CN114326229B - 一种可有效防止Arcing的下部电极结构及其安装方法 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种可有效防止Arcing的下部电极结构及其安装方法，属于液晶面板零部件技术领域，结构包括电极主板、开设在所述电极主板上的氦气孔，位于所述氦气孔的一端在所述电极主板上镶嵌有一绝缘块，所述绝缘块上开设有一孔径小于所述氦气孔的通孔，所述通孔同轴设置在氦气孔的外端，且所述通孔与所述氦气孔连通后贯穿所述电极主板的两侧。本发明装置和方法，通过增加局部安装绝缘块，可以有效的改善氦气孔内部阳极氧化涂层的结构质量，保证在长时间使用状态下，不会有阳极通电现象发生，防止氦气孔Arcing的产生。
Description
技术领域
本发明属于液晶面板零部件技术领域，具体涉及一种可有效防止Arcing的下部电极结构及其安装方法。
背景技术
现有ESC下部电极在长时间使用过程中，氦气孔上端的锥孔部位由于受到氦气长时间的冲刷，其表面的阳极氧化涂层容易遭到破坏，无法产生绝缘效果，导致氦气孔槽部位上端与刻蚀腔中的Plasma接触后容易产生Arcing，且Arcing点位出现随机性以及不确定性，会对客户端产品造成严重损失。
发明内容
有鉴于此，本发明的目的在于提供一种可有效防止Arcing的下部电极结构及其安装方法，在不改变氦气孔原始结构的情况下，通过增加局部安装绝缘块的方法，可以有效的改善氦气孔内部阳极氧化涂层的结构质量，保证在长时间使用状态下，不会有阳极通电现象发生，防止氦气孔Arcing的产生。
为达到上述目的，本发明提供如下技术方案：
本发明一种可有效防止Arcing的下部电极结构，包括电极主板、开设在所述电极主板上的氦气孔，位于所述氦气孔的一端在所述电极主板上镶嵌有一绝缘块，所述绝缘块上开设有一孔径小于所述氦气孔的通孔，所述通孔同轴设置在氦气孔的外端，且所述通孔与所述氦气孔连通后贯穿所述电极主板的两侧。
进一步，所述绝缘块上开设有一引导槽，所述通孔开设在所述引导槽的底部，所述引导槽的开口与所述氦气孔相接，使得所述引导槽将氦气从氦气孔引导至所述通孔。
进一步，所述引导槽的结构呈圆弧形或者圆锥形。
进一步，所述氦气孔的直径为3mm～5mm，所述通孔的直径为0.4～0.6mm，所述绝缘块呈圆柱状，所述绝缘块的直径为6～8mm，厚度为3mm～5mm。
进一步，所述绝缘块与电极主板之间设置有密封圈，所述绝缘块的端面开设有用于容纳所述密封圈的第一环槽，所述电极主板上开设有用于容纳所述密封圈的第二环槽。
进一步，所述绝缘块的外侧设置有一辅助安装块，所述辅助安装块的内侧形成用于固定安装所述绝缘块的安装空间，所述安装空间的底部开设有中心孔，所述中心孔的外沿形成用于对所述绝缘块定位的台阶，所述下部电极上开设有用于安装所述辅助安装块的安装槽。
进一步，所述辅助安装块与绝缘块之间设置有胶水层，所述绝缘块通过所述胶水层与所述辅助安装块固定连接，所述胶水层的厚度为0.4～1mm。
进一步，所述绝缘块的外侧形成有若干环形半圆槽，所述环形半圆槽沿着绝缘块的高度方向均匀间隔布置。
进一步，所述辅助安装块的外侧开设有若干补胶孔，所述补胶孔贯穿所述辅助安装块的外壁和内壁，所述补胶孔的外端配合设置有压胶钉。
一种可有效防止Arcing的下部电极结构的安装方法，采用如权利要求9所述的下部电极结构，先按照设计结构分别预制辅助安装块和绝缘块，在绝缘块的外壁和辅助安装块的内壁涂满胶水，将绝缘块装配进入辅助安装块的安装空间内；通过补胶孔补充胶水，在胶水溢出的补胶孔内依次装入压胶钉，通过压胶钉的压力使得胶水充满整个胶水层所在空间，修整辅助安装块和绝缘块的端面胶水，随后等待胶水凝固粘接；然后在下部电极的电极主板上加工氦气孔，位于氦气孔的一端在电极主板上加工安装槽，安装槽内装入密封圈，将辅助安装块附带绝缘块安装进入安装槽内，完成安装。
本发明的有益效果在于：
本发明一种可有效防止Arcing的下部电极结构及其安装方法，结构在位于所述氦气孔的一端在所述电极主板上镶嵌有一绝缘块，通过绝缘块的阻挡从而实现对氦气流速进行控制，避免氦气直接冲刷原有的氦气孔的锥形内壁，导致的原有阳极氧化涂层造成破坏的问题，可以有效的保证氦气孔内部结构，从而达到氦气孔部位的绝缘效果，防止Arcing的产生。
