CN114044632A - 一种车用玻璃以及制备方法 - Google Patents
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Abstract
本公开实施例提供一种车用玻璃以及其制备方法,所述车用玻璃包括透明的衬底层,在所述衬底层上采用磁控溅射镀膜工艺沉积多层薄膜结构,其特征在于包括沉积多个氧化物层,在相邻的所述氧化物层之间沉积用于反射红外光的红外反射层和用于阻挡紫外光的阻挡层,在最外侧的所述氧化物层上沉积保护层。本公开实施例能够实现对于红外光和紫外光的过滤,并且透过率满足对于例如车辆前风挡玻璃的要求,便于加工并且降低成本。
Description
技术领域
本公开涉及一种车用装置的技术领域,特别地涉及一种车用玻璃以及制备方法。
背景技术
随着我国社会的发展,人民生活水平逐步提高,汽车保有量逐年增加,截至2021年6月,我国当前机动车保有量达3.84亿辆。汽车已经和人们的生活息息相关,交通能耗占全社会能源消耗的三分之一左右。但现有汽车玻璃产品尤其是前风挡并不能很好的隔绝红外线等让人体感到热的波段,这造成了空调制冷等能耗持续上升,和碳达峰的目标相背离。
由于普通汽车前风挡不能过滤掉太阳光的红外线部分,造成驾驶员在夏季开空调使用时,依然能感受到太阳的炙烤,甚至晒伤。由于市场需求,目前主要通过汽车贴膜方式来补救。但膜材质均为有机物,使用寿命低,需经常更换,造成了资源浪费和环境污染。同时过滤红外效果并不明显。根据《机动车运行安全技术条件》其中第11条规定:机动车驾驶室必须保证前方视野和侧方视野,前风窗玻璃及风窗以外玻璃用于驾驶员视区部位的可见光透射比不允许小于70%。由于利益的驱使市场中的大部分膜都无法满足上述要求,无形中增加了驾乘人员发生交通事故的概率。
随着技术的进步,过滤红外线的汽车玻璃逐步出现,已经开始成为中高端汽车品牌的标配,为用户免去贴膜的后顾之忧,但均距离理论上的红外完全过滤相距甚远,并未达到材料性能的最大化。为了更好更快实现政府碳达峰和碳中的目标,市场迫切需求生产成本低廉,应用场景广泛的汽车前风挡玻璃。尤其是对于夏季制冷能耗更敏感的新能源汽车,对于隔离阳光红外的需求更加迫切。
汽车玻璃由2mm玻璃/0.76PVB/2mm玻璃组成,红外过滤膜层在中间,这种膜堆一般为在两层电介质层中间加入一层红外反射Ag层,过滤红外线效果的好坏取决于Ag层的厚度。但同时Ag层厚度越大,其透过率越低。为了实现国标的规定透过率大于70%,同时实现红外全部过滤的效果,于是设计者将一层Ag分为两层或三层,嵌入多层增透层,来解决这一矛盾。现有产品并不能很好地解决这一矛盾,同时生产成本居高不下。
发明内容
有鉴于此,本公开实施例提出了一种车用玻璃以及制备方法,以解决现有技术中存在的问题。
一方面,本公开提供一种车用玻璃,其包括透明的衬底层,在所述衬底层上采用磁控溅射镀膜工艺沉积多层薄膜结构,包括沉积多个氧化物层,在相邻的所述氧化物层之间沉积用于反射红外光的红外反射层和用于阻挡紫外光的阻挡层,在最外侧的所述氧化物层上沉积保护层。
在一些实施例中,在所述保护层上沉积设置增强保护层。
在一些实施例中,最靠近所述衬底层的所述氧化物层和最远离所述衬底层的所述氧化物层的厚度小于其他的所述氧化物层的厚度。
在一些实施例中,所述氧化物层采用透明的单一氧化物形制成或者是含有多种氧化物形成的氧化物组合层。
在一些实施例中,所述氧化物采用氧化钛、氧化锌、五氧化铌、锌锡氧化物、二氧化锡中的一种或者多种制成。
在一些实施例中,与所述红外反射层相邻的所述氧化物层采用氧化锌或者其掺杂氧化物制成,其厚度设置为5-15nm;与所述阻挡层相邻的所述氧化物层采用氧化锌或者其掺杂氧化物制成,其厚度设置为5-15nm。
在一些实施例中,所述红外反射层采用银制成。
在一些实施例中,当所述红外反射层为多个的情况下,相邻的所述红外反射层之间需要满足预定条件,其中,所述第x红外反射层的厚度ex满足ex=Aex-1,系数A满足1<A≤2。
在一些实施例中,最靠近所述衬底层的所述红外反射层的厚度e1满足10nm≤e1≤18nm。
在一些实施例中,所述阻挡层采用金属钛制成,所述阻挡层的面密度设置为0.5-1.5μg/cm2。
在一些实施例中,在具有多个所述阻挡层的情况下,越远离所述衬底层的所述阻挡层的面密度越大。
在一些实施例中,所述保护层和/或所述增强保护层采用以下材料中的至少一种制成:氧化钛、氧化铝、二氧化锆、二氧化硅。
本公开实施例还提供一种车用玻璃的制备方法,其用于制备上述任一项技术方案中所述车用玻璃,其包括以下步骤:
步骤S1,制备所述衬底层;
步骤S2,采用普通溅射和共溅射的方式沉积第一氧化物层,其中,这里的磁控溅射采用双旋转阴极,溅射所用气体使用氩氧混合气体;
步骤S3,采用金属溅射的方式沉积第一红外反射层,其中,这里的磁控溅射采用平面阴极,溅射所用气体使用纯氩气或氪气或混合气体;
步骤S4,采用金属溅射的方式沉积第一阻挡层,其中,这里的磁控溅射采用平面阴极,溅射所用气体使用纯氩气;
步骤S5,采用普通溅射和共溅射的方式沉积第二氧化物层,其中,这里的磁控溅射采用双旋转阴极,溅射所用气体使用氩氧混合气体;
步骤S6,采用普通溅射或者共溅射的方式沉积保护层并监测离子体的含量;
步骤S7,用普通溅射或者共溅射的方式沉积增强保护层。
本公开实施例能够实现对于红外光和紫外光的过滤,并且透过率满足对于例如车辆前风挡玻璃的要求,便于加工并且降低成本。
附图说明
为了更清楚地说明本公开实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本公开中记载的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动性的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本公开一实施例的车用玻璃的结构示意图;
图2为本公开一实施例的车用玻璃的透过情况示意图;
图3为本公开一实施例的车用玻璃的透过情况示意图。
具体实施方式
为了使得本公开实施例的目的、技术方案和优点更加清楚,下面将结合本公开实施例的附图,对本公开实施例的技术方案进行清楚、完整地描述。显然,所描述的实施例是本公开的一部分实施例,而不是全部的实施例。基于所描述的本公开的实施例,本领域普通技术人员在无需创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例,都属于本公开保护的范围。
除非另外定义,本公开使用的技术术语或者科学术语应当为本公开所属领域内具有一般技能的人士所理解的通常意义。本公开中使用的“第一”、“第二”以及类似的词语并不表示任何顺序、数量或者重要性,而只是用来区分不同的组成部分。“包括”或者“包含”等类似的词语意指出现该词前面的元件或者物件涵盖出现在该词后面列举的元件或者物件及其等同,而不排除其他元件或者物件。“连接”或者“相连”等类似的词语并非限定于物理的或者机械的连接,而是可以包括电性的连接,不管是直接的还是间接的。“上”、“下”、“左”、“右”等仅用于表示相对位置关系,当被描述对象的绝对位置改变后,则该相对位置关系也可能相应地改变。
为了保持本公开实施例的以下说明清楚且简明,本公开省略了已知功能和已知部件的详细说明。
本公开实施例提供一种车用玻璃,这里的所述车用玻璃例如可以用于车辆的前风挡玻璃,当然也可以用于车辆的其他位置的玻璃,其能够接收太阳光并将所述太阳光过滤为冷光源。
图1示出了一种车用玻璃的结构示意图,如图1所示,所述车用玻璃包括透明的衬底层100,这里的所述衬底可以采用玻璃基板,在例如玻璃基板的所述衬底层100的表面上采用例如磁控溅射镀膜工艺沉积多层薄膜结构。具体地,在所述衬底层100上沉积多个氧化物层,在相邻的所述氧化物层之间沉积红外反射层和阻挡层,在最外侧的所述氧化物层上沉积保护层,这里的所述红外反射层用于反射红外光,所述阻挡层以用于阻挡紫外光。通过设置所述红外反射层以及所述阻挡层可以实现对于膜层生长的控制,使所述车用玻璃最大程度地阻挡红外辐射,使得红外光的透过率低于5%,使得紫外光的透过率在1%以下,同时实现可见光的透过率大于70%。
进一步地,通过专业光学软件CODE模拟结果可知,由于红外反射层透过率由于反射作用而可能较低,为了获得高的透过率,需要增加不同厚度的氧化物层,为此,利用不同厚度氧化物膜层之间的干涉相消作用减小膜层的反射作用,实现整体膜堆透过率的提升,满足对于汽车前风挡透过率的相关要求,这里的所述氧化物层的层数决定整体氧化物层的厚度。
这里的所述氧化物层可以是一种高折射率的透明的氧化物形成的氧化物层,也可以是含有多种高折射率的透明的氧化物形成的氧化物组合层,这里的透明的所述氧化物例如可以是氧化钛(TiO2)、氧化锌(ZnO)、五氧化铌(Nb2O5)、锌锡氧化物(ZnSnOx)、二氧化锡(SnO2)等。
如图1所示,在本公开实施例中,以在所述衬底层100上沉积三个氧化物层为例,其中,在所述衬底层100上从下到上依次沉积第一氧化物层101、第二氧化物层104、第三氧化物层107以及第四氧化物层110,其中,在所述第一氧化物层101和所述第二氧化物层104之间沉积设置第一红外反射层102和第一阻挡层103,在所述第二氧化物层104和所述第三氧化物层107之间沉积设置第二红外反射层105和第二阻挡层106,在所述第三氧化物层107和所述第四氧化物层110之间沉积设置第三红外反射层108和第三阻挡层109;此外,还可以在所述第四氧化物层110上沉积设置保护层111。
进一步地,由于例如汽车前风挡后续加工的特殊性(长时间膜层处于高温高湿环境中),仅仅设置保护层已经不能满足工艺需求,为了增强保护的效果,还可以在所述保护层111上沉积设置增强保护层112,这里的所述增强保护层112的致密性明显优于所述保护层111,其可以更好地阻挡水汽对于所述红外反射层的腐蚀破坏,同时所述增强保护层112的硬度显著高于所述保护层11,可以有效避免运输和加工过程中的划伤,有效产品提高良率。
进一步地,为了提升透过的效果,最靠近所述衬底层100的所述氧化物层和最远离所述衬底层100的所述氧化物层的厚度小于其他的所述氧化物层的厚度,具体地,例如所述第一氧化物层101和所述第四氧化物层110的厚度优选为为20-40nm,所述第二氧化物层104和所述第三氧化物层107的厚度为60-100nm,位于最靠近所述衬底层100的所述第一氧化物层101和最远离所述衬底层100所述第四氧化物层110的厚度小于其他的所述第二氧化物层104和所述第三氧化物层107的厚度。
优选地,在所述第一氧化物层101、所述第二氧化物层104、所述第三氧化物层107和所述第四氧化物层110中,无论是由单一的氧化物制成还是由多层氧化物制成的氧化物组合层,其中,与所述红外反射层相邻的所述氧化物层采用氧化锌(ZnO)或其掺杂氧化物,比如锌锡氧化物(ZnSnOx)、铝掺杂的氧化锌(AZO)等制成,其厚度设置为5-15nm,例如与所述第一红外反射层102、所述第二红外反射层105和所述第三红外反射层108相邻的所述氧化物层采用氧化锌(ZnO)或其掺杂氧化物,比如锌锡氧化物(ZnSnOx)、铝掺杂的氧化锌(AZO)等制成,其厚度设置为5-15nm;
更为优选地,与所述阻挡层相邻的所述氧化物层采用氧化锌(ZnO)或其掺杂氧化物,比如锌锡氧化物(ZnSnOx)、铝掺杂的氧化锌(AZO)等制成,其厚度设置为5-15nm,例如与所述第一阻挡层103、所述第二阻挡层106和所述第三阻挡层109相邻的所述氧化物层采用氧化锌(ZnO)或其掺杂氧化物,比如锌锡氧化物(ZnSnOx)、铝掺杂的氧化锌(AZO)等制成,其厚度设置为5-15nm。
