CN113655168A - 一种离子色谱法测定电子级溴化氢中氯离子的方法 - Google Patents
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- CPELXLSAUQHCOX-UHFFFAOYSA-N Hydrogen bromide Chemical compound Br CPELXLSAUQHCOX-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 133
- 229910000042 hydrogen bromide Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 61
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-M Chloride anion Chemical compound [Cl-] VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-M 0.000 title claims abstract description 36
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 23
- 238000004255 ion exchange chromatography Methods 0.000 title claims abstract description 11
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 claims abstract description 35
- 239000000243 solution Substances 0.000 claims abstract description 32
- 239000012498 ultrapure water Substances 0.000 claims abstract description 19
- 239000012086 standard solution Substances 0.000 claims abstract description 15
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims abstract description 11
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 claims abstract description 10
- 238000005070 sampling Methods 0.000 claims abstract description 10
- 239000000872 buffer Substances 0.000 claims abstract description 9
- 239000003513 alkali Substances 0.000 claims abstract description 8
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims abstract description 7
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 claims abstract description 6
- 238000005406 washing Methods 0.000 claims abstract description 5
- 238000011002 quantification Methods 0.000 claims abstract description 4
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 18
- 239000000460 chlorine Substances 0.000 claims description 15
- CDBYLPFSWZWCQE-UHFFFAOYSA-L Sodium Carbonate Chemical compound [Na+].[Na+].[O-]C([O-])=O CDBYLPFSWZWCQE-UHFFFAOYSA-L 0.000 claims description 13
- VHUUQVKOLVNVRT-UHFFFAOYSA-N Ammonium hydroxide Chemical compound [NH4+].[OH-] VHUUQVKOLVNVRT-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 9
- UIIMBOGNXHQVGW-UHFFFAOYSA-M Sodium bicarbonate Chemical compound [Na+].OC([O-])=O UIIMBOGNXHQVGW-UHFFFAOYSA-M 0.000 claims description 9
- 235000011114 ammonium hydroxide Nutrition 0.000 claims description 9
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 claims description 9
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 claims description 8
- 238000010926 purge Methods 0.000 claims description 8
- 239000010959 steel Substances 0.000 claims description 8
- 229910000029 sodium carbonate Inorganic materials 0.000 claims description 7
- KWYUFKZDYYNOTN-UHFFFAOYSA-M Potassium hydroxide Chemical compound [OH-].[K+] KWYUFKZDYYNOTN-UHFFFAOYSA-M 0.000 claims description 6
- HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M Sodium hydroxide Chemical compound [OH-].[Na+] HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M 0.000 claims description 6
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N ammonia Natural products N QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 229910000030 sodium bicarbonate Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 235000017557 sodium bicarbonate Nutrition 0.000 claims description 4
- 235000019786 weight gain Nutrition 0.000 claims description 4
- 230000004584 weight gain Effects 0.000 claims description 4
- 239000013585 weight reducing agent Substances 0.000 claims description 4
- 239000011259 mixed solution Substances 0.000 claims description 3
- UIIMBOGNXHQVGW-DEQYMQKBSA-M Sodium bicarbonate-14C Chemical compound [Na+].O[14C]([O-])=O UIIMBOGNXHQVGW-DEQYMQKBSA-M 0.000 claims description 2
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 claims description 2
- 239000003480 eluent Substances 0.000 claims 1
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 abstract description 8
- 238000001514 detection method Methods 0.000 abstract description 6
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 abstract description 2
- 238000010812 external standard method Methods 0.000 abstract 1
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 11
- 230000014759 maintenance of location Effects 0.000 description 6
- SQGYOTSLMSWVJD-UHFFFAOYSA-N silver(1+) nitrate Chemical compound [Ag+].[O-]N(=O)=O SQGYOTSLMSWVJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 239000003153 chemical reaction reagent Substances 0.000 description 4
- 238000003918 potentiometric titration Methods 0.000 description 4
- 239000012488 sample solution Substances 0.000 description 4
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N Hydrochloric acid Chemical compound Cl VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- IXCSERBJSXMMFS-UHFFFAOYSA-N hydrogen chloride Substances Cl.Cl IXCSERBJSXMMFS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910000041 hydrogen chloride Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 3
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 238000011084 recovery Methods 0.000 description 3
- 229910001961 silver nitrate Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000005033 Fourier transform infrared spectroscopy Methods 0.000 description 2
- QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N Sulfuric acid Chemical compound OS(O)(=O)=O QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910021529 ammonia Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 2
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 235000021053 average weight gain Nutrition 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 239000012490 blank solution Substances 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 238000004587 chromatography analysis Methods 0.000 description 1
- 238000007872 degassing Methods 0.000 description 1
- 238000007865 diluting Methods 0.000 description 1
- ZOMNIUBKTOKEHS-UHFFFAOYSA-L dimercury dichloride Chemical class Cl[Hg][Hg]Cl ZOMNIUBKTOKEHS-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 238000004090 dissolution Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 1
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002244 precipitate Substances 0.000 description 1
- 239000000047 product Substances 0.000 description 1
- 238000003908 quality control method Methods 0.000 description 1
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 1
- 238000009877 rendering Methods 0.000 description 1
- 230000003252 repetitive effect Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 1
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 1
- 229910021642 ultra pure water Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005303 weighing Methods 0.000 description 1
- 239000012224 working solution Substances 0.000 description 1
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N30/00—Investigating or analysing materials by separation into components using adsorption, absorption or similar phenomena or using ion-exchange, e.g. chromatography or field flow fractionation
- G01N30/96—Investigating or analysing materials by separation into components using adsorption, absorption or similar phenomena or using ion-exchange, e.g. chromatography or field flow fractionation using ion-exchange
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N30/00—Investigating or analysing materials by separation into components using adsorption, absorption or similar phenomena or using ion-exchange, e.g. chromatography or field flow fractionation
- G01N30/02—Column chromatography
- G01N30/04—Preparation or injection of sample to be analysed
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N30/00—Investigating or analysing materials by separation into components using adsorption, absorption or similar phenomena or using ion-exchange, e.g. chromatography or field flow fractionation
- G01N30/02—Column chromatography
- G01N30/04—Preparation or injection of sample to be analysed
- G01N30/06—Preparation
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N30/00—Investigating or analysing materials by separation into components using adsorption, absorption or similar phenomena or using ion-exchange, e.g. chromatography or field flow fractionation
- G01N30/02—Column chromatography
- G01N30/86—Signal analysis
- G01N30/8624—Detection of slopes or peaks; baseline correction
- G01N30/8631—Peaks
- G01N30/8634—Peak quality criteria
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- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N30/00—Investigating or analysing materials by separation into components using adsorption, absorption or similar phenomena or using ion-exchange, e.g. chromatography or field flow fractionation
- G01N30/02—Column chromatography
- G01N30/04—Preparation or injection of sample to be analysed
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- G01N2030/047—Standards external
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- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
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Abstract
本发明公开了一种离子色谱法测定电子级溴化氢中氯离子的方法，包括以下步骤：(1)配制分析Cl‑标准溶液，得到浓度和峰面积的工作曲线；(2)溴化氢样品预处理：溴化氢采样管上串联三个洗气瓶，第一个为缓冲瓶，第二个和第三个分别为装有100mL高纯水的吸收瓶，吸收完毕，合并得到的溴化氢吸收液；(3)加入碱液，调整溴化氢溶液pH值为4～10，容量瓶定容，制得待测溶液；(4)用离子色谱分析仪，对待测溶液进行检测，得到电子级溴化氢中痕量Cl‑检测的色谱图，同时根据外标法对待测溶液中Cl‑进行定量，得到电子级溴化氢中Cl‑的含量。该方法操作简单，重复性好，且灵敏度高。
Description
技术领域
本发明涉及定量测定电子级溴化氢中痕量氯离子的方法，尤其涉及一种离子色谱法测定电子级溴化氢样品中痕量氯离子含量的方法，属于分析化学领域。
背景技术
电子级溴化氢是半导体领域不可或缺的一种原材料，主要用于8寸及12寸芯片制造工艺中的多晶硅刻蚀，是芯片先进制程的核心气体之一。电子级溴化氢中的杂质容易导致晶片内电路功能的损坏，使得集成电路失效并且影响几何特征的形成，因此对溴化氢中的氯离子的检测是生产过程中的一个必要的环节。电子级溴化氢中氯离子的检测尚无有效的分析方法。传统的氯离子检测方法主要有：一、电位滴定法，以饱和甘汞电极为参比电极，以银电极为指示电极，用硝酸银标准溶液滴定，从而计算出氯离子的含量，该方法测定范围5～150mg/L，适用于较高含量的氯离子检测，且硝酸银与溴化氢同样会产生浅黄色沉淀，消耗硝酸银，方法不适用于溴化氢中氯离子的测定；二、傅里叶变换红外光谱法，需要以已知低浓度的氯化氢标气为准，建立标准谱图，同时搭载MCT检测器，需要随时补充液氮，操作较为复杂，且目前市场上未见ppm级的氯化氢标准气体，测试无法保证结果的可靠性。
发明内容
本发明的目的是提供一种离子色谱法测定电子级溴化氢中氯离子的方法，该方法操作简单，重复性好，且灵敏度高。
为达到上述目的，本发明是通过以下技术方案实现的：一种离子色谱法测定电子级溴化氢中氯离子的方法，包括以下步骤：
(1)配制分析Cl-标准溶液，得到浓度和峰面积的工作曲线；
(2)对溴化氢样品进行预处理，将电子级溴化氢用高纯水吸收，吸收液用碱液调节pH值至4～10，用离子色谱仪进行分析，确定电子级溴化氢中的氯离子含量。
进一步的，一种离子色谱法测定电子级溴化氢中氯离子的方法，包括以下步骤：
(1)配制Cl-标准溶液，进行离子色谱分析，得到不同浓度下的Cl-的峰面积，以氯离子的浓度为横坐标，峰面积为纵坐标绘制工作曲线；
(2)溴化氢样品预处理：溴化氢采样管上串联三个洗气瓶，第一个为缓冲瓶，第二个和第三个分别为装有100mL高纯水的吸收瓶。取样管线与缓冲瓶及吸收瓶连接前，先用高纯氮气吹扫；控制溴化氢流速为2～4g/min，使溴化氢气源钢瓶重量减少与吸收瓶增重一致，保证溴化氢样品被完全吸收。待两只吸收瓶共增重80～110g时，关闭溴化氢气源，采用高纯氮气吹扫管路10min，记录天平最终增量。吸收完毕，合并得到的溴化氢吸收液；所述溴化氢的吸收量优选为90～100g。
(3)加入碱液，调整溴化氢溶液pH值为4～10，移取溶液至容量瓶内，加入高纯水定容，高纯水与混合溶液的体积比优选为100∶1，制得待测溶液。所述碱液优选氢氧化钠、氢氧化钾的水溶液或氨水，更优选氨水；所述氨水质量浓度优选20％～22％，其氨水的加入量为90～120ml，优选100～110ml；所述pH值优选5～9，更优选为6～8。
(4)电子级溴化氢中Cl-含量的测定
用离子色谱分析仪，对待测溶液进行检测，得到电子级溴化氢中痕量Cl-检测的色谱图，同时根据外标法对待测溶液中Cl-进行定量，得到电子级溴化氢中Cl-的含量。
离子色谱分析仪所用的淋洗液为碳酸钠和碳酸氢钠的混合溶液，碳酸钠的浓度优选为1.8mmol/L，碳酸氢钠溶液的浓度优选为1.7mmol/L。
离子色谱分析仪的色谱柱为高容量色谱柱，柱箱温度为35℃，进样量为50μL。
所述高纯水中氯离子含量小于1ppb，碱液中氯离子含量小于10ppb。
本发明的有益效果：
本发明的离子色谱法测定电子级溴化氢中痕量氯离子的方法，操作简单，准确度高，重复性好，能有效测定电子级溴化氢中氯离子含量，适用于电子级溴化氢产品的质量控制，满足检测需求。与现有的傅里叶变换红外光谱法分析相比，不需要氯化氢标准气体，提高了氯离子测定的准确度，且测试结果重复性好，能准确测定痕量氯离子含量。
附图说明
图1为氯离子标准色谱图。
图2为氯离子的浓度和峰面积工作曲线，其中H＝-0.0824+0.0140Q r＝0.9995。
图3为电子级溴化氢中氯离子色谱图。
具体实施方式
下面结合实施例进一步描述本发明，本发明的优点和特点将会随着描述而更加清楚。但是应理解所述实施例仅是范例，不对本发明的范围构成任何限制。
1.仪器和试剂
883 Basic IC plus离子色谱仪；0.22μm一次性针式过滤器；柱箱温度35℃；99.999％电子级溴化氢；碳酸钠(基准试剂)；碳酸氢钠(基准试剂)；硫酸(优级纯)；氯离子标液(100μg/mL)；氨水(电子级)；溴化氢流速：1.0ml/min。
2.溶液的配制
淋洗液：准确称取0.3816g Na2CO3和0.286g NaHCO3溶解后，用超纯水准确定容2000mL，经0.45μm滤膜抽滤，震荡抽滤瓶无气泡溢出后超声脱气1min，得到1.8mmol/LNa2CO3+1.7mmol/LNaHCO3；
标准溶液的配制：量取100μg/mL的标准溶液各5mL、4mL、3mL、2mL、1mL、0.5mL、0.2mL分别置于50mL容量瓶中，并用高纯水定容至刻度，得到10μg/mL、8μg/mL、6μg/mL、4μg/mL、2μg/mL、1μg/mL、0.1μg/mL系列标准溶液。
重复性溶液的配制：准确移取0.2mL标准工作溶液，加入49.8mL空白溶液，即可得到加标0.1μg/mL的Cl-溶液。
3.Cl-标准溶液的分析
线性关系：对步骤(1)的得到的标准溶液，依次从低浓度到高浓度的顺序进样，得到浓度和峰面积的线性方程，得到Cl-的线性方程为H＝-0.0824+0.0140Q，线性相关系数为0.9995，如图2所示。
实施例1
1.1进样速度的确定
为保证溴化氢被高纯水完全吸收，同时保证吸收效率，通过改变溴化氢的进样速度保证吸收效率及结果准确性。
采样管上串联三个洗气瓶，第一个为缓冲瓶，第二个和第三个分别为装有100mL高纯水的吸收瓶。取样管线与缓冲瓶及吸收瓶连接前，先用高纯氮气以10～20L/min的流量吹扫。打开溴化氢钢瓶阀门，调节减压阀，控制溴化氢进样速度分别为2、3、4g/min。待天平增重100g，关闭溴化氢钢瓶阀，采用高纯氮气吹扫管路10min，记录天平增重量，同时记录钢瓶重量。
通过实验发现，溴化氢进样速度为2～4g/min时，吸收液增重与钢瓶重量减少量一致，溴化氢完全被高纯水吸收，总吸收时间为25～50min，在1小时内可检测出氯离子含量，保证分析准确性及分析效率。
1.2样品吸收量的确定
为保证溴化氢被高纯水完全吸收，同时保证吸收效率，通过改变溴化氢的吸收量保证吸收效率及结果准确性。
采样管上串联三个洗气瓶，第一个为缓冲瓶，第二个和第三个分别为装有100mL高纯水的吸收瓶。取样管线与缓冲瓶及吸收瓶连接前，先用高纯氮气以10～20L/min的流量吹扫。打开溴化氢钢瓶阀门，调节减压阀，控制溴化氢进样速度为3g/min。待天平增重80、90、110g时，关闭溴化氢钢瓶阀，采用高纯氮气吹扫管路10min，记录天平增重重量，同时记录钢瓶总重及减少量。
通过实验发现，当天平增重为80～110g时，吸收液增重和钢瓶重量减少量一致，高纯水可以完全吸收该重量溴化氢。
1.3氨水加入量对色谱分析的影响
将吸收液合并，取7份同样的样品溶液分别加入90、95、100、105、110、115、120mL21％(质量分数)的电子级氨水，分别测其pH值为4、5、6、7、8、9和10，移取5ml溶液至250ml容量瓶内，加入高纯水定容，制得待测溶液。对7种不同pH值的待测溶液进行分析，发现pH值为4～10的样品溶液中氯离子的保留时间和标准溶液中氯离子的保留时间均十分接近，氯离子保留时间与标准溶液保留时间的差值见表1。其中pH值＝7分析谱图如图3所示。
表1氯离子保留时间与标准溶液保留时间的差值表
1.4电子级溴化氢中氯离子的测定
1.4.1样品的前处理
(1)用2只250mL吸收瓶，共吸收电子级溴化氢的质量为101.20g；
(2)合并吸收液后，加入105mL氨水反应；
(3)精确移取5mL(2)中的样品溶液，置于500mL容量瓶中，用高纯水稀释并定容至刻度，得到待测溶液。
1.4.2电子级溴化氢中Cl-含量的测定
以1.8mmol/L碳酸钠溶液和1.7mmol/L碳酸氢钠溶液为淋洗液，高容量色谱柱，柱箱温度35℃，进样量为50μL的离子色谱条件下，对待测溶液(进行检测，得到电子级溴化氢中痕量Cl-检测的色谱图，见附图3，同时根据外标法对待测溶液中Cl-进行定量，得到电子级溴化氢中Cl-的含量，见表2。在待测溶液中加入0.1μg/mL的Cl-标准溶液，进行加标回收率实验，回收率结果见表2。
表2电子级溴化氢中Cl-含量及加标回收率
Claims (8)
1.一种离子色谱法测定电子级溴化氢中氯离子的方法，其特征是包括以下步骤：
(1)配制Cl-标准溶液，进行离子色谱分析，得到不同浓度下的Cl-的峰面积，以氯离子的浓度为横坐标，峰面积为纵坐标绘制工作曲线；
(2)溴化氢样品预处理：溴化氢采样管上串联三个洗气瓶，第一个为缓冲瓶，第二个和第三个分别为装有100mL高纯水的吸收瓶；取样管线与缓冲瓶及吸收瓶连接前，先用高纯氮气吹扫；控制溴化氢流速为2～4g/min，使溴化氢气源钢瓶重量减少与吸收瓶增重一致，保证溴化氢样品被完全吸收；待两只吸收瓶共增重80～110g时，关闭溴化氢气源，采用高纯氮气吹扫管路10min，记录天平最终增量；吸收完毕，合并得到的溴化氢吸收液；
(3)加入碱液，调整溴化氢溶液pH值为4～10，移取溶液至容量瓶内，加入高纯水定容，制得待测溶液；
(4)电子级溴化氢中Cl-含量的测定
用离子色谱分析仪，对待测溶液进行检测，得到电子级溴化氢中痕量Cl-检测的色谱图，同时根据外标法对待测溶液中Cl-进行定量，得到电子级溴化氢中Cl-的含量。
2.根据权利要求1所述的方法，其特征是步骤(2)两只吸收瓶共增重量为90～100g。
3.根据权利要求1所述的方法，其特征是所述碱液为氢氧化钠、氢氧化钾的水溶液或氨水。
4.根据权利要求3所述的方法，其特征是所述氨水的质量浓度为20％～22％，氨水的加入量为90～120ml。
5.根据权利要求1所述的方法，其特征是所述pH值为6～8。
6.根据权利要求1所述的方法，其特征是离子色谱分析仪所用的淋洗液为碳酸钠和碳酸氢钠的混合溶液，碳酸钠的浓度为1.8mmol/L，碳酸氢钠溶液的浓度为1.7mmol/L。
7.根据权利要求1所述的方法，其特征是离子色谱分析仪的色谱柱为高容量色谱柱，柱箱温度为35℃，进样量为50μL。
8.根据权利要求1所述的方法，其特征是高纯水中氯离子含量小于1ppb，碱液中氯离子含量小于10ppb。
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| CN (1) | CN113655168A (zh) |
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| CN114814071A (zh) * | 2022-06-17 | 2022-07-29 | 武汉正元环境科技股份有限公司 | 基于离子色谱法的水质检测方法 |
| CN115436558A (zh) * | 2022-08-03 | 2022-12-06 | 浙江衢化氟化学有限公司 | 一种用离子色谱测定氯系氧化物含量的方法 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN108226371A (zh) * | 2018-01-23 | 2018-06-29 | 杭州润泽科学器材有限公司 | 一种测定桶装水中痕量溴酸盐的方法 |
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2021
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Non-Patent Citations (6)
| Title |
|---|
| 佟云琨: "离子色谱法检测氯化钠中的溴离子和溴化钠中的氯离子", 第十一届全国离子色谱学术报告会论文集, 31 December 2006 (2006-12-31), pages 140 - 141 * |
| 刘春宏 等: "离子色谱法测定环境空气和废气中溴化氢", 化工管理, no. 22, 31 December 2017 (2017-12-31), pages 113 * |
| 王金凤 等: "同时测定工作场所中溴化氢等4种无机酸的离子色谱法", 工业卫生与职业病, no. 02, 20 March 2016 (2016-03-20), pages 146 - 148 * |
| 田婷婷 等: "离子色谱法测定环境空气和废气中溴化氢", 四川环境, no. 05, 26 October 2015 (2015-10-26), pages 12 - 16 * |
| 金小玲 等: "离子色谱法应用于杭州大气有机酸湿沉降迁移研究", 环境化学, vol. 39, no. 08, 31 August 2020 (2020-08-31), pages 2287 - 2295 * |
| 陈坚 等: "离子色谱法同时测定空气中氟化氢等7种无机物", 中国职业医学, no. 04, 20 August 2010 (2010-08-20), pages 325 - 326 * |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN114814071A (zh) * | 2022-06-17 | 2022-07-29 | 武汉正元环境科技股份有限公司 | 基于离子色谱法的水质检测方法 |
| CN115436558A (zh) * | 2022-08-03 | 2022-12-06 | 浙江衢化氟化学有限公司 | 一种用离子色谱测定氯系氧化物含量的方法 |
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