本发明下部电极结构，通过将绝缘块上设计通孔，通孔与氦气孔的组合代替了原有的具有锥形部位的氦气孔，同样对氦气能达到增速的效果，通过在局部增加绝缘块，无需改变原有下部电极的整体结构，可以直接进行改造，节约了成本和设计，能满足客户的需求。
本发明的其他优点、目标和特征将在随后的说明书中进行阐述，并且在某种程度上对本领域技术人员而言是显而易见的，或者本领域技术人员可以从本发明的实践中得到教导。本发明的目标和其他优点可以通过下面的说明书来实现和获得。
附图说明
为了使本发明的目的、技术方案和有益效果更加清楚，本发明提供如下附图进行说明：
图1为本发明下部电极的平面示意图；
图2为实施例1氦气孔的结构示意图；
图3为实施例2氦气孔的结构示意图；
图4为实施例3氦气孔的结构示意图；
图5为绝缘块和辅助安装块的结构示意图。
附图中标记如下：电极主板1、氦气孔2、绝缘块3、通孔4、引导槽5、密封圈6、第一环槽7、第二环槽8、辅助安装块9、中心孔10、台阶11、安装槽12、胶水层13、环形半圆槽14、补胶孔15、压胶钉16。
具体实施方式
实施例1，如图1～2所示，本发明一种可有效防止Arcing的下部电极结构，包括电极主板1、开设在所述电极主板1上的氦气孔2，电极主板1呈矩形，其内侧分布有大小两圈呈矩形布置的氦气孔2，其中，对氦气孔2的结构上进行了改进。具体的，在位于所述氦气孔2的一端在所述电极主板1上镶嵌有一绝缘块3，所述绝缘块3上开设有一孔径小于所述氦气孔2的通孔4，所述通孔4同轴设置在氦气孔2的外端，且所述通孔4与所述氦气孔2连通后贯穿所述电极主板1的两侧，使得氦气从氦气孔2经过后可以从通孔4内喷出，满足产品的需要。
本实施例中，所述绝缘块3上开设有一引导槽5，该引导槽5形成在绝缘块3的表面，引导槽5的开口最大，沿着开口槽的开口平滑过渡向内延伸。所述通孔4开设在所述引导槽5的底部，所述引导槽5的开口与所述氦气孔2相接，使得所述引导槽5将氦气从氦气孔2引导至所述通孔4，减少对氦气的阻挡。
本实施例中，所述引导槽5的结构呈圆锥形，引导槽5的底部直径与通孔4的直径相同，所述氦气孔2的直径为3mm～5mm，优选为4mm，所述通孔4的直径为0.4～0.6mm，优选为0.5mm，所述绝缘块3呈圆柱状，所述绝缘块3的直径为6～8mm，优选为7mm，厚度为3mm～5mm，优选为4mm，该厚度指的是绝缘块3安装进安装槽12的深度，即沿着氦气孔2的轴向的长度。
实施例2，如图3所示，本实施例与实施例1的区别在于，所述引导槽5的结构呈圆弧形。
实施例3，如图4和5所示，本实施例与实施例2的区别在于，所述绝缘块3与电极主板1之间设置有密封圈6，所述绝缘块3的端面开设有用于容纳所述密封圈6的第一环槽7，所述电极主板1上开设有用于容纳所述密封圈6的第二环槽8，通过设置密封圈6，可以防止漏风，能够比较均匀地控制氦气的喷射压力。
本实施例中，所述绝缘块3的外侧设置有一辅助安装块9，绝缘块3优先选择陶瓷材料，具有良好的绝缘功能的同时，表面光滑，能够对氦气进行一个较好的引导，使得氦气流入导向更加规则，使得所有冲刷的受力全部在陶瓷材料上，在长时间使用情况下，可以有效的保证氦气孔2内部结构，从而达到氦气孔2部位的绝缘效果，防止Arcing的产生。具体的，所述辅助安装块9的内侧形成用于固定安装所述绝缘块3的安装空间，所述安装空间的底部开设有中心孔10，所述中心孔10的外沿形成用于对所述绝缘块3定位的台阶11，可以在安装时用于对绝缘块3进行定位和压紧，所述下部电极上开设有用于安装所述辅助安装块9的安装槽12，辅助安装块9与安装槽12之间可以采用螺纹连接，绝缘块3可以通过辅助安装块9压紧在安装槽12内，方便快捷，长久使用不会脱落。
本实施例中，所述辅助安装块9与绝缘块3之间设置有胶水层13，所述绝缘块3通过所述胶水层13与所述辅助安装块9固定连接，所述胶水层13的厚度为0.4～1mm。辅助安装块9与绝缘块3之间提前通过胶水粘接，可以避免绝缘块3的脱落问题，通过提前粘接好辅助安装块9与绝缘块3，避免现场粘接导致的胶水溢出问题，可以有效地保护氦气孔2内壁不受到胶水的影响，保证氦气孔2的质量，通过设置辅助安装块9，可以便于绝缘块3的定位和安装，现场安装方便快捷。
本实施例中，所述绝缘块3的外侧形成有若干环形半圆槽14，所述环形半圆槽14沿着绝缘块3的高度方向均匀间隔布置，可以增加绝缘块3在轴向的锚固力，避免氦气冲刷导致的绝缘块3与辅助安装块9之间相对的松动问题。
本实施例中，所述辅助安装块9的外侧开设有若干补胶孔15，所述补胶孔15贯穿所述辅助安装块9的外壁和内壁，所述补胶孔15的外端配合设置有压胶钉16。
一种可有效防止Arcing的下部电极结构的安装方法，采用如权利要求9所述的下部电极结构，先按照设计结构在工厂分别预制辅助安装块9和绝缘块3，并且直接在工厂直接完成辅助安装块9和绝缘块3之间的装配。具体的，先在绝缘块3的外壁和辅助安装块9的内壁涂满胶水，将绝缘块3装配进入辅助安装块9的安装空间内；通过补胶孔15补充胶水，在胶水溢出的补胶孔15内依次装入压胶钉16，通过压胶钉16的压力使得胶水充满整个胶水层13所在空间，修整辅助安装块9和绝缘块3的端面胶水，随后等待胶水凝固粘接；然后在下部电极的电极主板1上加工氦气孔2，位于氦气孔2的一端在电极主板1上加工安装槽12，安装槽12内装入密封圈6，将辅助安装块9附带绝缘块3安装进入安装槽12内，完成安装。
最后说明的是，以上优选实施例仅用以说明本发明的技术方案而非限制，尽管通过上述优选实施例已经对本发明进行了详细的描述，但本领域技术人员应当理解，可以在形式上和细节上对其作出各种各样的改变，而不偏离本发明权利要求书所限定的范围。
Claims (8)
1.一种可有效防止Arcing的下部电极结构，包括电极主板、开设在所述电极主板上的氦气孔，其特征在于：位于所述氦气孔的一端在所述电极主板上镶嵌有一绝缘块，所述绝缘块上开设有一孔径小于所述氦气孔的通孔，所述通孔同轴设置在氦气孔的外端，且所述通孔与所述氦气孔连通后贯穿所述电极主板的两侧，所述绝缘块上开设有一引导槽，所述通孔开设在所述引导槽的底部，所述引导槽的开口与所述氦气孔相接，使得所述引导槽将氦气从氦气孔引导至所述通孔，所述绝缘块的外侧设置有一辅助安装块，所述辅助安装块的内侧形成用于固定安装所述绝缘块的安装空间，所述安装空间的底部开设有中心孔，所述中心孔的外沿形成用于对所述绝缘块定位的台阶，所述下部电极上开设有用于安装所述辅助安装块的安装槽。
2.根据权利要求1所述的可有效防止Arcing的下部电极结构，其特征在于：所述引导槽的结构呈圆弧形或者圆锥形。
3.根据权利要求2所述的可有效防止Arcing的下部电极结构，其特征在于：所述氦气孔的直径为3mm～5mm，所述通孔的直径为0.4～0.6mm，所述绝缘块呈圆柱状，所述绝缘块的直径为6～8mm，厚度为3mm～5mm。
4.根据权利要求1所述的可有效防止Arcing的下部电极结构，其特征在于：所述绝缘块与电极主板之间设置有密封圈，所述绝缘块的端面开设有用于容纳所述密封圈的第一环槽，所述电极主板上开设有用于容纳所述密封圈的第二环槽。
5.根据权利要求1-4任一项所述的可有效防止Arcing的下部电极结构，其特征在于：所述辅助安装块与绝缘块之间设置有胶水层，所述绝缘块通过所述胶水层与所述辅助安装块固定连接，所述胶水层的厚度为0.4～1mm。
6.根据权利要求5所述的可有效防止Arcing的下部电极结构，其特征在于：所述绝缘块的外侧形成有若干环形半圆槽，所述环形半圆槽沿着绝缘块的高度方向均匀间隔布置。
7.根据权利要求6所述的可有效防止Arcing的下部电极结构，其特征在于：所述辅助安装块的外侧开设有若干补胶孔，所述补胶孔贯穿所述辅助安装块的外壁和内壁，所述补胶孔的外端配合设置有压胶钉。
8.一种可有效防止Arcing的下部电极结构的安装方法，采用如权利要求7所述的下部电极结构，其特征在于：先按照设计结构分别预制辅助安装块和绝缘块，在绝缘块的外壁和辅助安装块的内壁涂满胶水，将绝缘块装配进入辅助安装块的安装空间内；通过补胶孔补充胶水，在胶水溢出的补胶孔内依次装入压胶钉，通过压胶钉的压力使得胶水充满整个胶水层所在空间，修整辅助安装块和绝缘块的端面胶水，随后等待胶水凝固粘接；然后在下部电极的电极主板上加工氦气孔，位于氦气孔的一端在电极主板上加工安装槽，安装槽内装入密封圈，将辅助安装块附带绝缘块安装进入安装槽内，完成安装。
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|---|---|
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Citations (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0774234A (ja) * | 1993-06-28 | 1995-03-17 | Tokyo Electron Ltd | 静電チャックの電極構造、この組み立て方法、この組み立て治具及び処理装置 |
