CN114407165A - 一种ito旋转靶的装粉装置 - Google Patents

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朱刘
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Abstract

本发明涉及靶材技术领域，公开了一种ITO旋转靶的装粉装置，包括模具主体和驱动机构，所述模具主体的内部同轴设有芯轴，所述模具主体与所述芯轴之间用于填充ITO粉，所述模具主体的外侧可上下移动地设有锤击机构，所述驱动机构可拆卸地设置在所述模具主体的下端，用于驱动所述模具主体旋转。本发明制作靶材素胚时将ITO粉装入模具主体与所述模具芯轴之间的空腔，然后驱动机构驱动模具主体进行旋转，同时锤击机构上下移动地对模具主体的外壁进行锤击，从而实现了对模具主体的全方位锤击，保证了靶材素胚的密度，从而提高了ITO旋转靶的成型密度，保证了靶材的质量。同时，由于采用锤击机构进行拍打、夯实，不仅节约了劳动力，也提高了装粉效率。

Description

一种ITO旋转靶的装粉装置
技术领域
本发明涉及靶材制备技术领域，特别是涉及一种ITO旋转靶的装粉装置。
背景技术
ITO旋转靶在成型过程中，需要先装粉制成素胚，然后将素胚烧结成靶材。然而现有的装粉过程均是通过人工拍打、夯实，不仅浪费人力，劳动效率低，而且制作的素胚粉体比较松散，密度不高，严重影响后期制作的靶材的质量。
发明内容
为解决上述技术问题，本发明提供一种ITO旋转靶的装粉装置，提高装粉效率，降低劳动力，提高ITO旋转靶的成型密度，保证靶材的质量。
本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：
一种ITO旋转靶的装粉装置，包括模具主体和驱动机构，所述模具主体的内部同轴设有芯轴，所述模具主体与所述芯轴之间用于填充ITO粉，所述模具主体的外侧可上下移动地设有锤击机构，所述驱动机构可拆卸地设置在所述模具主体的下端，用于驱动所述模具主体旋转。
优选地，所述模具主体包括橡胶套，所述橡胶套的上端可拆卸地盖合有模盖，所述橡胶套的下端插接有模座，所述芯轴的两端分别抵接在所述模盖与所述模座之间。
优选地，所述模盖上设有上卡槽，所述模座上设有下卡槽，所述芯轴的两端分别插接在所述上卡槽及所述下卡槽内。
优选地，所述模盖与所述橡胶套之间通过喉箍连接。
优选地，所述驱动机构包括旋转主轴，所述转轴主轴上设有旋转卡盘，所述旋转卡盘与所述模具主体可拆卸地连接。
优选地，所述旋转卡盘上设有用于连接所述模具主体的固定三爪。
优选地，所述锤击机构包括可沿所述模具主体的径向移动的锤击气缸，所述锤击气缸的活塞杆上设有锤头，所述锤击气缸驱动所述锤头锤击所述模具主体的外壁。
优选地，所述锤击机构还包括竖直设置的导轨，所述导轨上滑接有滑块，所述锤击气缸连接所述滑块。
本发明的实施例提供的一种ITO旋转靶的装粉装置，与现有技术相比，其有益效果在于：通过在模具主体的外侧可上下移动地设置锤击机构，并在模具主体的下端设置用于驱动其旋转的驱动机构，制作靶材素胚时将ITO粉装入模具主体与所述模具芯轴之间的空腔，然后驱动机构驱动模具主体进行旋转，同时锤击机构上下移动地对模具主体的外壁进行锤击，从而实现了对模具主体的全方位锤击，保证了靶材素胚的密度，从而提高了ITO旋转靶的成型密度，保证了靶材的质量。同时，由于采用锤击机构进行拍打、夯实，不仅节约了劳动力，也提高了装粉效率。
附图说明
图1为本发明的ITO旋转靶的装粉装置的结构示意图。
图2为本发明的ITO旋转靶的装粉装置的底部震粉与松开示意图。
图3为本发明的ITO旋转靶的装粉装置的中部震粉与松开示意图。
图4为本发明的ITO旋转靶的装粉装置的上部震粉与松开示意图。
其中：1-模具主体，11-喉箍，12-橡胶套，13-模盖，14-模座，15-上卡槽，17-下卡槽，2-驱动机构，21-旋转主轴，22-旋转卡盘，23-固定三爪，3-锤击机构，31-锤击气缸，32-锤头，33-导轨，34-滑块，4-ITO粉，5-芯轴。
具体实施方式
下面结合附图和实施例，对本发明的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本发明，但不用来限制本发明的范围。
如图1所示，本发明实施例优选实施例的一种ITO旋转靶的装粉装置，包括模具主体1和驱动机构2，模具主体1的内部同轴设有芯轴5，模具主体1与芯轴5之间用于填充ITO粉4，模具主体1的外侧可上下移动地设有锤击机构3，驱动机构2可拆卸地设置在模具主体1的下端，用于驱动模具主体1旋转。
基于上述技术特征的ITO旋转靶的装粉装置，通过在模具主体1的外侧可上下移动地设置锤击机构3，并在模具主体1的下端设置用于驱动其旋转的驱动机构2，制作靶材素胚时将ITO粉4装入模具主体1与芯轴5之间的空腔，然后驱动机构2驱动模具主体1与芯轴5进行旋转，同时锤击机构3上下移动地对模具主体1的外壁进行锤击，从而实现了对模具主体1的全方位锤击，保证了靶材素胚的密度，从而提高了ITO旋转靶的成型密度，保证了靶材的质量。同时，由于采用锤击机构3进行拍打、夯实，不仅节约了劳动力，也提高了装粉效率。
本实施例中，模具主体1包括橡胶套12，橡胶套12的上端可拆卸地盖合有模盖13，模盖13与橡胶套12之间通过喉箍11连接，方便连接与拆卸，同时连接牢固。橡胶套12的下端插接有模座14，并通过喉箍11固定，芯轴5的两端分别抵接在模盖13与模座14之间。生产时锤击机构3锤击橡胶套12。由于采用橡胶材质，方便对其内部的ITO粉4进行锤击。当素胚制作完成后，将模具主体1整体取出，打开模盖13，然后将素胚从橡胶套12内取出，最后取出芯轴5即可。
同时，为方便安装芯轴5，模盖13上设有上卡槽15，模座14上设有下卡槽17，芯轴5的两端分别插接在上卡槽15及下卡槽17内，不仅连接简单方便，而且避免在工作过程中芯轴5移位，保证了最终靶材的质量。
本实施例中，驱动机构2包括旋转主轴21，旋转主轴21可以是电机、马达等的主轴。转轴主轴21上设有旋转卡盘22，旋转卡盘22与模具主体1可拆卸地连接，具体地，模具主体1的模座14与旋转卡盘22通过固定三爪23连接，固定三爪23设置在旋转卡盘22上，方便与模座14连接后拆卸，且连接牢固。
本实施例中，锤击机构3包括可沿模具主体1的径向移动的锤击气缸31，锤击气缸31的活塞杆上设有锤头32，锤击气缸31驱动锤头32锤击所述模具主体1的外壁。本发明的ITO旋转靶的装粉装置在工作过程中，驱动机构2驱动所述模具主体1旋转，从而保证了锤头32能锤击到所述模具主体1在同一水平面的各个部位。同时，由于锤击机构3可上下移动，即可保证锤头32可锤击模具主体1沿轴向的各个部位，如图2-4，分别为锤头32在底部、中部和上部震粉与松开的示意图，从而充分保证了锤击效果，保证了靶材质量。
为方便锤头32上下移动，锤击机构3还包括竖直设置的导轨33，导轨33上滑接有滑块34，锤击气缸31连接滑块34，移动时滑块34带动锤击气缸31沿导轨33上下移动，从而实现了锤头32的上下锤击。滑块34可以有气缸、丝杠机构等驱动其沿滑块上下移动。
以上所述仅是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明技术原理的前提下，还可以做出若干改进和替换，这些改进和替换也应视为本发明的保护范围。

Claims (8)

1.一种ITO旋转靶的装粉装置，其特征在于：包括模具主体和驱动机构，所述模具主体的内部同轴设有芯轴，所述模具主体与所述芯轴之间用于填充ITO粉，所述模具主体的外侧可上下移动地设有锤击机构，所述驱动机构可拆卸地设置在所述模具主体的下端，用于驱动所述模具主体旋转。
2.一种ITO旋转靶的装粉装置，其特征在于：所述模具主体包括橡胶套，所述橡胶套的上端可拆卸地盖合有模盖，所述橡胶套的下端插接有模座，所述芯轴的两端分别抵接在所述模盖与所述模座之间。
3.如权利要求2所述的ITO旋转靶的装粉装置，其特征在于：所述模盖上设有上卡槽，所述模座上设有下卡槽，所述芯轴的两端分别插接在所述上卡槽及所述下卡槽内。
4.如权利要求2所述的ITO旋转靶的装粉装置，其特征在于：所述模盖与所述橡胶套之间通过喉箍连接。
5.如权利要求1所述的ITO旋转靶的装粉装置，其特征在于：所述驱动机构包括旋转主轴，所述转轴主轴上设有旋转卡盘，所述旋转卡盘与所述模具主体可拆卸地连接。
6.如权利要求5所述的ITO旋转靶的装粉装置，其特征在于：所述旋转卡盘上设有用于连接所述模具主体的固定三爪。
7.如权利要求1所述的ITO旋转靶的装粉装置，其特征在于：所述锤击机构包括可沿所述模具主体的径向移动的锤击气缸，所述锤击气缸的活塞杆上设有锤头，所述锤击气缸驱动所述锤头锤击所述模具主体的外壁。
8.如权利要求7所述的ITO旋转靶的装粉装置，其特征在于：所述锤击机构还包括竖直设置的导轨，所述导轨上滑接有滑块，所述锤击气缸连接所述滑块。
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