CN114296319A - 一种氮化镓hemt器件的制造加工设备及制造方法 - Google Patents
一种氮化镓hemt器件的制造加工设备及制造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- CN114296319A CN114296319A CN202111636383.8A CN202111636383A CN114296319A CN 114296319 A CN114296319 A CN 114296319A CN 202111636383 A CN202111636383 A CN 202111636383A CN 114296319 A CN114296319 A CN 114296319A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- sliding
- plate
- manufacturing
- epitaxial wafer
- photoresist
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 229910002601 GaN Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 35
- JMASRVWKEDWRBT-UHFFFAOYSA-N Gallium nitride Chemical compound [Ga]#N JMASRVWKEDWRBT-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 35
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 29
- 238000012545 processing Methods 0.000 title claims abstract description 29
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims abstract description 78
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 claims abstract description 54
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims abstract description 46
- 230000000670 limiting effect Effects 0.000 claims description 25
- 238000009434 installation Methods 0.000 claims description 17
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims description 15
- 230000002457 bidirectional effect Effects 0.000 claims description 14
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims description 14
- 238000003825 pressing Methods 0.000 claims description 8
- PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M copper(1+);methylsulfanylmethane;bromide Chemical compound Br[Cu].CSC PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M 0.000 claims description 5
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 5
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 claims description 4
