CN114334742A - 一种半导体生产用封装检测装置 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种半导体生产用封装检测装置，包括底座、一号蓄电池、二号蓄电池、控制按钮、充电孔、支撑筒、刹车圈、径向轴承、齿轮、调节杆、刹车盘、手柄、一号弹簧、不完全齿圈架、壳体、目镜、物镜、橡胶筒、照明灯、调节按钮、弧形导轨、支撑架、摆动部分，所述底座左部固定有一号蓄电池，且右部固定有二号蓄电池，所述一号蓄电池和二号蓄电池前部分别安装有控制按钮和充电孔，所述底座上部转动连接有支撑筒，且上部左端固定有刹车圈。本发明刹车盘在二号弹簧的弹性斥力作用下与刹车圈相贴合时，能够使得调节杆和支撑筒无法轻易转动，继而能够保证不完全齿圈架角度的稳定，从而保证观察过程的稳定。

Description

一种半导体生产用封装检测装置

技术领域

本发明涉及半导体生产领域，尤其涉及一种半导体生产用封装检测装置。

背景技术

在半导体生产的过程中，需要对半成品的半导体进行封装，而半导体封装的效果的优劣，将直接影响半导体能否长时间且高质量的工作，故在半导体封装完成后就需要对封装效果进行检测，而半导体在批量生产时往往是利用机器视觉进行自动快速检测，但是机器视觉的检测往往是平面的，且为了保证检测效率往往只能进行粗略的检测，故在批量生产半导体时需要抽取一定的半导体样本进行精准检测，而传统的检测方法是检测人员利用放大镜对半导体样本的多个角度进行观察，从而对封装效果进行评价，而在使用放大镜进行观察时，手持半导体样本进行角度的变换时多有不便，不仅容易手腕疲劳，而且容易产生遗漏，且手持半导体样本观察时容易改变样本相较于光源的位置，从而容易因为光线问题而使得观察不便，突出了其不足之处。

发明内容

本发明的目的在于提供一种半导体生产用封装检测装置，以解决上述技术问题。

为实现上述目的本发明采用以下技术方案：

一种半导体生产用封装检测装置，包括底座、一号蓄电池、二号蓄电池、控制按钮、充电孔、支撑筒、刹车圈、径向轴承、齿轮、调节杆、刹车盘、手柄、一号弹簧、不完全齿圈架、壳体、目镜、物镜、橡胶筒、照明灯、调节按钮、弧形导轨、支撑架、摆动部分，所述底座左部固定有一号蓄电池，且右部固定有二号蓄电池，所述一号蓄电池和二号蓄电池前部分别安装有控制按钮和充电孔，所述底座上部转动连接有支撑筒，且上部左端固定有刹车圈，所述底座上部右端安装有径向轴承，所述支撑筒中部固定有齿轮，所述支撑筒内部滑动连接有调节杆，所述调节杆左端固定有刹车盘，且右端固定有手柄，所述手柄左端固定有一号弹簧，所述一号弹簧左端与径向轴承右端相固定，所述底座上部转动连接有不完全齿圈架，所述不完全齿圈架上部固定有壳体，所述壳体左右两部各安装有目镜和物镜，且顶端左右两部各固定有橡胶筒，所述壳体底端中部固定有照明灯，所述照明灯前部安装有调节按钮，所述不完全齿圈架前部固定有弧形导轨，且中部固定有支撑架，所述支撑架安装有摆动部分。

在上述技术方案基础上，所述摆动部分包括减速电机、左摆动架、右摆动架、滑块、摆动盘、主支撑杆、副支撑杆、燕尾导轨、滑动槽、传动块、二号弹簧、夹块、V型槽、上斜槽、下斜槽、滑动架、滑动座、推杆电机，所述支撑架左端固定有减速电机，所述支撑架左部转动连接有左摆动架，且右部转动连接有右摆动架，所述左摆动架左端与减速电机的转轴右端相固定，所述支撑架前后两部各滑动连接有滑块，两所述滑块共同安装有摆动盘，所述摆动盘外圆周壁等角度固定有两个主支撑杆和两个副支撑杆，两所述主支撑杆与两滑块相铰接，两所述副支撑杆与左摆动架和右摆动架相转动连接，所述摆动盘顶端圆周等角度固定有四个燕尾导轨，且顶端圆周等角度贯穿有四个滑动槽，各所述燕尾导轨分别滑动连接有传动块，各所述传动块内部分别固定有二号弹簧，且分别滑动连接有夹块，各所述夹块分别与二号弹簧的末端相固定，且分别开有V型槽，各所述夹块上部分别贯穿有上斜槽，且底部分别贯穿有下斜槽，各所述滑动槽分别滑动连接有滑动架，所述弧形导轨滑动连接有滑动座，所述滑动座顶端固定有推杆电机。

