CN114294444A - 流体控制阀 - Google Patents

Abstract

本发明提供流体控制阀，在具有压电元件以及放大压电元件的位移的机械放大器的流体控制阀中，实现施加于压电元件的剪切力的降低。流体控制阀具有：壳体，其具有内室和成为流体的出入口的开口；压电元件，其能够沿着伸缩轴伸缩；以及机械放大器，其放大压电元件的位移，使对开口进行开闭的阀部位移，机械放大器包含：支承部，其设置于壳体，与压电元件的伸缩轴的轴向一端连接；位移部，其与压电元件的轴向另一端结合；臂，其在一端与位移部连接，在中间部经由能够变形的放大器铰链部与支承部连接，在另一端对一个开口进行开闭；以及平衡机构，其施加与因压电元件的伸长而施加于位移部的垂直于伸缩轴的方向的载荷相反朝向的载荷。

Description

流体控制阀

技术领域

本发明涉及用于流路的切换、调整流量的流体控制阀。

背景技术

公知有切换流体的流动方向的电气式切换阀(例如，专利文献1)。专利文献1的电气式切换阀是滑阀式的切换阀，在滑阀的两侧形成有滑阀液室。在阀体液室分别连接有喷嘴，喷嘴连接于与罐管线相连的排出流路。

在各个排出通道上设置有对喷嘴进行开闭的开闭机构。开闭机构具有层叠型的压电元件(电致伸缩元件)和放大压电元件的位移的机械放大器(位移放大机构)。机械放大器具有固定于电气式切换阀的壳体的支承臂和经由铰链与支承臂连结的L字状的杆。杆在一端密封喷嘴，在另一端与压电元件连接。

当对压电元件施加电压时，压电元件伸长，杆以铰链为中心旋转，喷嘴被打开。当喷嘴打开时，一个滑阀液室经由排出流路与油箱管路连通，滑阀液室的液压被排出。由此，产生两阀体液室的液压的差，阀体移动，流体的流动方向被切换。

这样，通过使用压电元件构成开闭机构，能够进行比螺线管式的开闭机构更高速的响应。另外，由于使用呈L字状的一根杆进行开闭，因此与使用多个杆的情况、使用直线状的杆的情况相比，能够实现电气式切换阀的小型化。

专利文献1：日本实公平3-43501号公报

在专利文献1的电气式切换阀中，当压电元件伸长时，杆大致以铰链为中心旋转，因此杆与支承臂的连接部分大致沿着以该铰链为中心的弧移动。因此，对压电元件与杆的结合部分施加具有与伸长方向垂直的方向的成分的载荷。该载荷中的、与伸长方向垂直的方向的成分成为对压电元件的剪切力，因此对压电元件施加负荷，电磁切换阀的耐久性有可能降低。

发明内容

本发明所要解决的课题在于，在具有压电元件以及放大压电元件的位移的机械放大器的流体控制阀中，实现施加于压电元件的剪切力的降低。

本发明的一个实施方式的流体控制阀(10、110、210、310、410)具有：壳体(12)，其具有内室(40)和与所述内室连通并且成为流体的出入口的至少2个开口(A、P)；压电元件(44)，其能够沿着规定的伸缩轴(X)伸缩；以及机械放大器(54)，其放大所述压电元件的位移，使对所述开口的至少一个进行开闭的阀部(84)位移，所述机械放大器包含：支承部(60)，其设置于所述壳体，与所述压电元件的所述伸缩轴的轴向的一端连接；位移部(66)，其与所述压电元件的所述轴向的另一端结合；臂(64)，其在一端与所述位移部连接，在中间部经由能够变形的放大器铰链部(62)与所述支承部连接，在另一端对所述开口的至少一个进行开闭；以及平衡机构(68)，其施加与因所述压电元件的伸长而施加于所述位移部的垂直于所述伸缩轴的方向的载荷相反朝向的载荷。

与压电元件结合的位移部进行位移，该位移被输入到与位移部连接的臂的一端。通过以放大器铰链部为支点的所谓杠杆原理，在臂的另一端，一端侧的位移被放大并输出，开口被打开。此时，由于向相对于臂的一端的伸缩轴的轴向偏离的方向位移，因此通过该位移，经由位移部向压电元件的另一端沿与伸长方向垂直的方向施加载荷，有可能向压电元件施加剪切力。

根据上述结构，当对位移部施加具有与伸缩轴垂直的方向的成分的载荷时，从平衡机构以抵消该成分的方式施加载荷。因此，防止了载荷经由位移部而在与伸长方向垂直的方向上传递至压电元件的另一端的情况，从而降低了在与伸长方向垂直的方向上对压电元件施加的剪切力。

在上述流体控制阀中，更优选的是，所述平衡机构包含：拟臂(80)，其与所述位移部结合；以及平衡铰链部(82)，其与所述拟臂和所述支承部结合，能够变形，所述臂与所述位移部的结合部分和所述拟臂与所述位移部的结合部分隔着所述伸缩轴而对置。

根据该结构，位移部与臂和平衡铰链部在隔着伸缩轴对置的位置结合。因此，在经由平衡铰链部对位移部施加了具有从臂施加的与伸缩轴垂直的方向的成分的载荷时，能够施加与该成分对置的相反朝向的载荷。

在上述流体控制阀(10)中，更优选的是，所述支承部包含沿所述伸缩轴的方向延伸并且配置在隔着所述压电元件对置的位置的第1支承部(60B)和第2支承部(60C)，所述放大器铰链部从所述第1支承部沿着所述伸缩轴延伸，所述平衡铰链部具有与所述放大器铰链部相同形状的截面，所述平衡铰链部从所述第2支承部沿着所述伸缩轴延伸，所述位移部具有：盖部(72)，其与所述压电元件的所述另一端结合；第1轴向延伸部(74)，其从所述盖部沿着所述伸缩轴延伸并且与所述臂连接；以及第2轴向延伸部(76)，其从所述盖部沿着所述伸缩轴延伸并且与所述拟臂连接，所述位移部相对于所述伸缩轴呈轴对称，在所述轴向上，所述平衡铰链部的基端(82A)位于比所述放大器铰链部的基端(62A)靠所述压电元件的所述一端侧的位置。

根据该结构，与平衡铰链部的基端和放大器铰链部的基端位于在伸缩轴的轴向上对齐的位置时相比，能够经由平衡铰链部对位移部以进一步抵消从臂施加的与伸缩轴垂直的方向的载荷的方式施加载荷。