- 230000001276 controlling effect Effects 0.000 claims description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 abstract description 4
- 238000004026 adhesive bonding Methods 0.000 abstract description 3
- 239000002585 base Substances 0.000 description 5
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 2
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 description 2
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 1
- 239000003513 alkali Substances 0.000 description 1
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 230000002146 bilateral effect Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000007429 general method Methods 0.000 description 1
- 238000005468 ion implantation Methods 0.000 description 1
- 230000001788 irregular Effects 0.000 description 1
- NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N novaluron Chemical compound C1=C(Cl)C(OC(F)(F)C(OC(F)(F)F)F)=CC=C1NC(=O)NC(=O)C1=C(F)C=CC=C1F NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 1
- 229910052984 zinc sulfide Inorganic materials 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Abstract
本发明涉及半导体加工的技术领域，特别涉及一种氮化镓HEMT器件的制造加工设备及制造方法，其使用了一种氮化镓HEMT器件的制造加工设备，包括安装底板、支撑杆、安装轴、封边装置和驱动装置，所述的安装底板下端面靠近四个拐角处固定有多个支撑杆，安装底板上通过轴承转动安装有多个横向布置的安装轴，安装轴的上端连接有封边装置，其中一个安装轴的下侧连接有驱动装置。相比于现有技术，本发明设计了一种可通过调节以适应不同尺寸外延片的封边装置，提升了该制造加工设备的整体利用率和加工效率，并防止了外延片在进行旋转涂胶时光刻胶容易从外延片的表面外侧流出，节约了资源，同时使光刻胶分布的更加均匀，提升了外延片的加工质量。
Description
技术领域
本发明涉及半导体加工的技术领域，特别涉及一种氮化镓HEMT器件的制造加工设备及制造方法。
背景技术
氮化镓为第三代半导体材料，六角纤锌矿结构，具有禁带宽度大、热导率高、耐高温、抗辐射、耐酸碱、高强度和高硬度等特性,是现在世界上人们最感兴趣的半导体材料之一。氮化镓基材料在高亮度蓝、绿、紫和白光二极管,蓝、紫色激光器以及抗辐射、高温大功率微波器件等领域有着广泛的应用潜力和良好的市场前景。现有的横向超结结构氮化镓HEMT器件制造方法，需要在准备好的衬底层上依次布置氮化铝层、氮化镓缓冲层和氮化镓沟道层，然后在外延片上涂一层光刻胶作为离子注入阻挡层，之后再经由后续加工制成氮化镓HEMT器件。
然而，在外延片上涂抹光刻胶时，仍存在以下问题：1.在外延片上涂抹光刻胶时，一般都是采用旋涂的方式，需要对外延片进行封边处理，防止光刻胶从外延片的表面外侧流出造成资源浪费，然而一般的外延片形状不规则，一般的设备难以对不同尺寸的外延片都进行很好的封边处理，且需要更换不同的封边装置，降低了外延片的加工效率；2.一般的旋涂光刻胶的方法，处于外延片表面外侧的部位仍会出现光刻胶分布不均的情况，会影响后续的加工效果。
发明内容