在上述技术方案基础上，所述一号蓄电池为减速电机和照明灯提供电能，所述二号蓄电池为推杆电机提供电能，所述推杆电机的推杆与摆动盘前部的主支撑杆相间隙插接，且其推杆末端与支撑架前部的传动块相固定，所述推杆电机的推杆末端的传动块顶端固定有支撑板，所述支撑板固定有限位按钮开关，所述支撑板所在的传动块滑动连接的夹块顶端固定有支撑柱，所述支撑柱固定有推动杆。

在上述技术方案基础上，所述刹车圈能够与刹车盘相贴合，所述齿轮与不完全齿圈架相啮合，所述一号弹簧始终处于弹性压缩状态，所述左摆动架和右摆动架的旋转轴线与支撑架的直径共线，且相较于支撑架俯视投影的圆心呈中心对称，所述主支撑杆与相邻的副支撑杆之间的水平夹角呈九十度，各所述燕尾导轨与相邻的滑动槽之间的水平角度均相同，所述夹块能够沿着传动块滑动，各所述滑动架分别与上斜槽和下斜槽相滑动连接，所述推动杆能够对限位按钮开关进行按压，所述减速电机通电转动时能够带动左摆动架进行转动，所述左摆动架在转动时通过副支撑杆与右摆动架的转动连接以及主支撑杆与滑块的铰接能够带动摆动盘进行球形摆动，所述摆动盘在球形摆动时能够带动滑块沿着支撑架左右往复滑动，所述推杆电机通电转动时能够对支撑架前部的传动块进行前后推动，所述传动块被推动时通过滑动架与上斜槽和下斜槽的滑动连接能够使得各传动块沿着燕尾导轨靠近摆动盘的圆心或远离摆动盘的圆心进行滑动，所述调节杆通过手动向左按压手柄能够解除刹车盘与刹车圈的贴合，所述调节杆在转动时能够带动支撑筒进行转动，所述支撑筒在转动时通过齿轮能够带动不完全齿圈架进行转动。

与现有技术相比，本发明具有以下优点：本发明刹车盘在二号弹簧的弹性斥力作用下与刹车圈相贴合时，能够使得调节杆和支撑筒无法轻易转动，继而能够保证不完全齿圈架角度的稳定，从而保证观察过程的稳定，通过一边向左按压手柄一边转动手柄，能够利用齿轮与不完全齿圈架的啮合来调节不完全齿圈架的角度，而通过推杆电机对传动块的推拉，能够利用夹块和V型槽对半导体样本进行快速夹紧或快速解除夹紧，从而彻底避免了人工夹持而造成的手腕不适，而通过推动杆对限位按钮开关进行按压，从而防止推杆电机继续进行推动，从而避免夹块夹持力度过大而损伤半导体样本，通过控制减速电机正向或反向点动转动，能够对跟随球形摆动的摆动盘而同步摆动的半导体样本进行观察，继而能够方便的对半导体样本的多种常规角度进行逐一观察，从而便于发现异常，避免遗漏，而与物镜和支撑架的相对位置保持不便的照明灯则能够对半导体的检测提供良好且稳定的光线，从而保证观察检测的便利。

附图说明

图1为本发明的结构示意图。

图2为本发明底座的结构示意图。

图3为本发明底座的左部结构示意图。

图4为本发明不完全齿圈架的结构示意图。

图5为本发明支撑筒的安装示意图。

图6为本发明摆动盘的安装示意图。

图7为本发明夹块的安装示意图。

图中：1、底座，2、一号蓄电池，3、二号蓄电池，4、控制按钮，5、充电孔，6、支撑筒，7、刹车圈，8、径向轴承，9、齿轮，10、调节杆，11、刹车盘，12、手柄，13、一号弹簧，14、不完全齿圈架，15、壳体，16、目镜，17、物镜，18、橡胶筒，19、照明灯，20、调节按钮，21、弧形导轨，22、支撑架，23、摆动部分，24、减速电机，25、左摆动架，26、右摆动架，27、滑块，28、摆动盘，29、主支撑杆，30、副支撑杆，31、燕尾导轨，32、滑动槽，33、传动块，34、二号弹簧，35、夹块，36、V型槽，37、上斜槽，38、下斜槽，39、滑动架，40、滑动座，41、推杆电机，42、支撑板，43、限位按钮开关，44、支撑柱，45、推动杆。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例对本发明作进一步详细阐述。

