CN113702401B - 玻璃边部缺陷的检测方法 - Google Patents
玻璃边部缺陷的检测方法 Download PDFInfo
- Publication number
- CN113702401B CN113702401B CN202110945125.1A CN202110945125A CN113702401B CN 113702401 B CN113702401 B CN 113702401B CN 202110945125 A CN202110945125 A CN 202110945125A CN 113702401 B CN113702401 B CN 113702401B
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- glass
- stacking column
- light
- spacer
- glass stacking
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 239000011521 glass Substances 0.000 title claims abstract description 173
- 230000007547 defect Effects 0.000 title claims abstract description 39
- 238000001514 detection method Methods 0.000 title description 24
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 claims abstract description 34
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 16
- 230000002950 deficient Effects 0.000 claims abstract description 8
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims abstract description 4
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 claims description 3
- 229910052736 halogen Inorganic materials 0.000 description 11
- 150000002367 halogens Chemical class 0.000 description 11
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 3
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 description 1
- 238000005299 abrasion Methods 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 1
- 230000004313 glare Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 229920001296 polysiloxane Polymers 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 238000012797 qualification Methods 0.000 description 1
- 239000007779 soft material Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
- G01N21/958—Inspecting transparent materials or objects, e.g. windscreens
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/01—Arrangements or apparatus for facilitating the optical investigation
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/01—Arrangements or apparatus for facilitating the optical investigation
- G01N2021/0106—General arrangement of respective parts
- G01N2021/0112—Apparatus in one mechanical, optical or electronic block
