CN113941552A - 清洗装置及其操作方法 - Google Patents

清洗装置及其操作方法 Download PDF

Info

Publication number
CN113941552A
CN113941552A CN202111306199.7A CN202111306199A CN113941552A CN 113941552 A CN113941552 A CN 113941552A CN 202111306199 A CN202111306199 A CN 202111306199A CN 113941552 A CN113941552 A CN 113941552A
Authority
CN
China
Prior art keywords
ball screw
nut
axial direction
cleaning apparatus
lifting device
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN202111306199.7A
Other languages
English (en)
Inventor
史蒂文·贺·汪
王亦天
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Xinyang Guimi Shanghai Semiconductor Technology Co ltd
Original Assignee
Xinyang Guimi Shanghai Semiconductor Technology Co ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Xinyang Guimi Shanghai Semiconductor Technology Co ltd filed Critical Xinyang Guimi Shanghai Semiconductor Technology Co ltd
Priority to CN202111306199.7A priority Critical patent/CN113941552A/zh
Publication of CN113941552A publication Critical patent/CN113941552A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B08—CLEANING
    • B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
    • B08B3/00—Cleaning by methods involving the use or presence of liquid or steam
    • B08B3/02—Cleaning by the force of jets or sprays
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B08—CLEANING
    • B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
    • B08B13/00—Accessories or details of general applicability for machines or apparatus for cleaning
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
    • H01L21/02041—Cleaning
    • H01L21/02057—Cleaning during device manufacture
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
    • H01L21/67017—Apparatus for fluid treatment
    • H01L21/67023—Apparatus for fluid treatment for general liquid treatment, e.g. etching followed by cleaning
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
    • H01L21/67017—Apparatus for fluid treatment
    • H01L21/67028—Apparatus for fluid treatment for cleaning followed by drying, rinsing, stripping, blasting or the like
    • H01L21/6704—Apparatus for fluid treatment for cleaning followed by drying, rinsing, stripping, blasting or the like for wet cleaning or washing
    • H01L21/67051—Apparatus for fluid treatment for cleaning followed by drying, rinsing, stripping, blasting or the like for wet cleaning or washing using mainly spraying means, e.g. nozzles
    • H—ELECTRICITY
    • H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02K—DYNAMO-ELECTRIC MACHINES
    • H02K7/00—Arrangements for handling mechanical energy structurally associated with dynamo-electric machines, e.g. structural association with mechanical driving motors or auxiliary dynamo-electric machines
    • H02K7/06—Means for converting reciprocating motion into rotary motion or vice versa
    • H—ELECTRICITY
    • H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02K—DYNAMO-ELECTRIC MACHINES
    • H02K7/00—Arrangements for handling mechanical energy structurally associated with dynamo-electric machines, e.g. structural association with mechanical driving motors or auxiliary dynamo-electric machines
    • H02K7/10—Structural association with clutches, brakes, gears, pulleys or mechanical starters

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)

Abstract

本发明公开了一种清洗装置，清洗装置包括升降装置和驱动装置，驱动装置包括螺母、滚珠丝杠和电机，螺母和滚珠丝杠相啮合，滚珠丝杠沿竖直方向设置，电机的输出轴与滚珠丝杠的一端连接，升降装置与螺母连接。该清洗装置及其操作方法通过设置电机驱动滚珠丝杠使其正反转速度和加速度可变化以及运动范围的长短，所以在运作的过程中可以产生较大的冲击清洗效果，或者是使得冲洗效果更加的柔顺防止物体破损，提供了一种更加灵活的抖动处理方法。同时，整个运行过程通过可调各种速度、方向、运动范围进而使得操作变得更加灵活，简便了工作人员的操作步骤，只需要通过更改电机进行调速，便可达到更好的清洗效果。

Description

清洗装置及其操作方法
技术领域
本发明涉及一种清洗装置及其操作方法。
背景技术
在晶圆生产的工艺过程中，会用到很多次的光刻胶去除或者金属层剥离工艺，这类工艺的作用就是要将附着在晶圆表层的一层膜状物质从晶圆表面拿掉。对于量产设备来说，如何快速，有效的完成工艺必然是各个设备厂商需要解决的首要工艺问题。
在传统的工艺过程中，通常是将晶圆竖直的浸没在工艺药剂内，晶圆通过一个电动凸轮偏心机构通过偏心机构的轴驱动抖动装置进而带动晶圆相对溶液做上下垂直运动。此时晶圆的表面与药剂界面会产生一个相对运动，这个相对的运动对于工艺的提升非常有帮助，通过晶圆和溶液的相对运动，使得溶液对去除晶圆表面的覆盖物可以起到一个冲击作用，进而达到去除晶圆表面覆盖物的作用。由于电机凸轮偏心机构电机的转速是恒定的，即驱动装置做上下垂直运动的速度是一致的且恒定的，无法更改，因此上升和下降的速度和加速度刚好是大小相等，方向相反。所以，在以往的技术手段中，上升和下降时所能达到的速度大小是恒定的，难以针对运动方向的不同进行速度调节，所以对于达到去除晶圆表面覆盖物的效果并不是很好。且对于需要较大的冲击力去除时，由于其速度恒定，则上下垂直运动速度一致，所以驱动装置全程处于一个较大冲击的状态，但对于需要缓慢去除表面的细小瑕疵时，较大的冲击又无法满足，所以无法达到一个较完美的去除效果。
发明内容
本发明要解决的技术问题是为了克服现有技术中去除物体表面覆盖物效果不佳的缺陷，提供一种清洗装置及其操作方法。
本发明是通过下述技术方案来解决上述技术问题：
一种清洗装置，所述清洗装置包括升降装置和驱动装置，所述驱动装置包括螺母、滚珠丝杠和电机，所述螺母和所述滚珠丝杠相啮合，所述滚珠丝杠沿竖直方向设置，所述电机的输出轴与所述滚珠丝杠的一端连接，所述升降装置与所述螺母连接。
在本方案中，采用滚珠丝杠和电机连接的方式，可以有效的避免了上述去除物体表面覆盖物效果不佳的问题，且通过设置电机驱动滚珠丝杠使其正反转速度和加速度可变化，因此物体上升和下降的抖动速度和加速度都是可以分别设定的，所以在运作的过程中可以产生较大的冲击清洗效果，或者是适当的减少向下抖动的速度以达到较小的相对运动，使得冲洗效果更加的柔顺防止物体破损。同时，整个运行过程通过可调各种速度进而使得操作变得更加灵活，也简便了工作人员的操作步骤，只需要通过更改电机进行调速，便可达到更好的清洗效果。
较佳地，所述升降装置包括升降平台和承载器，所述升降平台和所述螺母活动连接，所述升降平台和所述承载器固定连接。
在本方案中，将升降平台和螺母活动连接，可以随时进行拆装升降平台，例如清理升降平台；将升降平台和承载器固定连接，为了增强在升降的过程中，保证承载器的稳定运行。
较佳地，所述承载器上设有存放槽，所述存放槽的开口沿所述滚珠丝杠的轴向方向设置。可以将存放槽的开口方向根据不同情况进行不同的朝向。
较佳地，所述升降装置还包括滑块和导轨，所述导轨的轴向方向和所述滚珠丝杠的轴向方向相同，所述滑块套设在所述滑轨上，并沿所述导轨的轴向方向运动。
较佳地，所述滑块和所述升降平台固定连接，所述升降平台通过所述滑块沿所述滑轨的轴向方向运动。
在本方案中，滑块套设在滑轨上，并将导轨的轴向方向和滚珠丝杠的轴向方向相同设置，则当升降装置随着螺母沿着滚珠丝杠的轴向方向运动时，升降装置带动滑块在滑轨上也进行同方向的运动。且设置滑块和导轨的作用是，当升降装置随着螺母沿着滚珠丝杠的轴向方向运动时，滑轨和滚珠丝杠共同承担着承载升降装置运行时的力，避免了因螺母和滚珠丝杠独自承担升降装置的全部重力导致其损害，减小其使用寿命，并减弱了螺母和滚珠丝杠的啮合能力。
较佳地，所述滑轨的数量为至少两个，并在所述滚珠丝杠的两侧对称设置。如上述所述，设置滑轨可以分担滚珠丝杠承载升降装置的重力，所以设置多个滑轨，可以进一步的增强滑轨承担升降装置的全部重力的效果，增强滚珠丝杠和螺母的连接性能，并增强螺母和滚珠丝杠的使用寿命，使得滚珠丝杠只是起到方向引索的作用，并不承担力的作用。
较佳地，所述清洗装置还包括处理槽，所述处理槽位于所述升降装置的正下方，用于处理所述升降装置上的物体。通过在升降装置的正下方设置处理槽，可以增强升降装置在上升和下降的过程中其上面的物体与处理槽内的溶液相接触，实现去除物体表面覆盖物的作用。
较佳地，所述清洗装置的升降装置用于连接晶圆片。
较佳地，所述存放槽用于存放晶圆片，所述晶圆片在所述存放槽内沿所述滚珠丝杠的轴线方向摆放设置。将晶圆片采取沿滚珠丝杠的轴线方向摆放设置，即采取沿升降装置上升和下降的方向设置，减小晶圆片和处理槽内的溶液在滚珠丝杠的径向方向上的接触面积，进而增加晶圆片和处理槽内的溶液在滚珠丝杠上的轴向方向上的力，形成一个较大和/或较小的冲击力，可以使得整个操作过程去除晶圆片表面的覆盖物效果更佳。
较佳地，所述晶圆片的数量为多个，并沿所述滚珠丝杠的轴向方向依次排列设置。如上述所述，晶圆片的这种摆放位置可以更好的实现晶圆片表面覆盖物的去除，且可以将该清洗装置用于处理更多的晶圆片，增强其批量生产且快速生产，成为量产设备。
较佳地，其用于操作如上述所述的清洗装置，所述清洗装置的操作方法，包括：
S11、通过设置所述电机正反转上的不同速率以及不同的抖动速度，来驱动所述滚珠丝杠上滚珠丝杠正反转的旋转速度和抖动速度；
S12、所述滚珠丝杠上的滚珠丝杠通过正反转不同的速度进而带动所述滚珠丝杠上螺母沿所述滚珠丝杠的轴向方向上直线运动；
S13、所述螺母带动所述升降装置沿所述滚珠丝杠的轴向方向运动。
本发明的积极进步效果在于：该清洗装置及其操作方法通过设置电机驱动滚珠丝杠使其正反转速度和加速度可变化以及运动范围的长短，因此物体上升和下降的抖动速度和加速度都是可以分别设定的，所以在运作的过程中可以产生较大的冲击清洗效果，或者是适当的减少向下抖动的速度以达到较小的相对运动，使得冲洗效果更加的柔顺防止物体破损，提供了一种更加灵活的抖动处理方法，可以实现升降的不同速度和加速度，结合不同的清洗溶液，以实现多种工艺的目的。同时，整个运行过程通过可调各种速度、方向、运动范围进而使得操作变得更加灵活，也简便了工作人员的操作步骤，只需要通过对电机驱动轴的正转和反转进行对应的调速，便可达到更好的清洗效果。
附图说明
图1为本发明较佳实施例中的清洗装置的整体结构示意图。
图2为本发明较佳实施例中的清洗装置的左侧结构示意图。
附图标记说明：
清洗装置1
升降装置2
升降平台21
承载器22
存放槽221
滑块23
导轨24
驱动装置3
螺母31
滚珠丝杠32
电机33
晶圆片4
具体实施方式
下面通过实施例的方式进一步说明本发明，但并不因此将本发明限制在所述的实施例范围之中。
本实施例提供了一种清洗装置1，如图1-2所示，清洗装置1包括升降装置2和驱动装置3，升降装置2和驱动装置3活动连接，可以根据具体情况按需更换、清理等；其中，驱动装置3具体包括螺母31、滚珠丝杠32和电机33，螺母31套设在滚珠丝杠32上，螺母31和滚珠丝杠32相啮合，螺母31随着滚珠丝杠32的旋转运动沿滚珠丝杠32的轴向方向上做直线运动，滚珠丝杠32沿竖直方向设置，使得螺母31的上升和下降的直线运动更精密且可调，电机33的输出轴与滚珠丝杠32的一端连接，在本实施例是采取将电机33安装在滚珠丝杠32的下方，即电机33的输出轴和滚珠丝杠32的下端连接，具体电机33的安装位置可以根据按需设置；升降装置2与螺母31连接，以此实现电机33运行时，其输出轴和滚珠丝杠32的一端连接，进而驱动滚珠丝杠32并使滚珠丝杠32上的螺母31带动升降装置2沿滚珠丝杠32的轴线方向运动，即实现上升和下降的运动状态。
具体地，采用滚珠丝杠32和电机33连接的方式，可以有效的避免了上述去除物体表面覆盖物效果不佳的问题。采用电机33可以通过计算机软件预设在内的各种现有技术存在的方式来设定该电机33的正反转参数(包括速度、加速度等)。由于电机33的正转和反转分别对应升降装置2(以及螺母31)的上升及下降，因此，可通过控制电机33正反转参数的方式实现抖动过程中，上下速度不同，也就是说，可以通过更改电机33的正反转速度，实现升降装置2在上升或者下降的过程中采取不同的速度运行。例如，为了使得将物体表面的覆盖物迅速去除，可以将电机33的正转设置成小速度驱动，使得升降装置2在上升的过程中稳步缓慢上升；再将电机33的反转设置成较大的速度驱动，使得升降装置2在下降的过程中相对上升的过程形成一个猛地向下的冲击，这样可以使得物体向下运动时相对于溶液来说也形成一个相对较大的运动速度，就可以更好的实现物体下表面覆盖物的去除，这样对于去除物体表面覆盖物的效果更佳。同理，也可以将电机33的正转设置成较大速度的驱动，将电机33的反转设置成较小速度的驱动，实现物体向上运动时相对于溶液来说也形成一个相对较大的运动速度，就可以更好的实现物体上表面覆盖物的去除，这样对于去除物体表面覆盖物的效果也更佳。所以，具体的设置可以按需选择，以此使得去除物体表面的覆盖物的效果达到最佳。并且进一步的，还可使得加速度及行程范围内的位置行程均通过调整电机33的正反转参数而对应调节改变。
另外，电机33通过螺母31与滚珠丝杠32进行驱动，由于减速比较高，因此无需再设置减速机等减速结构，可以减少零件数量，实现优化结构的目的。
由于对电机33的正转和反转速度是能够针对性控制的，因此，电机33的输出轴带动滚珠丝杠32上的升降装置2上升和下降的抖动速度和加速度也都是可以分别设定的。例如，当将电机33设置成较大的抖动速度时，适当的增加物体向下抖动的速度以达到更大的相对运动，可以带来更大的冲击清洗效果；又如，当将电机33设置成较小的抖动速度时，适当的减小物体向下抖动的速度以达到更小的相对运动，可以使得冲洗效果更加且柔顺，也照顾到了物体表面的边边角角，使得清洗的更加干净且完整，则避免了物体表面的破损和清洗不到位造成的效果欠缺。
其中，尤其是在电机33驱动滚珠丝杠32正转、反转的过程中，其在滚珠丝杠32的不同路程上可以实现不同的速度运行。例如，若需要在上升和/或的过程中需要更改一下滚珠丝杠32的转动速度，调整一下螺母31的直线运动的路程，即可以对应的调整一下物体在上升和/或下降的过程中所完成的清洗程度，也就是说，在上升和/或下降的某一过程中，需要更改物体表面的清洗状态，即在某一段内，需要将清洗状态调为缓慢柔和的状态，则不同于惯常的较大冲击力的清洗状态，便可通过更改电机33驱动正反转的参数以此实现不同的路段可以有多种清洗状态的效果，实现了一机多用，增强清洗装置1的实用性和多功能性，进而提供了一种更加灵活的清洗装置1的抖动处理方法，可以实现升降的不同速比，结和不同的溶液，达到多种工艺的目的。同时，整个运行过程通过更改计算机软件上的驱动参数进而使得操作变得更加灵活，也简便了工作人员的操作步骤，只需要通过更改电机33进行调速，便可达到更好的清洗效果。
如图1-2所示，升降装置2包括升降平台21和承载器22，升降平台21和螺母31之间均是通过可拆卸的方式实现连接的，因此在维护过程中，可以随时拆装升降平台21，例如清理升降平台21；而升降平台21和承载器22之间为固定连接，这么做是为了增强在升降的过程中的结构刚度，保证承载器22的稳定运行。
具体地，承载器22上设有存放槽221，在本实施例中，存放槽221的结构设置成其开口朝上，其底部呈封合状态，并沿滚珠丝杠32的轴向方向(竖直方向)设置。但是存放槽221的结构形式也有其他实施方式，可以根据不同的情况具体选择不同的结构形式。存放槽221存放需要处理的物体，且将其开口方向沿滚珠丝杠32的轴向方向设置，即沿升降装置2的升降方向设置，但是其开口方向可以根据不同情况进行不同的朝向，例如，在清洗物体表面时，可以将存放槽221的开口方向双向设置，即存放槽221只存在周向的覆盖，使其上下贯通，也就是存放槽221相对于溶液的一侧设置有开口，但是该开口要小于物体的大小，为了防止物体随着升降装置2的运行时使得物体脱离存放槽221,存放槽221内的物体可以通过在存放槽221内设置支架将所需处理的物体支撑于内，进而可以实现其在升降的过程中，上升和下降两个方向均可达到清洗其内物体的效果。同时，存放槽221的这种结构形式还有一点好处就是，在去除物体表面的覆盖物时，掉落的覆盖物可以通过开口掉落出来，避免所有的覆盖物都堆积在存放槽221的底部，使得溶液去除物体时效果不佳。