如图1-7所示，一种半导体生产用封装检测装置，包括底座1、一号蓄电池2、二号蓄电池3、控制按钮4、充电孔5、支撑筒6、刹车圈7、径向轴承8、齿轮9、调节杆10、刹车盘11、手柄12、一号弹簧13、不完全齿圈架14、壳体15、目镜16、物镜17、橡胶筒18、照明灯19、调节按钮20、弧形导轨21、支撑架22、摆动部分23，所述底座1左部固定有一号蓄电池2，且右部固定有二号蓄电池3，所述一号蓄电池2和二号蓄电池3前部分别安装有控制按钮4和充电孔5，所述一号蓄电池2上的控制按钮4用于控制减速电机24的点动正反转，所述二号蓄电池3上的控制按钮用于控制推杆电机41推杆的伸出和缩回，所述底座1上部转动连接有支撑筒6，且上部左端固定有刹车圈7，所述底座1上部右端安装有径向轴承8，所述支撑筒6中部固定有齿轮9，所述支撑筒6内部滑动连接有调节杆10，所述调节杆10左端固定有刹车盘11，且右端固定有手柄12，所述手柄12左端固定有一号弹簧13，所述一号弹簧13左端与径向轴承8右端相固定，所述底座1上部转动连接有不完全齿圈架14，所述不完全齿圈架14上部固定有壳体15，所述壳体15左右两部各安装有目镜16和物镜17，且顶端左右两部各固定有橡胶筒18，所述橡胶筒18用于与眼眶相贴合，从而避免外界光线干扰目镜，所述壳体15底端中部固定有照明灯19，所述照明灯19前部安装有调节按钮20，所述调节按钮20用于调节照明灯19的亮度，所述不完全齿圈架14前部固定有弧形导轨21，且中部固定有支撑架22，所述支撑架22安装有摆动部分23。

所述摆动部分23包括减速电机24、左摆动架25、右摆动架26、滑块27、摆动盘28、主支撑杆29、副支撑杆30、燕尾导轨31、滑动槽32、传动块33、二号弹簧34、夹块35、V型槽36、上斜槽37、下斜槽38、滑动架39、滑动座40、推杆电机41，所述支撑架22左端固定有减速电机24，所述支撑架22左部转动连接有左摆动架25，且右部转动连接有右摆动架26，所述左摆动架25左端与减速电机24的转轴右端相固定，所述支撑架22前后两部各滑动连接有滑块27，两所述滑块27共同安装有摆动盘28，所述摆动盘28外圆周壁等角度固定有两个主支撑杆29和两个副支撑杆30，两所述主支撑杆29与两滑块27相铰接，两所述副支撑杆30与左摆动架25和右摆动架26相转动连接，所述摆动盘28顶端圆周等角度固定有四个燕尾导轨31，且顶端圆周等角度贯穿有四个滑动槽32，各所述燕尾导轨31分别滑动连接有传动块33，各所述传动块33内部分别固定有二号弹簧34，且分别滑动连接有夹块35，各所述夹块35分别与二号弹簧34的末端相固定，且分别开有V型槽36，四个V型槽36互相配合，从而能够方便的对方形、矩形和圆形半导体样本进行稳定夹持，各所述夹块35上部分别贯穿有上斜槽37，且底部分别贯穿有下斜槽38，各所述滑动槽32分别滑动连接有滑动架39，所述弧形导轨21滑动连接有滑动座40，所述滑动座40顶端固定有推杆电机41。

所述一号蓄电池2为减速电机24和照明灯19提供电能，所述二号蓄电池3为推杆电机41提供电能，所述推杆电机41的推杆与摆动盘28前部的主支撑杆29相间隙插接，且其推杆末端与支撑架22前部的传动块33相固定，所述推杆电机41的推杆末端的传动块33顶端固定有支撑板42，所述支撑板42固定有限位按钮开关43，所述限位按钮开关43按下时能够断开推杆电机41的电路，从而防止推杆电机41继续动作，所述支撑板42所在的传动块33滑动连接的夹块35顶端固定有支撑柱44，所述支撑柱44固定有推动杆45。