在上述流体控制阀(210)中，更优选的是，所述支承部包含沿所述伸缩轴的方向延伸并且配置在隔着所述压电元件对置的位置的第1支承部(60B)和第2支承部(60C)，所述放大器铰链部从所述第1支承部沿着所述伸缩轴延伸，所述平衡铰链部具有与所述放大器铰链部相同形状的截面，所述平衡铰链部从所述第2支承部沿着所述伸缩轴延伸，所述位移部具有：盖部(72)，其与所述压电元件的所述另一端结合；第1轴向延伸部(74)，其从所述盖部沿着所述伸缩轴延伸并且与所述臂连接；以及第2轴向延伸部(76)，其从所述盖部沿着所述伸缩轴延伸并且与所述拟臂连接，在所述轴向上，所述平衡铰链部的基端(82A)位于与所述放大器铰链部的基端(62A)匹配的位置，所述臂的位于所述压电元件的所述另一端侧的侧缘比所述拟臂的位于所述压电元件的所述另一端侧的侧缘靠所述压电元件的所述另一端侧。

根据该结构，与臂的位于压电元件的另一端侧的侧缘和拟臂的位于压电元件的另一端侧的侧缘处于在伸缩轴的轴向上对齐的位置时相比，能够经由平衡铰链部对位移部以进一步抵消从臂施加的与伸缩轴垂直的方向的载荷的方式施加载荷。

在上述流体控制阀(310)中，更优选的是，所述支承部包含沿所述伸缩轴的方向延伸并且配置于隔着所述压电元件对置的位置的第1支承部(60B)和第2支承部(60C)，所述放大器铰链部从所述第1支承部沿着所述伸缩轴延伸，所述平衡铰链部从所述第2支承部沿着所述伸缩轴延伸，所述位移部具有：盖部(72)，其与所述压电元件的所述另一端结合；第1轴向延伸部(74)，其从所述盖部沿着所述伸缩轴延伸并且与所述臂连接；以及第2轴向延伸部(76)，其从所述盖部沿着所述伸缩轴延伸并且与所述拟臂连接，所述位移部相对于所述伸缩轴呈轴对称，在所述轴向上，所述平衡铰链部的基端(82A)位于与所述放大器铰链部的基端(62A)匹配的位置，所述平衡铰链部的截面积在一部分与其他部分不同。

根据该结构，通过调整平衡铰链部的截面积，能够经由平衡铰链部对位移部以进一步抵消从臂施加的与伸缩轴垂直的方向的载荷的方式施加载荷。

在上述流体控制阀(10、110、210、310、410)中，更优选的是，所述平衡铰链部的弯曲点(P2)和所述放大器铰链部的弯曲点(P1)以所述伸缩轴为中心呈轴对称。

根据该结构，与平衡铰链部的弯曲点和放大器铰链部的弯曲点不以伸缩轴为中心而轴对称的情况相比，能够经由平衡铰链部对位移部以进一步抵消从臂施加的与伸缩轴垂直的方向的载荷的方式施加载荷。

在上述流体控制阀(10、110、210、310、410)中，更优选的是，在所述壳体设置有分隔壁(94)，该分隔壁将所述内室划分为收纳所述压电元件的第1空间(90、190)和包含连接2个所述开口的通路的第2空间(92、192)。

根据该结构，内室被分离成设置有压电元件的第1空间和流体经由2个贯通孔流通的第2空间。因此，能够防止流体向设置有压电元件的空间的侵入，能够实现压电元件的保护。

在上述流体控制阀(10、110、210、310、410)中，优选的是，所述分隔壁包含：壁体(30D、126A、126B、126D)，其划定供所述臂通过的臂通路(32A、130)的至少一部分；以及密封部件(70、170)，其设置在所述臂与划定所述通路的壁面之间，能够弹性变形。

根据该结构，由于臂与通路之间被能够弹性变形的密封部件密封，因此能够在将内室划分为第1空间和第2空间的状态下使臂位移。而且，能够利用密封部件使臂产生的振动衰减。

在上述流体控制阀(10、210、310、410)中，优选的是，所述壁体具有划定所述臂通路的贯通孔(32)，所述密封部件设置于划定所述贯通孔的壁面与所述臂之间。

根据该结构，能够将内室划分为第1空间和第2空间，并且能够使臂位移。

在上述流体控制阀(110)中，优选的是，所述壁体与划定所述内室的壁面协作而划定所述臂通路，所述密封部件(170)设置在所述壁体和划定所述内室的壁面与所述臂之间。

根据该结构，能够将内室划分为第1空间和第2空间，并且能够使臂位移。

在上述流体控制阀(10、110、210、310、410)中，优选的是，所述第1空间经由连接器孔(42)与所述壳体的外部连通，在与所述连接器孔匹配的位置设置有用于向所述压电元件供给电压的连接器(C)。

根据该结构，能够容易地组装连接器，不需要使用具有密封功能的连接器孔，因此能够使流体控制阀小型化。

在上述流体控制阀(10、110、210、310、410)中，优选的是，在所述臂的所述一端一体形成有弹性体制的阀体。

根据该结构，利用阀体更可靠地进行开口的密封。

在上述流体控制阀(410)中，优选的是，在通过所述臂开闭的所述开口设置有由弹性体构成的阀座(52)。

根据该结构，利用阀体更可靠地进行开口的密封。

根据本发明，在具有压电元件以及放大压电元件的位移的机械放大器的流体控制阀中，能够实现施加于压电元件的剪切力的降低。

附图说明

图1是第1实施方式的流体控制阀的立体图。

图2的(A)是沿图1的II-II线的剖视图，图2的(B)是由图2的(A)中的双点划线包围的部分的放大图。

图3是沿图1的III-III线的剖视图。

图4是第1实施方式的流体控制阀的分解立体图。

图5是压电元件伸长时的流体控制阀的剖视图。

图6的(A)是示出在平衡铰链部的基端与放大器铰链部的基端在左右方向上对齐的情况下的压电元件伸长时的板的内部的应力分布的图，图6的(B)是示出在平衡铰链部的基端位于比放大器铰链部的基端靠左侧的位置的情况下的压电元件伸长时的板的内部的应力分布的图。

图7是第2实施方式的流体控制阀的立体图。

图8是沿图7的VIII-VIII线的剖视图。

图9是沿图7的IX-IX线的剖视图。

图10是第2实施方式的流体控制阀的分解立体图。

图11的(A)是示出第3实施方式的流体控制阀的板的形状，图11的(B)是示出第3实施方式的流体控制阀的压电元件伸长时的板的内部的应力分布的图。

图12是用于说明第4实施方式的流体控制阀的板的形状的说明图。

图13是第5实施方式的流体控制阀的剖视图。

标号说明

10：第1实施方式的流体控制阀；12：壳体；14：壳体主体；16：上部件；16D：第2上部件；16U：第1上部件；18：罩部件；20L：端口用贯通孔；20R：端口用贯通孔；22：筒部件；22A：内孔；24LD：贯通孔；24LU：贯通孔；24RD：贯通孔；24RU：贯通孔；26：主体上部；28：主体下部；30：上侧凹部；30D：底壁；32：贯通孔；32A：臂通路；34：收纳凹部；36：槽部；38：切口部；40：内室；42：连接器孔；44：压电元件；44A：压电体；46：阀体；48：板；50：布线；52：阀座；54：机械放大器；60：支承部；60A：支承基部；60B：第1支承柱部；60C：第2支承柱部；62：放大器铰链部；62A：基端；64：臂；64A：臂基部；64B：臂延伸部；64C：臂基端部；64R：臂的右缘(臂的位于压电元件的另一端侧的侧缘)；66：位移部；68：平衡机构；70：密封部件；72：盖部；74：第1轴向延伸部；76：第2轴向延伸部；80：拟臂；80R：拟臂的右缘(拟臂的位于压电元件的另一端侧的侧缘)；82：平衡铰链部；82A：基端；82B：厚壁部；84：阀部；90：第1空间；92：第2空间；94：分隔壁；110：第2实施方式的流体控制阀；126：主体左上部；126A：前壁；126B：后壁；126C：左壁；126D：下壁；127：槽部；128：主体主部；130：臂通路；170：密封部件；190：第1空间；192：第2空间；194：分隔壁；210：第3实施方式的流体控制阀；248：板；310：第4实施方式的流体控制阀；348：板；410：第5实施方式的流体控制阀；423：环部件；A：输出端口；C：连接器；P：供给端口；P0：支点；P1：弯曲点；P2：弯曲点；X：伸缩轴；δ：偏移。

具体实施方式

以下，本发明的流体控制阀用于控制分别划定流路的多个端口的连接状态。以下，对将本发明应用于控制2个端口的连接状态的流体控制阀的4个实施方式进行说明。以下，按照图1所示的箭头，方便地确定上下、前后以及左右方向来进行说明。

《第1实施方式》

如图1所示，第1实施方式的流体控制阀10呈具有朝向上下、前后以及左右各方向的面的大致长方体状。在流体控制阀10的上表面设置有成为压缩空气等流体的入口的供给端口P和成为流体的出口的输出端口A。供给端口P和输出端口A以左右排列的方式配置。

如图1至图4所示，流体控制阀10具有大致长方体状的壳体12。壳体12由构成其前下半部的壳体主体14、构成其上半部的上部件16、以及构成其后下半部的罩部件18构成。

上部件16呈左右延伸的长方体状，具有上下贯通的2个端口用贯通孔20L、20R。2个端口用贯通孔20L、20R以左右排列的方式配置。由左侧的端口用贯通孔20L的上端开口部分划定输出端口A，由右侧的端口用贯通孔20R的上端开口部分划定供给端口P。

在本实施方式中，如图2的(A)以及图3所示，上部件16由构成其上部的第1上部件16U、构成其下部的第2上部件16D、设置在第1上部件16U以及第2上部件16D之间的筒部件22构成。在第1上部件16U(第2上部件16D)上左右并列设置有沿上下方向贯通的2个贯通孔24LU、24RU(24LD、24RD)。第1上部件16U的2个贯通孔24LU、24RU和第2上部件16D的右侧的贯通孔24RD分别呈圆形，第2上部件16D的左侧的贯通孔24LD呈沿左右方向延伸的长孔状。

筒部件22呈具有上下贯通的内孔22A的筒状。内孔22A具有沿左右方向延伸的长孔状的截面。筒部件22收纳于第2上部件16D的左侧的贯通孔24LD。第1上部件16U以及第2上部件16D共同紧固于壳体主体14的上表面，并与壳体主体14的上表面结合。此时，第1上部件16U的左侧的贯通孔24LU与第2上部件16D的左侧的贯通孔24LD上下匹配而构成左侧的端口用贯通孔20L，第1上部件16U的右侧的贯通孔24RU与第2上部件16D的右侧的贯通孔24RD上下匹配而构成右侧的端口用贯通孔20R。

如图2的(A)所示，筒部件22以其下端比第2上部件16D的下表面向下侧突出的状态收纳于第2上部件16D的左侧的贯通孔24LD。在本实施方式中，筒部件22由金属制的部件构成。

如图3以及图4所示，壳体主体14具有构成其上部的主体上部26和从主体上部26的下表面前部向下方延伸的主体下部28。主体上部26呈沿左右方向延伸的长方体状。在主体上部26的上表面设置有具有长方形状的开口并向下方凹陷的上侧凹部30。如图2的(A)以及图3所示，在上侧凹部30的底壁30D(下壁)的右缘设置有上下贯通的贯通孔32。

主体下部28呈具有朝向前后方向的主面的长方形板状。如图2的(A)以及图4所示，在主体下部28的后表面设置有向前方凹陷的收纳凹部34、和与收纳凹部34同样地向前方凹陷且从收纳凹部34的右下缘向下方延伸的槽部36。

罩部件18呈具有朝向前后方向的面的板状。罩部件18呈与主体下部28匹配的长方形板状，紧固于主体下部28的后侧面。在罩部件18的右下缘且与槽部36匹配的位置设置有向上方向切成方形的切口部38。

壳体主体14的收纳凹部34被罩部件18封闭，上部件16紧固于壳体主体14的上表面，从而在壳体12的内部形成有与2个端口用贯通孔20L、20R连接(即，与供给端口P以及输出端口A连通)的内室40。如图3所示，内室40经由槽部36与外部连通。即，通过设置槽部36，在壳体12形成有使内室40与外部连通的连接器孔42。

如图2的(A)以及图4所示，在内室40中收纳有压电元件44、与筒部件22的下端抵接而关闭左侧的端口用贯通孔20L的下端的阀体46、以及将压电元件44的位移传递至阀体46的板48。

压电元件44是通过层叠多个压电体44A而构成的层叠型的压电致动器，在本实施方式中，以压电体44A的层叠方向成为左右方向的方式配置。在压电体44A之间设置有电极。压电体44A之间的电极分别与设置于压电元件44的侧面的对应的正或负的端子连接。在端子上分别连接有布线50。当在2个布线50之间施加规定的电压时，压电体44A变形，压电元件44在其层叠方向上伸长，当电压成为零时，压电元件44收缩，恢复到原来的大小。

压电元件44呈沿层叠方向延伸的平板状。压电元件44以主面朝向前后方向、层叠方向(即，伸缩方向)成为左右方向的方式配置。以下，将通过压电元件44的中心并沿层叠方向(左右方向)延伸的轴线记载为伸缩轴X。压电元件44以伸缩轴X为中心呈上下对称。压电元件44在未施加载荷或仅施加沿着伸缩轴X的载荷时沿着伸缩轴X伸长。

与压电元件44连接的布线50与连接器C连接。连接器C在连接器孔42的下侧收纳于槽部36，并与壳体主体14的前表面结合。

阀体46是能够弹性变形的树脂(弹性体)制的片状的部件，与筒部件22的下端抵接而密封筒部件22。即，筒部件22的下端构成承受阀体46的部分、即阀座52。在本实施方式中，阀体46通过将能够弹性变形的树脂制的片材切出长方形状，并将切出的片状的部件熔接于板48，从而一体地形成于板48。

板48是被加工成规定的形状的金属制的板状部件，在本实施方式中，由低膨胀合金(因瓦合金)构成。在本实施方式中，板48通过对一张金属制的板材进行冲压成型或线切割放电加工而制造。

板48作为对在压电元件44的端部产生的位移量进行放大(放大)并传递至阀体46的、所谓的机械放大器54(位移放大机构)而发挥功能。以下，参照图2的(A)以及图2的(B)，详细说明板48的构造。

板48包含：支承部60，其固定于壳体12并且支承压电元件44；臂64，其经由放大器铰链部62与支承部60连接；位移部66，其连接压电元件44与臂64；以及平衡机构68。

支承部60具有：沿上下方向延伸的长方形板状的支承基部60A；从支承基部60A的上端向右方向(伸缩轴X的方向)延伸的长方形板状的第1支承柱部60B(第1支承部)；以及从支承基部60A的下端向第1支承柱部60B的延伸方向(伸缩轴X的轴向、右方向)延伸的长方形板状的第2支承柱部60C(第2支承部)。在支承基部60A的右缘中央设置有向右方呈长方形板状地突出的支承凸部。压电元件44的左端(伸缩轴X的轴向上的一端)与支承凸部的右端连接，第1支承柱部60B以及第2支承柱部60C隔着压电元件44而上下对置。在第1支承柱部60B以及第2支承柱部60C分别设置有贯通孔，通过紧固件(螺钉)紧固于壳体主体14的收纳凹部34的底面(前表面)。由此，支承部60固定于壳体12。

第1支承柱部60B和第2支承柱部60C的左缘设置于上下对齐的位置。在本实施方式中，第1支承柱部60B的左右方向(伸缩轴X的轴向)的长度比第2支承柱部60C的左右方向的长度长，第1支承柱部60B的右缘位于比第2支承柱部60C的右缘靠右侧的位置(即，第2支承柱部60C的右缘位于第1支承柱部60B的左侧)。

臂64包含沿上下方向延伸的臂基部64A、从臂基部64A的上端沿左右方向(纸面左方向)延伸的臂延伸部64B、以及从臂基部64A的下缘右端向下方延伸的臂基端部64C，臂64在前后方向观察时呈L字状。阀体46设置于臂64的左端(延伸端，或者也称为自由端)的上表面。如图2的(A)所示，臂基端部64C以及臂延伸部64B的左端部构成臂64的两端部分，臂基部64A位于臂64的中间部。

如图2的(A)所示，臂基部64A通过设置于壁体(上侧凹部30的底壁30D)的贯通孔32。换言之，臂基部64A通过由贯通孔32划定的臂用的通路(臂通路32A)的内部。在臂基部64A的外周面与划定贯通孔32的壁面之间设置有将该间隙密闭的密封部件70。

放大器铰链部62呈沿左右方向延伸的板状。放大器铰链部62的上下方向(与延伸方向垂直的方向)的宽度比第1支承柱部60B的上下方向的宽度、第2支承柱部60C的上下方向的宽度以及臂基部64A的左右方向的宽度中的任意一个都小，能够比第1支承柱部60B、第2支承柱部60C以及臂基部64A中的任意一个都容易地变形。详细而言，放大器铰链部62将第1支承柱部60B的右端下部以及臂基部64A的左端下部连接。

如图2的(B)所示，位移部66具有：盖部72，其与压电元件44的右端结合；第1轴向延伸部74，其从盖部72的右缘上端向右方(即，沿着伸缩轴X)延伸；以及第2轴向延伸部76，其从盖部72的下缘下端向右方延伸。第1轴向延伸部74在右端与臂基端部64C的左缘连接。

如图2的(A)所示，在本实施方式中，位移部66相对于伸缩轴X呈轴对称。

平衡机构68是用于施加与施加于压电元件44的载荷平衡的载荷而降低施加于压电元件44的剪切力的机构，如图2的(B)所示，平衡机构68包含与位移部66结合的拟臂80以及与拟臂80和支承部60结合的平衡铰链部82。拟臂80位于与臂基端部64C关于伸缩轴X对称的位置，在上左缘与第2轴向延伸部76的右缘连接，并向下方延伸。平衡铰链部82从第2支承柱部60C的右上缘向右方延伸，在右端上缘与拟臂80的左下缘连接。

位移部66在盖部72与压电元件44的右端(伸缩轴X的轴向上的另一端)连接，在第1轴向延伸部74的右边缘与臂基端部64C的下左边缘连接，在第1轴向延伸部74的右边缘与拟臂80的上左边缘连接。

臂64与位移部66的结合部分(更详细而言，臂基端部64C与第1轴向延伸部74的结合部分)和拟臂80与位移部66(第2轴向延伸部76)的结合部分处于隔着伸缩轴X(更详细而言，以伸缩轴X为中心)上下对置的位置。

平衡铰链部82的上下方向的宽度(与延伸方向垂直的方向的宽度)比第1支承柱部60B的上下方向的宽度、第2支承柱部60C的上下方向的宽度以及臂基部64A的左右方向的宽度中的任意一个都小，能够比第1支承柱部60B、第2支承柱部60C以及臂基部64A中的任意一个都容易地弹性变形。在本实施方式中，平衡铰链部82的上下方向的宽度与放大器铰链部62的上下方向的宽度相等。平衡铰链部82的横截面与放大器铰链部62的横截面呈相同形状，两者的截面积彼此相等。此外，第1轴向延伸部74和第2轴向延伸部76也具有与平衡铰链部82和放大器铰链部62大致相同的上下方向上的宽度，并且能够比第1支承柱部60B、第2支承柱部60C和臂基部64A中的任意一个更容易地弹性变形。

