JP7340441B2 - 回転型めっき装置およびこれを用いためっき方法 - Google Patents
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Description
2 底板
3 めっき槽
4 アノード電極
5 カソード電極
14 スプレーノズル(吐出部)
14a 噴射部(吐出部)
Claims (2)
- 垂直線軸を中心に回転可能な円板状の底板と、
前記底板の外周側壁に一体的に設けられた円錐台形状の蓋体と、
前記底板と前記蓋体とによって画成されためっき槽と、
前記めっき槽内の略中央に配設されたアノード電極と、
前記めっき槽の内周側に露出すると共に前記外周側壁の一部を構成するカソード電極と、
前記めっき槽内に配設されて前記底板の外周側に向けてめっき液を吐出する吐出部と、を備えていることを特徴とする回転型めっき装置。 - 垂直線軸を中心に回転可能な円板状の底板と、
前記底板の外周側壁に一体的に設けられた円錐台形状の蓋体と、
前記底板と前記蓋体とによって画成されためっき槽と、
前記めっき槽内の略中央に配設されたアノード電極と、
前記めっき槽の内周側に露出すると共に前記外周側壁の一部を構成するカソード電極と、
前記めっき槽内に配設されて前記底板の外周側に向けてめっき液を吐出する吐出部と、を備えている回転型めっき装置を用いて被めっき物にめっきを施すめっき方法であって、
前記被めっき物をめっき液に予め馴染ませる液馴染み工程と、
前記液馴染み工程後に、前記めっき槽に前記めっき液を補充し、当該めっき槽を回転させて前記アノード電極と前記カソード電極とを通電することにより前記被めっき物にめっきを施すめっき工程と、を備え、
前記液馴染み工程は、
前記めっき槽に前記被めっき物を収容する収容工程と、
前記めっき槽に前記めっき液を供給する供給工程と、
前記めっき槽を回転させて前記被めっき物および前記めっき液を前記めっき槽の外周側に移動させる移動工程と、
前記移動工程中に、前記めっき液の表面に位置する前記被めっき物に対して、前記めっき液を吐出する吐出工程と、を含んでいることを特徴とするめっき方法。
Priority Applications (1)
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP7234983B2 (ja) * | 2020-03-19 | 2023-03-08 | 株式会社村田製作所 | めっき装置及びめっき方法 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2006274412A (ja) | 2005-03-30 | 2006-10-12 | Taiyo Yuden Co Ltd | 回転メッキ装置 |
WO2008081536A1 (ja) | 2006-12-28 | 2008-07-10 | C.Uyemura & Co., Ltd. | 回転表面処理装置の運転条件決定方法 |
JP2012062566A (ja) | 2010-08-16 | 2012-03-29 | Hitachi Metals Ltd | メッキ装置 |
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JP2018178181A (ja) | 2017-04-10 | 2018-11-15 | Koa株式会社 | 電子部品のめっき装置 |
JP2020506284A (ja) | 2017-12-26 | 2020-02-27 | ▲漢▼▲瑪▼科技股▲フン▼有限公司 | 電気めっき用の組み合わせ機構 |
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- 2019-12-19 JP JP2019229611A patent/JP7340441B2/ja active Active
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