所述刹车圈7能够与刹车盘11相贴合，所述齿轮9与不完全齿圈架14相啮合，所述一号弹簧13始终处于弹性压缩状态，所述左摆动架25和右摆动架26的旋转轴线与支撑架22的直径共线，且相较于支撑架22俯视投影的圆心呈中心对称，所述主支撑杆29与相邻的副支撑杆30之间的水平夹角呈九十度，各所述燕尾导轨31与相邻的滑动槽32之间的水平角度均相同，所述夹块35能够沿着传动块33滑动，各所述滑动架39分别与上斜槽37和下斜槽38相滑动连接，所述推动杆45能够对限位按钮开关43进行按压，所述减速电机24通电转动时能够带动左摆动架25进行转动，所述左摆动架25在转动时通过副支撑杆30与右摆动架26的转动连接以及主支撑杆29与滑块27的铰接能够带动摆动盘28进行球形摆动，所述摆动盘28在球形摆动时能够带动滑块27沿着支撑架22左右往复滑动，所述推杆电机41通电转动时能够对支撑架22前部的传动块33进行前后推动，所述传动块33被推动时通过滑动架39与上斜槽37和下斜槽38的滑动连接能够使得各传动块33沿着燕尾导轨31靠近摆动盘28的圆心或远离摆动盘28的圆心进行滑动，所述调节杆10通过手动向左按压手柄12能够解除刹车盘11与刹车圈7的贴合，所述调节杆10在转动时能够带动支撑筒6进行转动，所述支撑筒6在转动时通过齿轮9能够带动不完全齿圈架14进行转动。

本发明的工作原理：初始时调节杆10左端的刹车盘11在二号弹簧34的弹性斥力作用下与刹车圈7相贴合，从而使得调节杆10和支撑筒6无法轻易转动，继而能够保证不完全齿圈架14角度的稳定，从而保证观察过程的稳定，当需要改变不完全齿圈架14角度以便利用目镜16和物镜17对样本进行观察时，一边向左按压手柄12一边转动手柄12，从而能够利用齿轮9与不完全齿圈架14的啮合来调节不完全齿圈架14的角度，待调节至合适角度时松开手柄12即可再次使得刹车盘11与刹车圈7相贴合，当需要夹持或取下半导体样本时，通过按压二号蓄电池3上不同的控制按钮4能够使得推杆电机41伸出推杆或收回推杆，继而能够使得各传动块33沿着燕尾导轨31靠近摆动盘28的圆心或远离摆动盘28的圆心进行滑动，从而能够利用夹块35和V型槽36对半导体样本进行快速夹紧或快速解除夹紧，而夹块35在趋向半导体样本进行移动时能够对各二号弹簧34进行压缩，待压缩到一定距离时能够通过推动杆45对限位按钮开关43进行按压，从而防止推杆电机41继续进行推动，从而避免夹块35夹持力度过大而损伤半导体样本，待夹持完毕后即可通过按压调节按钮20控制照明灯19发出合适亮度，然后通过眼眶贴近橡胶筒18，随后通过按压一号蓄电池2上不同的控制按钮4使得减速电机24正向或反向点动转动，从而能够对跟随球形摆动的摆动盘28而同步摆动的半导体样本进行观察，继而能够方便对半导体样本的多种常规角度进行逐一观察，从而便于发现异常，避免遗漏。

以上所述为本发明较佳实施例，对于本领域的普通技术人员而言，根据本发明的教导，在不脱离本发明的原理与精神的情况下，对实施方式所进行的改变、修改、替换和变型仍落入本发明的保护范围之内。

Claims (4)

1.一种半导体生产用封装检测装置，包括底座（1）、一号蓄电池（2）、二号蓄电池（3）、控制按钮（4）、充电孔（5）、支撑筒（6）、刹车圈（7）、径向轴承（8）、齿轮（9）、调节杆（10）、刹车盘（11）、手柄（12）、一号弹簧（13）、不完全齿圈架（14）、壳体（15）、目镜（16）、物镜（17）、橡胶筒（18）、照明灯（19）、调节按钮（20）、弧形导轨（21）、支撑架（22）、摆动部分（23），其特征在于：所述底座（1）左部固定有一号蓄电池（2），且右部固定有二号蓄电池（3），所述一号蓄电池（2）和二号蓄电池（3）前部分别安装有控制按钮（4）和充电孔（5），所述底座（1）上部转动连接有支撑筒（6），且上部左端固定有刹车圈（7），所述底座（1）上部右端安装有径向轴承（8），所述支撑筒（6）中部固定有齿轮（9），所述支撑筒（6）内部滑动连接有调节杆（10），所述调节杆（10）左端固定有刹车盘（11），且右端固定有手柄（12），所述手柄（12）左端固定有一号弹簧（13），所述一号弹簧（13）左端与径向轴承（8）右端相固定，所述底座（1）上部转动连接有不完全齿圈架（14），所述不完全齿圈架（14）上部固定有壳体（15），所述壳体（15）左右两部各安装有目镜（16）和物镜（17），且顶端左右两部各固定有橡胶筒（18），所述壳体（15）底端中部固定有照明灯（19），所述照明灯（19）前部安装有调节按钮（20），所述不完全齿圈架（14）前部固定有弧形导轨（21），且中部固定有支撑架（22），所述支撑架（22）安装有摆动部分（23）。

