CN113184505A - 基板翻转装置及分割系统 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种能够高效地且在更小的空间进行基板翻转的基板翻转装置及分割系统。基板翻转装置(11)具有：第一吸附部(30)，其吸附第一载置面(4a)上的基板(F)；第二吸附部(30)，其将基板(F)载置于第二载置面(6a)；第一联动机构(40)，其利用直线方向的第一驱动力使第一吸附部(30)移动；第二联动机构(40)，其利用直线方向的第二驱动力使第二吸附部(30)移动；以及，驱动部(20)，其对第一联动机构(40)和第二联动机构(40)分别赋予第一驱动力和第二驱动力；第一联动机构(40)在送入位置和交接位置之间使第一吸附部(30)移动，该交接位置是第一吸附部(30)和第二吸附部(30)在与第一载置面(4a)垂直的状态下彼此相向的位置，第二联动机构(40)在交接位置和送出位置之间使第二吸附部(30)移动。

Description

基板翻转装置及分割系统

技术领域

本发明涉及一种用于翻转基板的基板翻转装置以及具有该基板翻转装置的分割系统。

背景技术

一般地，在由玻璃基板等脆性材料构成的基板的分割中，实施用于对基板形成刻划线的刻划工序和用于沿刻划线分割基板的分割工序。在从刻划工序转入分割工序时，基板适当地被进行正反面翻转。

在下述的专利文献1中，公开了具有吸附运送机构和翻转机构的基板翻转装置。该基板翻转装置中，吸附运送机构和翻转机构以相互接近、离开的方式移动。具体地，在吸附运送机构和翻转机构相互接近的位置，进行基板的交接。与此相对，在吸附运送机构和翻转机构相互离开的位置，进行基于吸附运送机构的基板的吸附，以及基于翻转机构的基板的翻转。翻转机构通过使载置有基板的翻转板旋转180度，从而使基板翻转。

像这样，在基板翻转装置中，吸附运送机构的动作和翻转机构的动作同步进行。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2015-051864号公报。

发明要解决的问题

在专利文献1的结构中，需要吸附运送机构吸附基板的位置、从吸附运送机构到翻转机构交接基板的位置以及翻转机构翻转基板的位置。尤其，在由翻转机构所进行的基板翻转中，使基板旋转了180度。因此，在专利文献1的基板翻转装置中，为了使翻转基板，需要在水平方向和垂直方向上保留出足够的空间。此外，为了同步进行吸附运送机构的动作和翻转机构的动作，需要进行控制以使各动作的时机不发生偏差。因此，需要严密地对各动作的控制进行管理。

发明内容

鉴于上述课题，本发明的目的是提供一种能够高效地且在更小的空间进行基板翻转的基板翻转装置及分割系统。

用于解决问题的方案

本发明的第一实施方式所涉及基板翻转装置。该实施方式所涉及的基板翻转装置具有：第一吸附部，其对载置于第一载置面的基板进行吸附，第二吸附部，其将基板载置于与所述第一载置面平行的第二载置面，第一联动机构，其利用直线方向的第一驱动力使第一吸附部移动，第二联动机构，其利用直线方向的第二驱动力使第二吸附部移动，以及驱动部，其对第一联动机构及第二联动机构分别赋予第一驱动力及第二驱动力。第一联动机构在送入位置和交接位置之间使第一吸附部移动，所述送入位置是第一吸附部相向于第一载置面的位置，所述交接位置是所述第一吸附部与第二吸附部在与第一载置面垂直的状态下彼此相向的位置。第二联动机构在交接位置和送出位置之间使第二吸附部移动，其中所述送出位置是第二吸附部相向于第二载置面的位置。

根据本实施方式所涉及的结构，在送入位置利用第一吸附部从第一载置面吸附的基板一边被旋转90°一边被运送至交接位置，并在交接位置被交接至第二吸附部。然后，基板从交接位置一边进一步被旋转90°一边被运送至送出位置，并在送出位置从第二吸附部被载置于第二载置面。由此，根据本实施方式的结构，能够使基板一边翻转一边从第一载置面被运送至第二载置面。因此，能够高效地且在更小的空间进行基板的翻转动作。

本实施方式所涉及的基板翻转装置中，第一联动机构可以构成为具有：第一支承构件，第一平行连杆机构，其利用第一驱动力使第一支承构件在与第一载置面平行的方向上移动，第一齿轮，其被配置在第一平行连杆机构对第一支承构件的连接轴，以及第一传动机构，其被配置在第一支承构件，利用第一齿轮的转动使第一吸附部相对于第一支承构件一边转动一边直线移动。此外，第二联动机构具有：第二支承构件，第二平行连杆机构，其利用第二驱动力使第二支承构件在与第二载置面平行的方向上移动，第二齿轮，其被配置在第二平行连杆机构对第二支承构件的连接轴，以及第二传动机构，其被配置在第二支承构件，利用第二齿轮的转动使第二吸附部相对于第二支承构件一边转动一边直线移动。

根据本实施方式的结构，当支承部通过第一平行连杆机构以与载置面平行的方式移动时，随着该移动，配置在第一平行连杆机构的连接轴的第一齿轮旋转，基于该旋转，第一吸附部一边旋转一边直线移动。由此，利用第一驱动力，能够使第一吸附部一边以与载置面平行的方式移动，一边进行旋转及直线移动，并且能够通过第一平行连杆机构及第一传动机构准确地使这些移动同步。

此外，由于第二联动机构也具有与第一联动机构相同的结构，所以能够产生与第一联动机构相同的效果。

在这种情况下，第一传动机构可以构成为具有：第一引导部，其以能转动的方式被支承在第一支承构件，并且以能直线移动的方式对支承第一吸附部的第一支承体进行支承，第一杆构件，其随着第一齿轮的转动而转动，并且被连接在第一支承体。此外第二传动机构可以构成为具有：第二引导部，其以能转动的方式被支承在第二支承构件，并且以能直线移动的方式对支承第二吸附部的第二支承体进行支承，第二杆构件，其随着第二齿轮的转动而转动，并且被连接在第二支承体。

根据该结构，能够将第一齿轮的旋转变换为第一吸附部的直线移动及旋转。由此，在第一支承构件中，能够流畅地使第一吸附部进行直线移动及旋转。

此外，由于第二传动机构也具有与第一传动机构相同的结构，所以能够产生与第一传动机构相同的效果。

本实施方式所涉及的基板翻转装置中，驱动部可以构成为具有分别产生第一驱动力及第二驱动力的第一驱动部及第二驱动部。

根据本实施方式结构，能够单独地对第一联动机构和第二联动机构分别赋予驱动力。因此，能够根据基板的运送时机使第一吸附部和第二吸附部各自单独进行移动。

本发明的第二实施方式涉及分割系统。该实施方式所涉及的分割系统具有：刻划装置，其在基板形成刻划线；基板翻转装置，其使所述基板正反面翻转；以及切断装置，其沿所述刻划线分割所述基板。所述基板翻转装置具有：刻划装置，其在基板形成刻划线，基板翻转装置，其使所述基板正反面翻转，以及切断装置，其沿所述刻划线分割所述基板，所述基板翻转装置具有：第一吸附部，其对载置于第一载置面的基板进行吸附，第二吸附部，其将基板载置于与第一载置面平行的第二载置面，第一联动机构，其利用直线方向的第一驱动力使第一吸附部移动，第二联动机构，其利用直线方向的第二驱动力使第二吸附部移动，以及驱动部，其对第一联动机构及第二联动机构分别赋予第一驱动力及第二驱动力。第一联动机构在送入位置和交接位置之间使第一吸附部移动，其中所述送入位置是第一吸附部相向于第一载置面的位置，所述交接位置是第一吸附部与第二吸附部在与第一载置面垂直的状态下彼此相向的位置。第二联动机构在交接位置和送出位置之间使第二吸附部移动，其中所述送出位置是第二吸附部相向于第二载置面的位置。

根据本实施方式的结构，产生与第一实施方式相同的效果。

发明效果

如上所述，根据本发明，能够提供一种能够高效地且在更小的空间进行基板翻转的基板翻转装置及分割系统。

通过以下所示的实施方式的说明，进一步阐明本发明的效果乃至意义。但是，以下所示的实施方式也只是实施本发明时的一个示例，本发明不受以下的实施方式所记载的内容的限制。

附图说明

图1中，图1的(a)是表示实施方式所涉及的分割系统的结构的示意图；图1的(b)是实施方式所涉及的分割系统中的基板的示意图。

图2是表示实施方式所涉及的基板翻转装置的结构的立体图。

图3是表示实施方式所涉及的基板翻转装置的部分结构的立体图。

图4是表示实施方式所涉及的基板翻转装置的部分结构的立体图。

图5是用于说明实施方式所涉及的基板翻转装置中的联动机构的结构的部分分解立体图。

图6中，图6的(a)是表示实施方式所涉及的基板翻转装置中的升降机构的结构的立体图；图6的(b)是从与图6的(a)不同的方向观察时的立体图。

图7的(a)、(b)是分别表示实施方式所涉及的基板翻转装置中的升降机构的动作的图。

图8是表示实施方式所涉及的基板翻转装置的结构的框图。

图9是表示实施方式所涉及的基板翻转装置的动作的流程图。

图10的(a)、(b)是分别示意性表示实施方式所涉及的基板翻转装置的动作的正视图。

图11的(a)、(b)是分别示意性表示实施方式所涉及的基板翻转装置的动作的正视图。

图12的(a)、(b)是分别示意性表示实施方式所涉及的基板翻转装置的动作的正视图。

图13的(a)、(b)是分别示意性表示实施方式所涉及的基板翻转装置的动作的正视图。

图14的(a)、(b)是分别示意性表示实施方式所涉及的基板翻转装置的动作的正视图。

图15的(a)、(b)是分别示意性表示实施方式所涉及的基板翻转装置的动作的正视图。

图16的(a)、(b)是分别示意性表示实施方式所涉及的基板翻转装置的动作的正视图。

图17的(a)、(b)是分别示意性表示实施方式所涉及的基板翻转装置的动作的正视图。

图18是示意性表示实施方式所涉及的基板翻转装置的动作的正视图。

具体实施方式

以下，参照附图对本发明的实施方式进行说明。另外，为了方便，在各图中附加标记了相互正交的X轴、Y轴以及Z轴。X-Y平面与水平面平行，Z轴方向是铅直方向。Z轴正侧为上方，Z轴负侧为下方。在以下说明中，向上方及下方移动，意味着向Z轴正侧及负侧移动。

<实施方式>

[分割系统]

图1的(a)是表示分割系统1的结构的示意图。

如图1的(a)所示，分割系统1具有基板翻转装置11，刻划装置12，以及切断装置13。另外，图1中示出了从刻划装置12接收基板F的状态。

玻璃基板等脆性材料基板(之后，简称为“基板F”)经过各种的工序而成为最终产品。作为这样的工序，例如有将母基板分割成规定大小的基板F的工序，在分割后的基板F形成刻划线L的工序，沿刻划线L分割基板F的分割工序等。基板F在每道工序都被送入到规定的工作台，在一道工序结束后，为了进行下一道工序而被送出到其他的工作台。

本实施方式所涉及的基板翻转装置11将通过刻划装置12形成刻划线L的基板F正反面翻转并向切断装置13送出。在说明基板翻转装置11之前，先对刻划装置12和切断装置13进行说明。

图1的(b)是基板F的示意图。

基板F例如可以是玻璃基板、低温烧制陶瓷或高温烧制陶瓷等的陶瓷基板、硅基板、化合物半导体基板、蓝宝石基板、石英基板等。另外，基板F也可以在表面或内部，附着或包含有不属于脆性材料的薄膜或半导体材料。在本实施方式中，被正反面翻转的基板F是形成有刻划线L的陶瓷基板(氧化铝基板)。

此外，如图1的(b)所示，为了简便地处理基板F，没有形成刻划线L的面贴附着薄片2。并且，薄片2被保持在框架3。因此，在本实施方式中，“使基板F翻转”和“使被贴附在被保持于框架3的薄片2的状态下的基板F翻转”同义。此外，“吸附基板F”和“吸附被贴附在被保持于框架3中的薄片2的状态下的基板F”同义。

刻划装置12为基板F被载置于能在X-Y平面转动的刻划台4(参照图2)。如上所述，基板F被保持在框架3。此外，刻划台4被载置于能在X轴方向移动的移动台。

在使用刻划装置12形成刻划线L的情况下，在基板F的表面上转动并在基板F形成刻划线L的刀轮被安装于刻划头。刻划装置12使刻划头移动到规定的位置，对刀轮施加规定的负荷，使其接触基板F。然后，刻划装置12通过使刻划头在Y轴方向移动，在基板F形成刻划线L。

当在X轴方向上形成刻划线L时，刻划装置12使刻划台4(参照图2)旋转90度，以与上述相同的方式形成刻划线L。另外在上述中，虽然示出了刻划头在Y轴方向上移动而刻划台4(参照图2)在Y轴方向上移动的同时旋转的刻划装置，但是在刻划装置12中，刻划头和刻划台4(参照图2)也可以相对地移动。例如，也可以是刻划头固定、刻划台4(参照图2)在X轴、Y轴方向上移动并且旋转的刻划装置12。

通过刻划装置12形成了刻划线L的基板F在载置于刻划台4的状态下，通过能在X轴方向移动的移动台，向基板翻转装置11的方向移动。然后，通过机械臂等运送装置(未图示)，载置于运送台5，向基板翻转装置11运送。

切断装置13具有切断台6(参照图2)以及切断杆，其中所述切断台覆盖有由弹性构件构成的薄片。通过基板翻转装置11而被正反面翻转的基板F载置于切断台6(参照图2)上的薄片上。此时，刻划线L位于下表面一侧。