(一)技术方案：为了实现上述目的，本发明采用以下技术方案，一种氮化镓HEMT器件的制造加工设备，包括安装底板、支撑杆、安装轴、封边装置和驱动装置，所述的安装底板下端面靠近四个拐角处固定有多个支撑杆，安装底板上通过轴承转动安装有多个横向布置的安装轴，安装轴的上端连接有封边装置，其中一个安装轴的下侧连接有驱动装置。
所述的封边装置包括放置圆板、限位槽、滑移安装板、工作腔、滑槽、滑移块、封边条、双向电动推杆和调节机构，安装轴的上端连接有放置圆板，放置圆板的上端面开设有限位槽，限位槽的上方设置有滑移安装板，且滑移安装板滑动设置在放置圆板的上端面，滑移安装板的内部开设有工作腔，工作腔的两侧相对连通有滑槽，滑槽内滑动安装有滑移块，滑移块的上侧之间通过封边条连接，且封边条滑动设置于滑移块内，封边条的相对侧之间通过双向电动推杆连接，双向电动推杆通过安装座固定在滑移安装板的一端，滑移安装板的中部设置有调节机构，通过封边装置对不同尺寸的外延片进行封边处理，通过驱动装置带动安装轴进行往复旋转运动，进而使光刻胶分布的更加均匀。
所述的安装底板上端面中间位置安装有L型安装架，L型安装架的上端通过气缸底座安装有气缸，气缸的顶出端连接有下压板，下压板上设置有多个出料管，出料管管口与放置圆板中心位置一一对应，下压板下端面远离L型安装架的一侧安装有多个连接杆，连接杆与出料管位于同一竖直平面，连接杆的下端连接有送料块。
优选的，所述的限位槽为横向布置，且限位槽的长度小于放置圆板的半径。
优选的，所述的出料管与外部设置的供料设备连通，通过供料设备向出料管内注入适量的光刻胶。
优选的，所述的送料块为梯形，且送料块的横向两侧为斜面。
优选的，所述的调节机构包括转轴、锁紧器、一号锥齿轮、二号锥齿轮、丝杠、带动齿轮和轮齿，工作腔内转动安装有转轴，转轴的上侧安装于锁紧器内，锁紧器安装在工作腔内，转轴的中部安装有一号锥齿轮，一号锥齿轮的两侧螺纹连接有相对设置的二号锥齿轮，二号锥齿轮远离一号锥齿轮的一端固定有丝杠，两侧的丝杠分别螺纹连接于相对应的滑移块下侧，丝杠远离二号锥齿轮的一端转动安装在滑槽内，转轴的下侧外壁上固定有带动齿轮，限位槽内的一侧面上均匀安装有轮齿，带动齿轮与轮齿相互啮合。
优选的，所述的转轴的上端固定有弧形的旋转板。
优选的，所述的驱动装置包括工字轮、传动皮带、传动齿轮、齿条、滑杆、限位杆、转动杆、转盘和驱动电机，安装轴的下端固定有工字轮，工字轮之间通过传动皮带连接，其中一个工字轮的下端安装有传动齿轮，传动齿轮的一侧啮合有齿条，齿条的两侧对称连接有滑杆，安装底板的下端面相对设置有限位杆，滑杆滑动设置于限位杆内，其中一个滑杆远离齿条的一端转动安装有转动杆，转动杆通过销轴转动安装在转盘上，转盘的中部与驱动电机的输出轴连接，驱动电机通过电机座安装在安装底板的下端。
优选的，所述的滑槽靠近转轴的一侧上方滑动安装有伸缩板，且伸缩板连接在滑移块上。
一种氮化镓HEMT器件的制造方法，该制造方法包括以下步骤：
S1、在准备好的衬底层上依次布置氮化铝层、氮化镓缓冲层和氮化镓沟道层并得到所要加工的外延片；
S2、根据所要加工的外延片的尺寸大小，对旋转板进行旋转，使转轴随之运动并同步调控滑移安装板在放置圆板上的位置和滑移块在滑槽内的位置，使封边装置符合所要加工的外延片的尺寸，然后将多个外延片依次放置于放置圆板中心处；
S3、通过双向电动推杆带动封边条进行收缩，使封边条紧贴在外延片的外侧，便于注入光刻胶，防止光刻胶从侧边流出；
S4、通过气缸带动下压板向下运动从而使出料管运动至外延片上方合适位置，然后通过外部设置的供料设备向出料管内注入光刻胶从而使光刻胶流至外延片表面，与此同时，通过驱动装置带动安装轴做往复旋转运动，进而使光刻胶更均匀的分布在外延片的表面，并可通过送料块将光刻胶推至外延片外侧，进一步促使光刻胶均匀分布在外延片表面；
S5、然后对光刻胶进行曝光显影，并进行后续加工制造步骤得到氮化镓HEMT器件。
(二)有益效果：1.相比于现有技术，本发明设计了一种可通过调节以适应不同尺寸外延片的封边装置，无需要更换不同的封边装置，提升了该制造加工设备的整体利用率和加工效率，并防止了外延片在进行旋转涂胶时光刻胶容易从外延片的表面外侧流出，节约了资源，同时使外延片做往复旋转运动，使光刻胶分布的更加均匀，提升了外延片的加工质量，为后续氮化镓HEMT器件的制造加工奠定了基础。
2.本发明可根据所要加工的外延片的大小，对旋转板进行旋转，使转轴随之运动并同步调控滑移安装板在放置圆板上的位置和滑移块在滑槽内的位置，使封边装置符合所要加工的外延片的尺寸，然后将多个外延片依次放置于放置圆板中心处，再通过双向电动推杆带动封边条进行收缩，使封边条紧贴在外延片的外侧，便于注入光刻胶，防止光刻胶从侧边流出。
3.本发明可通过气缸带动下压板向下运动从而使出料管运动至外延片上方合适位置，然后通过外部设置的供料设备向出料管内注入光刻胶从而使光刻胶流至外延片表面，与此同时，通过驱动装置带动安装轴做正、反两个方向的来回旋转运动，进而使光刻胶更均匀的分布在外延片的表面，并可通过送料块将光刻胶推至外延片外侧，进一步促使光刻胶均匀分布在外延片表面。
附图说明
下面结合附图和实施例对本发明进一步说明。
图1是本发明的立体结构示意图。
图2是本发明的俯视图。
图3是本发明图2的A-A向剖视图。
图4是本发明图1的X处局部放大图。
图5是图3的Y处局部放大图。
图6是驱动装置的立体结构示意图。
图7是封边装置第一视角的立体结构示意图。
图8是封边装置第二视角的立体结构示意图。
图中：1、安装底板；11、L型安装架；12、气缸；13、下压板；14、出料管；15、连接杆；16、送料块；2、支撑杆；3、安装轴；4、封边装置；41、放置圆板；42、限位槽；43、滑移安装板；44、工作腔；45、滑槽；46、滑移块；47、封边条；48、双向电动推杆；49、调节机构；491、转轴；492、锁紧器；493、一号锥齿轮；494、二号锥齿轮；495、丝杠；496、带动齿轮；497、轮齿；5、驱动装置；51、工字轮；52、传动皮带；53、传动齿轮；54、齿条；55、滑杆；56、限位杆；57、转动杆；58、转盘；59、驱动电机。
具体实施方式
以下结合附图对本发明的实施例进行详细说明，但是本发明可以由权利要求限定和覆盖的多种不同方式实施。
参阅图1、图2、图3和图5，一种氮化镓HEMT器件的制造加工设备，包括安装底板1、支撑杆2、安装轴3、封边装置4和驱动装置5，所述的安装底板1下端面靠近四个拐角处固定有多个支撑杆2，安装底板1上通过轴承转动安装有多个横向布置的安装轴3，安装轴3的上端连接有封边装置4，其中一个安装轴3的下侧连接有驱动装置5，通过封边装置4对不同尺寸的外延片进行封边处理，通过驱动装置5带动安装轴3进行往复旋转运动，进而使光刻胶分布的更加均匀，若是只向一个方向旋转，可能会导致光刻胶分布不均。
参阅图1、图5、图7和图8，所述的封边装置4包括放置圆板41、限位槽42、滑移安装板43、工作腔44、滑槽45、滑移块46、封边条47、双向电动推杆48和调节机构49，安装轴3的上端连接有放置圆板41，放置圆板41的上端面开设有限位槽42；限位槽42为横向布置，且限位槽42的长度小于放置圆板41的半径，限位槽42的上方设置有滑移安装板43，且滑移安装板43滑动设置在放置圆板41的上端面，滑移安装板43的内部开设有工作腔44，工作腔44的两侧相对连通有滑槽45，滑槽45内滑动安装有滑移块46，滑移块46的上侧之间通过封边条47连接，且封边条47滑动设置于滑移块46内，封边条47的相对侧之间通过双向电动推杆48连接，双向电动推杆48通过安装座固定在滑移安装板43的一端，滑移安装板43的中部设置有调节机构49，具体工作时，在准备好的衬底层上依次布置氮化铝层、氮化镓缓冲层和氮化镓沟道层并得到所要加工的外延片，然后根据所要加工的外延片的尺寸大小，对调节机构49进行调节，同步调控滑移安装板43在放置圆板41上的位置和滑移块46在滑槽45内的位置，使封边装置4符合所要加工的外延片的尺寸，然后将多个外延片依次放置于放置圆板41中心处，再通过双向电动推杆48带动封边条47两侧进行收缩，进而使封边条47紧贴在外延片的外侧，对外延片进行封边处理，防止了外延片在进行旋转涂胶时光刻胶容易从外延片的表面外侧流出，节约了资源，且封边条47的高度要高于所要涂抹的光刻胶厚度。
参阅图1和图4，所述的安装底板1上端面中间位置安装有L型安装架11，L型安装架11的上端通过气缸底座安装有气缸12，气缸12的顶出端连接有下压板13，下压板13上设置有多个出料管14；所述的出料管14与外部设置的供料设备连通，通过供料设备向出料管14内注入适量的光刻胶，出料管14管口与放置圆板41中心位置一一对应，下压板13下端面远离L型安装架11的一侧安装有多个连接杆15，连接杆15与出料管14位于同一竖直平面，连接杆15的下端连接有送料块16；所述的送料块16为梯形，且送料块16的横向两侧为斜面，具体工作时，通过气缸12带动下压板13向下运动，从而使出料管14运动至外延片上方合适位置并对外延片中心处对齐，然后通过外部设置的供料设备向出料管14内注入光刻胶，从而使光刻胶流至外延片表面，与此同时，通过驱动装置5带动安装轴3做正、反两个方向的来回旋转运动，进而使光刻胶更均匀的分布在外延片的表面，并可通过送料块16将光刻胶推至外延片外侧，进一步促使光刻胶均匀分布在外延片表面。