Abstract
本公开涉及一种玻璃边部缺陷的检测方法，包括以下步骤：将玻璃平行摆放，相邻两个所述玻璃采用间隔件间隔，形成玻璃堆叠柱；将所述玻璃堆叠柱运至暗室，将光照射入所述玻璃堆叠柱的一侧且穿过所述玻璃堆叠柱；从所述玻璃堆叠柱远离所述光的照射端的一侧观察所述玻璃堆叠柱，确定是否有缺陷，若有缺陷，则根据所述玻璃堆叠柱确定具有缺陷的玻璃的位置，若无缺陷，则检测合格。本玻璃边部缺陷的检测方法能够有效对玻璃边部缺陷检测，不会漏掉小尺寸缺陷，提高了产品品质，操作非常方便。
Description
技术领域
本公开涉及玻璃检测技术领域，具体地，涉及一种玻璃边部缺陷的检测方法。
背景技术
玻璃在加工过程中需要进行切割、研磨，当生产线异常时易出现切割掉片、微裂纹、欠磨、烧边等边部缺陷，需要对此类缺陷进行检测。
目前采用人工肉眼直接检测，但是由于此类缺陷尺寸较小，不易发现，容易出现漏检现象，导致产品品质问题。
发明内容
本公开的目的是提供一种玻璃边部缺陷的检测方法，能够有效对玻璃边部缺陷检测，不会漏掉小尺寸缺陷，提高了产品品质，操作非常方便。
为了实现上述目的，本公开提供一种玻璃边部缺陷的检测方法，包括以下步骤：
S1、将玻璃平行摆放，相邻两个所述玻璃采用间隔件间隔，形成玻璃堆叠柱；
S2、将步骤S1得到的所述玻璃堆叠柱运至暗室，将光照射入所述玻璃堆叠柱的一侧且穿过所述玻璃堆叠柱；
S3、从所述玻璃堆叠柱远离所述光的照射端的一侧观察所述玻璃堆叠柱，确定是否有缺陷，若有缺陷，则根据所述玻璃堆叠柱确定具有缺陷的玻璃的位置，若无缺陷，则检测合格。
可选地，在步骤S1中，所述玻璃平行摆放为玻璃水平放置，且沿竖直方向堆叠放置。
可选地，在步骤S1中，所述间隔件为间隔纸或间隔橡胶板。
可选地，所述间隔件的边缘延伸出对应的相邻两个所述玻璃，延伸长度为1-20mm。
可选地，在步骤S1中，相邻两个所述玻璃之间的间隔距离为1-5mm。
可选地，在步骤S1中，所述玻璃堆叠柱的高度大于100mm。
可选地，在步骤S2中，所述光的照射方向与所述玻璃堆叠柱的一侧垂直设置。
可选地，在步骤S2中，产生所述光的光源离所述玻璃堆叠柱的距离为1-5cm。
可选地，在步骤S2中，所述暗室为万级无尘空间，所述暗室内的湿度小于65％。
可选地，在步骤S3中，所述确定是否有缺陷，具体为：
若穿过所述玻璃堆叠柱的光线均匀无异像，则判定为无缺陷；
若穿过所述玻璃堆叠柱的光线具有不均匀、亮点或暗点的情况，则判定为有缺陷。
通过上述技术方案，采用将玻璃堆叠设置，能够一次检测多个玻璃，能够有效的提高检测效率。在堆叠进行检测时，通过间隔设置，能够使得相互之间玻璃在检测时不受干扰，同时通过肉眼可直接观察穿过玻璃堆叠柱的光线，能够根据玻璃堆叠柱在间隔件的作用下直接确定具有缺陷的玻璃的位置，将有缺陷的玻璃取出，其余没有缺陷的玻璃即可判定为合格品，从而不会出现误判的情况。本检测方法能够肉眼进行观察光线情况，提高了对玻璃的检测准确性，不会出现漏检测的情况，保证了玻璃的产品品质率。
本公开的其他特征和优点将在随后的具体实施方式部分予以详细说明。
附图说明
附图是用来提供对本公开的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与下面的具体实施方式一起用于解释本公开，但并不构成对本公开的限制。在附图中：
图1是本公开的一种实施方式的玻璃边部缺陷的检测方法的流程示意图；
图2是本公开的一种实施方式玻璃堆叠柱与光源位置关系示意图。
附图标记说明
1、玻璃；2、间隔件；3、光源。
具体实施方式
以下结合附图对本公开的具体实施方式进行详细说明。应当理解的是，此处所描述的具体实施方式仅用于说明和解释本公开，并不用于限制本公开。
在本公开中，在未作相反说明的情况下，使用的方位词如“上、下、左、右”通常是附图的图面的方向定义的，“内、外”是指相关零部件的内、外。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
在本公开的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本公开中的具体含义。
如图1和图2所示，本公开提供一种玻璃边部缺陷的检测方法，包括以下步骤：
S1、将玻璃1平行摆放，相邻两个玻璃1采用间隔件2间隔，形成玻璃堆叠柱；
S2、将步骤S1得到的玻璃堆叠柱运至暗室，将光照射入玻璃堆叠柱的一侧且穿过玻璃堆叠柱；
S3、从所述玻璃堆叠柱远离所述光的照射端的一侧观察所述玻璃堆叠柱，确定是否有缺陷，若有缺陷，则根据所述玻璃堆叠柱确定具有缺陷的玻璃1的位置，若无缺陷，则检测合格。
通过上述技术方案，采用将玻璃1堆叠设置，能够一次检测多个玻璃1，能够有效的提高检测效率。在堆叠进行检测时，通过间隔设置，能够使得相互之间玻璃1在检测时不受干扰，同时通过肉眼可直接观察穿过玻璃堆叠柱的光线，能够根据玻璃堆叠柱在间隔件的作用下直接确定具有缺陷的玻璃1的位置，将有缺陷的玻璃1取出，其余没有缺陷的玻璃1即可判定为合格品，从而不会出现误判的情况。本检测方法能够肉眼进行观察光线情况，提高了对玻璃1的检测准确性，不会出现漏检测的情况，保证了玻璃1的产品品质率。
可选地，本公开的一种实施方式中，在步骤S1中，玻璃1平行摆放为玻璃1水平放置，且沿竖直方向堆叠放置。
其中，本实施方式中，玻璃1逐个堆叠，构成的玻璃堆叠柱竖直设置。由于玻璃1为方形，玻璃1的四边在堆叠式均对齐，能够提高对玻璃1的检测效果，使得光同时穿过玻璃1，不会由于玻璃1的边角影响肉眼观察，能够避免出现误差。
可选地，本公开的另一些实施方式中，在步骤S1中，玻璃1平行摆放为玻璃1竖直设置，并沿水平方向堆叠设置。
其中，本实施方式中，玻璃1水平堆叠后，构成的玻璃堆叠柱为水平设置。需要说明的是，当玻璃1沿水平方向堆叠设置时，需要在玻璃堆叠柱的两端放置抵顶固定块，用于避免玻璃1倒下损坏。水平设置的玻璃堆叠柱同样可以观察玻璃1是否具有缺陷，以及确定玻璃1的位置。
可选地，在本公开的一种实施方式中，在步骤S1中，间隔件2为间隔纸或间隔橡胶板。
其中，本实施方式中，间隔纸或间隔橡胶板位于相邻两个玻璃1之间，与相邻两个玻璃1的相对面接触，实现对两个玻璃1的间隔。通过间隔纸或间隔橡胶板不会损坏玻璃1的表面，避免在检测过程对玻璃1造成损坏。另外，可以在玻璃1生产时，即采用间隔纸或间隔橡胶板将玻璃1间隔，能够加快检测效率。优选地，间隔件2为间隔纸，间隔纸的使用成本低，使用非常方便。当然，如果不考虑成本，间隔件2还可以为其他软质的材质，比如硅胶。具体可根据实际需要进行选择。
通过设置的间隔纸或间隔橡胶板能够将相邻两个玻璃1隔绝开，避免光线在相邻两个玻璃1之间反射，避免相邻两个玻璃1中的光出现相互干涉的情况，影响检测准确性。
可选地，本公开的一种实施方式中，间隔件2的边缘延伸出对应的相邻两个玻璃1，延伸长度为1-20mm。
其中，本实施方式中，间隔件2的形状与玻璃1的形状一致，间隔件2的四周边缘均伸出相邻两个玻璃1，从而对相邻两个玻璃1实现完全间隔，避免光线从玻璃1的边缘反射出现相互干涉的情况。具体地，本实施方式中，间隔件2的延伸长度为5mm。
可选地，本公开的一种实施方式中，在步骤S1中，相邻两个玻璃1之间的间隔距离为1-5mm。
其中，本实施方式中，相邻两个玻璃1之间的间隔距离根据间隔件2的厚度决定，间隔件2为间隔纸时，间隔距离为1mm或2mm。间隔件2为间隔橡胶板时，间隔距离为4mm或5mm。优选地，间隔件2为间隔纸，间隔距离为2mm，能够有效分隔相邻两个玻璃1，能够方便确定具有缺陷的玻璃1的位置，同时又能堆叠设置足够多的玻璃1，能够一次检测较多的玻璃1。
可选地，本公开的一种实施方式中，在步骤S1中，玻璃堆叠柱的高度大于100mm。从而可以堆叠足够的玻璃1，能够提高检测效率。
可选地，本公开的一种实施方式中，在步骤S2中，光的照射方向与玻璃堆叠柱的一侧垂直设置。
其中，本实施方式中，采用卤素灯或强光手电进行照射产生光，卤素灯或强光手电方便手持，手持卤素灯或强光手电靠近玻璃堆叠柱，使得光线集中，能够集中照射向玻璃堆叠柱，不会产生过多的分散光。卤素灯或强光手电位于玻璃堆叠柱的一侧，卤素灯或强光手电正对玻璃堆叠柱，使得产生的光线垂直照射到玻璃堆叠柱上，从而使得光线正向穿过玻璃堆叠柱，方便肉眼进行观察，避免影响检测结果。具体地，卤素灯或强光手电在手持情况下，可沿着上下方向或水平方向逐渐在玻璃堆叠柱的一侧缓慢移动，对各个位置均进行照射，并能对疑似缺陷位置进行停留重点检测，对玻璃1的检测准确率高。
可选地，本公开的一种实施方式中，在步骤S2中，卤素灯或强光手电的功率为50-100瓦特。
其中，本实施方式中，当卤素灯或强光手电的功率为50-100瓦特时，能够在暗室中显示足够的光亮，利于人的眼睛能够观察到穿过玻璃堆叠柱的光线是否具有暗点等缺陷，同时又不会过于亮影响观察人的眼睛。
可选地，本公开的一种实施方式中，在步骤S2中，产生光的光源3离玻璃堆叠柱的距离为1-5cm。其中，本实施方式卤素灯或强光手电离玻璃堆叠柱的距离为1-5cm，通过将卤素灯或强光手电置于距离玻璃堆叠柱1-5cm，可使得产生的光集中照射在玻璃堆叠柱上，光不会分散，对玻璃1的检测效果更好。优选地，卤素灯或强光手电离玻璃堆叠柱的距离为1cm，能够紧挨着玻璃堆叠柱。
可选地，本公开的一种实施方式中，在步骤S2中，暗室为万级无尘空间，暗室内的湿度小于65％。其中万级无尘空间为是指微尘数量被严格控制在每立方米10000个以内，能够有效避免微车在光的照射下产生的暗点影响对玻璃1检测的误判，同时保证暗室内的湿度，能够避免高湿度光线的折射，影响光线穿过玻璃堆叠柱的情况。
可选地，本公开的一种实施方式中，在步骤S3中，确定是否有缺陷，具体为：
若穿过所述玻璃堆叠柱的光线均匀无异像，则判定为无缺陷；
若穿过所述玻璃堆叠柱的光线具有不均匀、亮点或暗点的情况，则判定为有缺陷。
其中，本实施方式中，当玻璃1上具有裂纹或欠磨缺陷时，光线穿过玻璃1，肉眼观察穿过所述玻璃堆叠柱的光线在缺陷位置会出现折射，从而影响光线的传播，穿过所述玻璃堆叠柱的光线即会出现不均匀。当玻璃1上具有掉片或烧边缺陷时，光线穿过玻璃1，肉眼观察穿过所述玻璃堆叠柱的光线在缺陷位置会导致光线反射现象，从而会出现暗点或亮点现象。当玻璃1不具有缺陷时，玻璃1边部的光透射均匀。
以上结合附图详细描述了本公开的优选实施方式，但是，本公开并不限于上述实施方式中的具体细节，在本公开的技术构思范围内，可以对本公开的技术方案进行多种简单变型，这些简单变型均属于本公开的保护范围。
另外需要说明的是，在上述具体实施方式中所描述的各个具体技术特征，在不矛盾的情况下，可以通过任何合适的方式进行组合，为了避免不必要的重复，本公开对各种可能的组合方式不再另行说明。
此外，本公开的各种不同的实施方式之间也可以进行任意组合，只要其不违背本公开的思想，其同样应当视为本公开所公开的内容。
Claims (7)
1.一种玻璃边部缺陷的检测方法，其特征在于，包括以下步骤：
S1、将玻璃平行摆放，相邻两个所述玻璃采用间隔件间隔，形成玻璃堆叠柱；其中，所述玻璃平行摆放为玻璃水平放置，且沿竖直方向堆叠放置，所述间隔件能够避免在相邻两个所述玻璃中光线的反射和相互干涉，相邻两个所述玻璃之间的间隔距离为1-5mm；
S2、将步骤S1得到的所述玻璃堆叠柱运至暗室，将光照射入所述玻璃堆叠柱的一侧且穿过所述玻璃堆叠柱；其中，所述光的照射方向与所述玻璃堆叠柱的一侧垂直设置；
S3、从所述玻璃堆叠柱远离所述光的照射端的一侧观察所述玻璃堆叠柱，确定是否有缺陷，若有缺陷，则根据所述玻璃堆叠柱确定具有缺陷的玻璃的位置，若无缺陷，则检测合格。
2.根据权利要求1所述的玻璃边部缺陷的检测方法，其特征在于，在步骤S1中，所述间隔件为间隔纸或间隔橡胶板。
3.根据权利要求1所述的玻璃边部缺陷的检测方法，其特征在于，所述间隔件的边缘延伸出对应的相邻两个所述玻璃，延伸长度为1-20mm。
4.根据权利要求1所述的玻璃边部缺陷的检测方法，其特征在于，在步骤S1中，所述玻璃堆叠柱的高度大于100mm。
5.根据权利要求1所述的玻璃边部缺陷的检测方法，其特征在于，在步骤S2中，产生所述光的光源离所述玻璃堆叠柱的距离为1-5cm。
6.根据权利要求1所述的玻璃边部缺陷的检测方法，其特征在于，在步骤S2中，所述暗室为万级无尘空间，所述暗室内的湿度小于65％。
7.根据权利要求1-6任一项所述的玻璃边部缺陷的检测方法，其特征在于，在步骤S3中，所述确定是否有缺陷，具体为：
若穿过所述玻璃堆叠柱的光线均匀无异像，则判定为无缺陷；
若穿过所述玻璃堆叠柱的光线具有不均匀、亮点或暗点的情况，则判定为有缺陷。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202110945125.1A CN113702401B (zh) | 2021-08-17 | 2021-08-17 | 玻璃边部缺陷的检测方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202110945125.1A CN113702401B (zh) | 2021-08-17 | 2021-08-17 | 玻璃边部缺陷的检测方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN113702401A CN113702401A (zh) | 2021-11-26 |
| CN113702401B true CN113702401B (zh) | 2023-12-08 |
Family
ID=78653282
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202110945125.1A Active CN113702401B (zh) | 2021-08-17 | 2021-08-17 | 玻璃边部缺陷的检测方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN113702401B (zh) |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102788798A (zh) * | 2011-05-16 | 2012-11-21 | 芝浦机械电子装置股份有限公司 | 贴合板状体检查装置与方法 |
| CN103439812A (zh) * | 2013-08-26 | 2013-12-11 | 成都中光电科技有限公司 | 液晶玻璃基板45°角检查法 |
| CN106525869A (zh) * | 2016-11-09 | 2017-03-22 | 芜湖东旭光电科技有限公司 | 玻璃边部缺陷检测方法及其装置和系统 |
| CN110597198A (zh) * | 2019-08-30 | 2019-12-20 | 彩虹显示器件股份有限公司 | 一种tft基板玻璃的质量控制装置、质量控制系统及方法 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6933608B2 (ja) * | 2018-06-01 | 2021-09-08 | ファナック株式会社 | 視覚センサのレンズまたはレンズカバーの異常検出システム |
-
2021
- 2021-08-17 CN CN202110945125.1A patent/CN113702401B/zh active Active
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102788798A (zh) * | 2011-05-16 | 2012-11-21 | 芝浦机械电子装置股份有限公司 | 贴合板状体检查装置与方法 |
| CN103439812A (zh) * | 2013-08-26 | 2013-12-11 | 成都中光电科技有限公司 | 液晶玻璃基板45°角检查法 |
| CN106525869A (zh) * | 2016-11-09 | 2017-03-22 | 芜湖东旭光电科技有限公司 | 玻璃边部缺陷检测方法及其装置和系统 |
| CN110597198A (zh) * | 2019-08-30 | 2019-12-20 | 彩虹显示器件股份有限公司 | 一种tft基板玻璃的质量控制装置、质量控制系统及方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN113702401A (zh) | 2021-11-26 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP5288568B2 (ja) | マスクブランク用基板の製造方法、マスクブランクの製造方法、露光用マスクの製造方法、並びに半導体装置の製造方法 | |
| JP5923172B2 (ja) | 板ガラスの検査ユニット及び製造設備 | |
| TWI660166B (zh) | 用於彈性基板上的粒子檢測之方法 | |
| JP6033041B2 (ja) | 光学ガラス母材の自動品質検査装置及び光学ガラス母材の自動品質検査方法 | |
| US20150160138A1 (en) | Solar cell inspection apparatus and solar cell processing apparatus | |
| CN113702401B (zh) | 玻璃边部缺陷的检测方法 | |
| KR102402392B1 (ko) | 연부 강도 테스팅 방법 및 장치 | |
| TW475062B (en) | Inspection system for edges of glass | |
| KR20140055115A (ko) | 글라스 기판 검사 장치 | |
| WO2003044507A1 (fr) | Procede et dispositif de controle des faces d'extremite de substrats en materiau cassant | |
| CN204924976U (zh) | 一种陶瓷检测装置及包含该检测装置的陶瓷生产设备 | |
| KR20150031032A (ko) | 유리판의 크랙 필터링 시스템 및 그 필터링 방법 | |
| CN113015901A (zh) | 玻璃板的制造方法以及玻璃板的制造装置 | |
| JP2005156200A (ja) | 板ガラスの検査方法および板ガラスの検査装置 | |
| US20220339682A1 (en) | Recycling of Flat Panel Displays | |
| CN113321425A (zh) | 太阳能光伏用镀膜玻璃生产工艺 | |
| CN108234809B (zh) | 图像传感器单元的制造方法 | |
| JP3227876U (ja) | ガラス板の切断面検査装置 | |
| KR101583510B1 (ko) | 백라이트유닛의 거치장치 | |
| GB2331359A (en) | Glass defect detection | |
| CN109100365B (zh) | 一种基板叠材的检测装置及检测方法 | |
| US20220099591A1 (en) | Automatic system for blade inspection | |
| CN116754578B (zh) | 一种用于晶圆划痕的检测系统及该系统的检测方法 | |
| JPH0850104A (ja) | 透明材の欠陥検査方法及び欠陥検査装置 | |
| CN109884085B (zh) | 设备检测装置及其工作方法、半导体设备 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant |