CN114291565A - 输送装置 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种输送装置，包括夹持臂以及平衡感测器。平衡感测器设置于夹持臂上。平衡感测器包括本体、导电线路以及滑动导体。本体具有容置槽。导电线路设置于容置槽的侧壁上。滑动导体设置于容置槽内，其中滑动导体设置以接触或分离于导电线路使导电线路产生闭路或开路。平衡感测器根据导电线路的开路或闭路判别夹持臂处于平衡状态或倾斜状态，以达到感应夹持臂是否倾斜的功能。借此，本发明的输送装置，可以有效且准确地即时反应夹持臂的状况。

Description

输送装置

技术领域

本发明涉及一种输送装置，特别是涉及运送半导体晶圆的输送装置。

背景技术

半导体工艺所使用的机台，其机械手臂极为精密，而且对于运输晶圆时的稳定度要求极高。若在传输过程中机械手臂稍微偏离或是作动不顺(例如是振动)，则会造成晶圆刮伤甚至破片，进而导致企业蒙受巨大的经济损失。

此外，厂商也相当要求机台的运输效率，若机械手臂运输晶圆的速度慢，生产产品的效率会大打折扣，进而延宕产品的交付时程，因此影响客户的订单而降低企业的竞争力。

因此，如何提出一种可解决上述问题的输送装置，是目前业界亟欲投入研发资源解决的问题之一。

发明内容

有鉴于此，本发明的目的在于提出一种可有解决上述问题的输送装置，其包括夹持臂以及平衡感测器。平衡感测器设置于夹持臂上。平衡感测器包括本体、导电线路以及滑动导体。本体具有容置槽。导电线路设置于容置槽的侧壁上。滑动导体位于容置槽内，其中滑动导体设置以接触或分离于导电线路使导电线路产生闭路或开路，且平衡感测器根据导电线路的开路或闭路判别夹持臂处于平衡状态或倾斜状态。

在本发明的一个或多个实施方式中，输送装置还包括座体，其中座体连接夹持臂，且座体用以沿着水平方向移动。

在本发明的一个或多个实施方式中，输送装置还包括座体，其中夹持臂可移动地连接座体并用以沿着铅直方向相对于座体移动。

在本发明的一个或多个实施方式中，输送装置还包括升降体，其中升降体位于座体上并连接夹持臂，且升降体用以带动夹持臂移动。

在本发明的一个或多个实施方式中，导电线路包括电性分离的二线圈结构。

在本发明的一个或多个实施方式中，其中侧壁为环状，二线圈结构相互平行且环设于容置槽的侧壁。

在本发明的一个或多个实施方式中，滑动导体为液态金属。

在本发明的一个或多个实施方式中，平衡感测器还包括透明顶盖，且透明顶盖覆盖容置槽。

在本发明的一个或多个实施方式中，输送装置还包括控制器，其中控制器电性连接夹持臂及平衡感测器，控制器根据导电线路所产生的闭路以控制夹持臂停止。

在本发明的一个或多个实施方式中，输送装置还包括控制器及警示器，其中控制器电性连接平衡感测器及警示器，控制器根据导电线路所产生的闭路以控制警示器发出警报。

综上所述，本发明的输送装置具有夹持臂及平衡感测器，且平衡感测器是利用容置槽中滑动导体的位置来影响导电线路的开路与断路，导电线路的开路与断路代表夹持臂处于倾斜状态或平衡状态，因此可以有效且准确地即时反应夹持臂的状况。除此之外，利用上述的平衡感测器可以进一步控制夹持臂，当平衡感测器侦测到夹持臂处于倾斜状态时，可以立即停止夹持臂，进而避免夹持臂倾斜而以错误的角度接触待输送物体。

以上所述仅是用以阐述本发明所欲解决的问题、解决问题的技术手段、及其产生的功效等等，本发明的具体细节将在下文的实施方式及相关附图中详细介绍。

附图说明

为达成上述的优点和特征，将参考实施方式对上述简要描述的原理进行更具体的阐释，而具体实施方式被展现在附图中。这些附图仅例示性地描述本发明，因此不限制发明的范围。通过附图，将清楚解释本发明的原理，且附加的特征和细节将被完整描述，其中：

图1A根据本发明一个或多个实施方式绘示运送装置的侧面示意图；

图1B绘示图1A中运送装置的夹持臂处于倾斜状态的侧面示意图；

图1C及图1D根据本发明一些实施方式绘示运送装置的侧面示意图；

图2A绘示为图1A中运输装置的平衡感测器的俯视示意图；

图2B绘示为图2A中平衡感测器的俯视示意图；

图3A绘示为图2A中平衡感测器沿着剖面线A-A绘制的剖面图；

图3B绘示为图2B中平衡感测器沿着剖面线B-B绘制的剖面图；以及

图4根据本发明一个或多个实施方式绘示运送装置的功能方块图。

主要附图标记说明：

100a、100b、100c-运送装置，110-座体，120-升降体，130-夹持臂，150-平衡感测器，151-容置槽，151a-侧壁，151b-底面，153-导电线路，153a-线圈结构，155-滑动导体，157-透明顶盖，158-控制器，159-警示器，C-本体。

具体实施方式

以下将以附图公开本发明的多个实施方式，为明确说明起见，许多实务上的细节将在以下叙述中一并说明。然而，应了解到，这些实务上的细节不应用以限制本发明。也就是说，在本发明部分实施方式中，这些实务上的细节是非必要的。此外，为简化附图起见，一些现有惯用的结构与元件在附图中将以简单示意的方式绘示。

请参考图1A及图1B。图1A根据本发明一些实施方式绘示运送装置100a的侧面示意图。图1B绘示图1A中运送装置100a的倾斜状态示意图。在本发明的一些实施方式中，输送装置100a包括座体110、夹持臂130以及平衡感测器150。夹持臂130设置于座体110上，而平衡感测器150设置于夹持臂130上。具体而言，座体110可例如是至少沿着水平方向移动的机械移动座或机械转动座，而夹持臂130可例如是运送晶圆用的夹取臂。此外，平衡感测器150用于感测夹持臂130处于平衡状态或倾斜状态。在实际应用中，当夹持臂130处于平衡状态时，夹持臂130能水平地抬起晶圆；当夹持臂130处于倾斜状态时，夹持臂130难以精准的水平抬起晶圆，而可能导致晶圆滑落、刮伤或破片。

请参考图2A、图2B、图3A及图3B。图2A绘示为图1A中运输装置100a的平衡感测器150的俯视示意图。图2B绘示为图2A中平衡感测器150的俯视示意图。图3A绘示为图2A中平衡感测器150沿着剖面线A-A绘制的剖面图。图3B绘示为图2B中平衡感测器150沿着剖面线B-B绘制的剖面图。在本发明的一些实施方式中，平衡感测器150的本体C包括容置槽151、导电线路153以及滑动导体155。导电线路153设置于容置槽151的环状的侧壁151a上，且侧壁151a垂直于容置槽151的底面151b。滑动导体155是可滑动于容置槽151内的导体，滑动导体155可以是液态金属(例如是液态的汞)，但本发明并不以此为限，本发明所属技术领域中具有通常知识者能以其他适合的导电物质替换。当滑动导体155接触导电线路153时，导电线路153产生闭路，而当滑动导体155分离于导电线路153时，导电线路153产生开路。平衡感测器150则是根据导电线路153所产生的开路或闭路来判别夹持臂130是处于平衡状态或倾斜状态。

具体来说，导电线路153可包括电性分离的二线圈结构153a，其中二线圈结构153a相互平行且环设于容置槽151的环形侧壁151a上，且导电线路153的二线圈结构153a可例如是由金、银、铜、铁、铝或其合金的导电材料所制成，本发明并不以此为限。在图3A中，夹持臂130处于平衡状态，而滑动导体155与容置槽151的侧壁151a彼此分离，此时导电线路153也与滑动导体155彼此分离而产生开路。在图3B中，夹持臂130处于倾斜状态(可能是因为受到撞击或震动)，滑动导体155会受地心引力影响而移动至侧壁151a并同时接触二线圈结构153a，此时二线圈结构153a经由滑动导体155电性导通，因此导电线路153产生闭路。然而，应理解，此仅为示例性实施例且本平衡感测器150可搭配任何适用的导电线路155而无任何限制。为了本发明简洁起见，并未包括每个实例，但本发明涵盖任何此类实施例。

在本发明的一些实施方式中，平衡感测器150还包括透明顶盖157，且透明顶盖157位于容置槽151上方并覆盖容置槽151。具体来说，透明顶盖157与容置槽151的侧壁151a及平坦的底面151b共同形成封闭的容置空间以容纳滑动导体155。事实上，透明顶盖157便于使用者目视滑动导体155的位置，借此使用者可以即时目视得知夹持臂130的倾斜方向。此外，透明顶盖157是由硬质的透明材料所制成，例如为玻璃或是例如为聚氯乙烯(Polyvinyl chloride,PVC)的透明塑料，但本发明并不以此为限。

请参考图4，图4根据本发明一些实施方式绘示运送装置100a的功能方块图。在本发明的一些实施方式中，平衡感测器150还包括控制器158，其中控制器158电性连接座体110、夹持臂130及导电线路153，控制器158根据导电线路153所产生的闭路来控制座体110及夹持臂130停止。此外，当导电线路153产生的开路时，控制器158控制座体110及夹持臂130维持运行。在本发明的一些实施方式中，平衡感测器150还可以包括警示器159，其中控制器158还电性连接警示器159，控制器158根据导电线路153所产生的闭路控制警示器159发出警报，以提醒使用者夹持臂130目前处于倾斜状态。由于平衡感测器150的控制器158可以即时根据导电线路153判断夹持臂130处于平衡状态或倾斜状态，当控制器158判断夹持臂130处于倾斜状态时，控制器158控制座体110和夹持臂130停止运行，因此可以避免夹持臂130在倾斜状态下夹持晶圆，进而避免晶圆刮损或破面的情形发生。具体而言，控制器158可以为处理器、微处理器或其他具有运算功能的运算装置。警示器159则可以包括显示器、灯源或扩音器以便于以图形、文字、灯光或声音向使用者发出提醒。

在本发明的一些实施方式中，当座体110在水平移动时，控制器158关闭控制座体110和夹持臂130停止的功能。也就是说，控制器158控制座体110和夹持臂130停止的功能仅在座体110不移动时开启。控制器158仅根据夹持臂130的夹取动作或相对于座体110的铅直移动是处于平衡状态或倾斜状态来控制夹持臂130维持运作或停止，进而排除座体110移动时影响滑动导体155并误触控制器158的停止功能。

请参考图1C及图1D。图1C及图1D根据本发明一些实施方式绘示运送装置100c的侧面示意图。在本发明的一些实施方式中，输送装置100c包括座体110、升降体120、夹持臂130以及平衡感测器150。升降体120位于座体110上并连接夹持臂130，且升降体120可经由马达致动进而带动夹持臂130升降。在图1C及图1D中，升降体120将夹持臂130升降至不同的高度。具体而言，由于平衡感测器150设置在夹持臂130上，因此在升降体120带动夹持臂130升降的过程中，平衡感测器150会同时判别夹持臂130处于平衡状态或倾斜状态。在本发明的一些实施方式中，升降体120包括电动滑轨及滑块，电动滑轨沿着铅直方向延伸，滑块可移动地连接于电动滑轨，而滑块用于固定夹持臂130并相对于电动滑轨移动，借此升降体120可带动夹持臂130沿着铅直方向相对于座体110移动，但本发明并不以此为限。

综上所述，本发明的输送装置具有夹持臂及平衡感测器，且平衡感测器是利用容置槽中滑动导体的位置来影响导电线路的开路与断路，导电线路的开路与断路代表夹持臂处于倾斜状态或平衡状态，因此可以有效且准确地即时反应夹持臂的状况。除此之外，利用上述的平衡感测器可以进一步控制夹持臂，当平衡感测器侦测到夹持臂处于倾斜状态时，可以立即停止夹持臂，进而避免夹持臂倾斜而以错误的角度接触待输送物体。

本发明不同实施方式已描述如上，应可理解的是不同实施方式仅作为实例来呈现，而不作为限定。在不脱离本发明的精神和范围下，可根据本文的公开对本发明的实施方式做许多更动。因此，本发明的广度和范围不应受上述描述的实施例所限制。

Claims (10)

1.一种输送装置，其特征在于，包括：

夹持臂；及

平衡感测器，设置于所述夹持臂上，其中所述平衡感测器包括：

本体，具有容置槽；

导电线路，设置于所述容置槽的侧壁上；以及

滑动导体，位于所述容置槽内，其中所述滑动导体设置以接触或分离于所述导电线路使所述导电线路产生闭路或开路，且所述平衡感测器根据所述导电线路的开路或闭路判别所述夹持臂处于平衡状态或倾斜状态。

2.如权利要求1所述的输送装置，其特征在于，还包括座体，所述座体连接所述夹持臂，且所述座体用以沿着水平方向移动。

3.如权利要求1所述的输送装置，其特征在于，还包括座体，所述夹持臂能够移动地连接所述座体并用以沿着铅直方向相对于所述座体移动。

4.如权利要求3中任意一项所述的输送装置，其特征在于，还包括升降体，所述升降体位于所述座体上并连接所述夹持臂，且所述升降体用以带动所述夹持臂移动。

5.如权利要求1所述的输送装置，其特征在于，所述导电线路包括电性分离的二线圈结构。

6.如权利要求5所述的输送装置，其特征在于，所述侧壁为环状，所述二线圈结构相互平行且环设于所述容置槽的所述侧壁。

7.如权利要求1所述的输送装置，其特征在于，所述滑动导体为液态金属。

8.如权利要求1所述的输送装置，其特征在于，所述平衡感测器还包括透明顶盖，且所述透明顶盖覆盖所述容置槽。

9.如权利要求1所述的输送装置，其特征在于，所述平衡感测器还包括控制器，其中所述控制器电性连接所述夹持臂及所述平衡感测器，所述控制器根据所述导电线路所产生的闭路以控制所述夹持臂停止。

10.如权利要求1所述的输送装置，其特征在于，所述平衡感测器还包括控制器及警示器，其中所述控制器电性连接所述平衡感测器及所述警示器，所述控制器根据所述导电线路所产生的闭路以控制所述警示器发出警报。

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