参阅图5，所述的调节机构49包括转轴491、锁紧器492、一号锥齿轮493、二号锥齿轮494、丝杠495、带动齿轮496和轮齿497，工作腔44内转动安装有转轴491；所述的转轴491的上端固定有弧形的旋转板，转轴491的上侧安装于锁紧器492内，锁紧器492为现有设备，此处不再过多赘述，通过锁紧器492对转轴491的旋转位置进行锁紧防止其发生回位影响调节机构49工作，锁紧器492安装在工作腔44内，转轴491的中部安装有一号锥齿轮493，一号锥齿轮493的两侧螺纹连接有相对设置的二号锥齿轮494，二号锥齿轮494远离一号锥齿轮493的一端固定有丝杠495，两侧的丝杠495分别螺纹连接于相对应的滑移块46下侧，丝杠495远离二号锥齿轮494的一端转动安装在滑槽45内，转轴491的下侧外壁上固定有带动齿轮496，限位槽42内的一侧面上均匀安装有轮齿497，带动齿轮496与轮齿497相互啮合，具体工作时，转动旋转板使转轴491随之旋转，进而使一号锥齿轮493旋转并带动二号锥齿轮494同步旋转，二号锥齿轮494旋转带动丝杠495在滑槽45内进行旋转，进而使滑移块46在滑槽45内同步滑动，并同时带动封边条47的两侧进行同步运动，与此同时，转轴491旋转使带动齿轮496转动，由于带动齿轮496与轮齿497相互啮合，因此，转轴491旋转的同时还在限位槽42内进行水平移动并同步带动滑移安装板43在放置圆板41上进行滑动，从而同时调控滑移安装板43和滑移块46的位置，使其符合外延片的大小。
参阅图6，所述的驱动装置5包括工字轮51、传动皮带52、传动齿轮53、齿条54、滑杆55、限位杆56、转动杆57、转盘58和驱动电机59，安装轴3的下端固定有工字轮51，工字轮51之间通过传动皮带52连接，其中一个工字轮51的下端安装有传动齿轮53，传动齿轮53的一侧啮合有齿条54，齿条54的两侧对称连接有滑杆55，安装底板1的下端面相对设置有限位杆56，滑杆55滑动设置于限位杆56内，其中一个滑杆55远离齿条54的一端转动安装有转动杆57，转动杆57通过销轴转动安装在转盘58上，转盘58的中部与驱动电机59的输出轴连接，驱动电机59通过电机座安装在安装底板1的下端，具体工作时，通过驱动电机59带动转盘58旋转，使转盘58带动转动杆57运动，进而使滑杆55在限位杆56的限位作用下进行横向的往复运动，从而使齿条54做横向的往复运动，齿条54做横向的往复运动带动其中一个传动齿轮53做往复旋转运动，该传动齿轮53随之带动传动皮带52运动，进而使传动皮带52带动所有的工字轮51进行往复旋转运动，从而带动安装轴3做往复旋转运动，进而带动放置圆板41和其表面的外延片做往复旋转运动，使外延片上的光刻胶均匀分布。
参阅图7，所述的滑槽45靠近转轴491的一侧上方滑动安装有伸缩板451，且伸缩板451连接在滑移块46上，通过伸缩板451对外延片竖直部分进行封边，避免滑移块46在滑动时无法对外延片竖直部分进行封边的问题。
一种氮化镓HEMT器件的制造方法，该制造方法包括以下步骤：
S1、在准备好的衬底层上依次布置氮化铝层、氮化镓缓冲层和氮化镓沟道层并得到所要加工的外延片；
S2、根据所要加工的外延片的大小，对旋转板进行旋转，使转轴491随之运动并同步调控滑移安装板43在放置圆板41上的位置和滑移块46在滑槽45内的位置，使封边装置4符合所要加工的外延片的尺寸，然后将多个外延片依次放置于放置圆板41中心处；
S3、通过双向电动推杆48带动封边条47进行收缩，使封边条47紧贴在外延片的外侧，便于注入光刻胶，防止光刻胶从侧边流出；
S4、通过气缸12带动下压板13向下运动从而使出料管14运动至外延片上方合适位置，然后通过外部设置的供料设备向出料管14内注入光刻胶从而使光刻胶流至外延片表面，与此同时，通过驱动装置5带动安装轴3做正、反两个方向的来回旋转运动，进而使光刻胶更均匀的分布在外延片的表面，并可通过送料块16将光刻胶推至外延片外侧，进一步促使光刻胶均匀分布在外延片表面；
S5、然后对光刻胶进行曝光显影，并进行后续加工制造步骤得到氮化镓HEMT器件。
以上所述仅为本发明的优选实施例而已，并不用于限制本发明，对于本领域的技术人员来说，本发明可以有各种更改和变化。凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。
Claims (9)
1.一种氮化镓HEMT器件的制造加工设备，包括安装底板(1)、支撑杆(2)、安装轴(3)、封边装置(4)和驱动装置(5)，其特征在于：所述的安装底板(1)下端面靠近四个拐角处固定有多个支撑杆(2)，安装底板(1)上通过轴承转动安装有多个横向布置的安装轴(3)，安装轴(3)的上端连接有封边装置(4)，其中一个安装轴(3)的下侧连接有驱动装置(5)；其中：
所述的封边装置(4)包括放置圆板(41)、限位槽(42)、滑移安装板(43)、工作腔(44)、滑槽(45)、滑移块(46)、封边条(47)、双向电动推杆(48)和调节机构(49)，安装轴(3)的上端连接有放置圆板(41)，放置圆板(41)的上端面开设有限位槽(42)，限位槽(42)的上方设置有滑移安装板(43)，且滑移安装板(43)滑动设置在放置圆板(41)的上端面，滑移安装板(43)的内部开设有工作腔(44)，工作腔(44)的两侧相对连通有滑槽(45)，滑槽(45)内滑动安装有滑移块(46)，滑移块(46)的上侧之间通过封边条(47)连接，且封边条(47)滑动设置于滑移块(46)内，封边条(47)的相对侧之间通过双向电动推杆(48)连接，双向电动推杆(48)通过安装座固定在滑移安装板(43)的一端，滑移安装板(43)的中部设置有调节机构(49)；
所述的安装底板(1)上端面中间位置安装有L型安装架(11)，L型安装架(11)的上端通过气缸底座安装有气缸(12)，气缸(12)的顶出端连接有下压板(13)，下压板(13)上设置有多个出料管(14)，出料管(14)管口与放置圆板(41)中心位置一一对应，下压板(13)下端面远离L型安装架(11)的一侧安装有多个连接杆(15)，连接杆(15)与出料管(14)位于同一竖直平面，连接杆(15)的下端连接有送料块(16)。
2.根据权利要求1所述的一种氮化镓HEMT器件的制造加工设备，其特征在于：所述的限位槽(42)为横向布置，且限位槽(42)的长度小于放置圆板(41)的半径。
3.根据权利要求1所述的一种氮化镓HEMT器件的制造加工设备，其特征在于：所述的出料管(14)与外部设置的供料设备连通，通过供料设备向出料管(14)内注入适量的光刻胶。
4.根据权利要求1所述的一种氮化镓HEMT器件的制造加工设备，其特征在于：所述的送料块(16)为梯形，且送料块(16)的横向两侧为斜面。
5.根据权利要求1所述的一种氮化镓HEMT器件的制造加工设备，其特征在于：所述的调节机构(49)包括转轴(491)、锁紧器(492)、一号锥齿轮(493)、二号锥齿轮(494)、丝杠(495)、带动齿轮(496)和轮齿(497)，工作腔(44)内转动安装有转轴(491)，转轴(491)的上侧安装于锁紧器(492)内，锁紧器(492)安装在工作腔(44)内，转轴(491)的中部安装有一号锥齿轮(493)，一号锥齿轮(493)的两侧螺纹连接有相对设置的二号锥齿轮(494)，二号锥齿轮(494)远离一号锥齿轮(493)的一端固定有丝杠(495)，两侧的丝杠(495)分别螺纹连接于相对应的滑移块(46)下侧，丝杠(495)远离二号锥齿轮(494)的一端转动安装在滑槽(45)内，转轴(491)的下侧外壁上固定有带动齿轮(496)，限位槽(42)内的一侧面上均匀安装有轮齿(497)，带动齿轮(496)与轮齿(497)相互啮合。
6.根据权利要求5所述的一种氮化镓HEMT器件的制造加工设备，其特征在于：所述的转轴(491)的上端固定有弧形的旋转板。
7.根据权利要求1所述的一种氮化镓HEMT器件的制造加工设备，其特征在于：所述的驱动装置(5)包括工字轮(51)、传动皮带(52)、传动齿轮(53)、齿条(54)、滑杆(55)、限位杆(56)、转动杆(57)、转盘(58)和驱动电机(59)，安装轴(3)的下端固定有工字轮(51)，工字轮(51)之间通过传动皮带(52)连接，其中一个工字轮(51)的下端安装有传动齿轮(53)，传动齿轮(53)的一侧啮合有齿条(54)，齿条(54)的两侧对称连接有滑杆(55)，安装底板(1)的下端面相对设置有限位杆(56)，滑杆(55)滑动设置于限位杆(56)内，其中一个滑杆(55)远离齿条(54)的一端转动安装有转动杆(57)，转动杆(57)通过销轴转动安装在转盘(58)上，转盘(58)的中部与驱动电机(59)的输出轴连接，驱动电机(59)通过电机座安装在安装底板(1)的下端。
8.根据权利要求1所述的一种氮化镓HEMT器件的制造加工设备，其特征在于：所述的滑槽(45)靠近转轴(491)的一侧上方滑动安装有伸缩板(451)，且伸缩板(451)连接在滑移块(46)上。
9.一种氮化镓HEMT器件的制造方法，其特征在于：该制造方法包括以下步骤：
S1、在准备好的衬底层上依次布置氮化铝层、氮化镓缓冲层和氮化镓沟道层并得到所要加工的外延片；
S2、根据所要加工的外延片的尺寸大小，对旋转板进行旋转，使转轴(491)随之运动并同步调控滑移安装板(43)在放置圆板(41)上的位置和滑移块(46)在滑槽(45)内的位置，使封边装置(4)符合所要加工的外延片的尺寸，然后将多个外延片依次放置于放置圆板(41)中心处；
S3、通过双向电动推杆(48)带动封边条(47)进行收缩，使封边条(47)紧贴在外延片的外侧，便于注入光刻胶，防止光刻胶从侧边流出；
S4、通过气缸(12)带动下压板(13)向下运动从而使出料管(14)运动至外延片上方合适位置，然后通过外部设置的供料设备向出料管(14)内注入光刻胶从而使光刻胶流至外延片表面，与此同时，通过驱动装置(5)带动安装轴(3)做往复旋转运动，进而使光刻胶更均匀的分布在外延片的表面，并可通过送料块(16)将光刻胶推至外延片外侧，进一步促使光刻胶均匀分布在外延片表面；
S5、然后对光刻胶进行曝光显影，并进行后续加工制造步骤得到氮化镓HEMT器件。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202111636383.8A CN114296319A (zh) | 2021-12-29 | 2021-12-29 | 一种氮化镓hemt器件的制造加工设备及制造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202111636383.8A CN114296319A (zh) | 2021-12-29 | 2021-12-29 | 一种氮化镓hemt器件的制造加工设备及制造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN114296319A true CN114296319A (zh) | 2022-04-08 |
Family
ID=80971963
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202111636383.8A Pending CN114296319A (zh) | 2021-12-29 | 2021-12-29 | 一种氮化镓hemt器件的制造加工设备及制造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN114296319A (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN114899242A (zh) * | 2022-04-27 | 2022-08-12 | 无锡市查奥微电子科技有限公司 | 高抗浪涌能力的碳化硅结势垒肖特基二极管及其生产工艺 |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0487665A (ja) * | 1990-07-27 | 1992-03-19 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 回転式塗布装置 |
| CN210497395U (zh) * | 2019-08-06 | 2020-05-12 | 广州市腾创节能科技有限公司 | 一种led灯具生产用清洗装置 |
| CN112719020A (zh) * | 2021-01-06 | 2021-04-30 | 南京素洛科技有限公司 | 一种可调节压边圈尺寸的自动拉深脱模机 |
| CN112799282A (zh) * | 2020-12-30 | 2021-05-14 | 六安优云通信技术有限公司 | 一种电源芯片制造用晶圆光刻显影蚀刻装置及其制备工艺 |
| CN113246053A (zh) * | 2021-06-11 | 2021-08-13 | 文信佳 | 一种橱柜生产制造组装自动化装配工装及组装方法 |
-
2021
- 2021-12-29 CN CN202111636383.8A patent/CN114296319A/zh active Pending
