CN111252546A

CN111252546A - 一种用于硅片加工的上料装置

Info

Publication number: CN111252546A
Application number: CN202010042523.8A
Authority: CN
Inventors: 张利红
Original assignee: Individual
Current assignee: Individual
Priority date: 2020-01-15
Filing date: 2020-01-15
Publication date: 2020-06-09

Abstract

本发明公开了一种用于硅片加工的上料装置，包括基台，所述基台顶部外壁两侧固定有支撑杆，且两个支撑杆顶端固定有同一个顶板，顶板底部外壁开有安装口，安装口相对两侧内壁转动安装有同一个螺杆，螺杆一端传动连接有驱动机构，所述安装口顶部内壁开有导向槽，且导向槽内滑动插接有导向块，导向块底部外壁两侧固定有滑块，两个滑块螺纹套接在螺杆上，且两个滑块底部固定有同一个连接板，所述连接板底部外壁固定有伸缩杆，且伸缩杆的延长杆底端固定有固定板，固定板底部固定有吸附机构，吸附机构顶部外壁与固定板之间固定有多个等距离分布的压缩弹簧。本发明能够避免吸盘与硅片初始接触力度过大，使得挤压作用力降低，提高对硅片的防护能力。

Description

一种用于硅片加工的上料装置

技术领域

本发明涉及硅片上料设备技术领域，尤其涉及一种用于硅片加工的上料装置。

背景技术

硅也是极为常见的一种元素，而硅片则是硅元素经过一系列加工后形成的片状硅物质，其广泛应用在各个领域，而在硅片的生产加工中，需要将硅片从硅片盒内取出进行上料，从而满足后续的生产需求。

经检索，中国专利申请号为CN208000899U的专利，公开了一种硅片加工用上料机构，包括横杆，所述横杆表面设置有导轨，且导轨表面滚动连接有安装板，所述安装板内表壁焊接有夹持板，且夹持板内表壁转动连接有辊轴，所述安装板外表面设置有液压缸，且液压缸通过液压伸缩杆与上料板连接，所述上料板两侧外表壁对称卡接有限位杆，所述上料板上表面两侧对称设置有四个真空泵，且四个真空泵通过真空管分别与上料板下表面的四个真空吸盘连接。上述专利中存在一些不足：在进行硅片吸附工作时容易产生硬性挤压，进而造成硅片破损。

发明内容

本发明的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种用于硅片加工的上料装置。

为了实现上述目的，本发明采用了如下技术方案：

一种用于硅片加工的上料装置，包括基台，所述基台顶部外壁两侧固定有支撑杆，且两个支撑杆顶端固定有同一个顶板，顶板底部外壁开有安装口，安装口相对两侧内壁转动安装有同一个螺杆，螺杆一端传动连接有驱动机构，所述安装口顶部内壁开有导向槽，且导向槽内滑动插接有导向块，导向块底部外壁两侧固定有滑块，两个滑块螺纹套接在螺杆上，且两个滑块底部固定有同一个连接板，所述连接板底部外壁固定有伸缩杆，且伸缩杆的延长杆底端固定有固定板，固定板底部固定有吸附机构，吸附机构顶部外壁与固定板之间固定有多个等距离分布的压缩弹簧，所述吸附机构顶部两侧固定有L板，且两个L板分别活动卡接在固定板两侧外壁上，其中一个L板一侧固定有负压机构，负压机构与吸附机构固定连接。

进一步的，所述驱动机构包括电机，电机的输出轴穿过安装口内壁与螺杆固定连接。

进一步的，所述吸附机构包括真空箱，真空箱底部外壁开有多个等距离分布的气孔，气孔内固定有吸盘。

进一步的，所述负压机构包括固定架和气泵，气泵固定安装在固定架上。

进一步的，所述气泵的进气端固定有连接管，连接管底端与真空箱之间固定连接有同一个波纹管。

进一步的，所述基台底部外壁四个拐角处均固定有支撑腿。

进一步的，所述导向块两端外壁上还固定有插接柱，且插接柱上套接有缓冲弹簧，缓冲弹簧一端与导向块固定连接，导向槽相对两侧内壁开有与插接柱规格相适配的插接柱槽。

本发明的有益效果为：

1.通过伸缩杆的设置能够带动真空箱向下运动直至吸盘与硅片表面贴合，配合气泵将真空箱内空气抽出形成的负压状态，能够使得硅片被吸盘吸附固定，吸盘与硅片接触后压缩弹簧会被逐渐压缩，避免吸盘与硅片初始接触力度过大，使得挤压作用力降低，提高对硅片的防护能力，L板能够与固定板发生上下相对运动，起到导向限位作用。

2.通过滑块的设置能够在电机和螺杆的驱动作用下并配合导向块和导向槽的导向限位作用能够实现吸附机构的横向运动，进而实现硅片的上料转移工作，方便快捷。

3.通过插接柱的设置能够随着导向块同步进行横向运动，当导向块运动至导向槽两端时，插接柱插进插接柱槽内，缓冲弹簧逐渐被压缩，利用缓冲弹簧的反作用力能够对导向块起到防护缓冲作用，避免导向块与导向槽内壁产生硬性挤压，避免结构损坏。

附图说明

图1为本发明提出的一种用于硅片加工的上料装置的实施例1剖视结构示意图；

图2为本发明提出的一种用于硅片加工的上料装置的实施例1局部结构示意图；

图3为本发明提出的一种用于硅片加工的上料装置的实施例2导向块立体结构示意图。

图中：1基台、2支撑杆、3电机、4顶板、5支撑腿、6导向槽、7螺杆、8滑块、9连接板、10导向块、11插接柱、12缓冲弹簧、13伸缩杆、14固定板、15 L板、16压缩弹簧、17真空箱、18吸盘、19固定架、20连接管、21真空泵、22波纹管。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。

所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本专利，而不能理解为对本专利的限制。

实施例1

参照图1和图2，一种用于硅片加工的上料装置，包括基台1，基台1顶部外壁两侧固定有支撑杆2，且两个支撑杆2顶端固定有同一个顶板4，顶板4底部外壁开有安装口，安装口相对两侧内壁转动安装有同一个螺杆7，螺杆7一端传动连接有驱动机构，安装口顶部内壁开有导向槽6，且导向槽6内滑动插接有导向块10，导向块10底部外壁两侧固定有滑块8，两个滑块8螺纹套接在螺杆7上，且两个滑块8底部固定有同一个连接板9，连接板9底部外壁固定有伸缩杆13，且伸缩杆13的延长杆底端固定有固定板14，固定板14底部固定有吸附机构，吸附机构顶部外壁与固定板14之间固定有多个等距离分布的压缩弹簧16，吸附机构顶部两侧固定有L板15，且两个L板15分别活动卡接在固定板14两侧外壁上，其中一个L板15一侧固定有负压机构，负压机构与吸附机构固定连接。

驱动机构包括电机3，电机3的输出轴穿过安装口内壁与螺杆7固定连接，吸附机构包括真空箱17，真空箱17底部外壁开有多个等距离分布的气孔，气孔内固定有吸盘18，负压机构包括固定架19和气泵21，气泵21固定安装在固定架19上，气泵21的进气端固定有连接管20，连接管20底端与真空箱17之间固定连接有同一个波纹管22，基台1底部外壁四个拐角处均固定有支撑腿5。

本实施例工作原理：伸缩杆13能够带动真空箱17向下运动直至吸盘18与硅片表面贴合，配合气泵21将真空箱17内空气抽出形成的负压状态，能够使得硅片被吸盘18吸附固定，吸盘18与硅片接触后压缩弹簧16会被逐渐压缩，避免吸盘18与硅片初始接触力度过大，使得挤压作用力降低，提高对硅片的防护能力，L板15能够与固定板14发生上下相对运动，起到导向限位作用，滑块8能够在电机3和螺杆7的驱动作用下并配合导向块10和导向槽6的导向限位作用能够实现吸附机构的横向运动，进而实现硅片的上料转移工作，方便快捷。

实施例2

参照图3，一种用于硅片加工的上料装置，本实施例与实施例1区别在于，导向块10两端外壁上还固定有插接柱11，且插接柱11上套接有缓冲弹簧12，缓冲弹簧12一端与导向块10固定连接，导向槽6相对两侧内壁开有与插接柱11规格相适配的插接柱槽。

本实施例工作原理：插接柱11能够随着导向块10同步进行横向运动，当导向块10运动至导向槽6两端时，插接柱11插进插接柱槽内，缓冲弹簧12逐渐被压缩，利用缓冲弹簧12的反作用力能够对导向块10起到防护缓冲作用，避免导向块10与导向槽6内壁产生硬性挤压，避免结构损坏。

在本专利的描述中，需要理解的是，术语“同轴”、“底部”、“一端”、“顶部”、“中部”、“另一端”、“上”、“一侧”、“顶部”、“内”、“前部”、“中央”、“两端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本专利的限制。

在本专利中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设置”、“连接”、“固定”、“旋接”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定，对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本专利中的具体含义。

以上所述，仅为本发明较佳的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，根据本发明的技术方案及其发明构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本发明的保护范围之内。

Claims

1.一种用于硅片加工的上料装置，包括基台（1），其特征在于，所述基台（1）顶部外壁两侧固定有支撑杆（2），且两个支撑杆（2）顶端固定有同一个顶板（4），顶板（4）底部外壁开有安装口，安装口相对两侧内壁转动安装有同一个螺杆（7），螺杆（7）一端传动连接有驱动机构，所述安装口顶部内壁开有导向槽（6），且导向槽（6）内滑动插接有导向块（10），导向块（10）底部外壁两侧固定有滑块（8），两个滑块（8）螺纹套接在螺杆（7）上，且两个滑块（8）底部固定有同一个连接板（9），所述连接板（9）底部外壁固定有伸缩杆（13），且伸缩杆（13）的延长杆底端固定有固定板（14），固定板（14）底部固定有吸附机构，吸附机构顶部外壁与固定板（14）之间固定有多个等距离分布的压缩弹簧（16），所述吸附机构顶部两侧固定有L板（15），且两个L板（15）分别活动卡接在固定板（14）两侧外壁上，其中一个L板（15）一侧固定有负压机构，负压机构与吸附机构固定连接。

2.根据权利要求1所述的一种用于硅片加工的上料装置，其特征在于，所述驱动机构包括电机（3），电机（3）的输出轴穿过安装口内壁与螺杆（7）固定连接。

3.根据权利要求1所述的一种用于硅片加工的上料装置，其特征在于，所述吸附机构包括真空箱（17），真空箱（17）底部外壁开有多个等距离分布的气孔，气孔内固定有吸盘（18）。

4.根据权利要求3所述的一种用于硅片加工的上料装置，其特征在于，所述负压机构包括固定架（19）和气泵（21），气泵（21）固定安装在固定架（19）上。

5.根据权利要求4所述的一种用于硅片加工的上料装置，其特征在于，所述气泵（21）的进气端固定有连接管（20），连接管（20）底端与真空箱（17）之间固定连接有同一个波纹管（22）。

6.根据权利要求1-5任一所述的一种用于硅片加工的上料装置，其特征在于，所述基台（1）底部外壁四个拐角处均固定有支撑腿（5）。

7.根据权利要求1所述的一种用于硅片加工的上料装置，其特征在于，所述导向块（10）两端外壁上还固定有插接柱（11），且插接柱（11）上套接有缓冲弹簧（12），缓冲弹簧（12）一端与导向块（10）固定连接，导向槽（6）相对两侧内壁开有与插接柱（11）规格相适配的插接柱槽。