在这样的状态下，当沿着刻划线L使切断杆从上方下压时，基板F向下方弯曲。由此，沿刻划线L产生的裂纹渗透，并且该渗透沿刻划线L伸展。由此，基板F沿刻划线L被分割。

另外在上述中，虽然切断台6的上表面覆盖有由弹性构件构成的薄片，但是也能够构成为，例如，在圆环状构件与以基板F被容纳在圆环状构件的空洞部分的方式保持基板F的薄片2抵接的状态下，切断杆从上方下压至基板F。

[基板翻转装置]

接下来，对基板翻转装置11进行说明。

图2是表示基板翻转装置11的外观结构的立体图。

如图2所示，基板翻转装置11具有第一手部机构11A，第二手部机构11B，设置体7，以及升降机构10。设置体7被载置于载置台8，通过在设置体7设置的升降机构10使第一手部机构11A及第二手部机构11B升降。

经过了刻划工序的基板F在被载置于刻划台4的状态下，通过运送台5运送到第一手部机构11A侧。第一手部机构11A接收被载置在刻划台4的载置面4a的基板F，并向第二手部机构11B交接。

在第二手部机构11B侧，切断台6正在待机。第二手部机构11B将从第一手部机构11A交接后的基板F载置于切断台6的载置面6a。然后，基板F被运送至切断装置13(参照图1的(a))。

另外，按照参照图1的(a)的说明，在切断台6覆盖有由弹性构件构成的薄片的情况下，“将基板F载置于切断台6的载置面6a”和“将基板F载置于切断台6上覆盖的薄片上”同义。

本实施方式所涉及的基板翻转装置11为：第一手部机构11A及第二手部机构11B在像上述那样运送基板F的同时，进行基板F的正反面翻转。这样的第一手部机构11A和第二手部机构11B，具有彼此相同的结构，并且成对设置在基板翻转装置11。本说明书中，以第一手部机构11A的结构为代表进行说明。此外，在说明了第一手部机构11A的结构之后，说明升降机构10的结构。

另外，图2中示出了第一手部机构11A从刻划台4接收基板F并向第二手部机构11B运送的状态。此外，图2中示出了第二手部机构11B与第一手部机构11A的状态对照的状态。这是为了示出第二手部机构11B与第一手部机构11A结构相同，并且成对设置在基板翻转装置11。因此，图2所示的状态与基板翻转装置11的实际动作不一定一致。

图3是表示第一手部机构11A以及升降机构10的结构中的升降板110的结构的立体图。如图3所示，第一手部机构11A具有驱动部20，吸附部30，以及联动机构40。

驱动部20具有气缸200，安装构件210，螺丝220，以及连接板230。气缸200为：从外壳201的上部到内部形成有容纳竖杆202的孔穴，并且以能够向该孔穴供给气压的方式在外壳201设置有速度控制器203。

安装构件210设置在气缸200的外壳201的下部。在气缸200的Y轴负侧配置有连接板230，安装构件210和连接板230通过螺丝220被螺纹固定。并且，以将气缸200配置在比升降板110更靠近Y轴正侧的方式，在连接板230的一部分配置在升降板110的Y轴负侧的状态下，通过未图示的螺丝将连接板230和升降板110螺纹固定。这样一来，驱动部20被设置在升降板110。

当由气压源(未图示)向气缸200供给气压时，空气通过配管(未图示)流入气缸200。由气压源(未图示)供给的气压通过速度控制器203从而流量被调整。当对气缸200施加正压时竖杆202上升，当施加负压时竖杆202下降。像这样，当向气缸200施加气压时产生直线方向上的驱动力。

如图3所示，吸附部30具有真空垫300，中继管310、311、312，以及基座320。真空垫300具有：经由轴部301设有位于一侧端部的垫片302，以及位于另一侧端部的管303。本实施方式中，具有四个真空垫300。

中继管310设置在支承构件420的上部，中继管311、312设置在引导部442的上部。中继管310通过配管(未图示)与气压源(未图示)连接。此外，中继管310通过配管(未图示)分别与中继管311、312连接。进而，四个真空垫300中的两个真空垫300的各个管303通过配管与中继管311(未图示)连接。同样地，其余两个真空垫300的各个管303与中继管312通过配管(未图示)连接。

基座320分别在四个角形成孔，四个真空垫300的各个轴部301通过各孔。然后，在基座320的上表面设置支承体441。

当由气压源(未图示)向真空垫300供给气压时，首先，电磁阀(未图示)打开，空气通过配管(未图示)后通过中继管310，并被分配至中继管311、312。进而，空气从中继管311被分配至两个真空垫300的各个管303。同样地，空气从中继管312被分配至两个真空垫300的各个管303。如此，气压被向真空垫300供给。

例如，当对吸附部30(真空垫300)施加负压时，空气从各个管303流入垫片302，基板F吸附在垫片302。与此相对地，当对吸附部30施加正压时，基板F从垫片302离开。

另外，垫片302的尺寸只要能够吸附基板F即可，没有特别地限定。

如图3所示，联动机构40具有变换机构400，平行连杆机构410，支承构件420，齿轮430，传动机构440，以及基座板450。

变换机构400具有肘节接头401，螺母402，旋转板403，以及销轴404。肘节接头401使用双头型接头。肘节接头401为在Y轴方向上相向的一对侧壁401a、401b之间形成有凹槽401c，朝向该凹槽401c，驱动部20的竖杆202的上端部从肘节接头401的下表面插入。竖杆202通过螺母402被固定在肘节接头401的下表面。

作为板羽球板形状的板状构件的旋转板403被插入肘节接头401的凹槽401c，销轴404插入旋转板403的端部以及一对侧壁401a、401b。销轴404被固定在一对侧壁401a、401b。旋转板403通过螺丝(未图示)而被螺纹固定在后述的连杆板411。

当向气缸200供给气压，竖杆202在直线方向上移动时，固定在竖杆202的肘节接头401也在直线方向上移动。由此，以销轴404为中心旋转板403转动。基于该旋转板403的转动，连杆板411转动。像这样，通过变换机构400，将气缸200产生的直线方向上的驱动力变换至转动方向。

平行连杆机构410构成为：作为矩形的板状构件的四个连杆板411～414相互连接，或是连杆板和升降板110、基座板450以及支承构件420连接并且能够平行移动。

图4是从Y轴负侧观察图3的第一手部机构11A的立体图。

如图3和图4所示，升降板110是T字形的板状构件，在上部四个圆形的孔在X轴方向上并排形成，以使第一手部机构11A及第二手部机构11B的连杆板411、412能够连接。此外，从连杆板411的Y轴正侧的面到Y轴负侧的面形成有三个圆形的孔411a、411b、411c。在这三个孔之中，孔411a、411c是阶梯孔。

两个轴承(未图示)被嵌入在升降板110的上述4个孔中的孔111。阶梯螺丝(未图示)被螺纹固定在这两个轴承及连杆板411的孔411a。由此，连杆板411和升降板110连接，连杆板411能够以阶梯螺丝为中心转动。