| KR20080000112A (ko) * | 2006-06-26 | 2008-01-02 | 삼성전자주식회사 | 건식식각장치의 상부전극 및 그를 구비한 건식식각장치 |
| CN109112458A (zh) * | 2018-09-29 | 2019-01-01 | 芜湖通潮精密机械股份有限公司 | 一种干刻下部电极的再生工艺预处理方法 |
| CN209487786U (zh) * | 2019-05-06 | 2019-10-11 | 重庆市龙唐环保科技有限公司 | 一种绝缘连接器 |
| CN110337714A (zh) * | 2017-02-22 | 2019-10-15 | 朗姆研究公司 | 用以减少电弧的氦气插塞设计 |
| CN209708939U (zh) * | 2019-06-25 | 2019-11-29 | 重庆臻宝实业有限公司 | 蚀刻用上部电极 |
| CN112133619A (zh) * | 2020-09-22 | 2020-12-25 | 重庆臻宝实业有限公司 | 下部电极塑封夹具及塑封工艺 |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR960006342B1 (ko) * | 1992-10-17 | 1996-05-13 | 현대전자산업주식회사 | 식각장비의 전극구조 |
| JP2006186306A (ja) * | 2004-09-30 | 2006-07-13 | Toshiba Ceramics Co Ltd | ガス拡散プレートおよびその製造方法 |
| CN207159098U (zh) * | 2017-08-10 | 2018-03-30 | 重庆臻宝实业有限公司 | 上部电极熔射辅助装置 |
| JP2019207912A (ja) * | 2018-05-28 | 2019-12-05 | 東京エレクトロン株式会社 | 上部電極アセンブリ、処理装置及び上部電極アセンブリの製造方法 |
-
2022
- 2022-01-06 CN CN202210011583.2A patent/CN114326229B/zh active Active
- 2022-02-22 WO PCT/CN2022/077264 patent/WO2023130536A1/zh unknown
Patent Citations (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0774234A (ja) * | 1993-06-28 | 1995-03-17 | Tokyo Electron Ltd | 静電チャックの電極構造、この組み立て方法、この組み立て治具及び処理装置 |
| KR20080000112A (ko) * | 2006-06-26 | 2008-01-02 | 삼성전자주식회사 | 건식식각장치의 상부전극 및 그를 구비한 건식식각장치 |
| CN110337714A (zh) * | 2017-02-22 | 2019-10-15 | 朗姆研究公司 | 用以减少电弧的氦气插塞设计 |
| CN109112458A (zh) * | 2018-09-29 | 2019-01-01 | 芜湖通潮精密机械股份有限公司 | 一种干刻下部电极的再生工艺预处理方法 |
| CN209487786U (zh) * | 2019-05-06 | 2019-10-11 | 重庆市龙唐环保科技有限公司 | 一种绝缘连接器 |
| CN209708939U (zh) * | 2019-06-25 | 2019-11-29 | 重庆臻宝实业有限公司 | 蚀刻用上部电极 |
| CN112133619A (zh) * | 2020-09-22 | 2020-12-25 | 重庆臻宝实业有限公司 | 下部电极塑封夹具及塑封工艺 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
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