JP5129758B2 - 回転表面処理装置の運転条件決定方法 - Google Patents

Description

この発明は、微小な被処理物にめっき処理を行うための回転表面処理装置に関し、特に、被処理物に対して所望のめっき処理を行う運転条件を決定する技術に関する。

従来から、図１５に示すような微小な部品（小物部品）に対して高い品質のめっき処理を行う手段として、回転表面処理装置が用いられている（特許文献１〜４）。

すなわち、回転表面処理装置は、外周部の少なくとも一部に液流出部を有し、外周部に陰極を有する回転可能な処理容器と、当該処理容器を囲むドーム部と、当該処理容器の上部開口から挿入する陽極とからなり、当該処理容器に表面処理液及び被処理物を収納し、表面処理液を供給しながら当該処理容器を回転させ、遠心力により、被処理物を陰極部に覆うように押し付けるとともに、表面処理液を液流出部から飛散させてドーム部内で回収するようにし、処理容器内の表面処理液を更新するようにしたものである。

なお、被処理物にめっき付けする場合には、表面処理液としてめっき液を処理容器に供給しながら前記陽極及び陰極に通電し、洗浄や前処理をする場合には通電しないで洗浄水や前処理液等の表面処理液を処理容器内に供給して、使用するものである。

図１５は、回転表面処理装置においてめっき処理の対象となる小物部品の例を示す図であり、めっき部分が斜線ＥＰ１〜３で示されている。図１５Ａは、セラミック材の直方体の両端部においてめっき処理（ＥＰ１）を行ったチップコンデンサを示す。図１５Ｂは、直径０．１〜数ミリの粉状物（プラスチック材や銅材）の表面に２重のめっき処理（ＥＰ２、ＥＰ３）を行ったＢＧＡ用のめっきパウダーの粒子を拡大した部分断面図である。

このように比較的小さい被処理物に対して、所望の部位に均一な膜厚のめっきを行うためには、以下に示すように、めっき液および被処理物を保持した処理容器を回転して被処理物を処理容器の外周方向に移動させた状態とし、その状態で、処理容器の中心部に配設された陽極と処理容器の外周方向に配設された陰極との間を通電することにより、電気めっき処理を行うことが適している。

前記回転表面処理装置において行われる一般的な回転めっき処理の仕組みについて、図１６を用いて以下に説明する。

図１６に示すように、回転めっき処理を行うめっき処理部は、環状陰極Ｎ０を有し回転駆動軸Ｓ０に取り付けられた処理容器Ｔ０と、めっき液に浸漬された陽極Ｐ０と、液流出部Ｈ０から飛散しためっき液を回収するドーム部Ｒ０とで構成されている。陽極Ｐ０は環状に形成された処理容器Ｔ０の中心位置においてめっき液に浸漬するよう配置されており、図１６に示すように、被処理物Ｗが処理容器Ｔ０の回転による遠心力によって外周方向に移動して環状陰極Ｎ０を覆った状態で通電されることによりめっき処理が行われる。なお、液流出部Ｈ０には、被処理物物Ｗを通さない程度の微小穴又はスリットがポーラスリング、溝、ワッシャ等により形成されるため、常に浸透しためっき液が周囲に飛散するが、ドーム部Ｒ０で回収されて処理容器Ｔ０に戻されることにより（上部開口部Ｚ０の給液口Ｑ０から補充される）、処理容器内のめっき液は常に循環する構造となっている。

また、処理容器Ｔ０は正転するだけでなく、反転、減速、停止などを繰り返すことによって被処理物Ｗを撹拌しており、これにより均一なめっき品質を実現することが可能である。

図１７に上記めっき処理における一連の運転の流れを示す。図１７は、めっき時における各工程のフローチャートである。図１７に示すように、電気めっき処理においては、めっき馴染運転Ｓ０２、めっき運転Ｓ０４、めっき脱水運転Ｓ０８、が行われ、その後に、被処理物Ｗや処理容器Ｔ０を水洗いする水洗工程として、水洗馴染運転Ｓ０９、水洗運転Ｓ１０、水洗脱水運転Ｓ１１の順に運転が行われる。なお、めっき馴染運転Ｓ０２の前において、さらに水洗工程を行うようにしてもよい。また、図１７に示すように、めっき運転Ｓ０４の途中に脱泡運転Ｓ０６を適宜行ってもよい。

まず、図１７に示すめっき馴染運転Ｓ０２が、被処理物Ｗをめっき液になじませるために行われる。これは、被処理物Ｗが粉末等の微細粒子である場合、これ等一粒一粒の被処理物の重量が非常に軽いため、当該液に馴染まずに、処理液の表面張力により、処理液表面に浮いた状態となり、めっき液上面からこぼれたり、処理容器内の外周部の陰極にうまく接触しない状態になることを防止するためである。

図１７に示すめっき運転Ｓ０４では、作業者が入力した運転条件パラメータに基づき、遠心力により環状陰極Ｎ０に被処理物Ｗを押しつけた状態で、整流器（図１６）を介して通電を行うことによりめっき処理が行われる。

図１７に示す脱泡運転Ｓ０６では、被処理物Ｗに付着した泡を取り除くために、回転速度を下げて泡を浮かせた状態で行われる。具体的には、レベルセンサ（図示せず）を無効にし、めっき液を処理容器の上部開口部Ｚ０（図１６）からあふれさせて強制的に行われる。なお、泡が発生するのは、めっき液中に界面活性剤が入っているため、被処理物が攪拌することにより液中に空気が混ざって泡立ったり、電気めっき中に発生する水素ガスによって泡立ったりするためである。

図１７に示すめっき脱水運転Ｓ０８では、回転状態のまま給液が停止され、めっき液が排出される。なお、めっき脱水運転Ｓ０８および水洗脱水運転Ｓ１１では、被処理物Ｗが傷つくのを防止するため反転は行わないようにしている。

上記運転の中でも、特に、めっき運転時における処理容器の定速回転数、定速回転数に達するまでの加速時間、その他、通電量などの各種パラメータは被処理物の形状やめっき位置、流動性などの様々な条件によって異なってくるため、被処理物に対して所望のめっきを行うためには、適切な運転条件を導き出すことが重要である。

特開２００６−０３７１８４号

特開平０８−２３９７９９号

特開平０７−１１８８９６号

特開平０９−１３７２８９号

しかしながら、めっき運転によって形成されるめっきの品質は、被処理物の形状やめっき部位、めっき液種などの複雑な要因によって影響されるため、従来のような作業者が回転表面処理装置にその都度パラメータを入力して調節するといった方法では、その運転における処理容器内での被処理物挙動を回転数との関係で観察したり、めっき処理時における被処理物の凝集状態やめっき膜厚等を観察したりして、入力−運転−観察の一連の作業（条件出し作業）を多数回繰り返して、最適な運転条件を見つけ出してゆかなければならず、最適な運転パラメータを導き出す作業は面倒であった。

また、同種の被処理物であっても、重量・粒径・形状が異なれば、再び上記条件出し作業を繰り返して行わなければならず、煩雑なものであった。

さらに、めっき処理を行った後、さらに、異なる被処理物に対してめっき処理を行う場合に、最初から運転条件の入力・設定をやり直すのは面倒な作業となっていた。

（１）この発明の回転表面処理装置の運転条件決定方法は、流動パラメータを設定した後、この流動パラメータを使用して、適正な通電パラメータを設定するものである。すなわち、
表面処理液および被処理物を保持した処理容器を回転させて、被処理物を処理容器の外周方向に移動させたかつ表面処理液を流出させた状態で、処理容器に配設された陽極と処理容器の外周方向に配設された陰極との間を通電することにより電気めっき処理を行う表面処理部と、
複数の運転条件パラメータを記憶する記憶部を有し、当該記憶部に記憶した運転条件パラメータに基づいて前記表面処理部の制御を行う制御部と、
を備えた、被処理物に対して所望の電気めっき処理を行うための回転表面処理装置の運転条件を決定するための方法であって、
前記記憶部に記憶される運転条件パラメータは、流動パラメータおよび通電パラメータで構成されており、
前記運転条件記憶部に記憶した流動パラメータを第１の運転条件として、通電を行わない状態で、前記制御部が前記めっき処理部を制御して第１の試験運転を行い、
さらに、前記第１の試験運転の結果を考慮して、前記運転条件記憶部に記憶した通電パラメータを第２の運転条件として、通電を行った状態で、前記第２の運転条件によって前記制御部は第２の試験運転を行い、
前記第２の試験運転の結果に基づいて、最適な運転条件として選択された運転条件を前記記憶部に登録する、
ことを特徴とするものである。

これにより、第１の試験運転では通電を行わないで（被処理物を入れ替えないで）流動パラメータをある程度限定することができ、めっき処理時における最適な運転条件パラメータを極めて効率的に導き出すことが可能となるものである。このため、めっき不良による被処理物の廃棄が少なくなり、経済的で、環境にも優しいものである。

（２）この発明の回転表面処理装置の運転条件決定方法は、めっき等の一連の表面処理工程の予備試験運転を予め行い、運転条件を予め絞込み、その後に流動パラメータ及び通電パラメータを設定するものである。すなわち、
表面処理液および被処理物を保持した処理容器を回転させて、被処理物を処理容器の外周方向に移動させたかつ表面処理液を流出させた状態で、処理容器に配設された陽極と処理容器の外周方向に配設された陰極との間を通電することにより電気めっき処理を行う表面処理部と、
複数の運転条件パラメータを記憶する記憶部を有し、当該記憶部に記憶した運転条件パラメータに基づいて前記表面処理部の制御を行う制御部と、
を備えた、被処理物に対して所望の電気めっき処理を行うための回転表面処理装置の運転条件を決定するための方法であって、
前記記憶部に記憶される運転条件パラメータは、流動パラメータおよび通電パラメータで構成されており、
入力されまたは運転条件記憶部に予め記憶された運転条件でめっき処理の予備試験運転を行い、
前記予備試験運転の結果に基づいて第１の試験運転における前記流動パラメータを変更した第１の運転条件により、通電を行わない状態で、前記制御部が前記表面処理部を制御して第１の試験運転を行い、
さらに、前記第１の試験運転の結果を考慮して、前記運転条件記憶部に記憶した通電パラメータを第２の運転条件として、通電を行った状態で、前記第２の運転条件によって前記制御部は第２の試験運転を行い、
前記第２の試験運転の結果に基づいて、最適な運転条件として選択された運転条件を前記記憶部に登録する、
ことを特徴とするものである。

これにより、全く未経験の被処理物に表面処理することになっても、予め結果が予測可能な状態で、流動パラメータや通電パラメータを設定することができ、めっき処理時における最適な運転条件パラメータを比較的短期間に効率的に導き出すことが可能となる。

（３）この発明の回転表面処理装置の運転条件決定方法は、まず、運転条件パラメータの内、流動パラメータを設定するものである。すなわち、
表面処理液および被処理物を保持した処理容器を回転させて、被処理物を処理容器の外周方向に移動させかつ表面処理液を流出させた状態で、被処理物を表面処理する表面処理部と、
複数の運転条件パラメータを記憶する記憶部を有し、当該記憶部に記憶した運転条件パラメータに基づいて前記表面処理部の制御を行う制御部と、
を備えた、被処理物に対して所望の表面処理を行うための回転表面処理装置の運転条件を決定するための方法であって、
前記記憶部に記憶される運転条件パラメータは、流動パラメータおよび通電パラメータで構成されており、
前記流動パラメータを調節した第１の運転条件により、通電を行わない状態で、前記制御部が前記めっき処理部を制御して第１の試験運転を行って、流動パラメータの適正な運転条件を前記記憶部に登録する、
ことを特徴とするものである。

これにより、通電を行わない状態で（被処理物を入れ替えないで）試験運転をして、適正な運転条件を絞り込むことができ、又、被処理物の消耗（表面処理の失敗による被処理物の廃棄等）を最小限にすることができ、経済的で、環境的にもやさしいものである。

（４）この発明の回転表面処理装置の運転条件決定方法は、
予備試験運転に用いられる運転条件パラメータが、被処理物のタイプに応じて予め記憶部に記憶されている、
ことを特徴とするものである。

これにより、被処理物のタイプに応じて、めっき処理時における最適な運転条件パラメータを効率的に導き出すことが可能である。

（５）この発明の回転表面処理装置の運転条件決定方法は、
前記流動パラメータが、少なくとも回転加速時間、回転減速時間、回転時間および定速回転数で構成される
ことを特徴とする。

これにより、少なくとも加速時間、減速時間、回転時間、および定速回転数で構成についての、めっき処理時における最適な運転条件パラメータを効率的に導き出すことが可能である。

（６）この発明の回転表面処理装置の運転条件決定方法は、
前記定速回転数が、複数の段階に設定される
ことを特徴とする。

これにより、段階的に定速回転数を変更した場合でも、めっき処理時における最適な運転条件パラメータを効率的に導き出すことが可能である。

（７）この発明の回転表面処理装置の運転条件決定方法は、
前記通電パラメータが、少なくともめっき電流およびめっき時間で構成される
ことを特徴とする。

これにより、少なくともめっき電流およびめっき時間についての、めっき処理時における最適な運転条件パラメータを効率的に導き出すことが可能である。

（８）この発明の回転表面処理装置の運転条件決定方法は、
第２の試験運転において、めっき電流とめっき時間の乗算で算出される所定のめっき電気量に対応するサイクルが終了すると自動的に通電を停止する、
ことを特徴とする。

これにより、めっき電気量に達した後で通電を停止するように設定した、めっき処理時における最適な運転条件パラメータを効率的に導き出すことが可能である。

（９）この発明の回転表面処理装置の運転条件決定方法は、
前記回転表面処理装置が、パラメータ入力部を備えており、
前記パラメータ入力部に表示される前記運転条件パラメータの画面上において、各種パラメータ値の入力欄に対応して運転パターンのグラフを併せて表示した
ことを特徴とする。

これにより、運転条件パラメータの入力を運転パターンのグラフを把握しつつ行えるため、めっき処理時における最適な運転条件パラメータを効率的に導き出すことが可能である。

（１０）本発明の回転表面処理装置は、
表面処理液および被処理物を保持した処理容器を回転させて、被処理物を処理容器の外周方向に移動させたかつ表面処理液を流出させた状態で、処理容器の中心部に配設された陽極と処理容器の外周方向に配設された陰極との間を通電することにより電気めっき処理を行う表面処理部と、
複数の運転条件パラメータを記憶する記憶部を有し、当該記憶部に記憶した運転条件パラメータに基づいて前記表面処理部の制御を行う制御部と、
を備えた、被処理物に対して所望の電気めっき処理を行うための回転表面処理装置であって、
前記記憶部に記憶される運転条件パラメータは、流動パラメータおよび通電パラメータで構成されており、
前記運転条件記憶部に記憶した流動パラメータを第１の運転条件として、通電を行わない状態で、前記制御部が前記めっき処理部を制御して第１の試験運転を行い、
さらに、前記第１の試験運転の結果を考慮して、前記運転条件記憶部に記憶した通電パラメータを第２の運転条件として、通電を行った状態で、前記第２の運転条件によって前記制御部は第２の試験運転を行い、
前記第２の試験運転の結果に基づいて、最適な運転条件として選択された運転条件を前記記憶部に登録する、
ことを特徴とするものである。

これにより、今までに処理した事のない被処理物を処理することになっても、当該表面処理条件を比較的簡単に抽出して設定することで、試行錯誤の期間を短縮することができ、経済的で、使い勝手のよいものである。

（１１）この発明の運転条件決定プログラムは、
表面処理液および被処理物を保持した処理容器を回転させて、被処理物を処理容器の外周方向に移動させたかつ表面処理液を流出させた状態で、処理容器の中心部に配設された陽極と処理容器の外周方向に配設された陰極との間を通電することにより電気めっき処理を行う表面処理部と、
複数の運転条件パラメータを記憶する記憶部を有し、当該記憶部に記憶した運転条件パラメータに基づいて前記回表面処理部の制御を行う制御部と、
を備えた、被処理物に対して所望の電気めっき処理を行うための回転表面処理装置において、
入力されまたは運転条件記憶部に予め記憶された運転条件に基づいて第１の試験運転における流動パラメータを変更した第１の運転条件により、通電を行わない状態で、前記制御部が前記めっき処理部を制御して第１の試験運転を行う処理、
さらに、前記予備試験運転および第１の試験運転の結果に基づいて第２の試験運転における通電パラメータを追加した第２の運転条件により、通電を行った状態で、前記制御部は第２の試験運転を行う処理、
前記第２の試験運転の結果に基づいて、最適な運転条件として選択された運転条件を前記記憶部に登録する処理、
をコンピュータに行わせることを特徴とするものである。

これにより、全く未経験の被処理物に表面処理することになっても、既に経験した運転パラメータを応用して、流動パラメータや通電パラメータを設定することができ、めっき処理時における最適な運転条件パラメータを比較的短期間に効率的に導き出すことが可能となる。

本発明の特徴は上記のように広く示すことができるが、各構成の内容および特徴は、図面を考慮に入れた上で以下の開示によりさらに明らかになるであろう。

本発明の回転表面処理装置１００の外観を示す図である。 本発明の回転表面処理装置１００のブロック図である。 回転表面処理装置１００のめっき処理部１０２における機構を示す図である。 運転条件パラメータ決定処理の全体的な流れを示すフローチャートである。 予備試験運転（ステップＳ１２）における処理の詳細を示すフローチャートである。 予備試験運転における運転条件パラメータの設定画面を示す図である。 めっき処理時における基本的な運転パターンを表したグラフである。 第１の試験運転における処理の詳細を示すフローチャートである。 第１の試験運転における運転条件パラメータの設定画面を示す図である。 回転めっき時において被処理物が陰極を十分覆えていない状態を示す図である。 第２の試験運転における処理の詳細を示すフローチャートである。 第２の試験運転における運転条件パラメータの設定画面を示す図である。 めっき運転時における回転数を２段階に設定した場合の運転パターンを示す図である。 定速回転速度を２段階に設定した場合の運転条件パラメータ設定画面を示す図である。 回転表面処理装置においてめっき処理の対象となる小物部品の例を示す図である。 一般的な回転めっき処理の仕組みを示す図である。 めっき処理における一連の運転の流れを示す図である。 記憶部Ｂ６に記憶されている運転条件パラメータのデータ例を示す図である。

符号の説明

１００・・・・回転表面処理装置
Ｂ２・・・・めっき処理部
Ｂ４・・・・制御部
Ｂ６・・・・記憶部
Ｂ８・・・・パラメータ入力部
Ｂ１０・・・・運転切換スイッチ

[回転表面処理装置１００の構造および機構]
図１は、本発明の回転表面処理装置１００の外観を示す図である。なお、この実施形態では、回転表面処理装置１００によって図１５Ａに示すような直方体の両端部に所定膜厚のスズめっきを行う場合を例として説明する。

図１に示すように、この実施形態における回転表面処理装置１００は、被処理物（ワーク）に対して回転めっき処理を行うためのめっき処理部１０２を有し、前面にはタッチパネル１０８、および自動運転のオン／オフを切り換える切換スイッチ１１０が配置されている。なお、めっき処理部１０２における運転制御は、回転表面処理装置１００に内蔵されたＰＬＣ（後述する）によって行われる。

図２は、本発明の回転表面処理装置１００のブロック図である。図２に示すように、この発明の回転表面処理装置１００は、めっき処理部Ｂ２（図１に示すめっき処理部１０２に相当）、ＰＬＣによって構成される制御部Ｂ４、パラメータ入力部であるタッチパネルＢ８（図１に示すタッチパネル１０８に相当）、運転切換スイッチＢ１０（図１に示す自動運転のオン／オフを切り換える切換スイッチ１１０に相当）を備える。

めっき処理部Ｂ２（１０２）は、めっき処理における装置の動作を制御するモータ回転制御部３１０と、めっき処理における通電を制御する通電制御部３２０とを有しており、これらが制御部Ｂ４を構成するＣＰＵ３００からの制御をモーターや整流器に伝達する。

また、制御部Ｂ４は、ＣＰＵ３００とフラッシュメモリー等の記憶素子によって構成される記憶部Ｂ６とを備えており、記憶部Ｂ６には、めっき処理部Ｂ２において自動運転を行うためのパラメータである運転条件パラメータＢ１２や、被処理物に応じた最適な運転条件を得るための運転条件決定プログラムＢ１４が記憶されている。

図２に示す運転切換スイッチＢ１０からの入力を受けると、制御部Ｂ４のＣＰＵ３００は、パラメータ入力部Ｂ８から入力されるなどして記憶部Ｂ６に記憶された運転条件パラメータＢ１２に基づき、めっき処理部Ｂ２における自動運転の制御を行う。

図３は、回転表面処理装置１００のめっき処理部１０２における機構を示す図である。なお、めっき処理部１０２の構造は、図１６に示すものと同様である。

図３に示すように、めっき処理部１０２は、回転駆動軸Ｓ０に取り付けられた環状陰極Ｎ０を有する処理容器Ｔ０と、上下方向および横方向に移動可能なアームＡＲに取り付けられておりめっき液に浸漬される陽極Ｐ０と、処理容器Ｔ０の液流出部Ｈ０から飛散しためっき液を回収するドーム部Ｒ０とで構成されている。

また、図３に示すように、陽極Ｐ０と陰極Ｎ０は整流器に接続されており（陽極Ｐ０はアームＡＲの内部配線を介し、陰極Ｎ０はコンタクトブラシＢ０を介して）、制御部Ｂ４からの制御を受けた整流器からの通電が行われる。アームＡＲおよび駆動軸Ｓ０は、モーターに接続されており、制御部Ｂ４からの制御を受けたモーターによって作動される。

図３に示すように、陽極Ｐ０は環状に形成された処理容器Ｔ０の中心でめっき液に浸漬するような位置に配置されており、被処理物Ｗが処理容器Ｔ０の回転による遠心力によって外周方向に移動して環状陰極Ｎ０を覆った状態で通電されることによりめっき処理が行われるようになっている。なお、めっき液を通過させる環状の液流出部Ｈ０からは、常時めっき液が飛散するが、ドーム部Ｒ０で回収されて上部開口部Ｚ０から給液口Ｑ０より補充され、処理容器Ｔ０に戻される。また、処理容器Ｔ０の液面レベルはレベルセンサＬＳによって測定される。

図３に示すように、処理容器Ｔ０は、開口部Ｚ０を上部に有するセルドームＣＤと、環状陰極であるカソードリングＮ０、めっき液だけを浸透させるために加熱焼結板を加工して成形したポーラスリングからなる液流出部Ｈ０を、セルベースＣＢにボルト締めなどにより固定することにより構成される。また、回転駆動軸Ｓ０を接続するロータリーベース（フランジ）ＲＢも併せてセルベースＣＢに固定されている。

図４は、記憶部Ｂ６に記憶された運転条件決定プログラムＢ１４（図２）によって行われる運転条件パラメータ決定処理の全体的な流れを示すフローチャートである。図４に示すように、この実施形態においては、まず、予備試験運転（ステップＳ１２）が通電状態で行われ、その結果を考慮して、通電を行わない状態で第１の試験運転（ステップＳ１４）、通電を行った状態で第２の試験運転（ステップＳ１６）が順に行われ、最終的に最適な運転条件が登録されることになる（ステップＳ１８）。

[予備試験運転における処理]
作業者が、被処理物を処理容器に投入した後、図２に示すタッチパネル１１０を操作して、運転条件決定プログラムＢ１４を起動することにより、図４に示す運転条件パラメータ決定処理が開始される。ＣＰＵ３００は、まず、予備試験運転処理を実行する（ステップＳ１２）。なお、被処理物の処理容器への投入は、アームＡＲを退避し（図１の破線で示す）、図３に示すドーム部Ｒ０を構成する開閉式カバーＲ１を開いた状態で行われ、被処理物が処理容器へ投入されると、ドーム部Ｒ０のカバーＲ１が閉じて、図１の点線で示すようにアームＡＲが開口部Ｚ０に挿入され、めっき液が各種液槽より供給されることにより、運転スタンバイ状態となる。

図５は、予備試験運転処理の詳細を示すフローチャートである。ＣＰＵ３００は、予め記憶部Ｂ６に記憶されている運転条件パラメータを読み出す。図１８に、記憶部Ｂ６に記憶されている運転条件パラメータのデータ例を示す。運転条件パラメータは、被処理物のタイプに応じて、モーターの回転方向、速度、時間などをパラメータとして示したデータである（図１８の左側）。なお、図１８においては、加速時間、減速時間、回転数（速度）の値に対応して、具体的な数値を示すテーブル（図１８の右側）が併せて記憶されている。たとえば、被処理物のタイプが「立方体の部品」である場合の加速時間は「１」となっている。これは、具体的には、図１８の右側に示すテーブルを参照すると１．０sec（加速−１）であることがわかる。同様に、回転数（速度）は「３」となっているが、具体的には、20.00Hz（速度−３）であることがわかる。なお、運転条件パラメータは、被処理物の物理的形状、大きさ、材質などによってタイプ分けをすることができる。

ＣＰＵ３００は、予備試験運転のための運転条件パラメータを記憶部Ｂ６から読み出して、タッチパネル１１０に表示する（ステップＳ１２０）。表示された運転条件パラメータを、図６に示す。作業者は、タッチパネル１１０を操作して、被処理物のタイプに応じて運転条件パラメータを選択する。例えば、被処理物のタイプとして「立方体の部品」ＰＮ１（パターンＮｏ．１）が選ばれる。

また、タッチパネル１１０を操作し、作業者の判断によって、図６に示す個々のパラメータ（時間、回転数など）を修正して入力したり、新たに全てのパラメータを入力することもできる。なお、この実施形態では、モータ回転制御回路３１０のインバータの周波数によって回転数を表しているが、直接的な回転数を用いて設定するようにしてもよい。

なお、図６に示すように、加速時間ｄ１、回転数ｄ６、めっき遅延時間ｄ２、めっき時間ｄ３、減速時間ｄ４、休止時間ｄ５等の入力設定欄の下にパターングラフを併せて表示するようにしている。このパターングラフは、加速時間ｄ１、回転数ｄ６、めっき遅延時間ｄ２、めっき時間ｄ３、減速時間ｄ４、休止時間ｄ５の入力設定欄と、位置関係が対応しているので、作業者が直感的に理解しやすいようになっている。

また、めっき電気量ｄ７、めっき電流ｄ８、サイクル回数ｄ１０については、タッチパネル１１０（例えば、画面上に表示されたテンキーなど）から入力を行うようにしている。

設定入力が終了すると、作業者は、決定ボタン２００を押下する（ステップＳ１２２）。ＣＰＵ３００は、これを受けて、選択または入力されたパラメータを、予備試験運転におけるパラメータとして記憶部Ｂ６に記憶する。

次に、自動運転スイッチ１１０が作業者によって押されると、ＣＰＵ３００は、上記パラメータにしたがって、予備試験運転を行う（ステップＳ１２４、Ｓ１２６）。

以下、上記決定パラメータに基づく予備試験運転の処理を説明する。なお、ここでは、ステップＳ１２２において、図６に示す「立方体の部品」ＰＮ１が決定された場合について説明する。

まず、ＣＰＵ３００は、モータ制御回転部３１０（図２）に対して、回転駆動軸Ｓ０に接続されたモーターを正回転にて起動させるように指示する。この際、ＣＰＵ３００は、モーターの回転数を、「回転数」として記憶された20.00Hzになるように、かつ、「加速時間」として記憶された1.0secにしたがって所定の回転数20.00Hzに達するまでの時間を制御するように、モータ制御回転部３１０（図２）に対する指令を行う。

ＣＰＵ３００は、モーターが所定の回転数に達したかどうかを判断する。この判断は、モータ回転制御部３１０からインバータの出力周波数を得ることによって、行うことができる。モーターが所定の回転数に達すると、ＣＰＵ３００は、タイマ計測を開始し、当該タイマが、「めっき遅延時間」として設定された2.0secに等しくなったときに、通電制御部３２０に対して指令を与え、陽極Ｐ０と陰極Ｎ０に通電を行う。このように、所定回転数に達しても、直ちに通電を行わないのは、被処理物が十分に陰極を覆った状態となった後に通電を行うためである。また、ＣＰＵ３００は、「めっき電流」として示された５Ａの電流にて通電するように、通電制御部３２０に対して指令を与える。

ＣＰＵ３００は、上記通電開始から「めっき時間」として記憶された4.0secが経過すると、通電制御部３２０に指令を与えて通電を停止させるとともに、モータ回転制御部３１０に指令を与えてモータの減速処理を開始させる。なお、減速処理においては、「減速時間」として記憶され2.0sec後に回転が停止するように指令を行う。

モーターの回転が停止すると、ＣＰＵ３００は、「休止時間」として記憶された1.0sec間、休止する。

上記のようにして、１サイクル（図６に示すＴ）の処理が行われる。この１サイクルの処理をグラフとして表したのが図７である。ＣＰＵ３００は、この１サイクルの処理を、「サイクル回数」として記憶された１０回繰り返す。なお、「正逆有無」に「１」が記憶されているので、ＣＰＵ３００は、各サイクル毎に、前のサイクルとは逆の方向にモーターを回転させる。

図６に示す運転条件パラメータの詳細について、図７を用いて以下に説明する。図７は、めっき処理時における基本的な運転パターンを表したグラフである。なお、図７に示す運転パターンは、被処理物のタイプを選択することにより、図６に示す運転条件パラメータの下部に併せて表示される。

図６に示す加速時間ｄ１は、処理容器の回転数が所定の値（定速回転数ｄ６）に達するまでに要する時間であり、図７に示すように加速時間ｄ１を増加するほど処理容器は定速回転数まで緩やかに加速することになる。

図６に示す定速回転数ｄ６は、定速回転時における処理容器の回転数である。図７に示すように、定速回転数ｄ６において所定時間（定速回転時間ｄ９＝めっき遅延時間ｄ２＋めっき時間ｄ３）だけ一定の回転数が維持される。なお、この実施形態では、回転数を周波数で表しているが、回転数は、周速との関係ではインバータの種類や処理容器の径によっても変わってくる。

図６に示すめっき遅延時間ｄ２は、図７に示すように上記加速時間ｄ１の経過後、被処理物への通電を開始する（図６，７のｘ点）までの時間である。つまり、上記加速時間ｄ１が終了しても、あえて所定時間が経過するまでは通電を行わないようにしている。これは、被処理物が十分に陰極を覆った状態となった後で通電を行うようにしたためである。

図６に示すめっき時間ｄ３は、上記めっき遅延時間ｄ２の経過後、被処理物に通電を開始してから通電を終了するまでの時間である。なお、めっき品質に問題がないのであればめっき遅延時間ｄ２を省略し定速回転数ｄ６に達したと同時に通電することも可能である。

図６に示す減速時間ｄ４は、図７に示すように上記めっき時間ｄ３の経過後、回転数を０にするまでの時間であり、減速時間ｄ４を増やすほど緩やかに減速することになる。

図６に示す休止時間ｄ５は、図７に示すように上記減速時間ｄ４の経過後、次のサイクルの加速時間ｄ１を開始するまでの時間である。すなわち、処理容器が回転を完全に停止し、次の回転を開始するまでの時間をいう。

図７に示すサイクル時間Ｔは、加速開始から休止を完了するまでの時間（ｄ１〜ｄ５）を全て加算することで算出される。また、この実施形態では、図６に示すように、正逆の有無がｄ０＝１（正逆有り）に設定されているため、正転サイクルが終了すると反転し同じサイクルでめっき処理が行われる。さらに、以下に示す所定のめっき電気量ｄ７が通電されて所望のめっき膜厚が得られるまで、正転および反転のサイクルが繰り返されることになる。

図６に示すめっき電流ｄ８は、被処理物に通電する電流の値であり、この実施形態では一定値としている。図６に示すめっき電気量ｄ７は、めっき時間ｄ３の合計（サイクル回数分）とめっき電流ｄ８の乗算で得られるめっき膜の厚さを決定づける値である。つまり、所望のめっき膜厚を得るためには、適当なめっき電気量（サイクル回数分のめっき電流ｄ８とめっき時間ｄ３）を決定する必要がある。ここで設定しためっき電気量ｄ７が全て通電されると、通電が自動的に停止されめっき処理が終了する。

図６に示す運転条件パラメータは、主として回転時における被処理物の動きに関係する流動パラメータと、主として回転時における通電に関係する通電パラメータに分類することができる。

通電パラメータは、少なくともめっき電気量を算出するためのめっき電流ｄ８およびめっき時間ｄ３で構成され、めっき時間ｄ３とは、加速時間ｄ１終了後のめっき遅延時間ｄ２終了時から減速時間ｄ４の開始時までをいう。

流動パラメータは、少なくとも加速時間ｄ１、減速時間ｄ４、定速回転時間（ｄ２＋ｄ３）および定速回転数ｄ６で構成される。なお、被処理物は、定速回転数ｄ６に達した後は全て陰極に押しつけられるようにすることが望ましい。めっき遅延時間ｄ２は定速回転時間に含まれる事から、めっき遅延時間ｄ２を流動パラメータに含めても良い。

[第１の試験運転における処理]
図４に示すように、予備試験運転（ステップＳ１２）が行われた後は、第１の試験運転（ステップＳ１４）が行われる。図８は、図４に示す第１の試験運転（ステップＳ１４）における処理の詳細を示すフローチャートである。

図８に示すように、予備試験運転が終了したと判断すると（ステップＳ１４０）、ＣＰＵ３００は、第１の試験運転（ステップＳ１４）における運転条件パラメータの設定画面（図９）をタッチパネル１１０に表示する（ステップＳ１４２）。作業者は、上記予備試験運転の結果を考慮して流動パラメータを変更することで、複数の運転条件パラメータ（運転パターン候補）をタッチパネル１１０を介して設定する。

具体的には、予備試験運転（ステップＳ１２）の際、めっき液中における被処理物の動きやめっき処理が行われた被処理物の品質（めっき膜厚、凝集塊の有無、光沢等々）を作業者が検査することにより、図９に示すような予備試験運転の結果をふまえた複数の流動パラメータが設定される。なお、回転状態での目視観察が困難な場合には、被処理物の動きを小型カメラにより撮影してモニターで観察し、パラメータをコンピュータの画像処理を用いて自動で設定するようにしてもよい。

流動パラメータを設定する際には、以下のような判断を用いて、検討する。例えば、図１０に示すように、被処理物が回転時に被処理物が陰極の上部までせり上がらないような場合である。図１０Ａ、Ｂは、何れも回転めっき時において被処理物が陰極を十分覆えていない状態を示す図である。

回転中の処理容器内において、被処理物が陰極を覆うようにせりあがっていないか、当該せりあがりに要する時間が長すぎる等、遠心力が不足していると判断した場合には、定速回転の回転数ｄ６を増やす。被処理物の当該せり上がりが充分だが、被処理物が傷んだり、処理液が処理容器の開口部から飛散する等、遠心力が強すぎると判断した場合は定速回転の回転数ｄ６を減らしたりする。

又、処理容器が加速から定速回転に移行しても、被処理物のせり上がりが完全に止まらない場合には、当該せり上がりが止まるまでの時間をめっき遅延時間ｄ２として、その時間を長短調整する。従って、加速回転から定速回転に移行するまでの間に、被処理物が充分にせり上がり、かつ、安定した場合には当該めっき遅延時間ｄ２は不要となる。

このように定速回転数ｄ６、めっき遅延時間ｄ２を設定した後、さらに調整が必要になったときは、以下のパラメータを設定する。

又、加速時間ｄ１及び／又は減速時間ｄ４は、処理容器の回転開始時や回転減速開始時において、処理液中の被処理物が処理容器の内周壁近傍を処理容器の回転速度よりも遅く移動しており、この移動時に被処理物が当該周壁との摩擦により傷む場合には、処理容器と当該被処理物との回転速度のずれを少なくして、被処理物の損傷を防止するため、加速時間ｄ１や減速時間ｄ４の長短を調整する。

さらに、休止時間ｄ５は、処理容器停止後においても当該容器内の処理液はまだ回転しているため、すぐに反対方向に処理容器を回転させると開口部より処理液があふれることがあるため、この点を考慮して時間の長短を調整すればよい。

これらの調整において、処理工程の総処理時間を考慮して、当該各種処理時間の長短を決定してもよい。

これらの流動パラメータの設定により、処理容器内の被処理物を傷めることなく、陰極を覆うようにせりあがらせることができ、被処理物が接触していない陰極部分にめっきが付いたり、剥離しためっきが不純物となって処理容器内に混入するのを防止することができる。

作業者は、被処理物を処理容器に投入した後、例えば、図９に示すように、流動パラメータを上記のような基準によって変更した複数の運転条件パラメータ（運転パターン候補Ｎｏ．１〜５）をタッチパネル１１０を介して入力する。なお、図９においては、図６に示す予備運転試験時の運転条件パラメータを表示していないが、これを図９の運転条件パラメータの設定画面（第１の試験運転）に併せて表示し、当該タッチパネル１１０の表示を作業者が見ながら複数の運転条件パラメータを変更するようにしてもよい。

複数の運転条件パラメータが入力され、決定ボタン２０２が選択されると（ステップＳ１４４のＹｅｓ）、切換スイッチ１１０（図１）から自動運転オンの入力を受けて（ステップＳ１４６のＹｅｓ）、制御部４（図２）は上記複数の運転パターン候補それぞれについて、めっき処理部１０２における自動運転（通電オフ）を制御する処理を行う（ステップＳ１４８）。自動運転時のめっき処理部１０２に対する具体的な制御方法は、通電が行われない点を除き、前述の予備試験運転Ｓ１２（図４）の場合と同様である。なお、第１の試験運転においては通電が行われないため、複数の運転パターン（例えば、図９に示すＮｏ．３〜５）に対して、処理容器内の被処理物を入れ替えないで自動運転を行うことができる。

さらに、作業者は、上記自動運転（通電オフ）の結果、良好と判断された運転条件パラメータを複数選択して決定ボタン２０２を押下しておく（ステップＳ１５０）。例えば、図９に示す運転条件パラメータの設定画面（第１の試験運転）では、良好と判断されたＮｏ．３〜５（斜線で示す）までが選択されている。なお、ここで運転パターン候補を複数設定するのは、被処理物の動きだけで最終的なめっき品質を予想することは非常に困難な場合があるためである。

[第２の試験運転における処理]
図４に示す第１の試験運転（ステップＳ１４）が行われた後は、第２の試験運転（ステップＳ１６）が行われる。図１１は、図４に示す第２の試験運転（ステップＳ１６）における処理の詳細を示すフローチャートである。

図８のステップＳ１５０において、運転条件決定プログラムＢ１４（図２）が複数の運転条件パラメータが選択され、決定されたと判断すると（ステップＳ１５０のＹｅｓ）、図１１に示すように、第２の試験運転（ステップＳ１６）における運転条件パラメータの設定画面（図１２）をタッチパネル１１０に表示する（ステップＳ１６２）。なお、ここでは、図１２に示すように、図８のステップＳ１５０において選択された運転パターン候補（Ｎｏ．３〜５）だけが抽出して表示される。

さらに、作業者は、予備試験運転および第１の試験運転の結果を考慮して、複数の運転条件パラメータについてタッチパネル１１０を介して通電パラメータを追加して設定する。

作業者は、例えば、以下のような基準によって通電パラメータをタッチパネルを介して入力する（ステップＳ１６４）。図１２は、第２の試験運転における運転条件パラメータの設定画面を示す図である。

図４の予備試験運転（ステップＳ１２）において、複数の被処理物にまたがってめっきが付いてしまった場合、以下の３つのパラメータ変更を検討する。通電時間が長いのであればめっき時間ｄ３を短く変更し、電流密度が高すぎるのであればめっき電流ｄ８を低くすればよい。さらに、遠心力が強すぎて被処理物が密集して流動性が低いことによって問題が生じている場合には、回転数ｄ６を減らせばよい。これにより、被処理物が凝集した状態となって不良品が発生することを防止することができる。

めっき処理に時間がかかりすぎる場合には、運転条件パラメータｄ１〜ｄ５の秒数を短くすることができる。また、電流密度が低すぎてめっきが付くのが遅いのであれば、めっき電流ｄ８の値を大きくすることがよい。これにより、めっき品質を維持しつつ、めっき処理に要する時間を短くして生産性を高めることが可能である。

めっき膜厚が厚すぎる、または薄すぎるというような場合、めっき電気量ｄ７を少なくする、または大きくする。これにより、所望の膜厚のめっきを得ることができ、不良品の発生を抑制することができる。

なお、予備試験運転（ステップＳ１２）において、めっき液中に泡が発生し、めっきがうまくつかない場合は、めっき運転Ｓ０４の途中に脱泡運転Ｓ０６を行ってもよい。具体的には、図７に示すめっき運転Ｓ０４を何回続けた後に脱泡運転Ｓ０６を行うかを規定する脱泡サイクルパラメータを作るとよい。例えば、脱泡サイクルパラメータを「４」に設定すると、本実施形態のめっき運転Ｓ０４のサイクル回数が１０であるから、めっき運転Ｓ０４を４サイクル行った後、脱泡運転Ｓ０６を１回行い、その後めっき運転Ｓ０４を４サイクル行った後、脱泡運転Ｓ０６を１回行い、その後めっき運転Ｓ０４を２サイクル行って終了する。なお、脱泡運転Ｓ０６における処理容器の回転の加速時間、定速回転時間、定速回転数、減速時間、休止時間はあらかじめ設定されている。

各運転パターン候補について通電パラメータが追加され、決定ボタン２０４が押下されると（ステップＳ１６４のＹｅｓ）、自動運転ボタンの押下に応じて（ステップＳ１６６のＹｅｓ）、通電した状態で、所定の通電量が行われるまで、各運転パターン候補について自動運転（通電オン）が行われる（ステップＳ１６８）。自動運転時のめっき処理部１０２に対する具体的な制御方法は、前述の予備試験運転Ｓ１２（図４）の場合と同様である。

さらに、上記自動運転（通電オン）の結果、最も良好と判断された運転条件パラメータを選択して決定する（ステップＳ１７０）。第２の試験運転が完了すると、作業者は第２の試験運転の結果に基づいて、最適な運動条件と考えるものを選択し、図１２に示す登録ボタン２０６を押下すると（Ｓ１７０のＹｅｓ）、当該運転条件パラメータが記憶部Ｂ６に最適運転条件パラメータとして登録され（図４のステップＳ１８）、運転条件決定プログラムＢ１４は終了する。

運転条件決定プログラムＢ１４が終了した後は、通常運転モードとなり、上記登録されたパラメータによって最適な運転条件パラメータに基づくめっき処理が行われることになる。

[その他の実施形態]
なお、上記実施形態においては、めっき運転時における定速回転数を１つだけ設定するようにしたが、複数の段階に設定しても良く、例えば、図１３で示す運転パターンように、めっき運転時における回転数を２段階に設定することも可能である。

例えば、図１３に示すグラフにおいて定速回転数がＹ１からＹ２に上がるように設定した場合は、自重の大きい被処理物や壊れやすい被処理物に有効である。つまり、低速で環状陰極まで被処理物を引き寄せて衝撃をやわらげて被処理物の傷付きを防止し、速度不足による陰極の液中への露出や遠心力不足による液循環の低下を防止することができる。一方、定速回転数がＹ１からＹ３に下がるように設定した場合は、自重の少ない被処理物に有効であり、陰極まで高速回転で遠心力を強めておき、ある程度寄った時点で速度を下げることにより、遠心力による被処理物の傷付きや開口部からの液のこぼれを防止することができる。

図１４に、定速回転速度を２段階に設定した場合の運転条件パラメータ設定画面を示す。図１４は、図９に示す第１の運転試験運転における運転条件パラメータ設定画面に対応している。

なお、上記実施形態では、第１の試験運転（図４のステップＳ１４）の前に予備試験運転（図４のステップＳ１２）を行うようにしたが、予備試験運転を行わず、第１及び第２の試験運転だけで運転条件パラメータの設定（条件出し）を行うようにしてもよい。

なお、上記実施形態では、第１の試験運転（図４のステップＳ１４）の後に第２の試験運転（図４のステップＳ１６）を行うようにしたが、第２の試験運転を行わないようにしてもよい。例えば、流動パラメータだけを用いた通電を行わない第１の試験運転だけで運転条件パラメータの設定（条件出し）を行うようにしてもよい。

なお、上記実施形態では、予備試験運転（図４のステップＳ１２）の際に被処理物に応じた運転パターンを予め設けていたが、かかる運転パターンを設けずに作業者が入力するようにしてもよい。

なお、上記実施形態では、予備試験運転（図４のステップＳ１２）を通電状態でおこなったが、通電を行わない（つまり、流動パラメータのみを用いる）ようにしてもよい。

なお、上記実施形態では、被処理物にニッケルめっきを行う場合を説明したが、スズめっきなどその他のめっきを行うようにしてもよい。また、上記実施形態では、めっき処理を１種類だけ行ったが複数の種類について行うようにしても良い。

なお、上記実施形態では、脱泡運転の運転条件をあらかじめ設定した例で説明したが、脱泡運転Ｓ０６における処理容器の回転の制御を上記第１の試験運転と同様に行って、流動パラメータ（加速時間ｄ１、減速時間ｄ４、休止時間ｄ５、回転数ｄ６、サイクル回数ｄ１０）を適宜設定するようにしてもよい。さらに、脱泡運転Ｓ０６におけるサイクル回数を設定するパラメータ（脱泡サイクル回数）を設けるようにしてもよい。これにより、泡の発生度合いに応じて、脱泡運転Ｓ０６の運転条件とサイクル回数を自在に設定することができ、効率よく脱泡運転Ｓ０６をすることができるので、泡の発生によるめっき不良を有効に防止することができる。

なお、上記実施形態では、電気めっきを行う場合で説明したが、めっき液に替えて電解剥離液等の表面処理液として、電解剥離を行うようにしてもよい。また、上記実施形態では、電気めっき処理を行った例で説明したが、洗浄、剥離、活性化処理等の種々の表面処理について行うようにしても良い。

Claims (10)

1. 表面処理液および被処理物を保持した処理容器を回転させて、被処理物を処理容器の外周方向に移動させたかつ表面処理液を流出させた状態で、処理容器に配設された陽極と処理容器の外周方向に配設された陰極との間を通電することにより電気めっき処理を行う表面処理部と、
   複数の運転条件パラメータを記憶する記憶部を有し、当該記憶部に記憶した運転条件パラメータに基づいて前記表面処理部の制御を行う制御部と、
   を備えた、被処理物に対して所望の電気めっき処理を行うための回転表面処理装置の運転条件を決定するための運転条件決定方法であって、
   前記記憶部に記憶される運転条件パラメータは、流動パラメータおよび通電パラメータで構成されており、
   前記運転条件記憶部に記憶した流動パラメータを第１の運転条件として、通電を行わない状態で、前記制御部が前記めっき処理部を制御して第１の試験運転を行い、
   さらに、前記第１の試験運転の結果を考慮して、前記運転条件記憶部に記憶した通電パラメータを第２の運転条件として、通電を行った状態で、前記第２の運転条件によって前記制御部は第２の試験運転を行い、
   前記第２の試験運転の結果に基づいて、最適な運転条件として選択された運転条件を前記記憶部に登録する、
   ことを特徴とする回転表面処理装置の運転条件決定方法。
2. 表面処理液および被処理物を保持した処理容器を回転させて、被処理物を処理容器の外周方向に移動させたかつ表面処理液を流出させた状態で、処理容器に配設された陽極と処理容器の外周方向に配設された陰極との間を通電することにより電気めっき処理を行う表面処理部と、
   複数の運転条件パラメータを記憶する記憶部を有し、当該記憶部に記憶した運転条件パラメータに基づいて前記表面処理部の制御を行う制御部と、
   を備えた、被処理物に対して所望の電気めっき処理を行うための回転表面処理装置の運転条件を決定するための運転条件決定方法であって、
   前記記憶部に記憶される運転条件パラメータは、流動パラメータおよび通電パラメータで構成されており、
   入力されまたは運転条件記憶部に予め記憶された運転条件でめっき処理の予備試験運転を行い、
   前記予備試験運転の結果に基づいて第１の試験運転における前記流動パラメータを変更した第１の運転条件により、通電を行わない状態で、前記制御部が前記表面処理部を制御して第１の試験運転を行い、
   さらに、前記第１の試験運転の結果を考慮して、前記運転条件記憶部に記憶した通電パラメータを第２の運転条件として、通電を行った状態で、前記第２の運転条件によって前記制御部は第２の試験運転を行い、
   前記第２の試験運転の結果に基づいて、最適な運転条件として選択された運転条件を前記記憶部に登録する、
   ことを特徴とする回転表面処理装置の運転条件決定方法。
3. 請求項２の回転表面処理装置の運転条件決定方法において、
   予備試験運転に用いられる運転条件パラメータが、被処理物のタイプに応じて予め記憶部に記憶されていることを特徴とする回転表面処理装置の運転条件決定方法。
4. 請求項１〜請求項３の何れかの回転表面処理装置の運転条件決定方法において、
   前記流動パラメータが、少なくとも回転加速時間、回転減速時間、定速回転時間および定速回転数で構成されることを特徴とする回転表面処理装置の運転条件決定方法。
5. 請求項４の回転表面処理装置の運転条件決定方法において、
   前記定速回転数が、複数の段階に設定されることを特徴とするもの。
6. 請求項１〜請求項５の何れかの回転表面処理装置の運転条件決定方法において、
   前記通電パラメータが、少なくともめっき電流およびめっき時間で構成されることを特徴とする回転表面処理装置の運転条件決定方法。
7. 請求項１〜請求項６の何れかの回転表面処理装置の運転条件決定方法において、
   第２の試験運転において、めっき電流とめっき時間の乗算で算出される所定のめっき電気量に対応するサイクルが終了すると自動的に通電を停止することを特徴とする回転表面処理装置の運転条件決定方法。
8. 請求項１〜請求項７の何れかの回転表面処理装置の運転条件決定方法において、
   前記回転表面処理装置は、パラメータ入力部を備えており、
   前記パラメータ入力部に表示される前記運転条件パラメータの画面上において、各種パラメータ値の入力欄に対応して運転パターンのグラフを併せて表示したことを特徴とする回転表面処理装置の運転条件決定方法。
9. 表面処理液および被処理物を保持した処理容器を回転させて、被処理物を処理容器の外周方向に移動させたかつ表面処理液を流出させた状態で、処理容器の中心部に配設された陽極と処理容器の外周方向に配設された陰極との間を通電することにより電気めっき処理を行う表面処理部と、
   複数の運転条件パラメータを記憶する記憶部を有し、当該記憶部に記憶した運転条件パラメータに基づいて前記表面処理部の制御を行う制御部と、
   を備えた、被処理物に対して所望の電気めっき処理を行うための回転表面処理装置であって、
   前記記憶部に記憶される運転条件パラメータは、流動パラメータおよび通電パラメータで構成されており、
   前記運転条件記憶部に記憶した流動パラメータを第１の運転条件として、通電を行わない状態で、前記制御部が前記めっき処理部を制御して第１の試験運転を行い、
   さらに、前記第１の試験運転の結果を考慮して、前記運転条件記憶部に記憶した通電パラメータを第２の運転条件として、通電を行った状態で、前記第２の運転条件によって前記制御部は第２の試験運転を行い、
   前記第２の試験運転の結果に基づいて、最適な運転条件として選択された運転条件を前記記憶部に登録する、
   ことを特徴とする回転表面処理装置。
10. 表面処理液および被処理物を保持した処理容器を回転させて、被処理物を処理容器の外周方向に移動させたかつ表面処理液を流出させた状態で、処理容器の中心部に配設された陽極と処理容器の外周方向に配設された陰極との間を通電することにより電気めっき処理を行う表面処理部と、
    複数の運転条件パラメータを記憶する記憶部を有し、当該記憶部に記憶した運転条件パラメータに基づいて前記回表面処理部の制御を行う制御部と、
    を備えた、被処理物に対して所望の電気めっき処理を行うための回転表面処理装置において、以下の処理をコンピュータに行わせることを特徴とする運転条件決定プログラム、
    入力されまたは運転条件記憶部に予め記憶された運転条件に基づいて第１の試験運転における流動パラメータを変更した第１の運転条件により、通電を行わない状態で、前記制御部が前記めっき処理部を制御して第１の試験運転を行う処理、
    さらに、前記第１の試験運転の結果に基づいて第２の試験運転における通電パラメータを追加した第２の運転条件により、通電を行った状態で、前記制御部は第２の試験運転を行う処理、
    前記第２の試験運転の結果に基づいて、最適な運転条件として選択された運転条件を前記記憶部に登録する処理。

Images