在本实施方式中，如图2的(B)所示，平衡铰链部82的基端82A(左端)位于比放大器铰链部62的基端62A(左端)靠左侧的位置，即，位于压电元件44的固定于支承部60的端部(左端)侧。

接着，对这样构成的第1实施方式的流体控制阀10的动作以及效果进行说明。

在未对压电元件44施加电压时，阀体46与阀座52抵接，左侧的端口用贯通孔20L的下端被阀体46封闭。由此，连接供给端口P和输出端口A的流路成为关闭的状态。

如图5所示，当在连接器C上连接电源，在布线50间施加规定的电压时，压电元件44在其层叠方向上伸长。由此，盖部72被向右方向推出(参照黑箭头)，与盖部72连接的臂基部64A的下端也被向右方向推出。由此，放大器铰链部62弹性变形，如图5的空心箭头所示，臂64以放大器铰链部62上的点P0为中心大致旋转地位移。由此，阀体46以从阀座52离开的方式移动，左侧的端口用贯通孔20L的下端开放。由此，形成连接供给端口P和输出端口A的流路，成为打开的状态。这样，臂64在左端构成根据施加于压电元件44的电压而对左侧的端口用贯通孔20L进行开闭的阀部84。

此时，根据以臂64与位移部66的结合部分为力点、以放大器铰链部62上的点P0为支点的所谓杠杆原理，成为作用点的臂延伸部64B的左端的位移比压电元件44的右端的位移大。这样，板48作为放大压电元件44的位移量并作为阀体46的位移量输出的机械放大器54(位移放大机构)发挥功能。通过使用机械放大器54来放大压电元件44的位移，能够容易地确保能够使阀体46离开阀座52的足够大的行程。而且，能够通过调整臂延伸部64B的左右方向的长度来调节放大率，因此容易确保用于使阀体46从阀座52离开的行程。另外，通过施加于压电元件44的电压来调整压电元件44的伸长量，由此能够调整阀体46与筒部件22的下端开口部分之间的间隙，因此能够调整供给端口P与输出端口A之间的流量(更具体而言，连接供给端口P与输出端口A的流路的流导)。

若使施加于压电元件44的电压为零，则压电元件44收缩而恢复到原来的长度，左侧的端口用贯通孔20L的下端被阀体46封闭。由此，连接供给端口P和输出端口A的流路被关闭。

在对压电元件44施加电压而伸长时，臂64如图5的空心箭头所示的那样移动。由此，从臂64向支承部60施加与伸缩轴X(即左右方向)不同的方向的载荷。该载荷的与伸长方向垂直的方向(上下方向)的成分作为对压电元件44的剪切力发挥功能，因此成为使流体控制阀10的耐久性降低的主要原因。

位移部66与臂64和平衡铰链部82在隔着伸缩轴X相互上下对置的位置结合。因此，若从臂64对支承部60施加具有向上成分的载荷，则经由平衡铰链部82对位移部66施加具有与该载荷的向上成分对置的向下成分的载荷。由此，从臂64施加于支承部60的载荷的向上成分被从平衡铰链部82施加的载荷的向下成分抵消。即，由平衡铰链部82构成平衡机构68，该平衡机构68为了抵消从臂64施加于位移部66的载荷的上方向(与伸缩轴X垂直的方向)的成分而将与该成分对置的相反朝向的载荷(即平衡的载荷)施加于位移部66。通过该平衡机构68，能够防止经由位移部66对压电元件44的右端施加朝向上下方向的剪切力，能够有效地利用压电元件44产生的力。

如图2的(A)所示，在板48上，一个臂64设置在从伸缩轴X偏离的位置。由此，板48相对于伸缩轴X呈非对称。因此，在使板48中的由图2所示的单点划线包围的部分相对于伸缩轴X对称的情况下，在压电元件44伸长时，板48相对于伸缩轴X非对称地变形，预测在压电元件44的右端沿与伸缩轴X垂直的方向施加载荷。

图6的(A)示出了图2所示的单点划线包围的部分相对于伸缩轴X对称的情况下的压电元件44伸长时的板48的形状以及应力分布的模拟，图6的(B)示出了平衡铰链部82的基端82A位于比放大器铰链部62的基端62A靠左侧的位置的情况下的压电元件44伸长时的板48的形状以及应力分布的模拟。在图6的(A)中，平衡铰链部82的基端82A和放大器铰链部62的基端62A位于在左右方向上对齐的位置，并且第1支承柱部60B的右端和第2支承柱部60C的右端位于在左右方向上对齐的位置。在图6的(A)以及图6的(B)中，以应力越大则越浓的方式示出，由压电元件44的伸长引起的板48的变形前的形状由双点划线示出。

比较图6的(A)和图6的(B)可知，与图6的(A)的应力分布相比，图6的(B)的应力分布关于伸缩轴X更对称。更详细而言，能够理解为，若将放大器铰链部62的应力最高且最强地弯曲的点(以下称为弯曲点)设为P1，将平衡铰链部82的弯曲点设为P2，则在图6的(B)中，与图6的(A)相比，P1与P2的左右方向的偏移δ足够小，P1与P2关于伸缩轴X更接近对称。

这样，通过将平衡铰链部82的基端82A设定为比放大器铰链部62的基端62A靠左侧，与两基端82A、62A在左右方向上对齐的情况相比，能够使应力分布相对于伸缩轴X更对称。因此，在平衡铰链部82的基端82A位于比放大器铰链部62的基端62A靠左侧的位置的情况下，与两基端在左右方向上对齐的情况相比，能够经由平衡铰链部82对位移部66以进一步抵消从臂64施加的与伸缩轴X垂直的方向的载荷的方式施加载荷，能够防止对压电元件44施加剪切力。

如图2的(A)以及图3所示，在臂基部64A的外周面与上侧凹部30的底壁30D的划定贯通孔32的壁面之间设置有将该间隙密闭的密封部件70。由此，在壳体12的内室40形成分隔壁94，其分离为设置有压电元件44的第1空间90和流体经由2个端口用贯通孔20L、20R流通的(即，与供给端口P和输出端口A连通的)第2空间92。通过利用分隔壁94将内室40分离为第1空间90和第2空间92，能够防止从供给端口P供给的流体侵入设置有压电元件44的第1空间90。因此，即使在从供给端口P供给的流体内含有水分的情况下，也无需为了保护压电元件44而在流体控制阀10另外设置用于进行除湿、除湿的构造(冷冻式干燥器、吸附式干燥器等)。另外，由于设置有压电元件44的第1空间90与供流体流通的第2空间92分离，因此能够与流体的种类无关地将流体控制阀10设置于流路。

分隔壁94包含：底壁30D，其具有划定供臂64通过的臂通路32A的贯通孔32；以及密封部件70，其设置于臂64与划定贯通孔32的壁面之间并且能够弹性变形。由此，臂64与划定臂通路32A的壁面之间被密封部件70密闭，内室40被划分为第1空间90和第2空间92。另外，由于密封部件70能够弹性变形，因此在将臂64和通路之间密闭的状态下，臂64能够位移，即使在压电元件44伸长而臂64位移的情况下，也能够保持流体不在第1空间90与第2空间92之间流通的分离的状态。进而，传递至臂64的振动通过密封部件70而衰减。由此，即使在机械放大器54共振的条件下使用的情况下，也能够使机械放大器54的振动衰减。

在本实施方式中，密封部件70设置于臂基部64A与划定贯通孔32的壁面之间。这样，通过将密封部件70设置在更靠近支点P0(参照图5)的位置，臂64的位移不易被密封部件70阻碍。

在臂64的左端一体形成有弹性体制的阀体46。因此，在利用阀体46封闭左侧的端口用贯通孔20L时，阀体46的形状以与阀座52匹配的方式弹性变形，因此能够更可靠地进行开口的封闭。

由于设置有压电元件44的第1空间90与流体流通的第2空间92分离，因此即使在以使第1空间90与外部相通的方式设置连接器孔42的情况下，也无需密封连接器孔42，因此连接器C的组装变得容易。而且，不需要使用包含比不具有密封构造的连接器大的密封构造的连接器来密封连接器孔42，因此能够使流体控制阀10小型化。

《第2实施方式》

第2实施方式的流体控制阀110的壳体12的形状与第1实施方式不同。其他结构与第1实施方式相同，因此省略对其他结构的说明。

如图7所示，第2实施方式的流体控制阀110的壳体12与第1实施方式相同，壳体12由构成其前下半部的壳体主体14、构成其上半部的上部件16、以及构成其后下半部的罩部件18构成。第2实施方式的壳体的上部件16的结构与第1实施方式相同，因此省略说明。

如图8所示，壳体主体14具有构成其左上部的主体左上部126和从主体左上部126向下方以及右方延伸的主体主部128。如图8和图9所示，主体左上部126具有前后成对的前壁126A和后壁126B、分别连接前壁126A和后壁126B的左缘的左壁126C、以及连接前壁126A、后壁126B和左壁126C的下缘的下壁126D，主体左上部126呈朝向上方和右方开口的长方体箱状。在主体左上部126形成有由前壁126A、后壁126B、左壁126C以及下壁126D划定且向下方凹陷的槽部127。槽部127从主体左上部126的左部向右方延伸，到达主体左上部126的右缘。

如图10所示，在壳体主体14的上表面，与第1实施方式同样地紧固有上部件16。上部件16紧固于壳体主体14的上表面，由此形成由上部件16、左壁126C、前壁126A、后壁126B以及下壁126D划定的臂通路130。在上部件16上，与第1实施方式同样地设置有上下贯通的2个端口用贯通孔20L、20R。臂通路130在壳体12的上部向左右延伸，分别与2个端口用贯通孔20L、20R连接。

与第1实施方式相同，在主体左上部126形成有向前方凹陷的收纳凹部34。收纳凹部34在主体左上部126的右侧和下侧形成为从后方观察呈倒L字状。在主体左上部126与第1实施方式同样地设置有向前方凹陷的槽部36，连接器C以收纳于该槽部127的状态与壳体主体14结合。

罩部件18呈与主体主部128对应的形状。罩部件18与第1实施方式同样地在与槽部36对应的位置具有向上方切口的切口部38。当罩部件18紧固于主体主部128时，收纳凹部34从后方被封闭。

如图8所示，臂延伸部64B以通过在壳体12的上部沿左右延伸的臂通路130的内部的方式配置。在划定臂通路130的上下或前后的边界的壁面与臂延伸部64B之间设置有填埋它们之间的间隙的密封部件170。密封部件170与第1实施方式同样，由能够弹性变形的树脂构成。

由密封部件170和下壁126D构成在前后方向观察时呈倒L字状延伸的分隔壁194。分隔壁194与第1实施方式同样地将壳体12的内室40划分为：第1空间190，其包含压电元件44；以及第2空间192，其包含与2个端口用贯通孔20L、20R连接(即，与供给端口P和输出端口A连通)的臂通路130，供流体流通。

接着，对第2实施方式的流体控制阀110的效果进行说明。在流体控制阀110中，与第1实施方式同样地，划分为设置有压电元件44的第1空间190和供流体流通的第2空间192，因此能够防止流体向设置有压电元件44的空间的侵入。而且，由于臂64与臂通路130之间被能够弹性变形的密封部件170密封(封住)，因此能够在将内室40划分为第1空间190和第2空间192的状态下使臂64位移。

而且，能够通过密封部件170使在臂64产生的振动衰减。第2实施方式的流体控制阀110将通过压电元件44的伸长而容易摆动的密封部件170设置于臂延伸部64B与划定臂通路130的壁面之间，因此能够更有效地抑制在臂64产生的振动。

《第3实施方式》

第3实施方式的流体控制阀210仅板248的形状不同，其他结构与第1实施方式相同，因此省略板248的形状以外的说明。

如图11的(A)所示，第3实施方式的板248与第1实施方式的板248相比，至少在平衡铰链部82的基端82A(左端)的位置以及放大器铰链部62的基端62A(左端)位于在左右方向上对齐(匹配)的位置，并且第1支承柱部60B的右端以及第2支承柱部60C的右端位于在左右方向上对齐的位置这一点上不同。而且，第3实施方式的板248与第1实施方式的板248相比，不同点在于，臂64(更详细而言，臂基部64A和臂基端部64C)的右缘64R位于拟臂80的右缘80R的右侧。即，第2轴向延伸部76的右端和平衡铰链部82的右端分别位于比第1实施方式靠左侧的位置，平衡铰链部82的左右方向的长度比第1实施方式短。由此，位移部66相对于伸缩轴X上下非对称。

接着，参照图6的(A)以及图11的(B)对第3实施方式的流体控制阀210的效果进行说明。在图11的(B)中，与图6的(A)同样地，示出了压电元件44伸长时的板248的应力分布的模拟。但是，在图6的(A)中，臂64的右缘64R被设定为与拟臂80的右缘80R在左右方向上对齐。

若比较图6的(A)以及图11的(B)，则可知放大器铰链部62的弯曲点P1与平衡铰链部82的弯曲点P2的左右方向的偏移δ在图11的(B)中比图6的(A)小，图11的(B)的应力分布与图6的(A)的应力分布相比，关于伸缩轴X对称。

即，通过构成为臂64的右缘64R位于比拟臂80的右缘80R靠右方的位置，与两缘在左右方向上对齐的情况相比，能够使应力分布相对于伸缩轴X更对称。因此，在臂64的右缘64R位于拟臂80的右缘80R的右侧的情况下，与臂64的右缘64R以及拟臂80的右缘在左右方向上对齐的情况相比，能够经由平衡铰链部82对位移部66以进一步抵消从臂64施加的与伸缩轴X垂直的方向的载荷的方式施加载荷，能够防止对压电元件44施加剪切力。

若提高流体控制阀210的开闭速度，则存在从臂延伸部64B施加于平衡机构68的载荷成为问题的情况。在本实施方式中，拟臂80的右缘80R比臂64的右缘64R短，平衡铰链部82的左右方向的长度比第2实施方式的流体控制阀110短。因此，在本实施方式的流体控制阀210中，与第2实施方式的流体控制阀110相比，平衡铰链部82的刚性高，本实施方式的流体控制阀210在要求高速的开闭动作的情况下特别有效。

《第4实施方式》

第4实施方式的流体控制阀310仅板348的形状不同，其他结构与第1实施方式相同，因此省略板348的形状以外的说明。

如图12所示，第4实施方式的板348与第1实施方式的板348相比，至少在平衡铰链部82的基端82A(左端)的位置以及放大器铰链部62的基端62A(左端)的位置与第1支承柱部60B的右端以及第2支承柱部60C的右端的位置处于在左右方向上对齐(匹配)的位置这一点上不同。

此外，第4实施方式的板348与第1实施方式的板348的不同之处在于平衡铰链部82的截面积不均匀。

更详细而言，平衡铰链部82的截面积在一部分与其他部分不同。在本实施方式中，如图12所示，在平衡铰链部82的右半部分设置有通过熔接金属制的板部件而形成的厚壁部82B。由此，平衡铰链部82的截面积在厚壁部82B与其他部分不同，比其他部分大。

接着，对第4实施方式的流体控制阀310的效果进行说明。通过在右半部增大平衡铰链部82的截面积，预测到平衡铰链部82的弯曲点P2向左侧移动。由此，能够减小放大器铰链部62的弯曲点P1与平衡铰链部82的弯曲点P2的左右方向的偏移δ，能够使板348的内部的应力分布相对于伸缩轴X上下对称。因此，能够经由平衡铰链部82对位移部66以进一步抵消从臂64施加的与伸缩轴X垂直的方向的载荷的方式施加载荷，能够防止对压电元件44施加剪切力。

这样，通过构成为平衡铰链部82的截面积在一部分上与其他部分不同，能够调整平衡铰链部82的截面积的分布，能够防止对压电元件44施加剪切力。

《第5实施方式》

如图13所示，第5实施方式的流体控制阀410与第1实施方式相比，在未设置设置于臂延伸部64B的阀体46这一点和在筒部件22的下缘设置有环部件423这一点上不同。其他结构与第1实施方式相同，因此省略说明。

环部件423是沿着筒部件22的下缘延伸的环状的部件，由能够弹性变形的树脂、即弹性体形成。环部件423以从下方覆盖筒部件22的下缘的方式配置，并固定于筒部件22。

筒部件22在被第1上部件16U和第2上部件16D夹持的状态下与壳体主体14结合。此时，环部件423沿着筒部件22的下缘配置，划定左侧的端口用贯通孔20L的下缘，并且在比上部件16的下缘向下侧(内室40侧)突出的状态下固定于壳体主体14。由此，臂延伸部64B的左端上表面作为阀体46发挥功能，臂延伸部64B构成阀部84。另外，由弹性体制的环部件423构成阀座52。

接着，对这样构成的流体控制阀410的效果进行说明。阀座52由弹性体制的环部件423构成。由此，在臂延伸部64B的上表面与阀座52抵接的情况下，阀座52与臂延伸部64B的上表面一致地弹性变形。由此，能够更可靠地进行阀体46对左侧的端口用贯通孔20L的开口部分的密封。

以上，对本发明的优选实施方式进行了说明，但本领域技术人员能够容易地理解，本发明并不限定于这样的实施方式，在不脱离本发明的主旨的范围内能够适当变更。

在上述第1至第3实施方式以及第5实施方式中，板48(位移放大机构)分别由一张金属板材构成，但并不限定于该方式。例如，板48也可以通过组合多个部件而构成。但是，通过由一张金属板材构成板48，不需要螺纹固定、焊接、熔接等，因此流体控制阀10、110、210、410的制造工序变得简单，能够降低制造所需的成本。

在上述实施方式中，记载了将本发明应用于具有2个端口、通过开闭1个端口来开闭1个流路的流体控制阀的情况，但并不限定于该方式。本发明也能够应用于对3个以上的端口进行开闭的流体控制阀(例如三通阀)。

在上述第5实施方式中，通过将环部件423设置于筒部件22而构成了弹性体制的阀座52，但并不限定于该方式。只要是设置有弹性体制的阀座52的方式，则可以是任意的方式，例如，筒部件22也可以由弹性体构成。

在上述实施方式中，由平衡铰链部82构成平衡机构68，但并不限定于该方式。例如，平衡机构68只要是为了将施加于位移部66的载荷矫正为伸缩方向而施加平衡的载荷的机构，则可以是任意的方式。例如，平衡机构68也可以包含将第2支承柱部60C与位移部66连接的板簧片。另外，板48也可以构成为，在第1实施方式中，平衡铰链部82的基端82A与放大器铰链部62的基端62A以在左右方向上对齐的方式配置，且由图2所示的单点划线包围的部分呈对称。

在上述实施方式中，在第1实施方式以及第3实施方式中，分别示出了以基于通过模拟得到的应力分布的弯曲点P1、P2的位置在左右方向上对齐的方式变更形状的例子。如通过图6的(A)与图6的(B)以及图11的比较能够理解的那样，通过调整设定板的形状的参数，能够减小2个弯曲点P1、P2的左右方向的偏移δ，使弯曲点P1、P2的位置关于伸缩轴X更对称，能够使弯曲点P1、P2的位置关于伸缩轴X实质上对称。

另外，在具有成为流体的出入口的至少2个开口、以及与2个开口分别连通的内室40，并通过收纳于内室40的压电元件44进行驱动的流体控制阀中，在液体向压电元件44的侵入成为问题的情况下，只要构成为具有将内室40划分为收纳压电元件44的第1空间90和包含连接端口的通路的第2空间92的分隔壁94即可，其他的结构并不限定于上述方式。例如，流体控制阀的板的构造并不限定于上述方式，流体控制阀可以是不具有平衡机构68的所谓单臂的电气式流体控制阀，也可以是具有多个臂的电气式流体控制阀。

在上述实施方式中，支承部60与壳体12分体设置，但并不限定于该方式。支承部60可以与壳体12为一体，另外，也可以形成壳体12的一部分。

另外，上述实施方式所示的结构要素未必全部是必须的，只要不脱离本发明的主旨，就能够适当地取舍选择。

Claims (13)

1.一种流体控制阀，其具有：

壳体，其具有内室和与所述内室连通并且成为流体的出入口的至少2个开口；

压电元件，其能够沿着规定的伸缩轴伸缩；以及

机械放大器，其放大所述压电元件的位移，使对所述开口的至少一个进行开闭的阀部位移，

所述机械放大器包含：

支承部，其设置于所述壳体，与所述压电元件的所述伸缩轴的轴向的一端连接；

位移部，其与所述压电元件的所述轴向的另一端结合；

臂，其在一端与所述位移部连接，在中间部经由能够变形的放大器铰链部而与所述支承部连接，在另一端对所述开口的至少一个进行开闭；以及

平衡机构，其施加与因所述压电元件的伸长而施加于所述位移部的垂直于所述伸缩轴的方向的载荷相反朝向的载荷。

2.根据权利要求1所述的流体控制阀，其中，

所述平衡机构包含：

拟臂，其与所述位移部结合；以及

平衡铰链部，其与所述拟臂和所述支承部结合并且能够变形，

所述臂与所述位移部的结合部分和所述拟臂与所述位移部的结合部分隔着所述伸缩轴而对置。

3.根据权利要求2所述的流体控制阀，其中，

所述支承部包含沿所述伸缩轴的方向延伸并且配置在隔着所述压电元件而对置的位置的第1支承部和第2支承部，

所述放大器铰链部从所述第1支承部沿着所述伸缩轴延伸，

所述平衡铰链部具有与所述放大器铰链部相同形状的截面，所述平衡铰链部从所述第2支承部沿着所述伸缩轴延伸，

所述位移部具有：

盖部，其与所述压电元件的所述另一端结合；

第1轴向延伸部，其从所述盖部沿着所述伸缩轴延伸并且与所述臂连接；以及

第2轴向延伸部，其从所述盖部沿着所述伸缩轴延伸并且与所述拟臂连接，

所述位移部相对于所述伸缩轴呈轴对称，

在所述轴向上，所述平衡铰链部的基端位于比所述放大器铰链部的基端靠所述压电元件的所述一端侧的位置。

4.根据权利要求2所述的流体控制阀，其中，

所述支承部包含沿所述伸缩轴的方向延伸并且配置在隔着所述压电元件而对置的位置的第1支承部和第2支承部，

所述放大器铰链部从所述第1支承部沿着所述伸缩轴延伸，

所述平衡铰链部具有与所述放大器铰链部相同形状的截面，所述平衡铰链部从所述第2支承部沿着所述伸缩轴延伸，

所述位移部具有：

盖部，其与所述压电元件的所述另一端结合；

第1轴向延伸部，其从所述盖部沿着所述伸缩轴延伸并且与所述臂连接；以及

第2轴向延伸部，其从所述盖部沿着所述伸缩轴延伸并且与所述拟臂连接，

在所述轴向上，所述平衡铰链部的基端位于与所述放大器铰链部的基端匹配的位置，

所述臂的位于所述压电元件的所述另一端侧的侧缘比所述拟臂的位于所述压电元件的所述另一端侧的侧缘靠所述压电元件的所述另一端侧。

5.根据权利要求2所述的流体控制阀，其中，

所述支承部包含沿所述伸缩轴的方向延伸并且配置于隔着所述压电元件而对置的位置的第1支承部和第2支承部，

所述放大器铰链部从所述第1支承部沿着所述伸缩轴延伸，

所述平衡铰链部从所述第2支承部沿着所述伸缩轴延伸，

所述位移部具有：

盖部，其与所述压电元件的所述另一端结合；

第1轴向延伸部，其从所述盖部沿着所述伸缩轴延伸并且与所述臂连接；以及

第2轴向延伸部，其从所述盖部沿着所述伸缩轴延伸并且与所述拟臂连接，

所述位移部相对于所述伸缩轴呈轴对称，

在所述轴向上，所述平衡铰链部的基端位于与所述放大器铰链部的基端匹配的位置，

所述平衡铰链部的截面积在一部分与其他部分不同。

6.根据权利要求2至4中的任意一项所述的流体控制阀，其中，

所述平衡铰链部的弯曲点和所述放大器铰链部的弯曲点以所述伸缩轴为中心呈轴对称。

7.根据权利要求1至6中的任意一项所述的流体控制阀，其中，

在所述壳体设置有分隔壁，该分隔壁将所述内室划分为收纳所述压电元件的第1空间和包含与2个所述开口连通的通路的第2空间。

8.根据权利要求7所述的流体控制阀，其中，

所述分隔壁包含：

壁体，其划定供所述臂通过的臂通路的至少一部分；以及

密封部件，其设置于所述臂与划定所述通路的壁面之间并且能够弹性变形。

9.根据权利要求8所述的流体控制阀，其中，

所述壁体具有划定所述臂通路的贯通孔，

所述密封部件设置在划定所述贯通孔的壁面与所述臂之间。

10.根据权利要求8所述的流体控制阀，其中，

所述壁体与划定所述内室的壁面协作而划定所述臂通路，

所述密封部件设置在所述壁体和划定所述内室的壁面与所述臂之间。

11.根据权利要求7至10中的任意一项所述的流体控制阀，其中，

所述第1空间经由连接器孔而与所述壳体的外部连通，

在与所述连接器孔匹配的位置设置有用于向所述压电元件供给电压的连接器。

12.根据权利要求1至11中的任意一项所述的流体控制阀，其中，

在所述臂的所述另一端一体形成有弹性体制的阀体。

13.根据权利要求1至12中的任意一项所述的流体控制阀，其中，

在通过所述臂开闭的所述开口设置有由弹性体构成的阀座。

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