CN220306233U - 一种负压吸附式机械手 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种负压吸附式机械手，包括安装板，还包括用于对晶圆进行吸附固定的第一吸附机构，所述第一吸附机构固定在所述安装板下方。本实用新型通过设置第一吸附机构，使用装置时，将装置安装在工作台上，工作台带动装置移动到晶圆上方，工作台驱动密封垫下降，密封垫下降与晶圆接触，工作台继续下降，密封垫被压缩，密封垫与晶圆之间的间隙逐渐缩小，密封垫压缩到一定程度时，启动电动推杆，电动推杆收缩带动第一活塞板上升，吸附座内的气压逐渐减小，晶圆在负压的作用下被固定在密封垫上，如此实现晶圆的吸附固定，密封垫能够提高装置吸附时的密封性，如此能够实现对晶圆的有效吸附，从而避免晶圆在搬运的过程中发生脱落。
Description
技术领域
本实用新型涉及晶圆搬运技术领域，特别是涉及一种负压吸附式机械手。
背景技术
晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅。高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅。硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆。国内晶圆生产线以8英寸和12英寸为主。晶圆加工时需要使用吸附式机械手将其搬运到加工位置。
专利号(CN212947867U)公开了晶圆片吸盘机构及晶圆片吸附机械手，该晶圆片吸盘机构及晶圆片吸附机械手采用特殊设计的吸盘，在进行下压吸附晶圆片时，不会造成晶圆片损坏，从而保证了晶圆片的质量，同时能够保证晶圆片与吸盘处于同一圆心，从而保证后续腐蚀精度。
晶圆在加工时可能会出现翘曲的情况，上述机械手难以对翘曲的晶圆进行有效吸附，从而导致晶圆在搬运过程中很容易脱落，需要加以改进。
实用新型内容
本实用新型的目的就在于为了解决上述问题而提供一种负压吸附式机械手。
本实用新型通过以下技术方案来实现上述目的：
一种负压吸附式机械手，包括安装板，还包括用于对晶圆进行吸附固定的第一吸附机构，所述第一吸附机构固定在所述安装板下方；
所述第一吸附机构包括固定架、电动推杆、第一固定箱、第一活塞板、第一输气管、吸附组件，所述电动推杆安装在所述固定架上，所述第一固定箱安装在所述固定架下方，所述第一活塞板设置在所述第一固定箱内部，所述第一输气管安装在所述第一固定箱下方，所述吸附组件安装在所述第一输气管下端，所述吸附组件包括吸附座、过滤网、密封垫，所述过滤网安装在所述吸附座内部，所述密封垫安装在所述吸附座下方。
优选的，第二吸附机构安装在所述第一吸附机构两侧，所述第二吸附机构包括第二输气管、第二固定箱、伸缩组件、吸盘，所述第二固定箱安装在所述第二输气管一端，所述伸缩组件安装在所述第二固定箱上，所述吸盘安装在所述伸缩组件上。
优选的，所述伸缩组件包括弹簧、连接杆、第二活塞板、安装盘，所述连接杆设置在所述弹簧内侧，所述第二活塞板固定在所述连接杆上方，所述安装盘固定在所述连接杆下方。
优选的，所述第一固定箱与所述固定架焊接，所述第一输气管的材质为不锈钢。
优选的，所述密封垫与所述吸附座粘接，所述密封垫的材质为橡胶。
优选的，所述弹簧与所述第二固定箱焊接，所述弹簧的材质为高碳钢。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：
通过设置第一吸附机构，使用装置时，将装置安装在工作台上，工作台带动装置移动到晶圆上方，工作台驱动密封垫下降，密封垫下降与晶圆接触，工作台继续下降，密封垫被压缩，密封垫与晶圆之间的间隙逐渐缩小，密封垫压缩到一定程度时，启动电动推杆，电动推杆收缩带动第一活塞板上升，吸附座内的气压逐渐减小，晶圆在负压的作用下被固定在密封垫上，如此实现晶圆的吸附固定，密封垫能够提高装置吸附时的密封性，如此能够实现对晶圆的有效吸附，从而避免晶圆在搬运的过程中发生脱落。
附图说明
为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1是本实用新型所述一种负压吸附式机械手的结构示意图；
图2是本实用新型所述一种负压吸附式机械手的剖视图；
图3是本实用新型所述一种负压吸附式机械手的主视内部结构示意图；
图4是本实用新型所述一种负压吸附式机械手中吸附座的放大主视内部结构示意图；
图5是本实用新型所述一种负压吸附式机械手中过滤网的放大结构示意图。
附图标记说明如下：
1、安装板；2、第一吸附机构；201、固定架；202、电动推杆；203、第一固定箱；204、第一活塞板；205、第一输气管；206、吸附座；207、过滤网；208、把手；209、密封垫；3、第二吸附机构；301、第二输气管；302、第二固定箱；303、弹簧；304、连接杆；305、第二活塞板；306、安装盘；307、吸盘。
具体实施方式
在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”等的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。
在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以通过具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
下面结合附图对本实用新型作进一步说明：
如图1-图5所示，一种负压吸附式机械手，包括安装板1，还包括用于对晶圆进行吸附固定的第一吸附机构2，第一吸附机构2固定在安装板1下方。
在本实用新型中，第一吸附机构2包括固定架201、电动推杆202、第一固定箱203、第一活塞板204、第一输气管205、吸附座206、过滤网207、把手208、密封垫209，电动推杆202安装在固定架201上，第一固定箱203安装在固定架201下方，第一活塞板204设置在第一固定箱203内部，第一输气管205安装在第一固定箱203下方，吸附座206固定在第一输气管205下端，过滤网207安装在吸附座206内部，把手208固定在过滤网207下方，密封垫209安装在吸附座206下方；第一固定箱203与固定架201焊接，第一输气管205的材质为不锈钢，密封垫209与吸附座206粘接，密封垫209的材质为橡胶；使用装置时，将装置安装在工作台上，工作台带动装置移动到晶圆上方，工作台驱动密封垫209下降，密封垫209下降与晶圆接触，工作台继续下降，密封垫209被压缩，密封垫209与晶圆之间的间隙逐渐缩小，密封垫209压缩到一定程度时，启动电动推杆202，电动推杆202收缩带动第一活塞板204上升，吸附座206内的气压逐渐减小，晶圆在负压的作用下被固定在密封垫209上，如此实现晶圆的吸附固定，密封垫209能够提高装置吸附时的密封性，如此能够实现对晶圆的有效吸附，从而避免晶圆在搬运的过程中发生脱落。
在本实用新型中，第二吸附机构3安装在第一吸附机构2两侧，第二吸附机构3包括第二输气管301、第二固定箱302、弹簧303、连接杆304、第二活塞板305、安装盘306、吸盘307，第二固定箱302安装在第二输气管301一端，弹簧303安装在第二固定箱302内部，连接杆304设置在弹簧303内侧，第二活塞板305固定在连接杆304上方，安装盘306固定在连接杆304下方，吸盘307固定在安装盘306下方；弹簧303与第二固定箱302焊接，弹簧303的材质为高碳钢；第一活塞板204上升时，第二固定箱302内的气压增大，第二活塞板305在气压的作用下下降，弹簧303被压缩，第二活塞板305通过连接杆304和安装盘306带动吸盘307下降，吸盘307下降与晶圆接触，吸盘307继续下降，吸盘307内的空气被挤出，晶圆在负压的作用下固定在吸盘307上，如此实现晶圆的二次固定，有效提高了晶圆在搬运过程中的稳定性。
上述结构中：使用装置时，将装置安装在工作台上，工作台带动装置移动到晶圆上方，工作台驱动密封垫209下降，密封垫209下降与晶圆接触，工作台继续下降，密封垫209被压缩，密封垫209与晶圆之间的间隙逐渐缩小，密封垫209压缩到一定程度时，启动电动推杆202，电动推杆202收缩带动第一活塞板204上升，吸附座206内的气压逐渐减小，晶圆在负压的作用下被固定在密封垫209上，第一活塞板204上升时，第二固定箱302内的气压增大，第二活塞板305在气压的作用下下降，弹簧303被压缩，第二活塞板305通过连接杆304和安装盘306带动吸盘307下降，吸盘307下降与晶圆接触，吸盘307继续下降，吸盘307内的空气被挤出，晶圆在负压的作用下固定在吸盘307上，如此实现晶圆的二次固定。
以上显示和描述了本实用新型的基本原理、主要特征和优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。
Claims (6)
1.一种负压吸附式机械手，包括安装板(1)，其特征在于：还包括用于对晶圆进行吸附固定的第一吸附机构(2)，所述第一吸附机构(2)固定在所述安装板(1)下方；
所述第一吸附机构(2)包括固定架(201)、电动推杆(202)、第一固定箱(203)、第一活塞板(204)、第一输气管(205)、吸附组件，所述电动推杆(202)安装在所述固定架(201)上，所述第一固定箱(203)安装在所述固定架(201)下方，所述第一活塞板(204)设置在所述第一固定箱(203)内部，所述第一输气管(205)安装在所述第一固定箱(203)下方，所述吸附组件安装在所述第一输气管(205)下端，所述吸附组件包括吸附座(206)、过滤网(207)、密封垫(209)，所述过滤网(207)安装在所述吸附座(206)内部，所述密封垫(209)安装在所述吸附座(206)下方。
2.根据权利要求1所述的一种负压吸附式机械手，其特征在于：第二吸附机构(3)安装在所述第一吸附机构(2)两侧，所述第二吸附机构(3)包括第二输气管(301)、第二固定箱(302)、伸缩组件、吸盘(307)，所述第二固定箱(302)安装在所述第二输气管(301)一端，所述伸缩组件安装在所述第二固定箱(302)上，所述吸盘(307)安装在所述伸缩组件上。
3.根据权利要求2所述的一种负压吸附式机械手，其特征在于：所述伸缩组件包括弹簧(303)、连接杆(304)、第二活塞板(305)、安装盘(306)，所述连接杆(304)设置在所述弹簧(303)内侧，所述第二活塞板(305)固定在所述连接杆(304)上方，所述安装盘(306)固定在所述连接杆(304)下方。
4.根据权利要求1所述的一种负压吸附式机械手，其特征在于：所述第一固定箱(203)与所述固定架(201)焊接，所述第一输气管(205)的材质为不锈钢。
5.根据权利要求1所述的一种负压吸附式机械手，其特征在于：所述密封垫(209)与所述吸附座(206)粘接，所述密封垫(209)的材质为橡胶。
6.根据权利要求3所述的一种负压吸附式机械手，其特征在于：所述弹簧(303)与所述第二固定箱(302)焊接，所述弹簧(303)的材质为高碳钢。
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| CN202321469612.6U CN220306233U (zh) | 2023-06-09 | 2023-06-09 | 一种负压吸附式机械手 |
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Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN117832150A (zh) * | 2024-03-01 | 2024-04-05 | 山东瑞翼德科技股份有限公司 | 一种晶圆吸附装置及晶圆加工机 |
| CN117832150B (zh) * | 2024-03-01 | 2024-05-31 | 山东瑞翼德科技股份有限公司 | 一种晶圆吸附装置及晶圆加工机 |
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2023
- 2023-06-09 CN CN202321469612.6U patent/CN220306233U/zh active Active
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