2.根据权利要求1所述的一种半导体生产用封装检测装置，其特征在于：所述摆动部分（23）包括减速电机（24）、左摆动架（25）、右摆动架（26）、滑块（27）、摆动盘（28）、主支撑杆（29）、副支撑杆（30）、燕尾导轨（31）、滑动槽（32）、传动块（33）、二号弹簧（34）、夹块（35）、V型槽（36）、上斜槽（37）、下斜槽（38）、滑动架（39）、滑动座（40）、推杆电机（41），所述支撑架（22）左端固定有减速电机（24），所述支撑架（22）左部转动连接有左摆动架（25），且右部转动连接有右摆动架（26），所述左摆动架（25）左端与减速电机（24）的转轴右端相固定，所述支撑架（22）前后两部各滑动连接有滑块（27），两所述滑块（27）共同安装有摆动盘（28），所述摆动盘（28）外圆周壁等角度固定有两个主支撑杆（29）和两个副支撑杆（30），两所述主支撑杆（29）与两滑块（27）相铰接，两所述副支撑杆（30）与左摆动架（25）和右摆动架（26）相转动连接，所述摆动盘（28）顶端圆周等角度固定有四个燕尾导轨（31），且顶端圆周等角度贯穿有四个滑动槽（32），各所述燕尾导轨（31）分别滑动连接有传动块（33），各所述传动块（33）内部分别固定有二号弹簧（34），且分别滑动连接有夹块（35），各所述夹块（35）分别与二号弹簧（34）的末端相固定，且分别开有V型槽（36），各所述夹块（35）上部分别贯穿有上斜槽（37），且底部分别贯穿有下斜槽（38），各所述滑动槽（32）分别滑动连接有滑动架（39），所述弧形导轨（21）滑动连接有滑动座（40），所述滑动座（40）顶端固定有推杆电机（41）。

3.根据权利要求2所述的一种半导体生产用封装检测装置，其特征在于：所述一号蓄电池（2）为减速电机（24）和照明灯（19）提供电能，所述二号蓄电池（3）为推杆电机（41）提供电能，所述推杆电机（41）的推杆与摆动盘（28）前部的主支撑杆（29）相间隙插接，且其推杆末端与支撑架（22）前部的传动块（33）相固定，所述推杆电机（41）的推杆末端的传动块（33）顶端固定有支撑板（42），所述支撑板（42）固定有限位按钮开关（43），所述支撑板（42）所在的传动块（33）滑动连接的夹块（35）顶端固定有支撑柱（44），所述支撑柱（44）固定有推动杆（45）。

4.根据权利要求3所述的一种半导体生产用封装检测装置，其特征在于：所述刹车圈（7）能够与刹车盘（11）相贴合，所述齿轮（9）与不完全齿圈架（14）相啮合，所述一号弹簧（13）始终处于弹性压缩状态，所述左摆动架（25）和右摆动架（26）的旋转轴线与支撑架（22）的直径共线，且相较于支撑架（22）俯视投影的圆心呈中心对称，所述主支撑杆（29）与相邻的副支撑杆（30）之间的水平夹角呈九十度，各所述燕尾导轨（31）与相邻的滑动槽（32）之间的水平角度均相同，所述夹块（35）能够沿着传动块（33）滑动，各所述滑动架（39）分别与上斜槽（37）和下斜槽（38）相滑动连接，所述推动杆（45）能够对限位按钮开关（43）进行按压，所述减速电机（24）通电转动时能够带动左摆动架（25）进行转动，所述左摆动架（25）在转动时通过副支撑杆（30）与右摆动架（26）的转动连接以及主支撑杆（29）与滑块（27）的铰接能够带动摆动盘（28）进行球形摆动，所述摆动盘（28）在球形摆动时能够带动滑块（27）沿着支撑架（22）左右往复滑动，所述推杆电机（41）通电转动时能够对支撑架（22）前部的传动块（33）进行前后推动，所述传动块（33）被推动时通过滑动架（39）与上斜槽（37）和下斜槽（38）的滑动连接能够使得各传动块（33）沿着燕尾导轨（31）靠近摆动盘（28）的圆心或远离摆动盘（28）的圆心进行滑动，所述调节杆（10）通过手动向左按压手柄（12）能够解除刹车盘（11）与刹车圈（7）的贴合，所述调节杆（10）在转动时能够带动支撑筒（6）进行转动，所述支撑筒（6）在转动时通过齿轮（9）能够带动不完全齿圈架（14）进行转动。

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