在基座板450形成有下部的两个圆形的孔和上部的两个轨道形状的孔。两个轴承(未图示)被嵌入在连杆板411的孔411b。阶梯螺丝(未图示)被螺纹固定在这两个轴承及基座板450的上述两个圆形孔中的孔451。由此，连杆板411和基座板450连接，连杆板411能够通过两个轴承转动。

在连杆板413中，与连杆板411同样地，从Y轴正侧的面到Y轴负侧的面形成有三个圆形的孔413a、413b、413c。在这三个孔之中，孔413a、413c是阶梯孔。

两个轴承(未图示)被嵌入在连杆板413的孔413b。在连杆板411和连杆板413之间配置套环(未图示)，并且销轴插入两个轴承、套环以及连杆板411的孔411c，销轴和连杆板411通过螺母被固定。由此，连杆板411和连杆板413被连接。此外，连杆板413能够通过两个轴承来相对于连杆板411转动。

连杆板412形成为与上述的连杆板411相同。连杆板412与连杆板411相同，与升降板110、基座板450以及连杆板414连接。

在基座板450上部形成的两个轨道形状的孔中的孔452安装有轴承415。具体地，轴承415通过其凸缘部挂在基座板450的孔452的外周边缘的方式被安装于孔452。销轴416插入该轴承415和连杆板413的孔413a，销轴的顶端部通过螺母被固定在连杆板413。由此，连杆板413通过销轴416与基座板450连接。

连杆板414以与上述的连杆板413相同的方式形成。使连杆板414与连杆板413相同地，与基座板450以及连杆板412连接。此外，连杆板413、414分别与支承构件420连接。参照图5对该结构进行说明。

图5是用于说明平行连杆机构410与支承构件420及传动机构440的连接的部分分解立体图。

如图5所示，支承构件420由L形和倒L形的板状构件组合而成。在支承构件420的上部设置有上述的中继管310。在支承构件420的侧面形成有四个圆形的孔421～424(关于孔423，参照图4)。

连杆板414的孔414a(参照图4)为阶梯孔。两个轴承(未图示)被嵌入支承构件420的孔422。阶梯螺丝(未图示)被螺纹固定在这两个轴承及连杆板414的孔414a(参照图4)。由此，连杆板414和支承构件420连接，连杆板414通过两个轴承能够相对于支承构件420转动。

两个轴承(未图示)被嵌入支承构件420的孔423(参照图4)。连接轴417插入这两个轴承及连杆板413。连接轴417具有三个轴部417a、417b、417c。直径最大的轴部417a插入两个轴承，在Y轴正侧的轴部417b安装有齿轮430。Y轴负侧的轴部417c插入连杆板413的孔413c，并通过螺母固定。由此，连杆板413和支承构件420被连接。此外，因为连接轴417被固定在连杆板413，所以当连杆板413旋转时，连接轴417也旋转。由此，安装在连接轴417的齿轮430转动。

如参照图3说明的那样，联动机构40具有传动机构440。如图5所示，传动机构440具有支承体441，引导部442，杆构件443，齿轮444，轴部445、446、447，以及直线轴448。

支承体441是矩形的块状构件，在侧面形成有从Y轴正侧至负侧贯通的孔441a。此外，在支承体441，形成有从上表面贯通至下表面的两个孔441b。引导部442是矩形的块状构件，在侧面形成有从Y轴正侧贯通至负侧的孔442a。此外，在引导部442的下表面形成有两个孔(未图示)。在引导部442的上部设置有上述的中继管311、312。

直线轴448分别插入支承体441的两个孔441b，并且直线轴448被固定在支承体441。各直线轴448的上部以能直线移动的方式被插入引导部442的未图示的两个孔。由此，支承体441及各直线轴448能够以相对于引导部442接近及离开的方式移动。此外，如上所述，支承体441设置在吸附部30的基座320。

杆构件443是形成为大致矩形的板状构件。在杆构件443，形成有从Y轴正侧到达负侧的两个圆形的孔443a、443b。轴部445被嵌入支承体441的孔441a和杆构件443的孔443b。由此，通过轴部445，支承体441和杆构件443被连接。

轴部446被嵌入引导部442的孔442a和支承构件420的孔421。由此，通过轴部446，引导部442和支承构件420被连接。

齿轮444以在齿轮430的正下方以与齿轮430啮合的方式被设置在支承构件420的孔424。轴部447被嵌入于齿轮444。进而，轴部447被嵌入杆构件443的孔443a。由此，当齿轮430转动且齿轮444也转动时，齿轮444的转动通过轴部447传递至杆构件443，杆构件443转动。

图6的(a)是表示升降机构10的结构的立体图。图6的(b)是从与图6的(a)不同的方向观察时的立体图。

如图6的(a)、(b)所示，升降机构10具有驱动部100，升降板110，以及限位体120。驱动部100是气缸。从驱动部110的外壳101的上部直到内部形成有容纳竖杆102的孔穴，并且以能够向该孔穴供给气压的方式，在外壳101设置有速度控制器103。

此外，在驱动部100中，在外壳101的Y轴负侧的侧面设置有L字形的滑块104。竖杆102的下端部被固定在滑块104的底部104a。升降板110被安装在滑块104的Y轴负侧的侧面。

限位体120由块状构件121和矩形的板构件122构成。块状构件121被载置在外壳101的上表面，板构件122被安装在块状构件121及滑块104的侧面。

通过外壳101的Y轴正侧的侧面被安装在设置体7，升降机构10被设置体7支承。

图7的(a)、(b)分别表示升降机构10的动作。图7的(a)表示升降板110移动至最下方的情况，图7的(b)表示升降板110移动至最上方的情况。

如图7的(a)所示，当由气压源(未图示)对驱动部100施加正压时，滑块104与竖杆102一同向下方移动。由此，安装在滑块104的升降板110向下方移动。

如上所述，第一手部机构11A及第二手部机构11B被设置在升降板110。因此，通过竖杆102的上下方向的移动，第一手部机构11A及第二手部机构11B通过滑块104及升降板110而在上下方向移动。

当竖杆102向下方只移动规定的移动量时，块状构件121接触到外壳101的上表面。因为块状构件121通过板构件122连接在滑块104，所以当块状构件121接触到外壳101的上表面时，滑块104及竖杆102无法继续向下方移动。像这样，限位体120进行限制以使第一手部机构11A及第二手部机构11B不向下过度移动。

如图7的(b)所示，当由气压源(未图示)对驱动部100施加负压时，滑块104与竖杆102一同向上方移动。由此，安装在滑块104的升降板110向上方移动。由此，设置在升降板110的第一手部机构11A及第二手部机构11B向上方移动。

像这样，利用升降板110使第一手部机构11A及第二手部机构11B升降的目的是：在用第一手部机构11A从刻划台4(参照图2)接收基板F时，以及在用第二手部机构11B将基板F载置于切断台6(参照图2)时，防止基板F(框架3)接触载置面4a及载置面6a。

[翻转装置的动作]