如图1所示，升降装置2还包括滑块23和导轨24，导轨24的轴向方向和滚珠丝杠32的轴向方向相同，即均沿竖直方向设置，滑块23套设在滑轨上，并沿导轨24的轴向方向运动。滑块23和升降平台21固定连接，升降平台21通过滑块23沿滑轨的轴向方向运动。滑块23套设在滑轨上，并将导轨24的轴向方向和滚珠丝杠32的轴向方向相同设置，则当升降装置2随着螺母31沿着滚珠丝杠32的轴向方向运动时，升降装置2带动滑块23在滑轨上也进行同方向的运动。且设置滑块23和导轨24的作用是，当升降装置2随着螺母31沿着滚珠丝杠32的轴向方向运动时，滑轨和滚珠丝杠32共同承担着承载升降装置2运行时的力，避免了因螺母31和滚珠丝杠32独自承担升降装置2的全部重力导致其损害，减小其使用寿命，并减弱了螺母31和滚珠丝杠32的啮合能力。
具体地，滑轨的数量为至少两个，并在滚珠丝杠32的两侧对称设置，滑轨的数量可以按需设置，优选设置偶数个，并将其对称设置在滚珠丝杠32的两侧，使其承担相同的力的作用，避免出现“跷跷板”的现象。本实施例中是设置为两个，设置滑轨可以分担滚珠丝杠32承受升降装置2的重力，所以设置多个滑轨，可以进一步的增强滑轨承担升降装置2的全部重力的效果，增强滚珠丝杠32和螺母31的连接性能，并增强螺母31和滚珠丝杠32的使用寿命，使得滚珠丝杠32只是起到方向引索的作用，并不承担力的作用。
具体地，清洗装置1还包括处理槽(图中未示出)，处理槽位于升降装置2的正下方，用于处理升降装置2上的物体。通过在升降装置2的正下方设置处理槽，可以增强升降装置2在上升和下降的过程中其上面的物体与处理槽内的溶液相接触，实现升降装置2上的物体与处理槽内的溶液形成相向运动进而有效的去除物体表面覆盖物的作用。
如图2所示，本实施例中将清洗装置1的升降装置2用于连接晶圆片4，若本实施例中的清洗装置1用于清洗其他物体的表面覆盖物也均可适用。
具体的，存放槽221用于存放晶圆片4，晶圆片4在存放槽221内沿滚珠丝杠32的轴线方向摆放设置，也就是晶圆片4的轴向方向和滚珠丝杠32的轴向方向相同，即采取沿升降装置2上升和下降的方向设置。在整个装置的操作过程中，减小晶圆片4和处理槽内的溶液在滚珠丝杠32的径向方向上的接触面积，进而增加晶圆片4和处理槽内的溶液在滚珠丝杠32上的轴向方向上的力，形成一个较大和/或较小的冲击力，可以使得整个操作过程去除晶圆片4表面的覆盖物效果更佳。
如图2所示，晶圆片4的数量为多个，并沿滚珠丝杠32的轴向方向依次排列设置。晶圆片4的这种摆放位置可以更好的实现晶圆片4表面覆盖物的去除，且可以将该清洗装置1用于处理更多的晶圆片4，增强其批量生产且快速生产，使本实施例中的清洗装置1成为量产设备。
如图1-2所示，用于操作清洗装置1的操作方法，包括：
S11、通过设置电机33正反转上的不同速率以及不同的抖动速度，来驱动滚珠丝杠32上滚珠丝杠32正反转的旋转速度和抖动速度；
S12、滚珠丝杠32上的滚珠丝杠32通过正反转不同的速度进而带动滚珠丝杠32上螺母31沿所述滚珠丝杠32的轴向方向上直线运动；
S13、螺母31带动升降装置2沿滚珠丝杠32的轴向方向运动。
通过更改电机33正反转的参数，即实现电机33正反转的过程即是升降过程，且对于正转和反转可以由计算机软件设定不同的转速和加速度，因此物体在上升和下降的抖动速度和加速度都是可以分别设定的。且由于实际工艺中大多数的处理槽均位于升降装置2的正下方，即处理槽内的药剂位于存放槽221的正下方，可以适当的增加物体向下抖动的速度以达到更大的相对运动从而带来更大的冲击清洗效果，或是适当的减少物体向下抖动的速度以达到较小的相对运动，使得冲洗效果更佳且柔顺进而避免物体表面发生破损。
虽然以上描述了本发明的具体实施方式，但是本领域的技术人员应当理解，这仅是举例说明，本发明的保护范围是由所附权利要求书限定的。本领域的技术人员在不背离本发明的原理和实质的前提下，可以对这些实施方式做出多种变更或修改，但这些变更和修改均落入本发明的保护范围。

Claims (11)

1.一种清洗装置，所述清洗装置包括升降装置和驱动装置，其特征在于，
所述驱动装置包括螺母、滚珠丝杠和电机，所述螺母和所述滚珠丝杠相啮合，所述滚珠丝杠沿竖直方向设置，所述电机的输出轴与所述滚珠丝杠的一端连接，所述升降装置与所述螺母连接。
2.如权利要求1所述的清洗装置，其特征在于，所述升降装置包括升降平台和承载器，所述升降平台和所述螺母活动连接，所述升降平台和所述承载器固定连接。
3.如权利要求2所述的清洗装置，其特征在于，所述承载器上设有存放槽，所述存放槽的开口沿所述滚珠丝杠的轴向方向设置。
4.如权利要求2所述的清洗装置，其特征在于，所述升降装置还包括滑块和导轨，所述导轨的轴向方向和所述滚珠丝杠的轴向方向相同，所述滑块套设在所述滑轨上，并沿所述导轨的轴向方向运动。
5.如权利要求4所述的清洗装置，其特征在于，所述滑块和所述升降平台固定连接，所述升降平台通过所述滑块沿所述滑轨的轴向方向运动。
6.如权利要求5所述的清洗装置，其特征在于，所述滑轨的数量为至少两个，并在所述滚珠丝杠的两侧对称设置。
7.如权利要求1所述的清洗装置，其特征在于，所述清洗装置还包括处理槽，所述处理槽位于所述升降装置的正下方，用于处理所述升降装置上的物体。
8.如权利要求1-7任一项所述的清洗装置，其特征在于，所述清洗装置的升降装置用于连接晶圆片。
9.如权利要求8所述的清洗装置，其特征在于，存放槽用于存放晶圆片，所述晶圆片在存放槽内沿所述滚珠丝杠的轴线方向摆放设置。
10.如权利要求9所述的清洗装置，其特征在于，所述晶圆片的数量为多个，并沿所述滚珠丝杠的轴向方向依次排列设置。
11.一种清洗装置的操作方法，其特征在于，其用于操作如权利要求1所述的清洗装置，所述清洗装置的操作方法，包括：
S11、通过设置所述电机正反转上的不同速率、加速度以及不同的运动范围，来驱动所述滚珠丝杠上滚珠丝杠正反转的旋转速度和螺母的抖动速度及运动范围；
S12、所述滚珠丝杠上的滚珠丝杠通过正反转不同的速度进而带动所述滚珠丝杠上螺母沿所述滚珠丝杠的轴向方向上或向下直线运动并控制运动范围；
S13、所述螺母带动所述升降装置沿所述滚珠丝杠的轴向方向做抖动运动。
CN202111306199.7A 2021-11-05 2021-11-05 清洗装置及其操作方法 Pending CN113941552A (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202111306199.7A CN113941552A (zh) 2021-11-05 2021-11-05 清洗装置及其操作方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202111306199.7A CN113941552A (zh) 2021-11-05 2021-11-05 清洗装置及其操作方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN113941552A true CN113941552A (zh) 2022-01-18

Family

ID=79337582

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN202111306199.7A Pending CN113941552A (zh) 2021-11-05 2021-11-05 清洗装置及其操作方法

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN113941552A (zh)

Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103114401A (zh) * 2013-01-16 2013-05-22 内蒙古工业大学 一种具有通用性的安全裤浸渍机
CN103681421A (zh) * 2013-11-29 2014-03-26 北京七星华创电子股份有限公司 半导体扩散设备的石英舟升降装置
CN107008602A (zh) * 2017-06-13 2017-08-04 山东大学 串‑并联式喷涂机器人
CN207294035U (zh) * 2017-08-25 2018-05-01 深圳市智诚赛富科技有限公司 一种多功能超声波清洗轮胎设备的提升装置
CN108389813A (zh) * 2018-02-26 2018-08-10 上海提牛机电设备有限公司 一种硅片清洗干燥一体化装置及其清洗方法
CN208008000U (zh) * 2018-03-30 2018-10-26 珠海华冠科技股份有限公司 一种用于上下料的料盘升降装置
CN209887106U (zh) * 2019-05-15 2020-01-03 十堰天舒感应设备有限公司 一种伺服升降机构
CN210947026U (zh) * 2019-10-11 2020-07-07 濮文涛 升降水槽
CN213738404U (zh) * 2020-11-23 2021-07-20 深圳市研宝工业科技有限公司 一种大平面稳定升降机构
CN216800805U (zh) * 2021-11-05 2022-06-24 新阳硅密（上海）半导体技术有限公司 清洗装置

Patent Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103114401A (zh) * 2013-01-16 2013-05-22 内蒙古工业大学 一种具有通用性的安全裤浸渍机
CN103681421A (zh) * 2013-11-29 2014-03-26 北京七星华创电子股份有限公司 半导体扩散设备的石英舟升降装置
CN107008602A (zh) * 2017-06-13 2017-08-04 山东大学 串‑并联式喷涂机器人
CN207294035U (zh) * 2017-08-25 2018-05-01 深圳市智诚赛富科技有限公司 一种多功能超声波清洗轮胎设备的提升装置
CN108389813A (zh) * 2018-02-26 2018-08-10 上海提牛机电设备有限公司 一种硅片清洗干燥一体化装置及其清洗方法
CN208008000U (zh) * 2018-03-30 2018-10-26 珠海华冠科技股份有限公司 一种用于上下料的料盘升降装置
CN209887106U (zh) * 2019-05-15 2020-01-03 十堰天舒感应设备有限公司 一种伺服升降机构
CN210947026U (zh) * 2019-10-11 2020-07-07 濮文涛 升降水槽
CN213738404U (zh) * 2020-11-23 2021-07-20 深圳市研宝工业科技有限公司 一种大平面稳定升降机构
CN216800805U (zh) * 2021-11-05 2022-06-24 新阳硅密（上海）半导体技术有限公司 清洗装置

Non-Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
北京农业工程大学机械维修工程研究室: "《机械维修工程与技术》", 31 October 1989, 北京：机械工业出版社, pages: 201 - 202 *
日本电气学会: "《电工技术手册 第4卷 日本电气学会》", 31 December 1984, 北京：机械工业出版社, pages: 33 *

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN216800805U (zh) 清洗装置
CN105049561B (zh) 手机膜生产线
CN205521470U (zh) 一种抓取pcb板的机械手机构
CN112692119A (zh) 一种数控六辊卷板机
CN113941552A (zh) 清洗装置及其操作方法
CN216174798U (zh) 一种慢提拉抛动机构
CN110648901B (zh) 一种半导体二极管制造加工用酸洗方法
CN112437546A (zh) 一种加工电路板用蚀刻装置
CN211490978U (zh) 一种钝化抛光装置
JP5129758B2 (ja) 回転表面処理装置の運転条件決定方法
CN108281372A (zh) 均匀刻蚀基片的集成电路芯片湿处理装置及方法
CN212799486U (zh) 用于操作机机械手臂的提拉装置
CN207987406U (zh) 一种纱线上油装置
JP3712552B2 (ja) 基板処理装置
CN217417375U (zh) 一种机械自动化抓取装置
CN211491033U (zh) 一种钝化抛光装置的机头运动控制机构和钝化抛光装置
CN211490751U (zh) 一种钝化抛光装置的机头和钝化抛光装置
CN218946579U (zh) 一种数据线焊接浸锡装置
CN211805454U (zh) 一种钝化抛光装置的工作台和钝化抛光装置
CN115954304B (zh) 一种晶圆干燥抬升方法
CN116766419B (zh) 一种太阳能电池片自动切割装置
CN218256264U (zh) 浸胶箱及手套浸胶系统
CN217340503U (zh) 一种刹克龙除尘器
CN218519395U (zh) 一种正极印刷网版用自动擦拭装置
CN212682719U (zh) 一种电火花机的油槽机构

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination