CN113811942B - 显示面板和显示装置 - Google Patents
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Abstract
提供了一种显示面板和显示装置,属于显示技术领域。显示面板包括依次层叠的驱动背板(100)、透明绝缘层(200)和发光器件层,其中,驱动背板包括依次层叠设置的驱动电路层(110)、金属布线层(120)、第一绝缘层(150)和反射电极层;第一绝缘层(150)具有填充有第一金属连接件(151)的多个第一过孔;反射电极层包括各自通过第一金属连接件(151)与金属布线层(120)连接的多个第一反射电极(131);透明绝缘层(200)具有与第一反射电极(131)对应的连接过孔(202);发光器件层包括依次层叠设置的像素电极层、有机发光层(320)和公共电极层(330);像素电极层包括各自通过连接过孔(202)与第一反射电极(131)连接的多个第一像素电极(311);连接过孔(202)在像素电极层上的正投影与第一像素电极(311)的边缘之间的间距不小于第一阈值。此显示面板能够提高显示面板的良率。
Description
技术领域
本公开涉及显示技术领域,尤其涉及一种显示面板和显示装置。
背景技术
相比于DMD(数字微镜器件)和LCOS(硅基液晶)微显示器,硅基OLED微显示器拥有非常优秀的显示特性。OLED亮度高、色彩丰富、驱动电压低、响应速度快、功耗低,具有非常优秀的用户体验;且OLED 是一种全固态型器件,抗震性能好,工作温度范围宽(-40℃~85℃);其属于自发光器件,不需要背光源,视角范围大,厚度薄,有利于减小系统体积,尤其适用于近眼显示系统。
然而,硅基OLED微显示器的像素尺寸一般非常小,在制备过程中容易出现阳极断路不良。
所述背景技术部分公开的上述信息仅用于加强对本公开的背景的理解,因此它可以包括不构成对本领域普通技术人员已知的现有技术的信息。
发明内容
本公开的目的在于提供一种显示面板和显示装置,提高显示面板的良率。
为实现上述发明目的,本公开采用如下技术方案:
根据本公开的第一个方面,提供一种显示面板,包括:
驱动背板,包括依次层叠设置的驱动电路层、金属布线层、第一绝缘层和反射电极层;所述第一绝缘层具有多个第一过孔,各个所述第一过孔内设置有第一金属连接件;所述反射电极层包括多个第一反射电极,所述第一反射电极各自通过所述第一金属连接件与所述金属布线层电连接;
透明绝缘层,设于所述反射电极层远离所述驱动电路层的一侧;所述透明绝缘层具有与各个所述第一反射电极一一对应的多个连接过孔,任意一个所述连接过孔暴露对应的所述第一反射电极的部分表面;
发光器件层,包括依次层叠设置于所述透明绝缘层远离所述反射电极层的一侧的像素电极层、有机发光层和公共电极层;所述像素电极层包括与多个所述连接过孔一一对应的第一像素电极,所述第一像素电极通过对应的所述连接过孔与对应的所述第一反射电极连接;
其中,所述连接过孔在所述像素电极层上的正投影,位于对应的所述第一像素电极内;所述连接过孔在所述像素电极层上的正投影的任意一点,与对应的所述第一像素电极的边缘的任意一点之间的距离的最小值,不小于第一阈值;所述第一阈值在相邻两个所述第一像素电极的间距的0.13 倍~1.3倍之间。
在本公开的一种示例性实施例中,所述连接过孔在所述像素电极层上的正投影的任意一点,与对应的所述第一像素电极的边缘的任意一点之间的距离的最小值,等于所述第一阈值。
在本公开的一种示例性实施例中,所述第一像素电极至少存在相邻的第一边缘和第二边缘;所述连接过孔在所述像素电极层上的正投影的任意一点,与对应的所述第一像素电极的第一边缘的任意一点之间的距离的最小值,等于所述第一阈值;且所述连接过孔在所述像素电极层上的正投影的任意一点,与对应的所述第一像素电极的第二边缘的任意一点之间的距离的最小值,等于所述第一阈值。
在本公开的一种示例性实施例中,所述第一像素电极所电连接的所述第一金属连接件在所述像素电极层的正投影,位于所述第一像素电极内,且与所述连接过孔在所述像素电极层的正投影不完全交叠。
在本公开的一种示例性实施例中,所述连接过孔在所述像素电极层上的正投影的任意一点,与对应的所述第一像素电极的边缘的任意一点之间的距离的最小值,等于第一距离;
所述第一金属连接件在所述像素电极层上的正投影的任意一点,与所述第一金属连接件所电连接的第一像素电极的边缘的任意一点之间的距离的最小值,等于第二距离;
所述第二距离小于所述第一距离。
在本公开的一种示例性实施例中,所述第一像素电极的边缘上的任意一点,与所述第一像素电极的中心的距离的最小值,为第三距离;
所述第一阈值在所述第三距离的5%~8%范围内。
在本公开的一种示例性实施例中,所述第一金属连接件在所述像素电极层上的正投影,位于所述第一金属连接件所电连接的第一像素电极内;所述第一金属连接件在所述像素电极层上的正投影的任意一点,与所述第一金属连接件所电连接的第一像素电极的边缘的任意一点之间的距离的最小值,不大于第二阈值;所述第二阈值小于所述第一阈值。
在本公开的一种示例性实施例中,所述第一像素电极在所述驱动电路层上的正投影为中心对称的六边形,且各个所述第一像素电极呈蜂巢状排布;各个所述第一像素电极形成多个沿行方向的第一像素电极行;
所述第一像素电极包括相对设置的两个第一边壁,以及与两个所述第一边壁连接的四个第二边壁;两个所述第一边壁均垂直于所述行方向;四个所述第二边壁围成相对设置的第一顶角和第二顶角;
所述连接过孔在对应的所述第一像素电极上的正投影的任意一点,与该第一像素电极的第一顶角的两个第二边壁中的任意一个所述第二边壁上的任意一点之间的距离的最小值,均等于所述第一阈值。
在本公开的一种示例性实施例中,一个所述第一像素电极电连接的所述第一金属连接件在该第一像素电极上的正投影位置,在所述第一像素电极行的相邻设置的两个所述第一像素电极中具有对称关系。
在本公开的一种示例性实施例中,所述连接过孔在对应的所述第一像素电极上的正投影位置,在所述第一像素电极行的相邻设置的两个所述第一像素电极中排布相同。
在本公开的一种示例性实施例中,所述像素电极层包括依次层叠于所述透明绝缘层远离所述驱动电路层的表面的第一钛金属层、第一铝金属层、第二钛金属层和钼金属层;其中,所述第一钛金属层的厚度为80~120埃,所述第一铝金属层的厚度为400~500埃,所述第二钛金属层的厚度为 40~60埃,所述钼金属层的厚度为40~60埃。
在本公开的一种示例性实施例中,所述反射电极层包括依次层叠于所述第一绝缘层远离所述金属布线层的表面的第三钛金属层、第二铝金属层和氮化钛层;其中,所述第三钛金属层的厚度为80~120埃,所述第二铝金属层的厚度为700~900埃,所述氮化钛层的厚度可以为80~120埃。
在本公开的一种示例性实施例中,所述连接过孔的直径为0.2~0.4微米。
根据本公开的第二个方面,提供一种显示装置,包括上述的显示面板。
本公开提供的显示面板和显示装置中,可以根据第一像素电极的间距确定预设距离,使得连接过孔在像素电极层上的正投影不贴近第一反射电极的边缘。如此,在通过图案化操作制备第一像素电极时,即便发生了对准偏移,也更不容易刻蚀位于连接过孔内的像素电极材料,降低了连接过孔在像素电极层上的正投影不完全位于对应的第一像素电极内的风险,避免了连接过孔中的导电材料被刻蚀而导致第一像素电极与第一反射电极之间电阻增大或者断路的不良,能够提高显示面板的良率,并扩大像素电极层制备时的工艺窗口。
附图说明
通过参照附图详细描述其示例实施方式,本公开的上述和其它特征及优点将变得更加明显。
图1是本公开实施方式的显示面板的剖视结构示意图。
图2是本公开实施方式的显示面板的俯视结构示意图。
图3是本公开实施方式的第一反射电极、第一像素电极、第一金属连接件和连接过孔的俯视投影示意图。
图4是本公开实施方式的第一像素电极和连接过孔的俯视投影示意图。
图5是本公开实施方式的另一第一像素电极和连接过孔的俯视投影示意图。
图6是本公开实施方式的形成第一光刻胶层和抗反射层的结构示意图。
图7是本公开实施方式的对第一光刻胶层和抗反射层进行图案化的结构示意图。
图8是本公开实施方式的形成像素电极材料层的结构示意图。
图9是本公开实施方式的剥离第一光刻胶层的结构示意图。
图10是本公开实施方式的形成第二光刻胶层的结构示意图。
图11是本公开实施方式的对第二光刻胶层进行图案化的结构示意图。
图12是本公开实施方式的第一像素电极的排布结构示意图。
图中主要元件附图标记说明如下:
A、显示区;B、外围区;C、感测区;D、绑定区;E、阴极搭接区; F、第一辅助区;G、第二辅助区;H、第三辅助区;M、行方向;100、驱动背板;110、驱动电路层;120、金属布线层;131、第一反射电极; 132、第二反射电极;133、第三反射电极;140、第二绝缘层;141、第二金属连接件;150、第一绝缘层;151、第一金属连接件;200、透明绝缘层;201、绑定孔;202、连接过孔;311、第一像素电极;312、第二像素电极;3111、第一边壁;3112、第二边壁;3113、第一顶角;3114、第二顶角;320、有机发光层;330、公共电极层;340、像素定义层;3101、抗反射层;3102、第一光刻胶层;3103、反射电极材料层;3104、第二光刻胶层;410、薄膜封装层;420、封盖层;430、彩膜层;440、黑矩阵层; 450、保护层;460、盖板。
具体实施方式
现在将参考附图更全面地描述示例实施例。然而,示例实施例能够以多种形式实施,且不应被理解为限于在此阐述的范例;相反,提供这些实施例使得本公开将更加全面和完整,并将示例实施例的构思全面地传达给本领域的技术人员。所描述的特征、结构或特性可以以任何合适的方式结合在一个或更多实施例中。在下面的描述中,提供许多具体细节从而给出对本公开的实施例的充分理解。
在图中,为了清晰,可能夸大了区域和层的厚度。在图中相同的附图标记表示相同或类似的结构,因而将省略它们的详细描述。
所描述的特征、结构或特性可以以任何合适的方式结合在一个或更多实施例中。在下面的描述中,提供许多具体细节从而给出对本公开的实施例的充分理解。然而,本领域技术人员将意识到,可以实践本公开的技术方案而没有所述特定细节中的一个或更多,或者可以采用其它的方法、组元、材料等。在其它情况下,不详细示出或描述公知结构、材料或者操作以避免模糊本公开的主要技术创意。
当某结构在其它结构“上”时,有可能是指某结构一体形成于其它结构上,或指某结构“直接”设置在其它结构上,或指某结构通过另一结构“间接”设置在其它结构上。
用语“一个”、“一”、“所述”用以表示存在一个或多个要素/组成部分/等;用语“包括”和“具有”用以表示开放式的包括在内的意思并且是指除了列出的要素/组成部分/等之外还可存在另外的要素/组成部分/等。用语“第一”和“第二”等仅作为标记使用,不是对其对象的数量限制。
本公开提供一种显示面板,如图1,显示面板包括驱动背板100、透明绝缘层200和发光器件层;
驱动背板100包括依次层叠设置的驱动电路层110、金属布线层120、第一绝缘层150和反射电极层;第一绝缘层150具有多个第一过孔,各个第一过孔内设置有第一金属连接件151;反射电极层包括多个第一反射电极131,各个第一反射电极131通过各自对应的第一金属连接件151与金属布线层120电连接;透明绝缘层200设于反射电极层远离驱动电路层110 的一侧;透明绝缘层200具有与各个第一反射电极131一一对应的多个连接过孔202,任意一个连接过孔202暴露对应的第一反射电极131的部分表面;发光器件层设于透明绝缘层200远离驱动电路层110的一侧,包括依次层叠设置的像素电极层、有机发光层320和公共电极层330;像素电极层包括与多个连接过孔202一一对应的第一像素电极311,第一像素电极311通过对应的连接过孔202与对应的第一反射电极131连接。其中,如图4和图5所示,连接过孔202在像素电极层上的正投影,位于对应的第一像素电极311内;连接过孔202在像素电极层上的正投影的任意一点,与对应的第一像素电极311的边缘的任意一点之间的距离的最小值,不小于第一阈值N;第一阈值N在相邻两个第一像素电极311的间距的0.13 倍~1.3倍之间。
本公开提供的显示面板中,可以根据第一像素电极的间距确定第一阈值N,使得连接过孔在像素电极层上的正投影不贴近第一反射电极的边缘。如此,在通过图案化操作制备第一像素电极时,即便发生了对准偏移,也更不容易刻蚀位于连接过孔202内的像素电极材料,降低了连接过孔202 在像素电极层上的正投影不完全位于对应的第一像素电极311内的风险,避免了连接过孔202中的导电材料被刻蚀而导致第一像素电极311与第一反射电极131之间电阻增大或者断路的不良,能够提高显示面板的良率,并扩大像素电极层制备时的工艺窗口。尤其是,可以通过借助第一阈值N,使得连接过孔202在第一像素电极311上的正投影在不贴近第一反射电极的边缘的前提下尽量靠近第一像素电极311的边缘,使得第一像素电极 311的不平整表面尽量靠近第一像素电极311的边缘,进而降低连接过孔 202对发光器件的发光均一性的影响,实现在保证发光器件的发光效果和提高显示面板的良率之间的平衡。
下面,结合附图对本公开提供的显示面板的结构、原理和效果,做进一步地解释和说明。
参见图1和图2,本公开提供的显示面板可以包括显示区A和围绕显示区A的外围区B。该显示面板可以包括依次层叠的驱动背板100、透明绝缘层200和发光器件层,其中,驱动背板100可以包括依次层叠设置的驱动电路层110、金属布线层120、第一绝缘层150和反射电极层。
驱动电路层110可以形成有多个晶体管和存储电容,晶体管和存储电容可以电连接以形成驱动电路。在本公开的一种实施方式中,晶体管可以包括N型晶体管和P型晶体管;如此,可以参照CMOS工艺制备驱动电路层110。
举例而言,驱动电路层110可以包括硅基半导体层、绝缘层和引线层,其中,硅基半导体层可以形成有驱动晶体管的沟道区、源极和漏极,引线层可以形成驱动晶体管的栅极,绝缘层可以隔离驱动晶体管的沟道区和栅极。硅基半导体层和引线层可以形成有存储电容,或者不同层的引线层之间可以形成存储电容。引线层还可以形成连接存储电容和薄膜晶体管的连接引线,以使得晶体管和存储电容连接形成驱动电路。
如图1所示,金属布线层120与驱动电路层110之间可以设置有第二绝缘层140以及贯穿第二绝缘层140的第二金属连接件141,第二金属连接件141连接驱动电路层110和金属布线层120。第二绝缘层140可以采用有机或者无机绝缘材料。在本公开的一种实施方式中,第二绝缘层140 可以采用氧化硅、氮化硅、氮氧化硅、氮化铝、氧化铝、硅玻璃或者其他无机绝缘材料。第二绝缘层140上可以形成有第二过孔,第二过孔暴露至少部分驱动电路层110的金属层。第二金属连接件141可以嵌入第二过孔中,以使得金属布线层120和驱动电路层110电连接。
第二金属连接件141的材料可以为钛、钨、铜等金属材料。在本公开的一种实施方式中,可以通过如下方法形成第二绝缘层140和第二金属连接件141:在驱动电路层110的表面形成一层FSG(掺杂氟的硅玻璃, Fluorinated Silicate Glass)层,然后在FSG层上形成第二过孔;在第二过孔中填充金属钨,然后通过CMP(化学机械抛光)工艺形成由金属钨组成的第二金属连接件141。
可选地,第二绝缘层140的厚度可以为8~12微米,以使得金属布线层120与驱动电路层110之间具有较大的间距,减小金属布线层120上的电信号对驱动电路层110的各个器件的影响,提高驱动电路层110工作的稳定性。在本公开的一种实施方式中,第二绝缘层140的厚度可以为10 微米。
在金属布线层120与反射电极层之间,设置有第一绝缘层150以及贯穿第一绝缘层150的第一金属连接件151,第一金属连接件151连接金属布线层120和反射电极层。
第一绝缘层150可以采用有机或者无机绝缘材料。在本公开的一种实施方式中,第一绝缘层150可以采用氧化硅、氮化硅、氮氧化硅、氮化铝、氧化铝、硅玻璃或者其他无机绝缘材料。第一绝缘层150上形成有第一过孔,第一过孔暴露至少部分金属布线层120。可选地,第一绝缘层150还可以经过CMP工艺处理,以便为反射电极层提供平坦化表面,提高第一反射电极131的平坦度,进而提高第一反射电极131的反射效果。
第一金属连接件151可以嵌入第一过孔中,以使得金属布线层120和第一反射电极131连接。第一金属连接件151的材料可以为钛、钨、铜等金属材料。在本公开的一种实施方式中,可以通过如下方法形成第一绝缘层150和第一金属连接件151:在金属布线层120远离驱动电路层110的表面形成一层USG(未掺杂的硅玻璃,Undoped Silicate Glass)层,然后在USG层上形成第一过孔;在第一过孔中填充金属钨,然后通过CMP(化学机械抛光)工艺形成由金属钨组成的第一金属连接件151,以及形成平坦化的第一绝缘层150。
可选的,第一过孔的直径可以为0.140~0.324微米,以能够有效填充第一金属连接件151的导电材料并满足显示面板对其第一金属连接件151 的阻抗要求为准。
可选地,第一绝缘层150的厚度可以为6~10微米,以使得反射电极层与金属布线层120之间具有较大的间距,减小第一反射电极131上的电信号对金属布线层120的干扰。在本公开的一种实施方式中,第一绝缘层 150的厚度可以为8微米。
反射电极层设于第一绝缘层150远离驱动电路层110的表面,其可以为一层或者多层导电材料。可选地,反射电极层可以包括具有良好导电性能且具有高反射率的铝金属层,在铝金属层的两侧还可以分别设置保护层。优选地,反射电极层可以包括依次层叠于第一绝缘层150表面的第三钛金属层、第二铝金属层和氮化钛层,其中,第三钛金属层的厚度可以为80~120 埃,第二铝金属层的厚度可以为700~900埃,氮化钛层的厚度可以为 80~120埃。
反射电极层可以包括多个第一反射电极131,各个第一反射电极131 可以各自通过第一金属连接件151与金属布线层120电连接。可选地,各个第一反射电极131的尺寸和图案完全相同,如此,可以保证在刻蚀形成各个第一反射电极131时的刻蚀均一性,提高第一反射电极131的刻蚀精准度。可选地,如图3所示,第一反射电极131可以为中心对称的六边形电极。
可选地,可以尽量减小相邻的第一反射电极131之间的间距d2,以提高各个第一反射电极131的覆盖面积,尤其是提高显示区A中第一反射电极131的面积覆盖率。如此,可以提高反射电极层的反射效果,提高显示面板的亮度。优选地,相邻两个第一反射电极131之间的间距d2为0.1~0.3 微米。
优选地,可以在晶圆厂采用半导体工艺制备反射电极层,以保证相邻第一反射电极131之间具有小的间距d2,避免面板厂在制备精度上的制约。
在本公开的一种实施方式中,可以通过如下方法制备反射电极层:在第一绝缘层150远离驱动电路层110的表面形成反射电极材料层,然后对反射电极材料层进行图案化操作,以形成反射电极层。
可选地,如图3所示,任意一个第一反射电极131,可以通过多个第一金属连接件151与金属布线层120电连接,以保证第一反射电极131与金属布线层120之间电连接的稳定性。优选地,任意一个第一反射电极131 通过两个第一金属连接件151与金属布线层120电连接。
在本公开的一种实施方式中,如图3所示,第一反射电极131为中心对称的六边形电极,第一反射电极131通过两个第一金属连接件151与金属布线层120电连接,两个第一金属连接件151在第一反射电极131上的正投影靠近第一反射电极131的顶角处。优选地,第一像素电极311为中心对称的六边形电极,两个第一金属连接件151在第一像素电极311上的正投影靠近第一像素电极311的顶角处。如此,第一金属连接件151可能导致的第一像素电极311的表面不平整部分位于第一像素电极311的顶角处,提高发光器件出光的均匀性。
如图1所示,透明绝缘层200设于反射电极层远离驱动电路层110的表面,其可以为有机绝缘材料或者无机绝缘材料。可选地,透明绝缘层200 可以采用氧化硅、氮化硅、氮氧化硅、氮化铝、氧化铝或者其他透明绝缘材料。透明绝缘层200远离驱动电路层110的表面可以为平坦化表面,以便提高第一像素电极311的平整度,进而提高发光器件的出光效果。在本公开的一种实施方式中,透明绝缘层200的材料可以为氧化硅。
为了保证透明绝缘层200的透光率,透明绝缘层200的厚度可以小于 100纳米,例如可以小于500埃。在本公开的一种实施方式中,透明绝缘层200的厚度可以为300~400埃。
可选地,如图1、图3所示,透明绝缘层200可以设置有多个连接过孔202,各个连接过孔202与各个第一反射电极131、各个第一像素电极 311一一对应设置;其中,各个连接过孔202一一对应地暴露各个第一反射电极131的部分区域。如此,各个第一反射电极131和各个第一像素电极311可以通过各个连接过孔202一一对应地电连接。
可选的,连接过孔202的直径为0.2~0.4微米,如此既可以避免连接过孔202直径过小而导致不能有效填充第一像素电极311的导电材料,也避免连接过孔202直径过大而导致第一像素电极311的不平整部分面积过大。在本公开的一种实施方式中,连接过孔202的直径为0.20~0.25微米。
如图1和图3所示,像素电极层可以包括多个第一像素电极311,各个第一像素电极311可以与各个第一反射电极131一一对应地电连接。在显示区A,第一像素电极311可以作为发光器件的电极。可选地,各个第一像素电极311的尺寸和图案完全相同,如此,可以保证在刻蚀形成各个第一像素电极311时的刻蚀均一性,提高第一像素电极311的刻蚀精准度。
可选地,像素电极层可以包括一层或者多层金属层。在本公开的一种实施方式中,像素电极层包括依次层叠于透明绝缘层200远离驱动电路层 110的表面的第一钛金属层、第一铝金属层、第二钛金属层和钼金属层;其中,第一钛金属层的厚度为80~120埃,第一铝金属层的厚度为400~500 埃,第二钛金属层的厚度为40~60埃,钼金属层的厚度为40~60埃。
可选地,如图3所示,可以尽量减小相邻的第一像素电极311之间的间距d3,以提高各个第一像素电极311的覆盖面积和各个第一像素电极 311的面积,尤其是提高显示区A中第一像素电极311的面积;如此可以提高发光器件的发光面积,进而提高显示面板的发光亮度,制备出高亮度显示面板。优选地,相邻两个第一像素电极311之间的间距d3为0.6~1.0微米。
在本公开的一种实施方式中,可以在面板厂制备像素电极层。可选地,可以通过如下方法制备像素电极层:在透明绝缘层200远离衬底基板的表面形成像素电极材料层,像素电极材料层覆盖各个连接过孔202以与各个第一反射电极131电连接;对像素电极材料层进行图案化操作,以形成像素电极层。其中,各个连接过孔202在像素电极层上的正投影,位于各自对应的第一像素电极311内。如此,第一像素电极311通过对应的连接过孔202与第一反射电极131电连接,无需专门制作连接第一反射电极131 和第一像素电极311的金属构件,可以简化显示面板的制备工序,降低制备成本。
进一步地,为了提高像素电极层的制备精度,进而减小第一像素电极 311之间的间距,可以通过如下方法制备像素电极层:
如图6所示,在透明绝缘层200远离驱动电路层110的一侧依次形成抗反射层3101和第一光刻胶层3102。
然后,如图7所示,对抗反射层3101和第一光刻胶层3102进行曝光和显影,以去除待形成像素电极层处的抗反射层3101和第一光刻胶层 3102,例如去除第一像素电极311对应位置处的抗反射层3101和第一光刻胶层3102;换言之,残留的抗反射层3101和第一光刻胶层3102在反射电极层上的正投影,可以与像素电极层在反射电极层上的正投影互补。
再然后,如图8所示,在抗反射层3101和第一光刻胶层3102远离驱动电路层110的一侧沉积导电材料,形成像素电极材料层3103;部分导电材料沉积于残留的第一光刻胶层3102远离驱动电路层110的表面,部分导电材料沉积于残留的抗反射层3101和第一光刻胶层3102之间的间隙中。
再然后,如图9所示,剥离第一光刻胶层3102,实现剥离沉积于残留的第一光刻胶层3102上的导电材料,实现对像素电极材料层3103的图案化操作,获得像素电极层。
再然后,如图10所示,在残留的抗反射层3101和像素电极层远离驱动电路层110的一侧形成第二光刻胶层3104;
再然后,如图11所示,对第二光刻胶层3104和残留的抗反射层3101 进行曝光和显影,以去除绑定区D以外的第二光刻胶层3104和残留的抗反射层3101。如此,在曝光和显影后,绑定区D的第二反射电极132被抗反射层3101和第二光刻胶层3104覆盖和保护,显示区A的抗反射层 3101、第一光刻胶层3102和第二光刻胶层3104被去除。
如此,在制备像素电极层时,先形成抗反射层3101再形成第一光刻胶层3102,抗反射层3101可以减少曝光时光线的反射,进而提高曝光的精度,达成提高像素电极层的制备精度的目的。像素电极层的制备精度提高,便于减小第一像素电极311之间的间距。
连接过孔202在像素电极层上的正投影,位于对应的第一像素电极 311内;连接过孔202在像素电极层上的正投影的任意一点,与对应的第一像素电极331的边缘的任意一点之间的距离的最小值,不小于第一阈值 N。即,连接过孔202在像素电极层上的正投影与第一像素电极的边缘之间的间距不小于第一阈值N。换言之,任意一个第一像素电极311内可以包括一封闭的限定区域,该限定区域的边缘的任意一点与第一像素电极 311的边缘的任意一点之间的距离的最小值均为第一阈值N;连接过孔202 在第一像素电极311上的正投影,完全位于该第一像素电极311的限定区域内。
可选地,连接过孔202在述像素电极层上的正投影的任意一点,与对应的所述第一像素电极的边缘的任意一点之间的距离的最小值,等于第一阈值。即,连接过孔202在像素电极层上的正投影,位于对应的第一像素电极311内,且与对应的第一像素电极311的边缘的间距d1等于第一阈值N。
进一步地,第一像素电极311至少存在相邻的第一边缘和第二边缘;连接过孔202在像素电极层上的正投影的任意一点,与对应的第一像素电极311的第一边缘的任意一点之间的距离的最小值,等于第一阈值N;且连接过孔202在像素电极层上的正投影的任意一点,与对应的第一像素电极311的第二边缘的任意一点之间的距离的最小值,等于第一阈值N。即,第一像素电极311至少存在相邻的第一边缘和第二边缘,连接过孔202在像素电极层上的正投影与第一边缘的间距为第一阈值N,连接过孔202在像素电极层上的正投影与二边缘的间距为第一阈值N。即,参见图4,图 4中的间距d1可以等于第一阈值N。如此,可以使得连接过孔202在第一像素电极311上的正投影尽量靠近第一像素电极311的边缘,使得第一像素电极311的不平整表面尽量靠近第一像素电极311的边缘,进而降低连接过孔202对发光器件的发光均一性的影响。
在本公开的一种实施方式中,还可以根据第一像素电极的尺寸确定第一阈值N。可选地,第一像素电极311的边缘上的任意一点,与第一像素电极311的中心的距离的最小值,为第三距离;第一阈值N在第三距离的5%~8%范围内。如此,可以使得连接过孔202在第一像素电极311上的正投影尽量靠近第一像素电极311的边缘,实现在保证发光器件的发光效果和提高显示面板的良率之间的平衡。
在本公开的另一种实施方式中,连接过孔202在像素电极层上的正投影的中心,与对应的第一像素电极311的一特定边缘的距离不大于与其他边缘的距离;连接过孔202在像素电极层上的正投影的中心,与该特定边缘的距离为第四距离;特定边缘与第一像素电极311的中心的距离为第五距离;第四距离为第五距离的8%~14%。其中,特定边缘为第一像素电极 311的各个边缘中,与连接过孔202在第一像素电极311上的正投影最近的边缘。如此,可以在降低连接过孔202因刻蚀对准偏移而导致的连接不良的前提下,使得连接过孔202尽量贴近第一像素电极311的边缘,实现在保证发光器件的发光效果和提高显示面板的良率之间的平衡。
在本公开的另一种实施方式中,还可以根据第一像素电极层制备过程中的对准精度来确定第一阈值N。优选地,可以使得第一阈值N为对准精度。如此,在保证连接过孔202中的导电材料不会被刻蚀的前提下,可以使得连接过孔202在第一像素电极311上的正投影尽量靠近第一像素电极 311的边缘,实现在保证发光器件的发光效果和提高显示面板的良率之间的平衡。可选的,第一阈值N为100~300纳米。优选地,第一阈值N为 100~200纳米。
可选地,第一像素电极311所电连接的第一金属连接件151在像素电极层的正投影,位于第一像素电极311内,且与连接过孔202在像素电极层的正投影不完全交叠。如此,可以避免制备第一反射电极131时的对准偏移造成第一反射电极131与第一像素电极311之间的接触不良,确保第一反射电极131能够完全覆盖第一金属连接件151,进而保证第一金属连接件151能够通过第一反射电极131与第一像素电极311电连接;不仅如此,还能够避免第一金属连接件151可能产生的不平整表面对连接过孔 202的影响,提高连接过孔202内的第一像素电极311与第一反射电极131 的结合面的连接强度并降低接触阻。
优选地,连接过孔202在像素电极层上的正投影的任意一点,与对应的第一像素电极311的边缘的任意一点之间的距离的最小值,等于第一距离;第一金属连接件151在像素电极层上的正投影的任意一点,与第一金属连接件151所电连接的第一像素电极311的边缘的任意一点之间的距离的最小值,等于第二距离;第二距离小于第一距离。如此,可以使得第一金属连接件151在像素电极层上的正投影也靠近第一像素电极311的边缘,避免第一金属连接件151在第一像素电极311的中间位置产生不平整表面,进而保证发光器件的发光效果。
优选地,第一金属连接件151在像素电极层上的正投影,位于第一金属连接件151所电连接的第一像素电极311内;第一金属连接件151在像素电极层上的正投影的任意一点,与第一金属连接件151所电连接的第一像素电极311的边缘的任意一点之间的距离的最小值,不大于第二阈值;第二阈值小于第一阈值N。可以理解的是,第二阈值不小于0。如此,可以使得第一金属连接件151在像素电极层上的正投影也靠近第一像素电极 311的边缘,避免第一金属连接件151在第一像素电极311的中间位置产生不平整表面,进而保证发光器件的发光效果。
可选地,如图3所示,第一像素电极311的图案为六边形。优选地,如图4和图5所示,第一像素电极311为中心对称的六边形,第一像素电极311的六个边壁包括相对设置的两个第一边壁3111,以及与两个第一边壁3111连接的四个第二边壁3112,四个第二边壁3112的长度相同。其中,四个第二边壁3112形成相对设置的第一顶角3113和第二顶角3114。进一步优选地,第一像素电极311中,两个第一边壁3111之间的间距为3.8~4.3 微米,第一顶点和第二顶点之间的距离为4.8~5.4微米。
可选地,如图3所示,第一像素电极311的中心在反射电极层上的正投影,与对应的第一反射电极131的中心重合;如此,可以保证各个第一反射电极131的最佳反射效果。进一步的,第一反射电极131为中心对称的六边形,且第一像素电极311的各个边壁,与对应的第一反射电极131 的各个边壁一一对应的平行设置。
优选地,如图3所示,第一像素电极311在反射电极层的正投影,位于对应的第一反射电极131内。进一步地,第一像素电极311在反射电极层的正投影的边缘,与对应的第一反射电极131的边缘之间的间距为 0.2~0.5微米。
可选地,如图12所示,第一像素电极311在驱动电路层上的正投影为中心对称的六边形,彼此相邻的三个第一像素电极311彼此间距相同,使得第一像素电极311呈蜂巢状排布。各个第一像素电极311形成有多个沿行方向M的第一像素电极行。如此,既可以提高第一像素电极的排布密度,还可以借助像素借用算法提高显示面板的显示效果。
可选地,在同一第一像素电极行中,各个连接过孔202在各自对应的第一像素电极311上的正投影位于同一直线,使得各个第一像素电极311 所对应的连接过孔202位于同一直线。一个第一像素电极电311连接的第一金属连接件151在该第一像素电极311上的正投影位置,在第一像素电极行相邻设置的两个第一像素电极311中具有对称关系,例如可以具有轴对称关系或者中心对称关系。举例而言,相互间隔一个第一像素电极311 的的两个第一像素电极311电连接的第一金属连接件151位于沿行方向M 的同一直线;相邻设置的两个第一像素电极311电连接的第一金属连接件 151不位于沿行方向M的同一直线。
在本公开的一种实施方式中,如图12所示,第一像素电极311为中心对称地六边形,且各个第一像素电极311呈蜂巢状排布;各个第一像素电极311形成有多个沿行方向M的第一像素电极行。任意一个第一像素电极311包括相对设置的两个第一边壁3111,以及与两个第一边壁3111 连接的四个第二边壁3112,两个第一边壁3111均垂直于行方向M,且四个第二边壁3112的长度相同。四个第二边壁3112围成相对设置的第一顶角3113和第二顶角3114。连接过孔202在对应的第一像素电极311上的正投影的任意一点,与该第一像素电极311的第一顶角3113的两个第二边壁3112中的任意一个第二边壁3112上的任意一点之间的距离的最小值,均等于所述第一阈值N。换言之,连接过孔202在对应的第一像素电极311 上的正投影与第一顶角3113的两个第二边壁3112之间的间距均为第一阈值N。
优选地,连接过孔202在对应的第一像素电极311上的正投影位置,在第一像素电极行的相邻设置的两个第一像素电极中排布相同。
优选地,一个第一像素电极311电连接的第一金属连接件151在该第一像素电极311上的正投影位置,在第一像素电极行的相邻设置的两个第一像素电极中具有对称关系。优选地,一个第一像素电极311电连接的第一金属连接件151在该第一像素电极311上的正投影位置,在第一像素电极行的相邻设置的两个第一像素电极中具有中心对称的关系。
优选地,第一金属连接件151在像素电极层上的正投影,位于与第一金属连接件151电连接的第一像素电极311内,且与第一顶角3113的顶点或者第二顶角3114的顶点的距离大于与第一像素电极311的其他顶角的顶点的距离。即,第一金属连接件151在像素电极层上的正投影,靠近第一金属连接件151电连接的第一像素电极311的第一顶角3113或者第二顶角3114。
举例而言,在同一第一像素电极行的相邻设置的两个第一像素电极 311中,一个第一像素电极311电连接的第一金属连接件151在该第一像素电极311上的正投影,与该第一像素电极311的第一顶角3113的顶点的距离大于与该第一像素电极311的其他顶角的顶点的距离;另一个第一像素电极311电连接的第一金属连接件151在该第一像素电极311上的正投影,与该第一像素电极311的第二顶角3114的顶点的距离大于与该第一像素电极311的其他顶角的顶点的距离。即,在同一第一像素电极行中,相互间隔一个第一像素电极311的两个第一像素电极311电连接的第一金属连接件151均靠近第一顶角3113设置或者靠近第二顶角3114设置,且相邻设置的两个第一像素电极311电连接的第一金属连接件151分别靠近第一顶角3113和第二顶角3114。如此,可以提高制备反射电极层、透明绝缘层和像素电极层时的工艺稳定性和工艺可行性。
在本公开的一种实施方式中,如图1所示,外围区B还可以包括绑定区D,反射电极层还包括设于绑定区D的第二反射电极132;第二反射电极132与金属布线层120电连接。透明绝缘层200形成有绑定孔201,绑定孔201暴露第二反射电极132的至少部分区域。如此,本公开的反射电极层所包括的第二反射电极132,可以作为显示面板的绑定焊盘作为信号输入和输出通道。可选地,第二反射电极132的图案和尺寸与第一反射电极131的图案和尺寸相同,以提高通过刻蚀形成反射电极层时刻蚀的均一性。
在本公开的一种实施方式中,外围区B可以包括有感测区C,该感测区C内可以形成有感测器件,感测器件用于模拟测试显示区A内的发光器件的工作情况,并根据模拟结果调整对发光器件的驱动,使得发光器件的发光更为精准。反射电极层在感测区C包括多个第一反射电极131,感测区C的第一反射电极131通过第一金属连接件151与金属布线层120 电连接。像素电极层在感测区C包括多个第一像素电极311,感测区C的第一像素电极311通过连接过孔与第一反射电极131电连接。
如此,显示面板在感测区C和显示区A均设置有第一反射电极131、第一像素电极311以及覆盖第一像素电极311的有机发光层320和公共电极层330。第一像素电极311、有机发光层320和公共电极层330在显示区A形成发光器件,在感测区C形成感测器件,发光器件和感测器件均通过第一反射电极131与金属布线层120电连接,如此,可以保证发光器件和感测器件处于相同的电性环境中,使得感测器件的模拟测试结果与发光器件的实际情形更为匹配,提高了感测器件的模拟测试结果的准确性,进而提高对发光器件的调节的准确性。不仅如此,由于反射电极层在感测区C形成第一反射电极131,减少了在反射电极层进行图案化操作时在感测区C的刻蚀量,可以减少刻蚀时间并保证位于显示区A的第一反射电极131的图案的精准程度,使得显示区A的第一反射电极131可以实现更佳的反射效果,提高显示面板的亮度。
在本公开的一种实施方式中,如图1所示,外围区B还可以包括阴极搭接区E;反射电极层还可以包括设于阴极搭接区E的第三反射电极133,第三反射电极133与金属布线层120电连接;第三反射电极133可以与公共电极层330直接或者间接电连接,以便向公共电极层330提供公共电压;该第三反射电极133电连接金属布线层120和公共电极层330,避免了公共电极层330直接与金属布线层120连接时坡度太大、公共电极层330下沉深度过大等问题,可以降低显示面板的制备难度,提高金属布线层120 与公共电极层330之间的电连接的稳定性。可选地,第三反射电极133的图案和尺寸与第一反射电极131的图案和尺寸相同,以提高通过刻蚀形成反射电极层时刻蚀的均一性。
优选地,如图1所示,透明绝缘层200在阴极搭接区E也设置有多个连接过孔202,阴极搭接区E中的各个连接过孔202与各个第三反射电极 133一一对应设置;其中,连接过孔202可以暴露对应的第三反射电极133 的部分区域。像素电极层还可以包括位于阴极搭接区E的多个第二像素电极312,各个第二像素电极312与各个连接过孔202、各个第三反射电极 133一一对应设置,使得任意一个第二像素电极312通过对应的连接过孔 202与对应的第三反射电极133电连接。公共电极层330与各个第二像素电极312电连接,使得公共电极层330通过第二像素电极312、第三反射电极133与金属布线层120电连接。可选地,第二像素电极312的图案和尺寸与第一像素电极311的图案和尺寸相同,以提高通过刻蚀形成像素电极层时刻蚀的均一性。
在本公开的一种实施方式中,如图1所示,外围区B还可以包括位于显示区A和感测区C之间的第一辅助区F,位于感测区C和阴极搭接区E 之间的第二辅助区G,以及位于阴极搭接区E和绑定区D之间的第三辅助区H。反射电极层还可以包括位于第一辅助区F、第二辅助区G和第三辅助区H的第一辅助电极,各个第一辅助电极的图案和尺寸与第一反射电极131的图案和尺寸相同,以保证通过刻蚀形成反射电极层时刻蚀的均一性,提高反射电极层的制备精度。像素电极层还可以包括位于第一辅助区 F、第二辅助区G和第三辅助区H的第二辅助电极,各个第二辅助电极的图案和尺寸与第一像素电极311的图案和尺寸相同,以保证通过刻蚀形成像素电极层时刻蚀的均一性,提高像素电极层的制备精度。
第一辅助电极和第二辅助电极可以一一对应的电连接,也可以互不连接。举例而言,透明绝缘层200在第一辅助区F、第二辅助区G和第三辅助区H中也设置有连接过孔202,这些连接过孔202与各个第一辅助电极、各个第二辅助电极一一对应设置,任意一个第二辅助电极通过对应的连接过孔202与对应的第一辅助电极电连接。如此,反射电极层和像素电极层在各个辅助区的结构与在显示区A和感测区C的相同,可以保证反射电极层和像素电极层制备的均一性。
在本公开的一种实施方式中,如图1所示,发光器件层还可以包括像素定义层340;像素定义层340设于透明绝缘层200远离驱动背板100的表面,且位于第一像素电极311之间的间隙中;像素定义层340在反射电极层的正投影,与第一反射电极131部分重合。由于像素定义层340位于第一像素电极311之间的间隙中,因此像素定义层340不会遮挡第一像素电极311,使得显示面板具有更大的开口率和更高的亮度。像素定义层340 位于第二发射电极之间,以及覆盖部分第一反射电极131的一部分,可以减少相邻的发光器件之间的光线串扰,提高显示面板的对比度。
有机发光层320设于像素电极层远离驱动电路层110的一侧,且覆盖感测区C和显示区A,以保证感测器件和发光器件的电性环境均一,提高感测区C的模拟测试结果的准确性。可选地,可以通过开放式掩膜板(Open Mask)依次蒸镀有机发光层320的各个子膜层的材料,使得各个子膜层均为整体膜层。在本公开的一种实施方式中,有机发光层320可以为白色发光层,使得发光器件可以发出白光。举例而言,有机发光层320可以包括有层叠设置的红色发光材料层、绿色发光材料层和蓝色发光材料层。
公共电极层330设于有机发光层320远离驱动电路层110的表面,其可以采用透明导电材料,例如可以采用镁银合金等材料。在本公开的一种实施方式中,公共电极层330还可以覆盖阴极搭接区E,以便覆盖阴极搭接区E内的第二像素电极312远离驱动电路层110的表面,实现通过第二像素电极312与金属布线层120电连接。
如图1所示,本公开提供的显示面板还可以包括有薄膜封装层(TFE) 410,有薄膜封装层410可以覆盖公共电极层330远离驱动电路层110的一侧并覆盖公共电极层330的侧边,以避免水氧入侵有机发光层320。
在本公开的一种实施方式中,如图1所示,本公开提供的显示面板还可以包括封盖层420(CPL,capping layer),封盖层420设于公共电极层 330远离驱动电路层110的表面,以提高出光效率,进而提高显示面板的亮度。
在本公开的一种实施方式中,如图1所示,本公开提供的显示面板还可以包括有彩膜层430,彩膜单元可以设置于薄膜封装层410远离驱动电路层110的一侧。彩膜层430可以包括不同颜色的彩膜单元,位于显示区 A的各个彩膜单元可以与显示区A的各个第一像素电极311一一对应设置,使得发光器件发出的光线通过对应的彩膜单元出射,出射的光线经过彩膜单元的滤光而呈现彩色。
进一步的,如图1所示,显示面板还可以包括有黑矩阵层440,黑矩阵层440设于薄膜封装层410远离驱动电路层110的一侧,且具有多个透光窗口。位于显示区A的各个透光窗口与显示区A的各个第一像素电极 311一一对应设置,且被位于显示区A的彩膜单元一一对应地覆盖。在感测区C,黑矩阵层440可以不设置透光窗口,使得感测区C的各个感测器件被黑矩阵层440覆盖;如此,即便感测器件发光,所发出的光线也无法出射。
可选地,如图1所示,彩膜层430和黑矩阵层440远离驱动电路层110 的一侧还可以设置有保护层450。优选地,保护层450的材料和结构与薄膜封装层410相同。
如图1所示,本公开提供的显示面板还可以包括盖板460,盖板460 位于显示面板相对于驱动电路层110的另一侧,使得发光器件层等膜层位于盖板460和驱动电路层110之间,以便进一步保护有机发光层320,提高有机发光层320的寿命和稳定性。可选地,盖板460可以为玻璃盖板460。
本公开实施方式还提供一种显示装置,该显示装置包括上述显示面板实施方式所描述的任意一种显示面板。该显示装置可以为AR眼镜、VR 眼镜或者其他类型的显示装置。由于该显示装置具有上述显示面板实施方式所描述的任意一种显示面板,因此具有相同的有益效果,本公开在此不再赘述。
应可理解的是,本公开不将其应用限制到本说明书提出的部件的详细结构和布置方式。本公开能够具有其他实施方式,并且能够以多种方式实现并且执行。前述变形形式和修改形式落在本公开的范围内。应可理解的是,本说明书公开和限定的本公开延伸到文中和/或附图中提到或明显的两个或两个以上单独特征的所有可替代组合。所有这些不同的组合构成本公开的多个可替代方面。本说明书的实施方式说明了已知用于实现本公开的最佳方式,并且将使本领域技术人员能够利用本公开。
Claims (14)
1.一种显示面板,其特征在于,包括:
驱动背板,包括依次层叠设置的驱动电路层、金属布线层、第一绝缘层和反射电极层;所述第一绝缘层具有多个第一过孔,各个所述第一过孔内设置有第一金属连接件;所述反射电极层包括多个第一反射电极,所述第一反射电极各自通过所述第一金属连接件与所述金属布线层电连接;
透明绝缘层,设于所述反射电极层远离所述驱动电路层的一侧;所述透明绝缘层具有与各个所述第一反射电极一一对应的多个连接过孔,任意一个所述连接过孔暴露对应的所述第一反射电极的部分表面;
发光器件层,包括依次层叠设置于所述透明绝缘层远离所述反射电极层的一侧的像素电极层、有机发光层和公共电极层;所述像素电极层包括与多个所述连接过孔一一对应的第一像素电极,所述第一像素电极通过对应的所述连接过孔与对应的所述第一反射电极连接;
其中,所述连接过孔在所述像素电极层上的正投影,位于对应的所述第一像素电极内;所述连接过孔在所述像素电极层上的正投影的任意一点,与对应的所述第一像素电极的边缘的任意一点之间的距离的最小值,不小于第一阈值;所述第一阈值在相邻两个所述第一像素电极的间距的0.13倍~1.3倍之间。
2.根据权利要求1所述的显示面板,其特征在于,所述连接过孔在所述像素电极层上的正投影的任意一点,与对应的所述第一像素电极的边缘的任意一点之间的距离的最小值,等于所述第一阈值。
3.根据权利要求1所述的显示面板,其特征在于,所述第一像素电极至少存在相邻的第一边缘和第二边缘;所述连接过孔在所述像素电极层上的正投影的任意一点,与对应的所述第一像素电极的第一边缘的任意一点之间的距离的最小值,等于所述第一阈值;且所述连接过孔在所述像素电极层上的正投影的任意一点,与对应的所述第一像素电极的第二边缘的任意一点之间的距离的最小值,等于所述第一阈值。
4.根据权利要求1所述的显示面板,其特征在于,所述第一像素电极的边缘上的任意一点,与所述第一像素电极的中心的距离的最小值,为第三距离;
所述第一阈值在所述第三距离的5%~8%范围内。
5.根据权利要求1所述的显示面板,其特征在于,所述第一像素电极所电连接的所述第一金属连接件在所述像素电极层的正投影,位于所述第一像素电极内,且与所述连接过孔在所述像素电极层的正投影不完全交叠。
6.根据权利要求5所述的显示面板,其特征在于,所述连接过孔在所述像素电极层上的正投影的任意一点,与对应的所述第一像素电极的边缘的任意一点之间的距离的最小值,等于第一距离;
所述第一金属连接件在所述像素电极层上的正投影的任意一点,与所述第一金属连接件所电连接的第一像素电极的边缘的任意一点之间的距离的最小值,等于第二距离;
所述第二距离小于所述第一距离。
7.根据权利要求1所述的显示面板,其特征在于,所述第一金属连接件在所述像素电极层上的正投影,位于所述第一金属连接件所电连接的第一像素电极内;所述第一金属连接件在所述像素电极层上的正投影的任意一点,与所述第一金属连接件所电连接的第一像素电极的边缘的任意一点之间的距离的最小值,不大于第二阈值;所述第二阈值小于所述第一阈值。
8.根据权利要求1~7任意一项所述的显示面板,其特征在于,所述第一像素电极在所述驱动电路层上的正投影为中心对称的六边形,且各个所述第一像素电极呈蜂巢状排布;各个所述第一像素电极形成多个沿行方向的第一像素电极行;
所述第一像素电极包括相对设置的两个第一边壁 ,以及与两个所述第一边壁 连接的四个第二边壁 ;两个所述第一边壁均垂直于所述行方向;四个所述第二边壁 围成相对设置的第一顶角和第二顶角;
所述连接过孔在对应的所述第一像素电极上的正投影的任意一点,与该第一像素电极的第一顶角的两个第二边壁中的任意一个所述第二边壁上的任意一点之间的距离的最小值,均等于所述第一阈值。
9.根据权利要求8所述的显示面板,其特征在于,一个所述第一像素电极电连接的所述第一金属连接件在该第一像素电极上的正投影位置,在所述第一像素电极行的相邻设置的两个所述第一像素电极中具有对称关系。
10.根据权利要求9所述的显示面板,其特征在于,所述连接过孔在对应的所述第一像素电极上的正投影位置,在所述第一像素电极行的相邻设置的两个所述第一像素电极中排布相同。
11.根据权利要求1所述的显示面板,其特征在于,所述像素电极层包括依次层叠于所述透明绝缘层远离所述驱动电路层的表面的第一钛金属层、第一铝金属层、第二钛金属层和钼金属层;其中,所述第一钛金属层的厚度为80~120埃,所述第一铝金属层的厚度为400~500埃,所述第二钛金属层的厚度为40~60埃,所述钼金属层的厚度为40~60埃。
12.根据权利要求1所述的显示面板,其特征在于,所述反射电极层包括依次层叠于所述第一绝缘层远离所述金属布线层的表面的第三钛金属层、第二铝金属层和氮化钛层;其中,所述第三钛金属层的厚度为80~120埃,所述第二铝金属层的厚度为700~900埃,所述氮化钛层的厚度可以为80~120埃。
13.根据权利要求1所述的显示面板,其特征在于,所述连接过孔的直径为0.2~0.4微米。
14.一种显示装置,其特征在于,包括权利要求1~13任一项所述的显示面板。
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