图8是表示基板翻转装置11的结构的框图。如图8所示，基板翻转装置11除上述的结构外，还具有控制部50，输入部51，以及检测部52。

输入部51接收要通过基板翻转装置11使正反面翻转的基板F的数量。检测部52检测第一手部机构11A及第二手部机构11B的各吸附部30的位置。检测部52只要能够准确地检测各吸附部30的位置即可，例如能够使用传感器、摄像装置等。

控制部50包含CPU等计算处理电路，以及ROM、RAM、硬盘等的存储器。控制部50按照存储器存储的程序控制各部分。

此外，在图8中，为了区别第一手部机构11A的驱动部及吸附部，与第二手部机构11B的驱动部和吸附部，第一手部机构11A的驱动部及吸附部分别标记为“第一驱动部20A”及“第一吸附部30A”。第二手部机构11B的驱动部及吸附部分别标记为“第二驱动部20B”及“第二吸附部30B”。此外，升降机构10的驱动部100标记为“第三驱动部100”。

图9是表示基板翻转装置11的动作的流程图。该控制由图9所示的控制部50执行。以下，参照图10的(a)～图18对控制部50的控制进行说明。图10的(a)～图18是示意性表示基板翻转装置11的动作的正视图。

另外，在图9的流程图中，也与图8相同，使用“第一驱动部”、“第二驱动部”、“第三驱动部”、“第一吸附部”、“第二吸附部”的标记。

此外，在图10的(a)～图18中，只示出基板F、第一手部机构11A、第一手部机构11A以及升降板110，省略其他的结构。在图10的(a)～图18中，虽然省略了图1所示的设置体7、载置台8、刻划台4、运送台5以及切断台6，但是基板F是在载置于刻划台4的状态下通过运送台5送入至基板翻转装置11，并且基板F是在载置于切断台6的状态下从基板翻转装置11送出。

图10的(a)表示基板翻转装置11的初始状态。如图10的(a)所示，在初始状态中，第一手部机构11A的吸附部30(第一吸附部30A)和第二手部机构11B的吸附部30(第二吸附部30B)在彼此相向的状态下待机。该位置是基板F被从第一手部机构11A向第二手部机构11B交接的位置，称为“交接位置”。交接位置是吸附部30(第一吸附部30A)和吸附部30(第二吸附部30B)在与图2所示的刻划台4的载置面4a及切断台6的载置面6a垂直的状态下彼此相向的位置。

此外，第一手部机构11A的吸附部30(第一吸附部30A)从刻划台4的载置面4a接收基板F的位置被称为“送入位置”。第二手部机构11B的吸附部30(第二吸附部30B)将基板F载置于切断台6的载置面6a的位置被称为“送出位置”。

在图10的(a)的待机状态下，控制部50以对第一手部机构11A的驱动部20(第一驱动部20A)及第二手部机构11B的驱动部20(第二驱动部20B)双方施加正压的方式进行控制。此外，控制部50以对升降机构10的驱动部100(第三驱动部100)施加正压的方式进行控制。该状态对应图9的流程图的“开始”。

在图10的(a)的待机状态中，当输入部51接受到要翻转的基板F的数量时，控制部50如图10的(b)～图18所示执行动作。

如图9所示，在步骤S11中，控制部50以对第一手部机构11A的驱动部20(第一驱动部20A)施加负压的方式进行控制。另一方面，对于第二手部机构11B(第二驱动部20B)，控制部50以施加持续正压的方式进行控制。当对第一驱动部20A施加负压时，如图10的(b)～图12的(a)所示，第一手部机构11A执行动作。

在图10的(a)所示的待机状态下，因为对第一手部机构11A及第二手部机构11B的各气缸200施加正压，所以竖杆202从外壳201向上方移动规定量。当对第一手部机构11A的驱动部20(第一驱动部20A)施加负压时，如图10的(b)～图12的(a)所示，竖杆202从该状态向下方移动。

因为竖杆202与肘节接头401(参照图3)连接，所以如图10的(b)～图11的(a)所示，随着竖杆202向下方移动，旋转板403以肘节接头401的销轴404为中心，在X-Z平面向X轴负侧移动，即，逆时针转动。像这样，虽然利用对第一手部机构11A的吸附部30(第一吸附部30A)施加的负压来对竖杆202在直线方向上赋予驱动力，但是通过包含肘节接头401的变换机构400，使该直线方向的驱动力变换为转动方向。

利用旋转板403的转动，平行连杆机构410的连杆板411、412在X-Z平面内向X轴负侧，即，逆时针转动。另一方面，连接在连杆板411、412的连杆板413、414在X-Z平面向X轴正侧，即，顺时针转动。

另外，连杆板411、412连接在基座板450。因此，沿着连杆板411、412的逆时针转动轨迹，基座板450移动。此时，连杆板413、414通过轴部416连接在轴承415(参照图3)。因此，连杆板413通过轴承415相对于基座板450向下方移动。连杆板414也与之相同。

此时，在连杆板413、414连接的支承构件420以保持水平的姿势的状态，向X轴负方向移动。

当支承构件420正在向X轴负方向移动时，连杆板413的转动通过连接轴417(参照图5)传递至被设置在支承构件420的齿轮430，齿轮430转动，并且与齿轮430啮合的齿轮444(参照图5)转动。然后，齿轮444的转动传递至轴部447，杆构件443以轴部447为中心在X-Z平面向X轴负侧，即，逆时针转动。

因为杆构件443和支承体441通过轴部445连接，所以可见当杆构件443转动时，通过轴部445，支承体441及被支承体441支承的吸附部30与杆构件443相同地逆时针转动。但是，支承体441利用杆构件443的转动，沿直线轴448向着引导部442的一侧在直线方向上移动。像这样，支承体441及吸附部30利用杆构件443的旋转，一边沿直线轴448接近引导部442，一边在X-Z平面向X轴正侧移动，即，顺时针转动。

如图11的(a)所示，支承体441逐渐向引导部442接近，当支承441与引导部442接触时，如图11的(b)所示，支承体441及吸附部30随着杆构件443的转动，沿直线轴448离开引导部442。

然后，如图12的(a)所示，当杆构件443从交接位置旋转90度时，第一手部机构11A的吸附部30(第一吸附部30A)的基座320位于与刻划台4的载置面4a(参照图2)相向的位置，即，位于送入位置。

像这样，通过将赋予第一手部机构11A的驱动部20(第一驱动部20A)的直线方向的驱动力利用变换机构400变换至转动方向，从而使平行连杆机构410转动。由平行连杆机构410产生的转动从连接轴417传递至齿轮430，齿轮430转动。该齿轮430的转动从齿轮444传递至杆构件443，从而支承体441转动。然后，随着支承体441的转动，第一手部机构11A的吸附部30(第一吸附部30A)转动。

在图9的步骤S12中，控制部50向升降机构10的驱动部100(第三驱动部100)施加负压。由此，升降板110下降，并且第一手部机构11A及第二手部机构11B下降。即，从图7的(b)的状态向图7的(a)的状态变化。由此，真空垫300的垫片302与基板F的框架3抵接(参照图3)。

在图9的步骤S13中，控制部50对第一手部机构11A的吸附部30(第一吸附部30A)施加负压。由此，基板F吸附于真空垫300的垫片302(参照图3)。像这样，第一手部机构11A接收基板F。

在图9的步骤S14中，控制部50对升降机构10的驱动部100(第三驱动部100)施加正压。由此，升降板110上升，第一手部机构11A及第二手部机构11B上升。即，从图7的(a)的状态向图7的(b)的状态变化。

在图9的步骤S15中，控制部50对第一手部机构11A的驱动部20(第一驱动部20A)施加正压。由此，第一手部机构11A从图12的(a)的状态向着交接位置执行动作。具体地，如图12的(b)～图14的(a)所示，第一手部机构11A的状态发生变化。该状态变化是参照图10的(a)～图12的(a)说明的状态变化的逆过程。即，当对第一手部机构11A的驱动部20(第一驱动部20A)施加正压时，如图12的(b)～图14的(a)所示，竖杆202向上方移动。

由此，旋转板403及平行连杆机构410的连杆板411、412在X-Z平面向X轴正侧，即，顺时针转动。另一方面，连杆板413、414在X-Z平面向X轴负侧，即，逆时针转动。然后，基座板450沿着连杆板411、412的顺时针转动轨迹移动。连杆板413经由轴承415相对于基座板450向上方移动。连杆板414也与之相同。

此时，在连杆板413、414连接的支承构件420在保持水平的姿势的状态下，向X轴正方向移动。

当支承构件420正在向X轴正方向移动时，连杆板413的转动通过连接轴417(参照图5)传递至被设置在支承构件420的齿轮430，齿轮430及与齿轮430啮合的齿轮444转动。然后，齿轮444的转动传递至轴部447，杆构件443以轴部447为中心在X-Z平面向X轴正侧，即，顺时针转动。

当杆构件443顺时针转动时，支承体441及吸附部30通过轴部445一边沿直线轴448接近引导部442，一边在X-Z平面向X轴负侧移动，即，逆时针转动。

如图13的(a)所示，支承体441逐渐向引导部442接近，当支承体441与引导部442接触时，如图13的(b)所示，支承体441及吸附部30随着杆构件443的转动，沿直线轴448逐渐离开引导部442。

然后，如图14的(a)所示，当杆构件443从送入位置旋转90度时，第一手部机构11A的吸附部30(第一吸附部30A)的基座320位于交接位置。即，第一手部机构11A的吸附部30与第二手部机构11B的吸附部30(第二吸附部30B)彼此相向。

在图9的步骤S16中，控制部50对第二手部机构11B的吸附部30(第二吸附部30B)施加负压，并对第一手部机构11A的吸附部30(第一吸附部30B)施加正压。由此，基板F离开第一手部机构11A的真空垫300的垫片302(参照图3)，并被吸附在第二手部机构11B的真空垫300的垫片302(参照图3)。由此，基板F从第一手部机构11A被交接至第二手部机构11B。

另外在步骤S16中，为了使基板F可靠地被第二手部机构11B接收，控制部50首先对第二手部机构11B的吸附部30(第二吸附部30B)施加负压。然后控制部50对第一手部机构11A施加正压。此外，控制部50也可以在对第二手部机构11B的吸附部30(第二吸附部30B)施加负压的同时，对第一手部机构11A施加正压。

在图9的步骤S17中，控制部50对第二手部机构11B的驱动部20(第二驱动部20B)施加负压。由此，第二手部机构11B从图14的(a)的状态向着送出位置执行动作。具体地，如图14的(b)～图16的(a)所示，第二手部机构11B的状态发生变化。该状态变化除了转动方向不同以外其他都与参照图10的(a)～图12的(a)说明的状态变化相同。即，当对第二手部机构11B的驱动部20(第二驱动部20B)施加负压时，如图14的(b)～图16的(a)所示，竖杆202向下方移动。

由此，旋转板403及平行连杆机构410的连杆板411、412在X-Z平面向X轴正侧，即，顺时针转动。另一方面，连杆板413、414在X-Z平面向X轴负侧，即，逆时针转动。然后，基座板450沿着连杆板411、412的顺时针转动轨迹移动。连杆板413通过轴承415相对于基座板450向下方移动。连杆板414也与之相同。

此时，连接在连杆板413、414的支承构件420在保持水平的姿势的状态下，向X轴正方向移动。

当支承构件420正在向X轴正方向移动时，连杆板413的转动通过连接轴417(参照图5)传递至被设置在支承构件420的齿轮430，齿轮430及与齿轮430咬合的齿轮444转动。然后，齿轮444的转动传递至轴部447，杆构件443以轴部447为中心在X-Z平面向X轴正侧，即，顺时针转动。

当杆构件443顺时针转动时，支承体441和吸附部30通过轴部445一边沿直线轴448接近引导部442，一边在X-Z平面向X轴负侧移动，即，逆时针转动。

如图15的(a)所示，支承体441逐渐向引导部442接近，当支承441与引导部442接触时，如图15的(b)所示，支承体441及吸附部30随着杆构件443的转动，沿直线轴448离开引导部442。

然后，如图16的(a)所示，当杆构件443从交接位置旋转90度时，第二手部机构11B的吸附部30(第二吸附部30B)的基座320位于与切断台6的载置面6a(参照图2)相向的位置，即，位于送出位置。

在图9的步骤S18中，控制部50对升降机构10的驱动部100(第三驱动部100)施加负压。由此，升降板110下降，并且第一手部机构11A及第二手部机构11B下降。即，从图7的(b)的状态向图7的(a)的状态变化。由此，基板F与载置面6a抵接(参照图3)。

在图9的步骤S19中，控制部50对第二手部机构11B的吸附部30(第二吸附部30B)施加正压。由此，基板F与真空垫300的垫片302的吸附解除(参照图3)。

在图9的步骤S20中，控制部50对升降机构10的驱动部100(第三驱动部100)施加正压。由此，升降板110上升，并且第一手部机构11A及第二手部机构11B上升。即，从图7的(a)的状态向图7的(b)的状态变化。由此，基板F离开第二手部机构11B的垫片302(参照图3)，并被载置于切断台6的载置面6a(参考图2)。

在图9的步骤S21中，控制部50对第二手部机构11B的驱动部20(第二驱动部20B)施加正压。由此，第二手部机构11B从图16的(a)的状态向着交接位置执行动作。具体地，如图16的(b)～图18所示，第二手部机构11B的状态发生变化。该状态变化除了转动方向不同以外其他与参照图12的(b)～图14的(a)说明的状态都相同。即，当对第二手部机构11B的驱动部20(第二驱动部20B)施加正压时，如图16的(b)～图18所示，竖杆202向上方移动。

由此，旋转板403及平行连杆机构410的连杆板411、412在X-Z平面向X轴负侧，即，逆时针转动。另一方面，连杆板413、414在X-Z平面向X轴正侧，即，顺时针转动。并且，基座板450沿着连杆板411、412的逆时针转动轨迹移动。连杆板413通过轴承415相对于基座板450向上方移动。连杆板414也与之相同。

