CN114326229B - 一种可有效防止Arcing的下部电极结构及其安装方法 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种可有效防止Arcing的下部电极结构及其安装方法,属于液晶面板零部件技术领域,结构包括电极主板、开设在所述电极主板上的氦气孔,位于所述氦气孔的一端在所述电极主板上镶嵌有一绝缘块,所述绝缘块上开设有一孔径小于所述氦气孔的通孔,所述通孔同轴设置在氦气孔的外端,且所述通孔与所述氦气孔连通后贯穿所述电极主板的两侧。本发明装置和方法,通过增加局部安装绝缘块,可以有效的改善氦气孔内部阳极氧化涂层的结构质量,保证在长时间使用状态下,不会有阳极通电现象发生,防止氦气孔Arcing的产生。
Description
技术领域
本发明属于液晶面板零部件技术领域,具体涉及一种可有效防止Arcing的下部电极结构及其安装方法。
背景技术
现有ESC下部电极在长时间使用过程中,氦气孔上端的锥孔部位由于受到氦气长时间的冲刷,其表面的阳极氧化涂层容易遭到破坏,无法产生绝缘效果,导致氦气孔槽部位上端与刻蚀腔中的Plasma接触后容易产生Arcing,且Arcing点位出现随机性以及不确定性,会对客户端产品造成严重损失。
发明内容
有鉴于此,本发明的目的在于提供一种可有效防止Arcing的下部电极结构及其安装方法,在不改变氦气孔原始结构的情况下,通过增加局部安装绝缘块的方法,可以有效的改善氦气孔内部阳极氧化涂层的结构质量,保证在长时间使用状态下,不会有阳极通电现象发生,防止氦气孔Arcing的产生。
为达到上述目的,本发明提供如下技术方案:
本发明一种可有效防止Arcing的下部电极结构,包括电极主板、开设在所述电极主板上的氦气孔,位于所述氦气孔的一端在所述电极主板上镶嵌有一绝缘块,所述绝缘块上开设有一孔径小于所述氦气孔的通孔,所述通孔同轴设置在氦气孔的外端,且所述通孔与所述氦气孔连通后贯穿所述电极主板的两侧。
进一步,所述绝缘块上开设有一引导槽,所述通孔开设在所述引导槽的底部,所述引导槽的开口与所述氦气孔相接,使得所述引导槽将氦气从氦气孔引导至所述通孔。
进一步,所述引导槽的结构呈圆弧形或者圆锥形。
进一步,所述氦气孔的直径为3mm~5mm,所述通孔的直径为0.4~0.6mm,所述绝缘块呈圆柱状,所述绝缘块的直径为6~8mm,厚度为3mm~5mm。
进一步,所述绝缘块与电极主板之间设置有密封圈,所述绝缘块的端面开设有用于容纳所述密封圈的第一环槽,所述电极主板上开设有用于容纳所述密封圈的第二环槽。
进一步,所述绝缘块的外侧设置有一辅助安装块,所述辅助安装块的内侧形成用于固定安装所述绝缘块的安装空间,所述安装空间的底部开设有中心孔,所述中心孔的外沿形成用于对所述绝缘块定位的台阶,所述下部电极上开设有用于安装所述辅助安装块的安装槽。
进一步,所述辅助安装块与绝缘块之间设置有胶水层,所述绝缘块通过所述胶水层与所述辅助安装块固定连接,所述胶水层的厚度为0.4~1mm。
进一步,所述绝缘块的外侧形成有若干环形半圆槽,所述环形半圆槽沿着绝缘块的高度方向均匀间隔布置。
进一步,所述辅助安装块的外侧开设有若干补胶孔,所述补胶孔贯穿所述辅助安装块的外壁和内壁,所述补胶孔的外端配合设置有压胶钉。
一种可有效防止Arcing的下部电极结构的安装方法,采用如权利要求9所述的下部电极结构,先按照设计结构分别预制辅助安装块和绝缘块,在绝缘块的外壁和辅助安装块的内壁涂满胶水,将绝缘块装配进入辅助安装块的安装空间内;通过补胶孔补充胶水,在胶水溢出的补胶孔内依次装入压胶钉,通过压胶钉的压力使得胶水充满整个胶水层所在空间,修整辅助安装块和绝缘块的端面胶水,随后等待胶水凝固粘接;然后在下部电极的电极主板上加工氦气孔,位于氦气孔的一端在电极主板上加工安装槽,安装槽内装入密封圈,将辅助安装块附带绝缘块安装进入安装槽内,完成安装。
本发明的有益效果在于:
本发明一种可有效防止Arcing的下部电极结构及其安装方法,结构在位于所述氦气孔的一端在所述电极主板上镶嵌有一绝缘块,通过绝缘块的阻挡从而实现对氦气流速进行控制,避免氦气直接冲刷原有的氦气孔的锥形内壁,导致的原有阳极氧化涂层造成破坏的问题,可以有效的保证氦气孔内部结构,从而达到氦气孔部位的绝缘效果,防止Arcing的产生。
本发明下部电极结构,通过将绝缘块上设计通孔,通孔与氦气孔的组合代替了原有的具有锥形部位的氦气孔,同样对氦气能达到增速的效果,通过在局部增加绝缘块,无需改变原有下部电极的整体结构,可以直接进行改造,节约了成本和设计,能满足客户的需求。
本发明的其他优点、目标和特征将在随后的说明书中进行阐述,并且在某种程度上对本领域技术人员而言是显而易见的,或者本领域技术人员可以从本发明的实践中得到教导。本发明的目标和其他优点可以通过下面的说明书来实现和获得。
附图说明
为了使本发明的目的、技术方案和有益效果更加清楚,本发明提供如下附图进行说明:
图1为本发明下部电极的平面示意图;
图2为实施例1氦气孔的结构示意图;
图3为实施例2氦气孔的结构示意图;
图4为实施例3氦气孔的结构示意图;
图5为绝缘块和辅助安装块的结构示意图。
附图中标记如下:电极主板1、氦气孔2、绝缘块3、通孔4、引导槽5、密封圈6、第一环槽7、第二环槽8、辅助安装块9、中心孔10、台阶11、安装槽12、胶水层13、环形半圆槽14、补胶孔15、压胶钉16。
具体实施方式
实施例1,如图1~2所示,本发明一种可有效防止Arcing的下部电极结构,包括电极主板1、开设在所述电极主板1上的氦气孔2,电极主板1呈矩形,其内侧分布有大小两圈呈矩形布置的氦气孔2,其中,对氦气孔2的结构上进行了改进。具体的,在位于所述氦气孔2的一端在所述电极主板1上镶嵌有一绝缘块3,所述绝缘块3上开设有一孔径小于所述氦气孔2的通孔4,所述通孔4同轴设置在氦气孔2的外端,且所述通孔4与所述氦气孔2连通后贯穿所述电极主板1的两侧,使得氦气从氦气孔2经过后可以从通孔4内喷出,满足产品的需要。
本实施例中,所述绝缘块3上开设有一引导槽5,该引导槽5形成在绝缘块3的表面,引导槽5的开口最大,沿着开口槽的开口平滑过渡向内延伸。所述通孔4开设在所述引导槽5的底部,所述引导槽5的开口与所述氦气孔2相接,使得所述引导槽5将氦气从氦气孔2引导至所述通孔4,减少对氦气的阻挡。
本实施例中,所述引导槽5的结构呈圆锥形,引导槽5的底部直径与通孔4的直径相同,所述氦气孔2的直径为3mm~5mm,优选为4mm,所述通孔4的直径为0.4~0.6mm,优选为0.5mm,所述绝缘块3呈圆柱状,所述绝缘块3的直径为6~8mm,优选为7mm,厚度为3mm~5mm,优选为4mm,该厚度指的是绝缘块3安装进安装槽12的深度,即沿着氦气孔2的轴向的长度。
实施例2,如图3所示,本实施例与实施例1的区别在于,所述引导槽5的结构呈圆弧形。
实施例3,如图4和5所示,本实施例与实施例2的区别在于,所述绝缘块3与电极主板1之间设置有密封圈6,所述绝缘块3的端面开设有用于容纳所述密封圈6的第一环槽7,所述电极主板1上开设有用于容纳所述密封圈6的第二环槽8,通过设置密封圈6,可以防止漏风,能够比较均匀地控制氦气的喷射压力。
本实施例中,所述绝缘块3的外侧设置有一辅助安装块9,绝缘块3优先选择陶瓷材料,具有良好的绝缘功能的同时,表面光滑,能够对氦气进行一个较好的引导,使得氦气流入导向更加规则,使得所有冲刷的受力全部在陶瓷材料上,在长时间使用情况下,可以有效的保证氦气孔2内部结构,从而达到氦气孔2部位的绝缘效果,防止Arcing的产生。具体的,所述辅助安装块9的内侧形成用于固定安装所述绝缘块3的安装空间,所述安装空间的底部开设有中心孔10,所述中心孔10的外沿形成用于对所述绝缘块3定位的台阶11,可以在安装时用于对绝缘块3进行定位和压紧,所述下部电极上开设有用于安装所述辅助安装块9的安装槽12,辅助安装块9与安装槽12之间可以采用螺纹连接,绝缘块3可以通过辅助安装块9压紧在安装槽12内,方便快捷,长久使用不会脱落。
本实施例中,所述辅助安装块9与绝缘块3之间设置有胶水层13,所述绝缘块3通过所述胶水层13与所述辅助安装块9固定连接,所述胶水层13的厚度为0.4~1mm。辅助安装块9与绝缘块3之间提前通过胶水粘接,可以避免绝缘块3的脱落问题,通过提前粘接好辅助安装块9与绝缘块3,避免现场粘接导致的胶水溢出问题,可以有效地保护氦气孔2内壁不受到胶水的影响,保证氦气孔2的质量,通过设置辅助安装块9,可以便于绝缘块3的定位和安装,现场安装方便快捷。
本实施例中,所述绝缘块3的外侧形成有若干环形半圆槽14,所述环形半圆槽14沿着绝缘块3的高度方向均匀间隔布置,可以增加绝缘块3在轴向的锚固力,避免氦气冲刷导致的绝缘块3与辅助安装块9之间相对的松动问题。
本实施例中,所述辅助安装块9的外侧开设有若干补胶孔15,所述补胶孔15贯穿所述辅助安装块9的外壁和内壁,所述补胶孔15的外端配合设置有压胶钉16。
一种可有效防止Arcing的下部电极结构的安装方法,采用如权利要求9所述的下部电极结构,先按照设计结构在工厂分别预制辅助安装块9和绝缘块3,并且直接在工厂直接完成辅助安装块9和绝缘块3之间的装配。具体的,先在绝缘块3的外壁和辅助安装块9的内壁涂满胶水,将绝缘块3装配进入辅助安装块9的安装空间内;通过补胶孔15补充胶水,在胶水溢出的补胶孔15内依次装入压胶钉16,通过压胶钉16的压力使得胶水充满整个胶水层13所在空间,修整辅助安装块9和绝缘块3的端面胶水,随后等待胶水凝固粘接;然后在下部电极的电极主板1上加工氦气孔2,位于氦气孔2的一端在电极主板1上加工安装槽12,安装槽12内装入密封圈6,将辅助安装块9附带绝缘块3安装进入安装槽12内,完成安装。
最后说明的是,以上优选实施例仅用以说明本发明的技术方案而非限制,尽管通过上述优选实施例已经对本发明进行了详细的描述,但本领域技术人员应当理解,可以在形式上和细节上对其作出各种各样的改变,而不偏离本发明权利要求书所限定的范围。
Claims (8)
1.一种可有效防止Arcing的下部电极结构,包括电极主板、开设在所述电极主板上的氦气孔,其特征在于:位于所述氦气孔的一端在所述电极主板上镶嵌有一绝缘块,所述绝缘块上开设有一孔径小于所述氦气孔的通孔,所述通孔同轴设置在氦气孔的外端,且所述通孔与所述氦气孔连通后贯穿所述电极主板的两侧,所述绝缘块上开设有一引导槽,所述通孔开设在所述引导槽的底部,所述引导槽的开口与所述氦气孔相接,使得所述引导槽将氦气从氦气孔引导至所述通孔,所述绝缘块的外侧设置有一辅助安装块,所述辅助安装块的内侧形成用于固定安装所述绝缘块的安装空间,所述安装空间的底部开设有中心孔,所述中心孔的外沿形成用于对所述绝缘块定位的台阶,所述下部电极上开设有用于安装所述辅助安装块的安装槽。
2.根据权利要求1所述的可有效防止Arcing的下部电极结构,其特征在于:所述引导槽的结构呈圆弧形或者圆锥形。
3.根据权利要求2所述的可有效防止Arcing的下部电极结构,其特征在于:所述氦气孔的直径为3mm~5mm,所述通孔的直径为0.4~0.6mm,所述绝缘块呈圆柱状,所述绝缘块的直径为6~8mm,厚度为3mm~5mm。
4.根据权利要求1所述的可有效防止Arcing的下部电极结构,其特征在于:所述绝缘块与电极主板之间设置有密封圈,所述绝缘块的端面开设有用于容纳所述密封圈的第一环槽,所述电极主板上开设有用于容纳所述密封圈的第二环槽。
5.根据权利要求1-4任一项所述的可有效防止Arcing的下部电极结构,其特征在于:所述辅助安装块与绝缘块之间设置有胶水层,所述绝缘块通过所述胶水层与所述辅助安装块固定连接,所述胶水层的厚度为0.4~1mm。
6.根据权利要求5所述的可有效防止Arcing的下部电极结构,其特征在于:所述绝缘块的外侧形成有若干环形半圆槽,所述环形半圆槽沿着绝缘块的高度方向均匀间隔布置。
7.根据权利要求6所述的可有效防止Arcing的下部电极结构,其特征在于:所述辅助安装块的外侧开设有若干补胶孔,所述补胶孔贯穿所述辅助安装块的外壁和内壁,所述补胶孔的外端配合设置有压胶钉。
8.一种可有效防止Arcing的下部电极结构的安装方法,采用如权利要求7所述的下部电极结构,其特征在于:先按照设计结构分别预制辅助安装块和绝缘块,在绝缘块的外壁和辅助安装块的内壁涂满胶水,将绝缘块装配进入辅助安装块的安装空间内;通过补胶孔补充胶水,在胶水溢出的补胶孔内依次装入压胶钉,通过压胶钉的压力使得胶水充满整个胶水层所在空间,修整辅助安装块和绝缘块的端面胶水,随后等待胶水凝固粘接;然后在下部电极的电极主板上加工氦气孔,位于氦气孔的一端在电极主板上加工安装槽,安装槽内装入密封圈,将辅助安装块附带绝缘块安装进入安装槽内,完成安装。
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