，驱动齿轮17与偏心轮23同步转动，使偏心轮23的边部推动滑块19靠近金属材料，随着偏心轮23的转动，使滑块19不断靠近金属材料，从而实现了使用不同复合铜箔厚度的效果。

进一步优化方案，第一密封组件包括固定连接在负压壳体15外侧的过滤壳体20，过滤壳体20内设置有滤纸36与海绵35，金属材料穿过过滤壳体20、滤纸36和海绵35，海绵35内固定连接有若干密封条37，若干密封条37远离海绵35的一端分别与金属材料接触设置，过滤壳体20外侧壁开设有与滤纸36对应的若干透气孔(图中未标记)，若干密封条37靠近金属材料的一端向远离负压壳体15的一侧倾斜。

初步层压的金属材料经过海绵35时，位于外侧的金属材料首先与若干密封条37接触，一方面可以达到清洁的效果，另一方面可以有效与金属材料表面形成相对密封状态；在抽负压时能够满足负压壳体15内相对负压状态，由于滤纸36为透气状态，金属材料为移动状态，该负压状态需要动态保持，从而保持负压壳体15内的洁净；滤纸36设置有一定厚度，能够保持一定的负压值；一方面减少复合铜箔内的空气和杂质含量，另一方面不影响复合铜箔的顺利输送。

进一步优化方案，第二密封组件包括密封槽40，密封槽40开设在负压壳体15内，密封槽40内滑动连接有密封板39，压辊34沿轴心固定贯穿有辊轴38，辊轴38的一端固定贯穿密封板39。

在两组压辊34调节距离的同时，通过密封板39的作用不影响负压壳体15内的负压条件。

进一步优化方案，滑块19的顶部固定连接有顶杆18的一端，顶杆18的另一端与偏心轮23的边部抵接设置，第二伺服电机16的旋转轴键连接有主动齿轮，主动齿轮与齿轮17啮合，滑块19的顶端和底端分别固定连接有导向柱25，两组导向柱25远离滑块19的一端分别竖直滑动连接在固定支架26内，弹簧固定连接在任一导向柱25与固定支架26之间。

当偏心轮23转动时，推动顶杆18的另一端，带动滑块19向金属材料靠近，从而带动两组压辊34向金属材料靠近，保证层压质量的同时适应不同厚度要求的复合铜箔。

基层金属材料2为铜箔层，复层金属材料3为铝层，但不限于铝层。

在本发明的描述中，需要理解的是，术语“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。

以上所述的实施例仅是对本发明的优选方式进行描述，并非对本发明的范围进行限定，在不脱离本发明设计精神的前提下，本领域普通技术人员对本发明的技术方案做出的各种变形和改进，均应落入本发明权利要求书确定的保护范围内。

Claims (10)

1.一种多层复合铜箔生产用表面压平设备，包括支架总成(1)，所述支架总成(1)的进料端输送有至少三层金属材料，其特征在于：所述支架总成(1)的进料端连接有清洁所述金属材料的第一清洁机构，所述支架总成(1)的中端连接引导所述金属材料的导向机构，所述支架总成(1)的出料端连接有压平机构；

所述导向机构包括靠近所述第一清洁机构设置的第一导向单元、靠近所述压平机构设置的第二导向单元，所述第二导向单元用来对所述金属材料进行初步层压，所述第一导向单元与所述第二导向单元分别连接有第二清洁机构；

所述压平机构包括用来减少空气密度的负压单元、用来压平所述金属材料的调温层压单元。

2.根据权利要求1所述的多层复合铜箔生产用表面压平设备，其特征在于：所述第一清洁机构包括若干组固定块(4)，若干所述固定块(4)分别固定连接在所述支架总成(1)的进料端，两组相对设置的所述固定块(4)之间转动连接有清洁其中一层所述金属材料的两组清洁辊(22)，两组所述清洁辊(22)分别位于所述金属材料两侧，两组所述清洁辊(22)之间设置有适应所述金属材料厚度的第一调节单元。

3.根据权利要求2所述的多层复合铜箔生产用表面压平设备，其特征在于：所述第一调节单元包括两组相互铰接的第一连杆(6)与第二连杆(7)，所述第一连杆(6)与所述第二连杆(7)的中端分别铰接在所述支架总成(1)上，所述第一连杆(6)与所述第二连杆(7)的一端分别铰接在两组所述清洁辊(22)相邻的一端，所述固定块(4)上开设有两组竖直设置的腰形过孔(5)，所述第一连杆(6)与所述第二连杆(7)的一端穿过分别穿过两组腰形过孔(5)，所述第一连杆(6)与所述第二连杆(7)的另一端之间设置有调节两组所述清洁辊(22)间隙的调节组件。

4.根据权利要求3所述的多层复合铜箔生产用表面压平设备，其特征在于：所述调节组件包括两组第一调节块(9)以及位于两组所述第一调节块(9)之间的滑轨(11)，两组所述第一调节块(9)分别铰接在第一连杆(6)与所述第二连杆(7)远离所述固定块(4)的一端，所述滑轨(11)固定连接在所述支架总成(1)上，所述滑轨(11)内侧水平滑动连接有双向丝杆(8)的中端，两组所述第一调节块(9)分别螺纹套接在所述双向丝杆(8)的两端。

5.根据权利要求1所述的多层复合铜箔生产用表面压平设备，其特征在于：所述第一导向单元包括转动连接在所述支架总成(1)上的两组第一导辊(12)，位于两侧的所述金属材料分别绕接在两组所述第一导辊(12)的相离侧；

所述第二导向单元包括转动连接在所述支架总成(1)上的两组第二导辊(14)，位于两侧的所述金属材料分别绕接在两组所述第二导辊(14)的相对侧；

两组所述第二清洁机构分别所述第一导辊(12)与所述第二导辊(14)外侧且结构相同。

6.根据权利要求5所述的多层复合铜箔生产用表面压平设备，其特征在于：所述第二清洁机构包括清洁壳体(30)，所述清洁壳体(30)固定连接在所述支架总成(1)上，所述清洁壳体(30)内转动连接有带有空隙的清洁套筒(31)，所述清洁套筒(31)的内侧间隔设置有固定轴(32)，所述固定轴(32)的两端穿过所述清洁壳体(30)与所述支架总成(1)固定连接，所述固定轴(32)内侧开设有负压腔(33)，所述负压腔(33)内连通有第一真空负压机，所述负压腔(33)靠近所述第一导辊(12)或所述第二导辊(14)的一侧开设有负压口(24)，所述清洁套筒(31)通过第一伺服电机(13)驱动，所述清洁套筒(31)的外表面与所述第一导辊(12)或所述第二导辊(14)的外侧接触设置。

7.根据权利要求1所述的多层复合铜箔生产用表面压平设备，其特征在于：所述调温层压单元包括固定连接在所述支架总成(1)上方的两组固定支架(26)，两组所述固定支架(26)之间转动连接有两组压辊(34)，两组所述压辊(34)内连通有热源或冷源，两组所述压辊(34)的两端穿过两组所述固定支架(26)且与两组所述固定支架(26)之间分别设置有第二调节单元；

所述负压单元包括固定连接在两组所述固定支架(26)之间的负压壳体(15)，所述负压壳体(15)的进、出端连接有第一密封组件，两组所述压辊(34)的两端与两组所述固定支架(26)之间分别设置有第二密封组件，两组所述压辊(34)位于所述负压壳体(15)内，所述负压壳体(15)内侧通过负压连接口(28)连通有第二真空负压机。

8.根据权利要求7所述的多层复合铜箔生产用表面压平设备，其特征在于：所述第二调节单元包括滑块(19)，所述滑块(19)竖直滑动连接在所述固定支架(26)上，所述压辊(34)的端部转动连接在所述滑块(19)的过孔(27)内侧，所述滑块(19)与所述固定支架(26)之间固定连接有弹簧，所述固定支架(26)远离所述压辊(34)的一侧转动连接有齿轮(17)，所述齿轮(17)远离所述固定支架(26)的一侧固定连接有偏心轮(23)，所述偏心轮(23)的边部与所述滑块(19)的一端抵接设置，所述齿轮(17)通过固定连接在所述固定支架(26)上的第二伺服电机(16)驱动。

9.根据权利要求7所述的多层复合铜箔生产用表面压平设备，其特征在于：所述第一密封组件包括固定连接在所述负压壳体(15)外侧的过滤壳体(20)，所述过滤壳体(20)内设置有滤纸(36)与海绵(35)，所述金属材料穿过所述过滤壳体(20)、滤纸(36)和所述海绵(35)，所述海绵(35)内固定连接有若干密封条(37)，若干所述密封条(37)远离所述海绵(35)的一端分别与所述金属材料接触设置，所述过滤壳体(20)外侧壁开设有与所述滤纸(36)对应的若干透气孔，若干所述密封条(37)靠近所述金属材料的一端向远离所述负压壳体(15)的一侧倾斜。

10.根据权利要求7所述的多层复合铜箔生产用表面压平设备，其特征在于：所述第二密封组件包括密封槽(40)，所述密封槽(40)开设在负压壳体(15)内，所述密封槽(40)内滑动连接有密封板(39)，所述压辊(34)沿轴心固定贯穿有辊轴(38)，所述辊轴(38)的一端固定贯穿所述密封板(39)。

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