需要说明的是,这里的所述氧化锌制成的膜层为六方晶系结构,完美契合所述红外反射层的111面的生长,使得所述红外反射层电阻率比较低,达到同等性能红外反射层更薄的效果,并且氧化锌是常见的材料,成本低,适合规模化生产。
进一步地,如果所述氧化物层,例如所述第一氧化物层101、所述第二氧化物层104、所述第三氧化物层107以及所述第四氧化物层110采用由多种氧化物组成的氧化物组合层的形式,在沉积过程中使得不同的所述氧化物之间以共溅射生长的方式进行过渡,例如可以采用双旋转阴极的结构,具体地,通过安装两种不同靶材以及中频交流电源供电以实现磁控溅射,这里在溅射过程中采用的气体为氩氧混合气。
进一步地,所述红外反射层用于对红外光实现反射,其可以采用银(Ag)制成,例如本公开实施例中的所述第一红外反射层102、所述第二红外反射层105和所述第三红外反射层108都采用银(Ag)制成,这里采用金属银(Ag)制成的所述红外反射层具有非常高的电导率和对红外辐射的反射能力,而且颜色中性,是实现红外屏蔽的主要功能层。这里的所述红外反射层需要尽可能的薄以增加产品透过率。
进一步地,所述红外反射层一般为金属层,随着金属层厚度的增加,膜层的透过率会急速降低,甚至会发生不透光的情况,这将不能满足汽车前风挡关于透过率的强制要求,这样,当所述红外反射层为多个的情况下,这里的不同所述红外反射层的厚度不同,具体地,相邻的所述红外反射层之间需要满足预定条件,其中,所述第x红外反射层的厚度ex满足ex=Aex-1,其中,这里的系数A满足1<A≤2;进一步优选的是1.05<A≤2,更为优选的是1.05<A≤1.6。此外,最靠近所述衬底层100的所述红外反射层,例如第一红外反射层102的厚度e1满足10nm≤e1≤18nm,优选的范围是11nm≤e1≤15nm。
在本公开实施例中通过设置所述阻挡层以吸收可见光,为了达到膜堆整体透过满足国标透过率≥70%,所以每一层的所述阻挡层都需要设置的尽可能薄;同时所述阻挡层具有保护所述红外反射层的功能,如果所述阻挡层过于薄,则会使得所述红外反射层将遭到破坏。由于热处理过程中氧气等有害成分是由顶部膜层渗透逐步进入底部膜层,为了兼顾保护功能的同时并获得更高的透过率,为此需要将所述阻挡层设置多个膜层。
这里的在所述氧化层之间的所述阻挡层,例如所述第一阻挡层103、所述第二阻挡层106以及所述第三阻挡层109采用金属钛(Ti)制成,这里的所述阻挡层的面密度可以设置为0.5-1.5μg/cm2。其中,在具有多个所述阻挡层的情况下,越远离所述衬底层100的所述阻挡层的面密度越大,例如所述第三阻挡层109大于所述第二阻挡层106的面密度,所述第二阻挡层106的面密度大于所述第一阻挡层面103的面密度。
进一步地,所述保护层和所述增强保护层可以采用以下材料中的至少一种制成,例如氧化钛(TiO2)、氧化铝(Al2O3)、二氧化锆(ZrO2)、二氧化硅(SiO2)。这种采用不同材料的配比,通过改善和增加保护层的方式,满足了汽车玻璃后续的双热弯工艺的要求。此外,当同时采用所述保护层和所述增强保护层的情况下,这两层的成分可以不同,但是面密度要达到1.0-1.5μg/cm2。例如可以采用氧化铝和氧化硅的混合材料形成所述保护层,采用二氧化锆或者二氧化硅以形成所述增强保护层。
本公开实施例的所述汽车玻璃,对于可见光(波长从380nm-780nm)透过率可达70%以上,对于红外光(波长780nm-2500nm)透过率在5%以下,对于紫外光(380nm以下)的透过率在1%以下。
本公开实施例还包括一种车用玻璃的制备方法,其用于制备上述实施例中提供的所述车用玻璃,其主要采用磁控溅射的方式实现,例如采用普通溅射和共溅射沉积,其中,共溅射沉积这种特殊的工艺方式,并选取特殊的材料,缓解了氧化物层不同材料间的内应力,使本发明的产品可以在后续加工过程中避免引发的膜层缺陷,这里的所述制备方法其包括以下步骤:
在制备之前,首先需要根据需求以实现对不同车辆的车型实现匹配,通过丝网印刷实现例如所述玻璃基板的所述衬底层100上除膜部分的覆盖。
步骤S1,清洗所述衬底层100。
具体地,在本步骤中,将例如玻璃基板进行清洗和吹干,并运送至镀膜车间的超净间中;同时通过机械手或者人工方式把完成丝印的所述玻璃基片装载在生产线上,并装载相应的金属网版进行排列组合;最后将排列组合完成后的所述玻璃基板送入到真空溅射腔室中。
步骤S2,采用普通溅射和共溅射的方式沉积第一氧化物层,其中,这里的磁控溅射采用双旋转阴极,溅射所用气体使用氩氧混合气体;
步骤S3,采用金属溅射的方式沉积第一红外反射层,其中,这里的磁控溅射采用平面阴极,溅射所用气体使用纯氩气或氪气或混合气体;
步骤S4,采用金属溅射的方式沉积第一阻挡层,其中,这里的磁控溅射采用平面阴极,溅射所用气体使用纯氩气;
步骤S5,采用普通溅射和共溅射的方式沉积第二氧化物层,其中,这里的磁控溅射采用双旋转阴极,溅射所用气体使用氩氧混合气体;
还可以根据需要沉积更多的所述氧化物层以及在相邻的所述氧化物层之间沉积所述红外反射层以及所述阻挡层,例如继续采用步骤S2沉积氧化物层,采用步骤S3沉积红外反射层,采用步骤S4沉积阻挡层;
步骤S6,采用普通溅射或者共溅射的方式沉积保护层并监测离子体的含量,其中,这里的磁控溅射采用双旋转阴极,溅射所用气体使用氩氧混合气体,这里由于反应溅射存在靶中毒的现象,所以沉积过程中加入了等离子的监控设备,实时监控氧等离子体的含量;
当然还可以进一步包括步骤S7,用普通溅射或者共溅射的方式沉积增强保护层,其中,这里的磁控溅射采用双旋转阴极,溅射所用气体使用氩氧混合气体;
步骤S8,最后,在沉积过程结束后,取下金属网版,检测镀膜质量,将沉积合格的车用玻璃装入带铝箔纸的专用包装箱,加入干燥剂并密封抽真空。
在一个实施例中提供一种车用玻璃,其包括玻璃基板,在所述玻璃基本上依次沉积第一氧化物层、第一红外反射层、第一阻挡层、第二氧化物层、第二红外反射层、第二阻挡层、第三氧化物层、第三红外反射层、第三阻挡层、第四氧化物层、保护层以及增强保护层。
其中,所述第一氧化物层为锌锡氧化物(ZnSnOx)和氧化锌(ZnO)形成的复合层,其厚度为42-46nm,以梯度生长方式过渡;所述第一红外反射层采用银制成,其厚度为10nm;所述第一阻挡层采用钛制成,其面密度为1.0μg/cm2;所述第二氧化物层为锌锡氧化物(ZnSnOx)和氧化锌(ZnO)形成的复合层,其厚度为70-85nm,两层的氧化锌(ZnO)和锌锡氧化物(ZnSnOx)都以梯度生长的方式过渡;所述第二红外反射层采用银制成,其厚度为13nm;所述第二阻挡层采用钛制成,其面密度为1.1μg/cm2;所述第三氧化物层为锌锡氧化物(ZnSnOx)和氧化锌(ZnO)形成的复合层,其厚度为70-85nm,两层的氧化锌(ZnO)和锌锡氧化物(ZnSnOx)都以梯度生长的方式过渡;所述第三红外反射层采用银制成,其厚度为17nm;所述第三阻挡层采用钛制成,其面密度为1.2μg/cm2;所述第四氧化物层为锌锡氧化物(ZnSnOx)和氧化锌(ZnO)形成的复合层,其厚度为35-45nm,两层的氧化锌(ZnO)和锌锡氧化物(ZnSnOx)都以梯度生长的方式过渡;所述保护层采用氧化铝和氧化硅混合制成,其中铝的含量大于20%,厚度为5nm;所述增强保护层采用二氧化硅(SiO2)制成,面密度为1.5μg/cm2。
本实施例通过上述制备方法制备的所述车用玻璃对于紫外光、红外光和可见光的透过率测量结果为:
300nm~380nm紫外 | 380~780nm可见光 | 780~2500nm红外 | |
透过率(%) | 0.1 | 72.5 | 4.1 |
本公开实施例能够实现对于红外光和紫外光的过滤,并且透过率满足对于例如车辆前风挡玻璃的要求,便于加工并且降低成本。
此外,虽然采用特定次序描绘了各操作,但是这不应当理解为要求这些操作以所示出的特定次序或以顺序次序执行来执行。在一定环境下,多任务和并行处理可能是有利的。同样地,虽然在上面论述中包含了若干具体实现细节,但是这些不应当被解释为对本公开的范围的限制。在单独的实施例的上下文中描述的某些特征还可以组合地实现在单个实施例中。相反地,在单个实施例的上下文中描述的各种特征也可以单独地或以任何合适的子组合的方式实现在多个实施例中。
尽管已经采用特定于结构特征和/或方法逻辑动作的语言描述了本主题,但是应当理解所附权利要求书中所限定的主题未必局限于上面描述的特定特征或动作。相反,上面所描述的特定特征和动作仅仅是实现权利要求书的示例形式。
以上对本公开多个实施例进行了详细说明,但本公开不限于这些具体的实施例,本领域技术人员在本公开构思的基础上,能够做出多种变型和修改实施例,这些变型和修改都应落入本公开所要求保护的范围。
Claims (13)
1.一种车用玻璃,其包括透明的衬底层,在所述衬底层上采用磁控溅射镀膜工艺沉积多层薄膜结构,其特征在于包括沉积多个氧化物层,在相邻的所述氧化物层之间沉积用于反射红外光的红外反射层和用于阻挡紫外光的阻挡层,在最外侧的所述氧化物层上沉积保护层。
2.根据权利要求1所述的车用玻璃,其特征在于,在所述保护层上沉积设置增强保护层。
3.根据权利要求1所述的车用玻璃,其特征在于,最靠近所述衬底层的所述氧化物层和最远离所述衬底层的所述氧化物层的厚度小于其他的所述氧化物层的厚度。
4.根据权利要求1所述的车用玻璃,其特征在于,所述氧化物层采用透明的单一氧化物形制成或者是含有多种氧化物形成的氧化物组合层。
5.根据权利要求4所述的车用玻璃,其特征在于,所述氧化物采用氧化钛、氧化锌、五氧化铌、锌锡氧化物、二氧化锡中的一种或者多种制成。
6.根据权利要求4所述的车用玻璃,其特征在于,与所述红外反射层相邻的所述氧化物层采用氧化锌或者其掺杂氧化物制成,其厚度设置为5-15nm;与所述阻挡层相邻的所述氧化物层采用氧化锌或者其掺杂氧化物制成,其厚度设置为5-15nm。
7.根据权利要求1所述的车用玻璃,其特征在于,所述红外反射层采用银制成。
8.根据权利要求1所述的车用玻璃,其特征在于,当所述红外反射层为多个的情况下,相邻的所述红外反射层之间需要满足预定条件,其中,所述第x红外反射层的厚度ex满足ex=Aex-1,系数A满足1<A≤2。
9.根据权利要求8所述的车用玻璃,其特征在于,最靠近所述衬底层的所述红外反射层的厚度e1满足10nm≤e1≤18nm。
10.根据权利要求1所述的车用玻璃,其特征在于,所述阻挡层采用金属钛制成,所述阻挡层的面密度设置为0.5-1.5μg/cm2。
11.根据权利要求10所述的车用玻璃,其特征在于,在具有多个所述阻挡层的情况下,越远离所述衬底层的所述阻挡层的面密度越大。
12.根据权利要求1或2所述的车用玻璃,其特征在于,所述保护层和/或所述增强保护层采用以下材料中的至少一种制成:氧化钛、氧化铝、二氧化锆、二氧化硅。
13.一种车用玻璃的制备方法,其用于制备权利要求1-12中任一项所述车用玻璃,其特征在于包括以下步骤:
步骤S1,制备所述衬底层;
步骤S2,采用普通溅射和共溅射的方式沉积第一氧化物层,其中,这里的磁控溅射采用双旋转阴极,溅射所用气体使用氩氧混合气体;
步骤S3,采用金属溅射的方式沉积第一红外反射层,其中,这里的磁控溅射采用平面阴极,溅射所用气体使用纯氩气或氪气或混合气体;
步骤S4,采用金属溅射的方式沉积第一阻挡层,其中,这里的磁控溅射采用平面阴极,溅射所用气体使用纯氩气;
步骤S5,采用普通溅射和共溅射的方式沉积第二氧化物层,其中,这里的磁控溅射采用双旋转阴极,溅射所用气体使用氩氧混合气体;
步骤S6,采用普通溅射或者共溅射的方式沉积保护层并监测离子体的含量;
步骤S7,用普通溅射或者共溅射的方式沉积增强保护层。
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