CN113793824A - 一种全自动高速硅片插片机 - Google Patents

一种全自动高速硅片插片机 Download PDF

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Abstract

本发明属于硅片生产领域,具体的说是一种全自动高速硅片插片机,包括底座、传送带、支撑壁和扇叶;所述底座的顶面中部设置传送带,所述底座的顶面下料端固接支撑壁,所述支撑壁的底端开设通槽,所述通槽的两侧均开设槽口,所述槽口的内部固接液压杆,所述液压杆的活塞杆固接连接板,所述连接板的顶部靠近液压杆的一面固接螺杆,所述通槽的侧壁中部转动安装螺套,所述螺套的内圈与螺杆的外圈螺纹配合,所述螺套的外圈设置有多个扇叶;通过液压杆推动连接板滑动,带动螺杆滑动,驱动与之螺纹配合的螺套转动,驱动扇叶旋转产生风力,吹过运输的硅片,将硅片表面吸附的灰尘吹除,避免了硅片表面的灰尘影响后续的使用与加工。

Description

一种全自动高速硅片插片机
技术领域
本发明属于硅片生产领域,具体的说是一种全自动高速硅片插片机。
背景技术
硅元素是地壳中储量最丰富的元素之一,是太阳能电池和芯片的主要制作材料,单晶硅是从大自然丰富的硅原料中提纯制造出多晶硅,再通过区熔或直拉法生产出区熔单晶或直拉单晶硅,进一步形成硅片;在硅片生产出来后,需要对硅片进行收集存储,为了提高收集的效率,设计出来硅片插片机。
根据CN201508850U干法硅片自动插片机,通过机架以及安装于机架上的提升机构,其特征在于机架上安装往复进给机构以及皮带传送机构,皮带传送机构包括与动力源连接的主轴,主轴左右两端分别装有从动轮,输送硅片的传输带与所述从动轮及传动轮连接,所述皮带经过将硅片输送入硅片插片盒的导向槽;往复进给机构包括连杆,连杆分别与连杆座、凸轮、下连杆座铰接,凸轮与动力源连接,滑块穿过所述凸轮以及连杆,滑块、凸轮以及连杆通过两个螺母、一个双头螺栓在轴向固定。本实用新型利用皮带传送机构实现硅片的自动插片,插片效率高且破损率低。
现有的硅片插片机并未对硅片的表面进行清理工作,使得生产出来的硅片到存储时,部分硅片的表面会出现灰尘,若不及时清理,则灰尘会吸附在硅片的表面,影响硅片的后续使用。
为此,本发明提供一种全自动高速硅片插片机。
发明内容
为了弥补现有技术的不足,解决生产出来的硅片到存储时,部分硅片的表面会出现灰尘,若不及时清理,则灰尘会吸附在硅片的表面,影响硅片的后续使用的问题,本发明提出的一种全自动高速硅片插片机。
本发明解决其技术问题所采用的技术方案是:本发明所述的一种全自动高速硅片插片机,包括底座、传送带、支撑壁、液压杆、连接板、螺杆、螺套和扇叶;所述底座的顶面中部设置传送带,所述底座的顶面下料端固接支撑壁,所述支撑壁的底端开设通槽,所述通槽的两侧均开设槽口,所述槽口的内部固接液压杆,所述液压杆的活塞杆固接连接板,所述连接板的顶部靠近液压杆的一面固接螺杆,所述通槽的侧壁中部转动安装螺套,所述螺套的内圈与螺杆的外圈螺纹配合,所述螺套的外圈设置有多个扇叶;工作时,生产出来的硅片到存储时,部分硅片的表面会出现灰尘,若不及时清理,则灰尘会吸附在硅片的表面,影响硅片的后续使用;通过本发明的一种全自动高速硅片插片机,硅片通过传送带进行传输,当硅片经过通槽时,液压杆推动连接板滑动,带动螺杆滑动,驱动与之螺纹配合的螺套转动,驱动扇叶旋转产生风力,吹过运输的硅片,将硅片表面吸附的灰尘吹除;通过本发明有效地实现了清除硅片生产完成后到存储之间吸附的灰尘,避免了硅片表面的灰尘影响后续的使用与加工。
优选的,所述连接板的两侧均设置第一滑轨,所述第一滑轨的底面与底座的顶面固接,所述滑轨的顶部滑动安装滑块,所述滑块的侧面与连接板的侧面固接,所述滑块的顶面转动安装多个滚轮,所述滚轮的外圈固接有硅胶软套;工作时,通过液压杆推动连接板滑动,带动滑块沿着第一滑轨滑动,驱动两侧的滚轮靠近传送带,将传送带的硅片推动到传送带的中心位置,避免了硅片的位置发生偏移造成硅片的损坏;通过设置的硅胶软套,降低了滚轮对硅片的冲击力,有效地降低了硅片的损坏。
优选的,所述通槽的侧壁中部开设转槽,所述转槽的内部转动安装轴承,所述轴承的内圈与螺套的外圈转动配合,所述螺套的端头中部开设安装孔,所述安装孔的内部转动安装壳体,所述壳体靠近螺杆的一端通油槽,所述通油槽的横截面为工字状,所述通油槽的中部转动安装橡胶片,所述橡胶片的顶部接触通油槽隔板靠近螺杆的一面,所述橡胶片的底部接触通油槽隔板远离螺杆的一面,所述通油槽的中部固接分隔板,所述分隔板与橡胶片的中部固接,壳体的顶部开设进油孔,所述进油孔的一端连通分隔板的顶部,所述壳体的底部开设出油孔,所述出油孔的一端连通分隔板的底部,所述进油孔的另一端固接进油管,所述进油管贯穿通槽的侧壁,所述出油孔的另一端固接出油管,所述出油管贯穿通槽的侧壁,所述支撑壁的侧面固接润滑油箱,所述进油管连通润滑油箱的顶部,所述出油管连通润滑油箱的底部;工作时,通过螺杆驱动螺套转动,当螺杆靠近传送带时,使得螺杆从螺套内移出,使得螺套内产生负压,驱动橡胶片的顶部转动离开分隔板的表面,将进油孔打开,经过进油管,将润滑油箱内的润滑油抽入螺套内,同时驱动橡胶片的底部挤压分隔板的表面,将出油孔关闭,润滑油对螺套与螺杆的螺纹进行润滑,提高了螺套转动的流畅性;当螺杆远离传送带时,螺杆进入螺套的内部,使得螺套内压力增加,使得橡胶片的顶部转动挤压分隔板的表面,将进油孔关闭,同时驱动橡胶片的底部脱离分隔板的表面,将出油孔打开,使得螺套内的多余润滑油排入润滑油箱内;从而使得螺套内的润滑油始终保持流动状态,避免了润滑油内的杂质增加而影响螺套转动的流畅性,继而进一步提高了扇叶旋转产生的风力。
优选的,所述润滑油箱的内壁中部固接金属网板,所述金属网板位于进油管和出油管之间;通过金属网板对排出的润滑油进行物理过滤,将润滑油中的固体杂质进行过滤,提高了进入螺套内部的润滑油的清洁程度,从而进一步提高了螺套转动的流畅性。
优选的,所述螺套的外圈螺纹安装六角座,所述六角座的侧面螺丝安装扇叶,所述通槽的侧壁中部固接防护环板,所述防护环板的内圈套在扇叶的外圈;通过螺纹安装的六角座,便于工作人员调整扇叶与传送带之间的距离;通过防护环板将扇叶进行隔离保护,避免了扇叶破碎造成碎片的飞溅产生危险。
优选的,所述螺套的内圈的螺纹底部开设多个球槽,所述球槽的内部滑动安装橡胶密封球,所述橡胶密封球的外壁与螺杆的螺纹槽内壁滑动配合;通过设置的橡胶密封球,在不影响螺杆与螺套螺纹配合的状态下,有效地对螺套的内部进行密封,避免了螺套内部的润滑油发生泄漏。
优选的,所述底座的下料端固接电推缸,所述电推缸的顶端固接托板,所述托板的四角均固接限位柱,四角所述限位柱之间滑动安装收纳盒,所述收纳盒的内部开设多个插槽,所述电推缸的两侧均设置第二导轨,所述第二导轨与底座固接,所述第二导轨与托板滑动配合;通过电推缸推动托板沿着第二导轨滑动,带动收纳盒向上移动,配合传送带,将清灰完成的硅片插入插槽内,从而实现了对硅片的收纳工作。
优选的,所述托板的顶面两侧均固接螺柱,另侧所述螺柱之间滑动安装压板,所述压板的底面与收纳盒的顶面接触,所述螺柱的顶部外圈安装螺母,所述螺母的底端与压板的顶面接触;通过螺柱与螺母配合,使得压板压紧收纳盒,避免了收纳盒发生晃动与位移造成硅片发生碰撞损坏。
本发明的有益效果如下:
1.通过液压杆推动连接板滑动,带动螺杆滑动,驱动与之螺纹配合的螺套转动,驱动扇叶旋转产生风力,吹过运输的硅片,将硅片表面吸附的灰尘吹除,避免了硅片表面的灰尘影响后续的使用与加工;同时液压杆推动连接板滑动,带动滑块沿着第一滑轨滑动,驱动两侧的滚轮靠近传送带,将传送带的硅片推动到传送带的中心位置,避免了硅片的位置发生偏移造成硅片的损坏。
2.通过螺杆驱动螺套转动,当螺杆靠近传送带时,使得螺杆从螺套内移出,使得螺套内产生负压,驱动橡胶片的顶部转动将进油孔打开,将润滑油箱内的润滑油抽入螺套内,同时驱动橡胶片的底部转动将出油孔关闭,润滑油对螺套与螺杆的螺纹进行润滑,提高了螺套转动的流畅性;当螺杆远离传送带时,螺杆进入螺套的内部,使得螺套内压力增加,使得橡胶片的顶部转动将进油孔关闭,同时驱动橡胶片的转动将出油孔打开,将螺套内的多余润滑油排入润滑油箱内,使得螺套内的润滑油始终保持流动状态,避免了润滑油内的杂质增加而影响螺套转动的流畅性,进一步提高了扇叶旋转产生的风力。
附图说明
下面结合附图对本发明作进一步说明。
图1为本实施例一的第一立体图;
图2为本实施例一的第二立体图;
图3为本实施例一的主视图;
图4为本实施例一的侧面剖视图;
图5为图1中A处的局部放大图;
图6为图3中B处的局部放大图;
图7为图6中C处的局部放大图;
图8为图6中D处的局部放大图;
图9为实施例二的侧面剖视图;
图10为实施例二的收纳盒的局部剖视图;
图11为图9中E处的局部放大图;
图12为图10中F处的局部放大图。
图中:1、底座;2、传送带;3、支撑壁;4、液压杆;5、连接板;6、螺杆;7、螺套;8、扇叶;9、第一滑轨;10、滑块;11、滚轮;12、转槽;13、轴承;14、安装孔;15、壳体;16、通油槽;17、橡胶片;18、进油孔;19、出油孔;20、进油管;21、出油管;22、润滑油箱;23、金属网板;24、六角座;25、防护环板;26、球槽;27、橡胶密封球;28、电推缸;29、托板;30、限位柱;31、收纳盒;32、第二导轨;33、螺柱;34、压板;35、滑槽;36、挡板;37、弹簧;38、动镶块;39、定镶块;40、磁铁;41、通槽。
具体实施方式
为了使本发明实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解,下面结合具体实施方式,进一步阐述本发明。
实施例一
如图1至图8所示,本发明所述的一种全自动高速硅片插片机,包括底座1、传送带2、支撑壁3、液压杆4、连接板5、螺杆6、螺套7和扇叶8;所述底座1的顶面中部设置传送带2,所述底座1的顶面下料端固接支撑壁3,所述支撑壁3的底端开设通槽41,所述通槽41的两侧均开设槽口,所述槽口的内部固接液压杆4,所述液压杆4的活塞杆固接连接板5,所述连接板5的顶部靠近液压杆4的一面固接螺杆6,所述通槽41的侧壁中部转动安装螺套7,所述螺套7的内圈与螺杆6的外圈螺纹配合,所述螺套7的外圈设置有多个扇叶8;工作时,生产出来的硅片到存储时,部分硅片的表面会出现灰尘,若不及时清理,则灰尘会吸附在硅片的表面,影响硅片的后续使用;通过本发明的一种全自动高速硅片插片机,硅片通过传送带2进行传输,当硅片经过通槽41时,液压杆4推动连接板5滑动,带动螺杆6滑动,驱动与之螺纹配合的螺套7转动,驱动扇叶8旋转产生风力,吹过运输的硅片,将硅片表面吸附的灰尘吹除;通过本发明有效地清除硅片生产完成后到存储之间吸附的灰尘,避免了硅片表面的灰尘影响后续的使用与加工。
所述连接板5的两侧均设置第一滑轨9,所述第一滑轨9的底面与底座1的顶面固接,所述滑轨9的顶部滑动安装滑块10,所述滑块10的侧面与连接板5的侧面固接,所述滑块10的顶面转动安装多个滚轮11,所述滚轮11的外圈固接有硅胶软套;工作时,通过液压杆4推动连接板5滑动,带动滑块10沿着第一滑轨9滑动,驱动两侧的滚轮11靠近传送带2,将传送带2的硅片推动到传送带2的中心位置,避免了硅片的位置发生偏移造成硅片的损坏;通过设置的硅胶软套,降低了滚轮11对硅片的冲击力,有效地降低了硅片的损坏。
所述通槽41的侧壁中部开设转槽12,所述转槽12的内部转动安装轴承13,所述轴承13的内圈与螺套7的外圈转动配合,所述螺套7的端头中部开设安装孔14,所述安装孔14的内部转动安装壳体15,所述壳体15靠近螺杆6的一端通油槽16,所述通油槽16的横截面为工字状,所述通油槽16的中部转动安装橡胶片17,所述橡胶片17的顶部接触通油槽16隔板靠近螺杆6的一面,所述橡胶片17的底部接触通油槽16隔板远离螺杆6的一面,所述通油槽16的中部固接分隔板,所述分隔板与橡胶片17的中部固接,壳体15的顶部开设进油孔18,所述进油孔18的一端连通分隔板的顶部,所述壳体15的底部开设出油孔19,所述出油孔19的一端连通分隔板的底部,所述进油孔18的另一端固接进油管20,所述进油管20贯穿通槽41的侧壁,所述出油孔19的另一端固接出油管21,所述出油管21贯穿通槽41的侧壁,所述支撑壁3的侧面固接润滑油箱22,所述进油管20连通润滑油箱22的顶部,所述出油管21连通润滑油箱22的底部;工作时,通过螺杆6驱动螺套7转动,当螺杆6靠近传送带2时,使得螺杆6从螺套7内移出,使得螺套7内产生负压,驱动橡胶片17的顶部转动离开分隔板的表面,将进油孔18打开,经过进油管20,将润滑油箱22内的润滑油抽入螺套7内,同时驱动橡胶片17的底部挤压分隔板的表面,将出油孔19关闭,润滑油对螺套7与螺杆6的螺纹进行润滑,提高了螺套7转动的流畅性;当螺杆6远离传送带2时,螺杆6进入螺套7的内部,使得螺套7内压力增加,使得橡胶片17的顶部转动挤压分隔板的表面,将进油孔18关闭,同时驱动橡胶片17的底部脱离分隔板的表面,将出油孔19打开,使得螺套7内的多余润滑油排入润滑油箱22内;从而使得螺套7内的润滑油始终保持流动状态,避免了润滑油内的杂质增加而影响螺套7转动的流畅性,继而进一步提高了扇叶8旋转产生的风力。
所述润滑油箱22的内壁中部固接金属网板23,所述金属网板23位于进油管20和出油管21之间;通过金属网板23对排出的润滑油进行物理过滤,将润滑油中的固体杂质进行过滤,提高了进入螺套7内部的润滑油的清洁程度,从而进一步提高了螺套7转动的流畅性。
所述螺套7的外圈螺纹安装六角座24,所述六角座24的侧面螺丝安装扇叶8,所述通槽41的侧壁中部固接防护环板25,所述防护环板25的内圈套在扇叶8的外圈;通过螺纹安装的六角座24,便于工作人员调整扇叶8与传送带2之间的距离;通过防护环板25将扇叶8进行隔离保护,避免了扇叶8破碎造成碎片的飞溅产生危险。
所述螺套7的内圈的螺纹底部开设多个球槽26,所述球槽26的内部滑动安装橡胶密封球27,所述橡胶密封球27的外壁与螺杆6的螺纹槽内壁滑动配合;通过设置的橡胶密封球27,在不影响螺杆6与螺套7螺纹配合的状态下,有效地对螺套7的内部进行密封,避免了螺套7内部的润滑油发生泄漏。
所述底座1的下料端固接电推缸28,所述电推缸28的顶端固接托板29,所述托板29的四角均固接限位柱30,四角所述限位柱30之间滑动安装收纳盒31,所述收纳盒31的内部开设多个插槽,所述电推缸28的两侧均设置第二导轨32,所述第二导轨32与底座1固接,所述第二导轨32与托板29滑动配合;通过电推缸28推动托板29沿着第二导轨32滑动,带动收纳盒31向上移动,配合传送带2,将清灰完成的硅片插入插槽内,从而实现了对硅片的收纳工作。
所述托板29的顶面两侧均固接螺柱33,另侧所述螺柱33之间滑动安装压板34,所述压板34的底面与收纳盒31的顶面接触,所述螺柱33的顶部外圈安装螺母,所述螺母的底端与压板34的顶面接触;通过螺柱33与螺母配合,使得压板34压紧收纳盒31,避免了收纳盒31发生晃动与位移造成硅片发生碰撞损坏。
实施例二
如图9至图12所示,所述收纳盒31的入口两侧均开设滑槽35,两侧所述滑槽35之间滑动安装挡板36,所述滑槽35的底部安装弹簧37,所述挡板36的顶部固接动镶块38,所述底座1的下料端中部固接定镶块39,所述动镶块38与定镶块39接触,所述挡板36的顶面与收纳盒31的入口顶部均镶嵌磁铁40,两侧所述磁铁40相互吸引;收纳盒31抬高时,使得动镶块38受到定镶块39的阻挡,使得挡板36受到阻挡,弹簧37压缩蓄力,将收纳盒31的收纳口打开,使得清灰完成的硅片插入插槽内,当收纳盒31收纳完成后,取下收纳盒31,此时弹簧37复位,将挡板36顶起,使得磁铁40吸合,将收纳盒31进行密封,从而实现了硅片的密封存储。
工作原理:首先,将收纳盒31放置到托板29的顶面,将收纳盒31的收纳口对齐传送带2,使得限位柱30卡住收纳盒31的四角,再将压板34放置到螺柱33的外圈,使得压板34接触收纳盒31的顶面,使用螺母拧到螺柱33的外圈,将压板34压紧固定,使得收纳盒31固定锁紧;
之后,硅片从硅片切片机生产出来落到传送带2的顶面,生产出来的硅片到存储时,部分硅片的表面会出现灰尘,若不及时清理,则灰尘会吸附在硅片的表面,影响硅片的后续使用;硅片经过传送带2进行传输,当硅片经过通槽41时,液压杆4推动连接板5滑动,液压杆4推动连接板5滑动,带动滑块10沿着第一滑轨9滑动,驱动两侧的滚轮11靠近传送带2,将传送带2的硅片推动到传送带2的中心位置;同时,连接板5带动螺杆6滑动,驱动与之螺纹配合的螺套7转动,驱动扇叶8旋转产生风力,吹过运输的硅片,将硅片表面吸附的灰尘吹除,有效地清除硅片生产完成后到存储之间吸附的灰尘,避免了硅片表面的灰尘影响后续的使用与加工;同时,螺杆6从螺套7内移出时,使得螺套7内产生负压,驱动橡胶片17的顶部转动离开分隔板的表面,将进油孔18打开,将润滑油箱22内顶部的润滑油抽入螺套7内,橡胶片17的底部挤压分隔板的表面,将出油孔19关闭,润滑油对螺套7与螺杆6的螺纹进行润滑,提高了螺套7转动的流畅性;当螺杆6远离传送带2时,螺杆6进入螺套7的内部,使得螺套7内压力增加,使得橡胶片17的顶部转动挤压分隔板的表面,将进油孔18关闭,同时驱动橡胶片17的底部脱离分隔板的表面,将出油孔19打开,使得螺套7内的多余润滑油排入润滑油箱22的底部;排入润滑油箱22底部的润滑油,随着润滑油液面的升高,顶部的润滑油经过金属网板23过滤,使得润滑油内的固体杂质过滤在润滑油箱22的底部,使得螺套7内的润滑油始终保持流动状态,避免了润滑油内的杂质增加而影响螺套7转动的流畅性;
最后,电推缸28推动托板29沿着第二导轨32滑动,带动收纳盒31向上移动,配合传送带2,将清灰完成的硅片插入插槽内,实现了对硅片的收纳工作。
上述前、后、左、右、上、下均以说明书附图中的图1为基准,按照人物观察视角为标准,装置面对观察者的一面定义为前,观察者左侧定义为左,依次类推。
在本发明的描述中,需要理解的是,术语“中心”、“纵向”、“横向”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本发明和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本发明保护范围的限制。
以上显示和描述了本发明的基本原理、主要特征和优点。本行业的技术人员应该了解,本发明不受上述实施例的限制,上述实施例和说明书中描述的只是说明本发明的原理,在不脱离本发明精神和范围的前提下,本发明还会有各种变化和改进,这些变化和改进都落入要求保护的本发明范围内。本发明要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。

Claims (10)

1.一种全自动高速硅片插片机,包括底座(1)、传送带(2)、支撑壁(3)、液压杆(4)、连接板(5)、螺杆(6)、螺套(7)和扇叶(8);其特征在于:所述底座(1)的顶面中部设置传送带(2),所述底座(1)的顶面下料端固接支撑壁(3),所述支撑壁(3)的底端开设通槽(41),所述通槽(41)的两侧均开设槽口,所述槽口的内部固接液压杆(4),所述液压杆(4)的活塞杆固接连接板(5),所述连接板(5)的顶部靠近液压杆(4)的一面固接螺杆(6),所述通槽(41)的侧壁中部转动安装螺套(7),所述螺套(7)的内圈与螺杆(6)的外圈螺纹配合,所述螺套(7)的外圈设置有多个扇叶(8)。
2.根据权利要求1所述的一种全自动高速硅片插片机,其特征在于:所述连接板(5)的两侧均设置第一滑轨(9),所述第一滑轨(9)的底面与底座(1)的顶面固接,所述滑轨(9)的顶部滑动安装滑块(10),所述滑块(10)的侧面与连接板(5)的侧面固接,所述滑块(10)的顶面转动安装多个滚轮(11),所述滚轮(11)的外圈固接有硅胶软套。
3.根据权利要求2所述的一种全自动高速硅片插片机,其特征在于:所述通槽(41)的侧壁中部开设转槽(12),所述转槽(12)的内部转动安装轴承(13),所述轴承(13)的内圈与螺套(7)的外圈转动配合,所述螺套(7)的端头中部开设安装孔(14),所述安装孔(14)的内部转动安装壳体(15),所述壳体(15)靠近螺杆(6)的一端通油槽(16),所述通油槽(16)的横截面为工字状,所述通油槽(16)的中部转动安装橡胶片(17),所述橡胶片(17)的顶部接触通油槽(16)隔板靠近螺杆(6)的一面,所述橡胶片(17)的底部接触通油槽(16)隔板远离螺杆(6)的一面,所述通油槽(16)的中部固接分隔板,所述分隔板与橡胶片(17)的中部固接,壳体(15)的顶部开设进油孔(18),所述进油孔(18)的一端连通分隔板的顶部,所述壳体(15)的底部开设出油孔(19),所述出油孔(19)的一端连通分隔板的底部,所述进油孔(18)的另一端固接进油管(20),所述进油管(20)贯穿通槽(41)的侧壁,所述出油孔(19)的另一端固接出油管(21),所述出油管(21)贯穿通槽(41)的侧壁,所述支撑壁(3)的侧面固接润滑油箱(22),所述进油管(20)连通润滑油箱(22)的顶部,所述出油管(21)连通润滑油箱(22)的底部。
4.根据权利要求3所述的一种全自动高速硅片插片机,其特征在于:所述润滑油箱(22)的内壁中部固接金属网板(23),所述金属网板(23)位于进油管(20)和出油管(21)之间。
5.根据权利要求4所述的一种全自动高速硅片插片机,其特征在于:所述螺套(7)的外圈螺纹安装六角座(24),所述六角座(24)的侧面螺丝安装扇叶(8),所述通槽(41)的侧壁中部固接防护环板(25),所述防护环板(25)的内圈套在扇叶(8)的外圈。
6.根据权利要求5所述的一种全自动高速硅片插片机,其特征在于:所述螺套(7)的内圈的螺纹底部开设多个球槽(26),所述球槽(26)的内部滑动安装橡胶密封球(27),所述橡胶密封球(27)的外壁与螺杆(6)的螺纹槽内壁滑动配合。
7.根据权利要求6所述的一种全自动高速硅片插片机,其特征在于:所述底座(1)的下料端固接电推缸(28),所述电推缸(28)的顶端固接托板(29),所述托板(29)的四角均固接限位柱(30),四角所述限位柱(30)之间滑动安装收纳盒(31),所述收纳盒(31)的内部开设多个插槽,所述电推缸(28)的两侧均设置第二导轨(32),所述第二导轨(32)与底座(1)固接,所述第二导轨(32)与托板(29)滑动配合。
8.根据权利要求7所述的一种全自动高速硅片插片机,其特征在于:所述托板(29)的顶面两侧均固接螺柱(33),另侧所述螺柱(33)之间滑动安装压板(34),所述压板(34)的底面与收纳盒(31)的顶面接触,所述螺柱(33)的顶部外圈安装螺母,所述螺母的底端与压板(34)的顶面接触。
9.根据权利要求8所述的一种全自动高速硅片插片机,其特征在于:所述收纳盒(31)的入口两侧均开设滑槽(35),两侧所述滑槽(35)之间滑动安装挡板(36),所述滑槽(35)的底部安装弹簧(37),所述挡板(36)的顶部固接动镶块(38),所述底座(1)的下料端中部固接定镶块(39),所述动镶块(38)与定镶块(39)接触。
10.根据权利要求9所述的一种全自动高速硅片插片机,其特征在于:所述挡板(36)的顶面与收纳盒(31)的入口顶部均镶嵌磁铁(40),两侧所述磁铁(40)相互吸引。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN114538119A (zh) * 2022-02-09 2022-05-27 无锡京运通科技有限公司 用于单晶硅生产的插片机用阻挡结构

Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20090087144A (ko) * 2008-02-12 2009-08-17 주식회사 유 창 클린룸의 벽체구조
CN205863145U (zh) * 2016-06-07 2017-01-04 江苏爱多能源科技有限公司 插片机
CN106711073A (zh) * 2017-03-20 2017-05-24 常州亿晶光电科技有限公司 无损式自清洁硅片插片装置
CN106711069A (zh) * 2017-03-20 2017-05-24 常州亿晶光电科技有限公司 全自动硅片插片机
CN206236697U (zh) * 2016-12-13 2017-06-09 温州海旭科技有限公司 一种全自动硅片插片机
CN206370415U (zh) * 2016-11-12 2017-08-01 杭州弘晟智能科技有限公司 一种全自动插片机
CN111252546A (zh) * 2020-01-15 2020-06-09 张利红 一种用于硅片加工的上料装置
CN211788947U (zh) * 2020-04-13 2020-10-27 金寨嘉悦新能源科技有限公司 一种电池硅片自动除尘装置
CN213227055U (zh) * 2020-07-11 2021-05-18 上海磐盟电子材料有限公司 一种硅片切割用硅片收集装置

Patent Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20090087144A (ko) * 2008-02-12 2009-08-17 주식회사 유 창 클린룸의 벽체구조
CN205863145U (zh) * 2016-06-07 2017-01-04 江苏爱多能源科技有限公司 插片机
CN206370415U (zh) * 2016-11-12 2017-08-01 杭州弘晟智能科技有限公司 一种全自动插片机
CN206236697U (zh) * 2016-12-13 2017-06-09 温州海旭科技有限公司 一种全自动硅片插片机
CN106711073A (zh) * 2017-03-20 2017-05-24 常州亿晶光电科技有限公司 无损式自清洁硅片插片装置
CN106711069A (zh) * 2017-03-20 2017-05-24 常州亿晶光电科技有限公司 全自动硅片插片机
CN111252546A (zh) * 2020-01-15 2020-06-09 张利红 一种用于硅片加工的上料装置
CN211788947U (zh) * 2020-04-13 2020-10-27 金寨嘉悦新能源科技有限公司 一种电池硅片自动除尘装置
CN213227055U (zh) * 2020-07-11 2021-05-18 上海磐盟电子材料有限公司 一种硅片切割用硅片收集装置

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN114538119A (zh) * 2022-02-09 2022-05-27 无锡京运通科技有限公司 用于单晶硅生产的插片机用阻挡结构
CN114538119B (zh) * 2022-02-09 2022-12-13 无锡京运通科技有限公司 用于单晶硅生产的插片机用阻挡结构

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