CN113816154A - 一种光罩盒打包运输储存组件 - Google Patents

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Abstract

本发明提供了一种光罩盒打包运输储存组件，包括光罩盒打包装置、产品运输组件及储存仓；所述光罩盒打包装置将光罩盒打包后通过机械手运输至产品运输组件，通过产品运输组件运输至储存仓，通过储存仓储存所述光罩盒；所述产品运输组件的一端为第一上下料点，所述产品运输组件的另一端设置有多个第二上下料点；所述第一上下料点对接所述光罩盒打包装置的下料点，所述第二上下料点面向所述储存仓；应用本技术方案可实现光罩盒从打包到运输再到储存的全自动化加工，有效提高加工效率，且能够有效保证光罩盒得到妥善保管不受损坏。

Description

一种光罩盒打包运输储存组件
技术领域
本发明涉及光罩盒储存领域，具体是指一种光罩盒打包运输储存组件。
背景技术
光刻加工技术是指加工制作半导体结构及集成电路微图形结构的关键工艺技术，是微细制造领域应用较早并仍被广泛采用的一类微制造技术。在集成电路制造过程中，会使用大量的光刻工艺以形成次微米或甚至纳米大小的光刻图案，以达到制造高集成度集成电路的目的。因此，避免光罩受损对千光刻工艺至关重要，也是光刻工艺技术一直以来所关注的重点。对光罩的损伤包含重要的两个方面，是在搬运及输送过程中，由于晃动或摩擦，对光罩造成的损伤；二是在搬运及输送过程中，由于环境污染，主要是光雾污染，对光罩造成的损伤。现有技术中，通常通过人工使用包装袋对光罩盒进行包装以防止光罩盒由于晃动或摩擦而造成损伤，但人工包装耗费人力资源大，且对于光罩盒的保护具有不确定性，无法保证产品的一致性，从而会造成光罩盒后期运输及储存造成一定影响。
另外，流水线生产已经非常普及，但在一些有特定要求的作业环境中，传统的流水线运输线路无法满足其特定要求。例如，在一些特定的需要同时进行双向运输的光罩盒流水运输要求；并且在沿着一个方向运输光罩盒后需要将光罩盒换一个方向进行运输，且在换了方向运输之后，光罩盒下料的点是在后面方向上的多个点，即第一方向运输上料后换第二方向运输，且下料点分布在第二方向上的多处，面对这样的上下料要求，传统的运输线路无法做到。并且，在出现双向运输需求时；光罩盒在第二方向的多个点上料，运输至第二方向的运输线路上的某个位置再换个方向沿着第一方向运输下料，现有技术中的光罩盒流水线运输线路还无法同时满足上述两个运输要求；若要满足上述运输需求，其中一个方向的运输线路则需要换成人工上下料，这有可能对光罩盒造成一定程度的损伤，且效率低下，耗费人力，成本高昂。
发明内容
本发明的目的在于提供一种光罩盒打包运输储存组件，实现光罩盒从打包到运输再到储存的全自动化加工，有效提高加工效率，且能够有效保证光罩盒得到妥善保管不受损坏。
为了解决上述技术问题，本发明提供了一种光罩盒打包运输储存组件，包括光罩盒打包装置、产品运输组件及储存仓；所述光罩盒打包装置将光罩盒打包后通过机械手运输至产品运输组件，通过产品运输组件运输至储存仓，通过储存仓储存所述光罩盒；
所述产品运输组件的一端为第一上下料点，所述产品运输组件的另一端设置有多个第二上下料点；所述第一上下料点对接所述光罩盒打包装置的下料点，所述第二上下料点面向所述储存仓；
光罩盒通过打包后储存入库时，先经由光罩盒打包装置进行打包后由光罩盒打包装置的下料点下料后进入产品运输组件的第一上下料点，由所述产品运输组件运输至其中一个第二上下料点后下料装入储存仓入库储存；
光罩盒需要从储存仓出库时，光罩盒经由其中一个第二上下料点上料，然后再经由第一上下料点下料。
在一较佳的实施例中，所述光罩盒打包组件与产品运输组件之间还设置有一缓冲仓位，所述缓冲仓位用于接收已经打包完成的光罩盒，已经打包完成的光罩盒进入缓冲仓位后由机械手抓取光罩盒进入产品运输组件。
在一较佳的实施例中，所述产品运输组件包括第一方向运输线路及第二方向运输线路；所述第一方向运输线路包括多个定子，且所述第一方向运输线路由所述定子两两之间相互拼接形成；所述第一方向运输线路与第二方向运输线路之间间隔有角度设置；且所述第二方向运输线路与第一方向运输线路的连接处将所述第一方向运输线路分为第一边线路及第二边线路；包括多个动子，所述动子在所述第一方向运输线路及第二方向运输线路上滑动且沿着所述第一方向运输线路及第二方向运输线路的长度方向滑动；
所述定子包括固定定子及移动定子；位于所述第一方向运输线路与第二方向运输线路的连接处的定子具体为移动定子，设置于所述移动定子两边的定子具体为固定定子；所述移动定子在所述第二方向运输线路上沿着所述第二方向运输线路的长度方向移动；
所述动子在所述定子组成的第一方向运输线路上移动，所述动子移动至所述移动定子所在位置，所述移动定子带动所述动子在所述第二方向运输线路上移动。
在一较佳的实施例中，还包括替补定子，所述替补定子位于所述移动定子的正下方；所述替补定子连接有升降装置；所述移动定子移动至所述第二方向运输线路后，所述升降装置将所述替补定子抬升至所述固定定子所在的水平高度，使所述替补定子的两侧分别与第一边线路及第二边线路的固定定子连接。
在一较佳的实施例中，所述动子包括滑动连接座及运输盘；所述滑动连接座的顶部固定连接有运输盘，所述滑动连接座的底部与所述第一方向运输线路上的定子滑动连接。
在一较佳的实施例中，所述定子的底部沿着第一方向运输线路的长度方向设置有滑动导轨，所述定子上方还设置有滑动片，所述滑动片的长度方向与所述第一方向运输线路的长度方向一致，所述滑动片的宽度方向沿着竖直方向设置；所述滑动连接座的底部设置有第一导轨槽及第二导轨槽；所述滑动导轨与第一导轨槽滑动连接，所述滑动片与所述第二导轨槽滑动连接；
所述第二导轨槽的内部设置有第一磁性件，所述滑动连接座的内部设置有第二磁性件；所述第一磁性件连接有主控模块；所述主控模块控制所述第一磁性件的磁极从而控制所述第一磁性件与第二磁性件之间为同性相斥或异性相吸，从而控制定子与动子之间的固定连接或动子在定子上的滑动。
在一较佳的实施例中，所述光罩盒打包装置包括输送导轨、托盘；所述托盘由所述输送导轨运输，所述托盘上放置光罩盒；所述输送导轨的侧部设置有封口组件，所述封口组件与所述托盘的一侧边平行；所述输送导轨的一端设置有机械手，所述机械手用于运输所述托盘。
在一较佳的实施例中，所述托盘的其中三个侧边均沿垂直于所述托盘所在平面方向向上延伸设置有阻挡件；所述托盘不设置有阻挡件的侧边具体为让位开口，所述封口组件面向所述让位开口。
在一较佳的实施例中，所述封口组件包括第一移动件及第二移动件；所述第一移动件及第二移动件相向移动相互抵接使得所述第一移动件与第二移动件之间形成封口空间，用于对光罩盒进行封口；
所述第一移动件与第二移动件分别设置有第一凹槽及第二凹槽，所述第一凹槽与第二凹槽的开口相向设置；所述第一凹槽与第二凹槽的长度方向与所述托盘侧边的长度方向相平行；所述第一移动件与第二移动件相向移动使得所述第一凹槽与第二凹槽的开口对接形成所述封口空间；
第一凹槽或第二凹槽的底部设置有伸缩刀片，所述伸缩刀片的长度方向与所述第一凹槽或第二凹槽的长度方向相平行，所述伸缩刀片的伸缩方向与所述第一凹槽或第二凹槽的长度方向相垂直。
在一较佳的实施例中，所述光罩盒的外部具有包袋，所述包袋具有一包袋开口，所述光罩盒通过所述包袋开口进入所述包袋并置于所述托盘上；所述包袋的包袋开口至于所述托盘的让位开口上，所述输送导轨将放置有光罩盒及包袋的托盘运送至所述封口组件的侧边；所述第一移动件及第二移动件相背移动，使得所述包袋开口进入所述第一移动件及第二移动件之间，所述第一移动件及第二移动件相向移动使得第一移动件及第二移动件分别夹持所述包袋开口并对所述包袋开口进行热封口形成封边，所述伸缩刀片切割所述封边远离所述包袋的一侧。
相较于现有技术，本发明的技术方案具备以下有益效果：
本发明提供了一种光罩盒打包运输储存组件，通过设置光罩盒打包装置、产品运输组件以及储存仓来实现光罩盒的打包、运输及储存的一站式打包储存，全程高度自动化，有效提高加工效率，且能够有效保证光罩盒得到妥善保管不受损坏。
通过设置第一方向运输线路及第二方向运输线路满足光罩盒的双方向运输要求；第一方向运输线路由多个定子组成；动子在定子上沿着第一方向运输线路的长度方向移动，动子可以在第一方向运输线路上的定子上进行上料或是下料；当动子停留在第一方向运输线路上的第一边线路上的某个固定定子上时，动子进行上料，上料完成后运输盘上有料，第一磁性件通过主控模块控制第一磁性件与第二磁性件同性相斥并驱动第二磁性件移动从而带动动子在定子上移动并移动至移动定子所在位置，让移动定子带动动子在第二方向运输线路即直线电机上移动运输下料，此时移动定子在第二方向运输线路上，移动定子原来的位置空缺，则由升降装置带动替补定子上升填补移动定子的空缺，这样若是此时第一边线路上的动子需要移动到第二边线路上或是第二边线路上的动子要移动到第一边线路上，不至于因为移动定子位置上的定子空缺而无法操作。
同样地，当光罩盒在第二方向运输线路上上料，由移动定子带动已经上料的动子在第二方向运输线路上运输且在快要运输至移动定子在第一方向运输线路的所在位置时，由升降装置带动替补定子下降至替补定子原来的位置给移动定子让位，让移动定子回到第一方向运输线路与第二方向运输线路的连接处，移动定子回到第一方向运输线路与第二方向运输线路的连接处后，动子在第一方向运输线路上移动，移动至第一边线路或是第二边线路上的某一位置下料；这样可同时满足两个方向且反向线路的运输，避免人工操作对光罩盒的损伤，提高生产效率。
通过输送导轨对托盘进行流水线的传递运输，从而实现对光罩盒的传递运输，实现光罩盒打包过程中的有效有规律地运输。通过在输送导轨的侧部设置封口组件使得光罩盒在输送的过程中完成封口操作；封口组件自动化的第一移动件及第二移动件的相向移动和相背移动实现了需要对光罩盒封口时第一移动件及第二移动件对包袋开口的夹持以及封边，不需要对光罩盒封口时，第一移动件及第二移动件就间隔开一些距离，好让下一个需要封口的光罩盒的包袋开口进入到第一移动件及第二移动件之间进行下一次的封口准备，然后再由伸缩刀口对多余的包袋进行切割，整个过程由移动气缸来驱动第一移动件、第二移动件以及伸缩刀片，自动化程度高，且能很好地将光罩盒外部的包袋进行封口；从而实现自动化打包光罩盒，使被打包过的光罩盒保持一致性，为后续光罩盒的运输以及储存提供便利，且全程自动化处理，打包过程无需人工辅助，有效提高产品的成品率。
在托盘的三边设置阻挡件可以在光罩盒放入托盘的同时进行整形，方便便捷。
附图说明
图1为本发明优选实施例中光罩盒打包装置与产品运输组件的位置关系示意图(一)；
图2为本发明优选实施例中光罩盒打包装置的整体结构示意图；
图3为本发明优选实施例中光罩盒打包装置的局部结构放大示意图；
图4为本发明优选实施例中产品运输组件的第一方向运输线路与第二方向运输线路的连接处正面放大示意图；
图5为本发明优选实施例中产品运输组件的第一方向运输线路局部放大示意图；
图6为本发明优选实施例中光罩盒打包装置与产品运输组件的位置关系示意图(二)；
图7为本发明优选实施例中产品运输组件的第一方向运输线路与第二方向运输线路的连接处反面放大示意图；
图8为本发明优选实施例中产品运输组件的第一方向运输线路的替补定子分解示意图；
图9为本发明优选实施例中产品运输组件的第一方向运输线路的替补定子分解局部放大示意图。
具体实施方式
下文结合附图和具体实施方式对本发明做进一步说明。
一种光罩盒打包运输储存组件，参考图1至9，包括光罩盒打包装置1、产品运输组件及储存仓；所述光罩盒打包装置1将光罩盒打包后通过机械手3 运输至产品运输组件，通过产品运输组件运输至储存仓，通过储存仓储存所述光罩盒2；
所述产品运输组件的一端为第一上下料点，所述产品运输组件的另一端设置有多个第二上下料点；所述第一上下料点对接所述光罩盒打包装置1的下料点，所述第二上下料点面向所述储存仓；
光罩盒2通过打包后储存入库时，先经由光罩盒打包装置1进行打包后由光罩盒打包装置1的下料点下料后进入产品运输组件的第一上下料点，由所述产品运输组件运输至其中一个第二上下料点后下料装入储存仓入库储存；
光罩盒2需要从储存仓出库时，光罩盒2经由其中一个第二上下料点上料，然后再经由第一上下料点下料。
具体来说，所述储存仓包括多个储存柜，所述储存柜依次排开设置；所述储存柜上呈阵列排列方式设置多个储存位，每个储存位对应储存一个光罩盒2；储存仓到光罩盒之间通过机器人运输光罩盒2。
所述光罩盒打包组件与产品运输组件之间还设置有一缓冲仓位8，所述缓冲仓位8用于接收已经打包完成的光罩盒2，已经打包完成的光罩盒2进入缓冲仓位8后由机械手3抓取光罩盒2进入产品运输组件。
所述产品运输组件包括第一方向运输线路4及第二方向运输线路5；所述第一方向运输线路4包括多个定子41，且所述第一方向运输线路4由所述定子 41两两之间相互拼接形成；所述第一方向运输线路4与第二方向运输线路5之间间隔有角度设置；且所述第二方向运输线路5与第一方向运输线路4的连接处将所述第一方向运输线路4分为第一边线路及第二边线路；包括多个动子42，所述动子42在所述第一方向运输线路4及第二方向运输线路5上滑动且沿着所述第一方向运输线路4及第二方向运输线路5的长度方向滑动。
所述定子41包括固定定子412及移动定子411；位于所述第一方向运输线路4与第二方向运输线路5的连接处的定子41具体为移动定子411，设置于所述移动定子411两边的定子41具体为固定定子412。
所述移动定子411在所述第二方向运输线路5上沿着所述第二方向运输线路5的长度方向移动。
所述动子42在所述定子41组成的第一方向运输线路4上移动，所述动子 42移动至所述移动定子411所在位置，所述移动定子411带动所述动子42在所述第二方向运输线路5上移动。
还包括替补定子413，所述替补定子413位于所述移动定子411的正下方；所述替补定子413连接有升降装置7；所述移动定子411移动至所述第二方向运输线路5后，所述升降装置7将所述替补定子413抬升至所述固定定子412 所在的水平高度，使所述替补定子413的两侧分别与第一边线路及第二边线路的固定定子412连接。
所述动子42包括滑动连接座422及运输盘421；所述滑动连接座422的顶部固定连接有运输盘421，所述滑动连接座422的底部与所述第一方向运输线路4上的定子41滑动连接。
所述定子41的底部沿着第一方向运输线路4的长度方向设置有滑动导轨 43，所述定子41上方还设置有滑动片4，所述滑动片4的长度方向与所述第一方向运输线路4的长度方向一致，所述滑动片4的宽度方向沿着竖直方向设置；所述滑动连接座422的底部设置有第一导轨槽4221及第二导轨槽；所述滑动导轨43与第一导轨槽4221滑动连接，所述滑动片4与所述第二导轨槽滑动连接。
所述第二导轨槽的内部设置有第一磁性件，所述滑动连接座422的内部设置有第二磁性件；所述第一磁性件连接有主控模块；所述主控模块控制所述第一磁性件的磁极从而控制所述第一磁性件与第二磁性件之间为同性相斥或异性相吸，从而控制定子41与动子42之间的固定连接或动子42在定子41上的滑动。
具体来说，所述升降装置7具体包括伺服电机71。所述第二方向输线路5 具体为直线电机。
通过设置第一方向运输线路4及第二方向运输线路5满足光罩盒2的双方向运输要求；第一方向运输线路4由多个定子41组成；动子42在定子41上沿着第一方向运输线路4的长度方向移动，动子42可以在第一方向运输线路4 上的定子41上进行上料或是下料；当动子42停留在第一方向运输线路4上的第一边线路上的某个固定定子412上时，动子42进行上料，上料完成后运输盘421上有料，第一磁性件通过主控模块控制第一磁性件与第二磁性件同性相斥并驱动第二磁性件移动从而带动动子42在定子41上移动并移动至移动定子 411所在位置，让移动定子411带动动子42在第二方向运输线路5即直线电机上移动运输下料，此时移动定子411在第二方向运输线路5上，移动定子411 原来的位置空缺，则由升降装置7带动替补定子413上升填补移动定子411的空缺，这样若是此时第一边线路上的动子42需要移动到第二边线路上或是第二边线路上的动子42要移动到第一边线路上，不至于因为移动定子411位置上的定子41空缺而无法操作。
同样地，当光罩盒2在第二方向运输线路5上上料，由移动定子411带动已经上料的动子42在第二方向运输线路5上运输且在快要运输至移动定子411 在第一方向运输线路4的所在位置时，由升降装置7带动替补定子413下降至替补定子413原来的位置给移动定子411让位，让移动定子411回到第一方向运输线路4与第二方向运输线路5的连接处，移动定子411回到第一方向运输线路4与第二方向运输线路5的连接处后，动子42在第一方向运输线路4上移动，移动至第一边线路或是第二边线路上的某一位置下料；这样可同时满足两个方向且反向线路的运输，避免人工操作对光罩盒2的损伤，提高生产效率。
光罩盒打包装置，包括输送导轨11、托盘；所述托盘由所述输送导轨11 运输，所述托盘上放置光罩盒2；所述输送导轨11的侧部设置有封口组件13，所述封口组件13与所述托盘的一侧边平行；所述输送导轨11的一端设置有机械手3，所述机械手3用于运输所述托盘。
所述托盘的其中三个侧边均沿垂直于所述托盘所在平面方向向上延伸设置有阻挡件21。所述托盘不设置有阻挡件21的侧边具体为让位开口，所述封口组件13面向所述让位开口。具体来说，所述托盘为四边形托盘，托盘的其中三边边沿均设置有阻挡件21，剩下一边设置为让位开口。具体来说，所述阻挡件21具体为托盘侧边立着的阻挡片；且托盘的三条侧边的两个直角连接处均设置有阻挡片，使得在直角连接处形成直角的阻挡片。
所述光罩盒2的外部具有包袋，所述包袋具有一包袋开口，所述光罩盒2 通过所述包袋开口进入所述包袋并且所述光罩盒2连通所述包袋置于所述托盘上；所述包袋的宽度刚好容纳所述光罩盒2，所述包袋的长度长于所述光罩盒 2的长度；所述包袋的包袋开口至于所述托盘的让位开口上，使得所述包袋开口多出来的包袋伸出所述托盘的让位开口，所述输送导轨11将放置有光罩盒2 及包袋的托盘运送至所述封口组件13的侧边，然后利用封口组件13对包袋开口进行封口。
所述封口组件13包括第一移动件131及第二移动件132；所述第一移动件 131及第二移动件132相向移动相互抵接使得所述第一移动件131与第二移动件132之间形成封口空间，用于对光罩盒2进行封口。
所述第一移动件131与第二移动件132分别设置有第一凹槽1311及第二凹槽1321，所述第一凹槽1311与第二凹槽1321的开口相向设置；所述第一凹槽1311与第二凹槽1321的长度方向与所述托盘侧边的长度方向相平行；所述第一移动件131与第二移动件132相向移动使得所述第一凹槽1311与第二凹槽1321的开口对接形成所述封口空间。
所述第一凹槽1311的底部设置有伸缩刀片，所述伸缩刀片的长度方向与所述第一凹槽1311的长度方向相平行，所述伸缩刀片的伸缩方向与所述第一凹槽1311的长度方向相垂直。还可以将伸缩刀片设置在第二凹槽1321内，设置方式与设置在第一凹槽1311内的相同。
具体来说，所述伸缩刀片、第一移动件131及第二移动件132均连接有移动气缸，用于驱动所述伸缩刀片、第一移动件131及第二移动件132移动。
所述第一移动件131及第二移动件132相背移动，使得所述第一移动件131 及第二移动件132相互之间间隔一定距离，使得所述包袋开口进入所述第一移动件131及第二移动件132之间，所述第一移动件131及第二移动件132再相向移动使得第一移动件131及第二移动件132分别夹持所述包袋开口并对所述包袋开口进行热封口从而形成封边，所述伸缩刀片切割所述封边远离所述包袋的一侧。即所述封边形成以后，所述封边的两侧分别是装有光罩盒2的包袋以及多余的包袋，所述伸缩刀片用来切割多余的包袋。
所述输送导轨11的输入端设置有一滑动门板12；所述滑动门板12连接有移动电机14，所述移动电机14驱动所述滑动门板12滑动；所述滑动门板12 的滑动方向与所述输送导轨11的输送方向相平行；所述滑动门板12沿第一方向滑动一个让位距离，所述输送导轨11的输入端被放入装有光罩盒2及包袋的托盘，所述滑动门板12沿第二方向滑动一个让位距离到达所述输送导轨11 的输入端的上方关闭所述输送导轨11的输入端入口。所述机械手3设置于所述输送导轨11的输出端，用于对所述光罩盒2进行下料。
通过输送导轨11对托盘进行流水线的传递运输，从而实现对光罩盒2的传递运输，实现光罩盒2打包过程中的有效有规律地运输。通过在输送导轨11 的侧部设置封口组件13使得光罩盒2在输送的过程中完成封口操作；封口组件13自动化的第一移动件131及第二移动件132的相向移动和相背移动实现了需要对光罩盒2封口时第一移动件131及第二移动件132对包袋开口的夹持以及封边，不需要对光罩盒2封口时，第一移动件131及第二移动件132就间隔开一些距离，好让下一个需要封口的光罩盒2的包袋开口进入到第一移动件 131及第二移动件132之间进行下一次的封口准备，然后再由伸缩刀口对多余的包袋进行切割，整个过程由移动气缸来驱动第一移动件131、第二移动件132 以及伸缩刀片，自动化程度高，且能很好地将光罩盒2外部的包袋进行封口；从而实现自动化打包光罩盒2，使被打包过的光罩盒2保持一致性，为后续光罩盒2的运输以及储存提供便利，且全程自动化处理，打包过程无需人工辅助，有效提高产品的成品率。
在托盘的三边设置阻挡件21可以在光罩盒2放入托盘的同时进行整形，方便便捷。
以上所述，仅为本发明较佳的具体实施方式，但本发明的设计构思并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，利用此构思对本发明进行非实质性的改动，均属于侵犯本发明保护范围的行为。

Claims (10)

1.一种光罩盒打包运输储存组件，其特征在于包括光罩盒打包装置、产品运输组件及储存仓；所述光罩盒打包装置将光罩盒打包后通过机械手运输至产品运输组件，通过产品运输组件运输至储存仓，通过储存仓储存所述光罩盒；
所述产品运输组件的一端为第一上下料点，所述产品运输组件的另一端设置有多个第二上下料点；所述第一上下料点对接所述光罩盒打包装置的下料点，所述第二上下料点面向所述储存仓；
光罩盒通过打包后储存入库时，先经由光罩盒打包装置进行打包后由光罩盒打包装置的下料点下料后进入产品运输组件的第一上下料点，由所述产品运输组件运输至其中一个第二上下料点后下料装入储存仓入库储存；
光罩盒需要从储存仓出库时，光罩盒经由其中一个第二上下料点上料，然后再经由第一上下料点下料。
2.根据权利要求1所述的一种光罩盒打包运输储存组件，其特征在于，所述光罩盒打包组件与产品运输组件之间还设置有一缓冲仓位，所述缓冲仓位用于接收已经打包完成的光罩盒，已经打包完成的光罩盒进入缓冲仓位后由机械手抓取光罩盒进入产品运输组件。
3.根据权利要求2所述的一种光罩盒打包运输储存组件，其特征在于，所述产品运输组件包括第一方向运输线路及第二方向运输线路；所述第一方向运输线路包括多个定子，且所述第一方向运输线路由所述定子两两之间相互拼接形成；所述第一方向运输线路与第二方向运输线路之间间隔有角度设置；且所述第二方向运输线路与第一方向运输线路的连接处将所述第一方向运输线路分为第一边线路及第二边线路；包括多个动子，所述动子在所述第一方向运输线路及第二方向运输线路上滑动且沿着所述第一方向运输线路及第二方向运输线路的长度方向滑动；
所述定子包括固定定子及移动定子；位于所述第一方向运输线路与第二方向运输线路的连接处的定子具体为移动定子，设置于所述移动定子两边的定子具体为固定定子；所述移动定子在所述第二方向运输线路上沿着所述第二方向运输线路的长度方向移动；
所述动子在所述定子组成的第一方向运输线路上移动，所述动子移动至所述移动定子所在位置，所述移动定子带动所述动子在所述第二方向运输线路上移动。
4.根据权利要求3所述的一种光罩盒打包运输储存组件，其特征在于，还包括替补定子，所述替补定子位于所述移动定子的正下方；所述替补定子连接有升降装置；所述移动定子移动至所述第二方向运输线路后，所述升降装置将所述替补定子抬升至所述固定定子所在的水平高度，使所述替补定子的两侧分别与第一边线路及第二边线路的固定定子连接。
5.根据权利要求4所述的一种光罩盒打包运输储存组件，其特征在于，所述动子包括滑动连接座及运输盘；所述滑动连接座的顶部固定连接有运输盘，所述滑动连接座的底部与所述第一方向运输线路上的定子滑动连接。
6.根据权利要求5所述的一种光罩盒打包运输储存组件，其特征在于，所述定子的底部沿着第一方向运输线路的长度方向设置有滑动导轨，所述定子上方还设置有滑动片，所述滑动片的长度方向与所述第一方向运输线路的长度方向一致，所述滑动片的宽度方向沿着竖直方向设置；所述滑动连接座的底部设置有第一导轨槽及第二导轨槽；所述滑动导轨与第一导轨槽滑动连接，所述滑动片与所述第二导轨槽滑动连接；
所述第二导轨槽的内部设置有第一磁性件，所述滑动连接座的内部设置有第二磁性件；所述第一磁性件连接有主控模块；所述主控模块控制所述第一磁性件的磁极从而控制所述第一磁性件与第二磁性件之间为同性相斥或异性相吸，从而控制定子与动子之间的固定连接或动子在定子上的滑动。
7.根据权利要求1至6中任意一项所述的一种光罩盒打包运输储存组件，其特征在于，所述光罩盒打包装置包括输送导轨、托盘；所述托盘由所述输送导轨运输，所述托盘上放置光罩盒；所述输送导轨的侧部设置有封口组件，所述封口组件与所述托盘的一侧边平行；所述输送导轨的一端设置有机械手，所述机械手用于运输所述托盘。
8.根据权利要求7所述的一种光罩盒打包运输储存组件，其特征在于，所述托盘的其中三个侧边均沿垂直于所述托盘所在平面方向向上延伸设置有阻挡件；所述托盘不设置有阻挡件的侧边具体为让位开口，所述封口组件面向所述让位开口。
9.根据权利要求8所述的一种光罩盒打包运输储存组件，其特征在于，所述封口组件包括第一移动件及第二移动件；所述第一移动件及第二移动件相向移动相互抵接使得所述第一移动件与第二移动件之间形成封口空间，用于对光罩盒进行封口；
所述第一移动件与第二移动件分别设置有第一凹槽及第二凹槽，所述第一凹槽与第二凹槽的开口相向设置；所述第一凹槽与第二凹槽的长度方向与所述托盘侧边的长度方向相平行；所述第一移动件与第二移动件相向移动使得所述第一凹槽与第二凹槽的开口对接形成所述封口空间；
第一凹槽或第二凹槽的底部设置有伸缩刀片，所述伸缩刀片的长度方向与所述第一凹槽或第二凹槽的长度方向相平行，所述伸缩刀片的伸缩方向与所述第一凹槽或第二凹槽的长度方向相垂直。
10.根据权利要求9所述的一种光罩盒打包运输储存组件，其特征在于，所述光罩盒的外部具有包袋，所述包袋具有一包袋开口，所述光罩盒通过所述包袋开口进入所述包袋并置于所述托盘上；所述包袋的包袋开口至于所述托盘的让位开口上，所述输送导轨将放置有光罩盒及包袋的托盘运送至所述封口组件的侧边；所述第一移动件及第二移动件相背移动，使得所述包袋开口进入所述第一移动件及第二移动件之间，所述第一移动件及第二移动件相向移动使得第一移动件及第二移动件分别夹持所述包袋开口并对所述包袋开口进行热封口形成封边，所述伸缩刀片切割所述封边远离所述包袋的一侧。
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