CN219958958U - 一种晶圆取放机构 - Google Patents
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Abstract
本实用新型属于晶圆取放技术领域，具体为一种晶圆取放机构，包括将本机构与机械臂或其它转运设备进行连接的支撑组件，所述支撑组件前方设置有稳定吸附晶圆的吸附组件，所述支撑组件上设置有根据转运需要对所述吸附组件的提放角度进行调节的调节组件。本实用新型便于在内部吸盘初步吸附连接待转运晶圆后，继续通过下侧开口更大的外部吸盘与晶圆吸附连接，从而通过提高本机构与晶圆接触面积的方式，对本机构与晶圆的吸附连接效果进行提升，避免晶圆转运时掉落；便于通过调节组件调节外部吸盘、内部吸盘下端开口朝向，从而改变本机构的晶圆提放角度。
Description
技术领域
本实用新型属于晶圆取放技术领域，具体是涉及一种晶圆取放机构。
背景技术
晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆。在集成电路制造过程中，很多工序都会涉及到晶圆的转运输送，由于晶圆正面有图形，为了避免对晶圆正面图形造成损伤，采用晶圆背面接触的真空吸附方式是目前较为普遍的做法。
授权公开号为CN214625010U的中国专利文件公开了一种晶圆取放装置，其通过弯折设置且弯折的角度可调的承载管组件吸附晶圆，实现晶圆多方位多角度的取放。
但在现有技术中，取放装置的吸附点与晶圆的接触面积较小，晶圆翘曲或变形导致吸附不牢时，晶圆在转运过程中存在掉落的风险，为此，提出一种晶圆取放机构。
实用新型内容
本实用新型的目的就在于提供一种晶圆取放机构。
本实用新型所采用的技术方案如下：
一种晶圆取放机构，包括将本机构与机械臂或其它转运设备进行连接的支撑组件，所述支撑组件前方设置有稳定吸附晶圆的吸附组件，所述支撑组件上设置有根据转运需要对所述吸附组件的提放角度进行调节的调节组件；
所述吸附组件包括对晶圆进行吸附的接触件，对所述接触件进行同步抽真空的连接件，以及通过所述连接件对所述接触件抽真空的抽吸件。
优选地：所述接触件包括固定连接在所述支撑组件前端的外部吸盘，所述外部吸盘内固定连接有中间管，所述中间管下端固定连接有内部吸盘。
优选地：所述连接件包括分别固定连接在所述外部吸盘后端、所述中间管上端的连接管，所述连接管后方固定连接有三通管。
优选地：所述抽吸件包括固定安装在所述支撑组件内的真空泵，所述真空泵进气端与所述三通管之间设置有抽吸管。
优选地：所述外部吸盘、所述内部吸盘的下端均由软质弹性材料制成。
优选地：所述外部吸盘为平底式吸盘，所述内部吸盘为风琴式吸盘。
优选地：所述内部吸盘下侧面的高度低于所述外部吸盘下侧面的高度。
本实用新型的有益效果为：便于在内部吸盘初步吸附连接待转运晶圆后，继续通过下侧开口更大的外部吸盘与晶圆吸附连接，从而通过提高本机构与晶圆接触面积的方式，对本机构与晶圆的吸附连接效果进行提升，避免晶圆转运时掉落；便于通过调节组件调节外部吸盘、内部吸盘下端开口朝向，从而改变本机构的晶圆提放角度。
附图说明
附图是用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与下面的具体实施方式一起用于解释本实用新型，但并不构成对本实用新型的限制。在附图中：
图1是本实用新型所述一种晶圆取放机构的等轴测结构示意图；
图2是本实用新型所述一种晶圆取放机构的右视结构示意图；
图3是本实用新型所述一种晶圆取放机构的吸附组件结构示意图；
图4是图3的部分零部件剖视结构示意图。
附图标记说明如下：
1、支撑组件；101、机架；102、支架；2、吸附组件；201、外部吸盘；202、中间管；203、内部吸盘；204、连接管；205、三通管；206、真空泵；207、抽吸管；3、调节组件；301、液压缸；302、第一接头；303、第二接头。
具体实施方式
在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”等的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。
在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以通过具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
下面通过实施例结合附图进一步说明本实用新型。
如图1-图4所示，一种晶圆取放机构，包括将本机构与机械臂或其它转运设备进行连接的支撑组件1，支撑组件1前方设置有稳定吸附晶圆的吸附组件2，支撑组件1上设置有根据转运需要对吸附组件2的提放角度进行调节的调节组件3。
本实施例中：支撑组件1包括机架101，机架101前方活动连接有支架102；机架101与支架102转动连接；通过机架101将本机构与机械臂或其它转运设备进行连接，通过支架102安装吸附组件2与晶圆接触的主要零部件。
本实施例中：吸附组件2包括对晶圆进行吸附的接触件，对接触件进行同步抽真空的连接件，以及通过连接件对接触件抽真空的抽吸件，接触件包括固定连接在支撑组件1前端的外部吸盘201，外部吸盘201内固定连接有中间管202，中间管202下端固定连接有内部吸盘203，连接件包括分别固定连接在外部吸盘201后端、中间管202上端的连接管204，连接管204后方固定连接有三通管205，抽吸件包括固定安装在支撑组件1内的真空泵206，真空泵206进气端与三通管205之间设置有抽吸管207；外部吸盘201、内部吸盘203的下端均由软质弹性材料制成，外部吸盘201为平底式吸盘，内部吸盘203为风琴式吸盘，内部吸盘203下侧面的高度低于外部吸盘201下侧面的高度；当真空泵206工作后，能够通过抽吸管207、三通管205、连接管204分别抽吸外部吸盘201、内部吸盘203下端开口附近的空气，使外部吸盘201、内部吸盘203下端开口形成负压，从而在接触晶圆后对晶圆进行吸附，中间管202能够将内部吸盘203固定在外部吸盘201内，使内部吸盘203跟随外部吸盘201移动。
本实施例中：调节组件3包括活动连接在机架101前方的液压缸301，支架102上固定连接有第一接头302，液压缸301伸缩端与第一接头302之间设置有第二接头303；机架101与液压缸301转动连接，第一接头302与第二接头303转动连接；通过改变液压缸301伸缩端的长度使支架102相对于机架101转动，从而对外部吸盘201、内部吸盘203下端开口的朝向进行调节。
工作原理：本机构安装完成用于取放晶圆时，将本机构与机械臂或其它转运设备进行连接，之后通过机械臂或转运设备将本机构移动至晶圆转运的起始位置，并使外部吸盘201、内部吸盘203下端开口正对待转运晶圆且与晶圆保持一定距离，之后在真空泵206工作的同时通过机械臂或其它转运设备带动外部吸盘201、内部吸盘203贴向晶圆，在内部吸盘203率先与晶圆接触对其进行吸附完成本机构与晶圆的初步吸附连接后，下端开口更大的外部吸盘201在接触到晶圆后能够完成本机构对晶圆的二次吸附连接，从而增大本机构与晶圆的接触面积，提高本机构对晶圆的吸附效果；在吸附连接完成向目标位置转运晶圆时，可根据转运需要，通过液压缸301驱动支架102相对于机架101转动，对外部吸盘201、内部吸盘203下端开口朝向进行调节，从而改变本机构的提放角度。
以上结合附图对本实用新型的优选实施方式做了详细说明，但本实用新型并不限于上述实施方式，在所属技术领域技术人员所具备的知识范围内，还可以在不脱离本实用新型宗旨的前提下作出各种变化。
Claims (7)
1.一种晶圆取放机构，其特征在于：包括将本机构与机械臂或其它转运设备进行连接的支撑组件(1)，所述支撑组件(1)前方设置有稳定吸附晶圆的吸附组件(2)，所述支撑组件(1)上设置有根据转运需要对所述吸附组件(2)的提放角度进行调节的调节组件(3)；
所述吸附组件(2)包括对晶圆进行吸附的接触件，对所述接触件进行同步抽真空的连接件，以及通过所述连接件对所述接触件抽真空的抽吸件。
2.根据权利要求1所述的一种晶圆取放机构，其特征在于：所述接触件包括固定连接在所述支撑组件(1)前端的外部吸盘(201)，所述外部吸盘(201)内固定连接有中间管(202)，所述中间管(202)下端固定连接有内部吸盘(203)。
3.根据权利要求2所述的一种晶圆取放机构，其特征在于：所述连接件包括分别固定连接在所述外部吸盘(201)后端、所述中间管(202)上端的连接管(204)，所述连接管(204)后方固定连接有三通管(205)。
4.根据权利要求3所述的一种晶圆取放机构，其特征在于：所述抽吸件包括固定安装在所述支撑组件(1)内的真空泵(206)，所述真空泵(206)进气端与所述三通管(205)之间设置有抽吸管(207)。
5.根据权利要求2所述的一种晶圆取放机构，其特征在于：所述外部吸盘(201)、所述内部吸盘(203)的下端均由软质弹性材料制成。
6.根据权利要求5所述的一种晶圆取放机构，其特征在于：所述外部吸盘(201)为平底式吸盘，所述内部吸盘(203)为风琴式吸盘。
7.根据权利要求6所述的一种晶圆取放机构，其特征在于：所述内部吸盘(203)下侧面的高度低于所述外部吸盘(201)下侧面的高度。
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