此时，在连杆板413、414连接的支承构件420在保持水平的姿势的状态下，向X轴负方向移动。

当支承构件420正在向X轴负方向移动时，连杆板413的转动通过连接轴417(参照图5)传递至被设置在支承构件420的齿轮430，齿轮430及与齿轮430啮合的齿轮444转动。然后，齿轮444的转动传递至轴部447，杆构件443以轴部447为中心在X-Z平面向X轴负侧，即，逆时针转动。

当杆构件443逆时针旋转时，支承体441及吸附部30通过轴部445一边沿直线轴448接近引导部442，一边在X-Z平面向X轴正侧移动，即，顺时针旋转。

如图17的(a)所示，支承体441逐渐向引导部442接近，当支承441与引导部442接触时，如图17的(b)所示，支承体441及吸附部30随着杆构件443的转动，沿直线轴448逐渐离开引导部442。

然后，如图18所示，当杆构件443从送出位置旋转90度时，第二手部机构11B的吸附部30(第二吸附部30B)的基座320位于交接位置。即，第二手部机构11B的吸附部30与第一手部机构11A的吸附部30(第一吸附部30A)彼此相向。

在图9的步骤S22中，控制部50判断是否有要正反面翻转的基板F。在已经准备了要正反面翻转的基板F的情况下(步骤S22：是)，再次执行步骤S11～S21的处理。在步骤S22中，在没有要正反面翻转的基板F的情况下(步骤S22：否)，由基板翻转装置11执行的基板F的正反面翻转结束。

<实施方式的效果>

根据本实施方式，产生以下效果。

如图2所示，在基板翻转装置11中，第一手部机构11A和第二手部机构11B组成一对。此外，对第一手部机构11A和第二手部机构11B应用了同一结构的联动机构40。由此，能够容易地构成基板翻转装置11。

如图10的(a)～图18所示，基板F的正反面翻转在送入位置与交接位置之间，以及交接位置与送出位置之间进行。在联动机构40中，假设在没有设置支承体441的情况下，因为吸附部30基于杆构件443的转动而转动，所以为了使基板F翻转，则需要杆构件443必须转动180度。在这种情况下，需要确保在水平方向及垂直方向有足够的空间。

但是在本实施方式中，在送入位置通过第一手部机构11A的吸附部30而从刻划台4的载置面4a被吸附的基板F一边被旋转90°一边被运送至交接位置，并在交接位置被交接至第二手部机构11B的吸附部30。然后，基板F一边再次被旋转90°一边从交接位置运送至送出位置，并且在送出位置，被从第二手部机构11B的吸附部30载置于载置面6a。

像这样，基板翻转装置11能够将基板F一边翻转一边从刻划台4运送至切断台6。由此，能够高效地且在更小的空间进行基板F的翻转动作。

此外，在第二手部机构11B将基板F向送出位置运送期间，第一手部机构11A在交接位置处于待机的状态。在此期间，刻划台4被运送至送入位置。因此，在第二手部机构11B从送出位置将要返回至交接位置时，第一手部机构11A能够立即在送入位置接收基板F。

此外，在第一手部机构11A执行动作期间，第二手部机构11B在交接位置待机，在第二手部机构11B执行动作期间，第一手部机构11A在交接位置待机。因此，由于不需要使第一手部机构11A和第二手部机构11B的动作同步，所以无需复杂的控制。

此外，如图3～图5所示，当支承构件420通过平行连杆机构410在X轴方向上平行地移动时，伴随该移动，配置在平行连杆机构410的连接轴417的齿轮430转动，基于该转动，吸附部30一边转动一边直线移动。由此，利用气缸200的驱动力，能够使吸附部30一边以与X轴方向平行的方式移动，一边转动及直线移动，并且能够通过平行连杆机构410及传动机构440使这些的移动准确地同步。

另外，如图3～图5所示，齿轮430的转动能够变换为吸附部30的直线移动及转动。由此，在支承构件420，能够流畅地使吸附部30直线移动及转动。

另外，如图2所示，第一手部机构11A和第二手部机构11B分别设置有驱动部20。因此，能够根据基板F的运送时机使各吸附部30单独移动。

如图6的(a)～图7的(b)所示，第一手部机构11A及第二手部机构11B通过升降机构10升降。由此，吸附部30能够不接触刻划台4的载置面4a或切断台6的载置面6a而进行基板F的接收或载置。

<其他的实施方式>

在上述实施方式中，在第一手部机构11A执行动作期间，第二手部机构11B在交接位置待机，在第二手部机构11B执行动作转期间，第一手部机构11A在交接位置待机。与此相对地，在其他的实施方式中，使第一手部机构11A及第二手部机构11B同时执行动作。

具体地，将第一手部机构11A的驱动部20及第二手部机构11B的驱动部20构成为一个驱动部。在这种情况下，将板状的连接构件安装在气缸的竖杆的顶端，该连接构件与第一手部机构11A及第二手部机构11B的各肘节接头401连接。

通过这样的结构，当对气缸施加正压及负压时，通过连接构件将气缸产生的直线方向的驱动力传递至第一手部机构11A及第二手部机构11B的各旋转板403。由此，第一手部机构11A及第二手部机构11B开始运转。

即，在其他的实施方式中，当第一手部机构11A位于送入位置时第二手部机构11B位于送出位置，以使第一手部机构11A及第二手部机构11B同时位于交接位置的方式执行动作。由此，同时进行基板F的送入和送出。因此，能够更高效率地进行基板F的翻转动作。

<变形例>

在上述实施方式中，虽然使用气缸200作为驱动源，但是也可以使用搭载有滚珠丝杠的伺服电机的结构。在这种情况下，当伺服电机进行驱动时，旋转驱动力通过伺服电机变换为直线方向的驱动力。该驱动力通过变换机构400等进一步变换至转动方向，从而能够使第一手部机构11A及第二手部机构11B执行动作。

另外，在上述实施方式中，虽然吸附部30使用了4个真空垫300，但是真空垫300的数量不限于此。只要能够可靠地吸附基板F并运送，也可以比4个更少或者更多。

但是，当真空垫300为1个的情况下，因为难以良好地保持基板F的平衡，所以优选真空垫300为2个以上。

此外，在上述实施方式中，虽然利用真空垫300吸附基板F，但是也能够构成为用形成有多个微小的孔的板状构件替代真空垫300，并安装在支承体441。

采用这样的结构的情况下，设置压力施加部，通过配管将该压力施加部与气压源连接。然后，在基板F与板状构件抵接的状态下，当由压力施加部施加负压时，通过多个孔对基板F作用气压。由此，能够将基板F吸附在板状构件。

此外，在上述实施方式中，虽然真空垫300抵接在保持有基板F的框架3，但也可以是真空垫300的垫片302直接抵接在基板F。

此外，在上述实施方式中，从刻划台4的载置面4a接收基板F时，以及将基板F载置于切断台6的载置面6a时，为了避免载置面4a、6a与基板F的接触，通过升降机构10同时升降第一手部机构11A及第二手部机构11B。但是，也可以构成为第一手部机构11A及第二手部机构11B单独地升降。

作为这样的结构，例如将升降机构10的驱动部100分别设置在第一手部机构11A及第二手部机构11B。然后，当第一手部机构11A位于送入位置时，第一手部机构11A侧的驱动部以使第一手部机构11A向着载置面4a下降的方式进行驱动。当第一手部机构11A向交接位置移动时，第一手部机构11A侧的驱动部以使第一手部机构11A上升的方式进行驱动。

对于第二手部机构11B也与之相同，当第二手部机构11B位于送出位置时，第二手部机构11B侧的驱动部以使第二手部机构11B向载置面6a下降的方式进行驱动。当第二手部机构11B向交接位置移动时，第二手部机构11B侧的驱动部以使第二手部机构11B上升的方式进行驱动。

又或者，可以不使用升降机构10，而是构成为刻划台4及切断台6各自分别向第一手部机构11A及第二手部机构11B接近及离开。

在这种情况下，当第一手部机构11A位于送入位置时，刻划台4向着吸附部30上升，并且基板F抵接在垫片302。当基板F被吸附在吸附部时，刻划台4下降，之后，第一手部机构11A向交接位置移动。

第二手部机构11B也与之相同，当第二手部机构11B位于送出位置时，切断台6向着吸附部30上升，并且基板F抵接在垫片302。当通过吸附部30解除基板F的吸附时，切断台6下降，之后，第二手部机构11B向着交接位置移动。

即使在构成为这样的情况下，也能够防止基板F和载置面4a、6a的接触。

此外，在上述实施方式中，虽然刻划台4的载置面4a和切断台6的载置面6a在相同的高度位置，但是也可以是在彼此不同的高度位置。在这种情况下，也能够通过利用升降机构10使第一手部机构11A和第二手部机构11B升降，从而防止基板F和载置面4a、6a的接触。

此外，在上述实施方式中，虽然将两个载置面区分为刻划台4的载置面4a及切断台6的载置面6a，但是也可以将载置基板F的面设定在同一平面上。

在这种情况下，例如基板F被通过机械臂定位于送入位置的载置面(第一载置面)。通过基板翻转装置11而被正反面翻转并被定位于送出位置的载置面(第二载置面)的基板F被通过机械臂运送至目标位置。

本发明的实施方式可以在本发明要求保护的范围所示的技术思想的范围内进行适宜的、各种的变更。

附图标记说明

1：基板翻转装置；

4a：载置面(第一载置面)；

6a：载置面(第二载置面)；

12：刻划装置；

13：切断装置；

20：驱动部(第一驱动部，第二驱动部)；

30：吸附部(第一吸附部，第二吸附部)；

40：联动机构(第一联动机构，第二联动机构)；

410：平行连杆机构(第一平行连杆机构，第二平行连杆机构)；

411：连接轴(第一连接轴，第二连接轴)；

420：支承构件(第一支承构件，第二支承构件)；

430：齿轮(第一齿轮)；

440：传动机构(第一传动机构，第二传动机构)；

441：支承体(第一支承体，第二支承体)；

442：引导部(第一引导部，第二引导部)；

443：杆构件(第一杆构件，第二杆构件)；

F；基板

Claims (5)

1.一种基板翻转装置，其特征在于，具有：

第一吸附部，其对载置于第一载置面的基板进行吸附，

第二吸附部，其将所述基板载置于与所述第一载置面平行的第二载置面，

第一联动机构，其利用直线方向的第一驱动力使所述第一吸附部移动，

第二联动机构，其利用直线方向的第二驱动力使所述第二吸附部移动，以及

驱动部，其对所述第一联动机构及所述第二联动机构分别赋予所述第一驱动力及所述第二驱动力，

所述第一联动机构在送入位置和交接位置之间使所述第一吸附部移动，所述送入位置是所述第一吸附部相向于所述第一载置面的位置，所述交接位置是所述第一吸附部与所述第二吸附部在与所述第一载置面垂直的状态下彼此相向的位置，

所述第二联动机构在所述交接位置和送出位置之间使所述第二吸附部移动，其中所述送出位置是所述第二吸附部相向于所述第二载置面的位置。

2.根据权利要求1所述的基板翻转装置，其特征在于，

所述第一联动机构具有：

第一支承构件，

第一平行连杆机构，其利用所述第一驱动力使所述第一支承构件在与所述第一载置面平行的方向上移动，

第一齿轮，其被配置在所述第一平行连杆机构对所述第一支承构件的连接轴，以及

第一传动机构，其被配置在所述第一支承构件，利用所述第一齿轮的转动使所述第一吸附部相对于所述第一支承构件一边转动一边直线移动，

所述第二联动机构具有：

第二支承构件，

第二平行连杆机构，其利用所述第二驱动力使所述第二支承构件在与所述第二载置面平行的方向上移动，

第二齿轮，其被配置在所述第二平行连杆机构对所述第二支承构件的连接轴，以及

第二传动机构，其被配置在所述第二支承构件，利用所述第二齿轮的转动使所述第二吸附部相对于所述第二支承构件一边转动一边直线移动。

3.根据权利要求2所述的基板翻转装置，其特征在于，

所述第一传动机构具有：

第一引导部，其以能转动的方式被支承在所述第一支承构件，并且以能直线移动的方式对支承所述第一吸附部的第一支承体进行支承，以及

第一杆构件，其随着所述第一齿轮的转动而转动，并且被连接在所述第一支承体，

所述第二传动机构具有：

第二引导部，其以能转动的方式被支承在所述第二支承构件，并且以能直线移动的方式对支承所述第二吸附部的第二支承体进行支承，以及

第二杆构件，其随着所述第二齿轮的转动而转动，并且被连接在所述第二支承体。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的基板翻转装置，其特征在于，

所述驱动部具有分别产生所述第一驱动力及所述第二驱动力的第一驱动部及第二驱动部。

5.一种分割系统，其特征在于，具有：

刻划装置，其在基板形成刻划线，

基板翻转装置，其使所述基板正反面翻转，以及

切断装置，其沿所述刻划线分割所述基板，

所述基板翻转装置具有：

第一吸附部，其对载置于第一载置面的基板进行吸附，

第二吸附部，其将所述基板载置于与所述第一载置面平行的第二载置面，

第一联动机构，其利用直线方向的第一驱动力使所述第一吸附部移动，

第二联动机构，其利用直线方向的第二驱动力使所述第二吸附部移动，以及

驱动部，其对所述第一联动机构及所述第二联动机构分别赋予所述第一驱动力及所述第二驱动力，

所述第一联动机构在送入位置和交接位置之间使所述第一吸附部移动，其中所述送入位置是所述第一吸附部相向于所述第一载置面的位置，所述交接位置是所述第一吸附部与所述第二吸附部在与所述第一载置面垂直的状态下彼此相向的位置，

所述第二联动机构在所述交接位置和送出位置之间使所述第二吸附部移动，其中所述送出位置是所述第二吸附部相向于所述第二载置面的位置。

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