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0487665A (ja) * | 1990-07-27 | 1992-03-19 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 回転式塗布装置 |
| CN210497395U (zh) * | 2019-08-06 | 2020-05-12 | 广州市腾创节能科技有限公司 | 一种led灯具生产用清洗装置 |
| CN112799282A (zh) * | 2020-12-30 | 2021-05-14 | 六安优云通信技术有限公司 | 一种电源芯片制造用晶圆光刻显影蚀刻装置及其制备工艺 |
| CN112719020A (zh) * | 2021-01-06 | 2021-04-30 | 南京素洛科技有限公司 | 一种可调节压边圈尺寸的自动拉深脱模机 |
| CN113246053A (zh) * | 2021-06-11 | 2021-08-13 | 文信佳 | 一种橱柜生产制造组装自动化装配工装及组装方法 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN114899242A (zh) * | 2022-04-27 | 2022-08-12 | 无锡市查奥微电子科技有限公司 | 高抗浪涌能力的碳化硅结势垒肖特基二极管及其生产工艺 |
| CN114899242B (zh) * | 2022-04-27 | 2024-04-30 | 无锡市查奥微电子科技有限公司 | 高抗浪涌能力的碳化硅结势垒肖特基二极管及其生产工艺 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN114296319A (zh) | 一种氮化镓hemt器件的制造加工设备及制造方法 | |
| CN205381717U (zh) | 一种陶瓷基片自动上下料机构 | |
| CN1815765A (zh) | 一种yag晶片式白光发光二极管及其封装方法 | |
| CN109628905A (zh) | 载板和镀膜设备 | |
| CN112938415B (zh) | 一种晶片排片机排片用辅助工装 | |
| KR20230156135A (ko) | 실리콘 로드 절단 시스템 | |
| CN208615989U (zh) | 一种建筑施工面短距离物料输送用推车 | |
| CN116550561B (zh) | 导热硅脂涂布装置及其在智能电网散热模块处理中的应用 | |
| CN208853370U (zh) | 一种真空镀膜工件自动清洗装置 | |
| CN110459491B (zh) | 一种芯片加工用双工位固晶机及其使用方法 | |
| CN116053357A (zh) | 一种太阳能电池串组组装设备 | |
| TWM508781U (zh) | 積體電路收料管雙層自動排管機構 | |
| CN213266778U (zh) | 一种碲锌镉晶体生长设备 | |
| CN211455706U (zh) | 一种太阳能板用贴膜装置 | |
| CN219131726U (zh) | 一种晶片减薄装置 | |
| CN210788535U (zh) | 数控回转接料清洗机 | |
| CN214300054U (zh) | 一种酿酒用便于调节的摊凉机 | |
| CN220702241U (zh) | 一种硅片输送定位装置 | |
| CN218753473U (zh) | 一种硅片加工用转运分片装卸装置 | |
| CN216644833U (zh) | 一种高效硅片烘干装置 | |
| CN217229485U (zh) | 一种生产保温材料用的原料输送装置 | |
| CN218698157U (zh) | 一种铝材门窗装配定位工装 | |
| CN213366565U (zh) | 一种基于限制自由度h型顶板晶圆片顶出装置 | |
| CN212870677U (zh) | 一种活动式烘干机输送带的挡风装置 | |
| CN216213332U (zh) | 一种用于插片机的硅片多段导向机构 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination |