CN113061943A - 一种清洗电解铜箔用阳极板的方法 - Google Patents
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- 238000004140 cleaning Methods 0.000 title claims abstract description 83
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 25
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 24
- 239000011889 copper foil Substances 0.000 title claims abstract description 24
- QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-N Acetic acid Chemical compound CC(O)=O QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 33
- 239000000243 solution Substances 0.000 claims abstract description 33
- 239000007853 buffer solution Substances 0.000 claims description 36
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Chemical compound O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 26
- VMHLLURERBWHNL-UHFFFAOYSA-M Sodium acetate Chemical compound [Na+].CC([O-])=O VMHLLURERBWHNL-UHFFFAOYSA-M 0.000 claims description 23
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 17
- 239000008367 deionised water Substances 0.000 claims description 15
- 229910021641 deionized water Inorganic materials 0.000 claims description 15
- 229940040526 anhydrous sodium acetate Drugs 0.000 claims description 13
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 10
- 239000001632 sodium acetate Substances 0.000 claims description 10
- 235000017281 sodium acetate Nutrition 0.000 claims description 10
- 238000009835 boiling Methods 0.000 claims description 5
- 229940046892 lead acetate Drugs 0.000 claims description 5
- 238000004506 ultrasonic cleaning Methods 0.000 claims description 5
- 238000005406 washing Methods 0.000 claims description 5
- 239000002699 waste material Substances 0.000 claims description 5
- PIJPYDMVFNTHIP-UHFFFAOYSA-L lead sulfate Chemical compound [PbH4+2].[O-]S([O-])(=O)=O PIJPYDMVFNTHIP-UHFFFAOYSA-L 0.000 abstract description 3
- 239000003344 environmental pollutant Substances 0.000 abstract description 2
- 231100000719 pollutant Toxicity 0.000 abstract description 2
- 239000003153 chemical reaction reagent Substances 0.000 abstract 1
- 238000005868 electrolysis reaction Methods 0.000 abstract 1
- 239000007974 sodium acetate buffer Substances 0.000 abstract 1
- 239000002904 solvent Substances 0.000 abstract 1
- 238000005303 weighing Methods 0.000 description 3
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 2
- 230000005856 abnormality Effects 0.000 description 1
- 230000004075 alteration Effects 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- 239000011888 foil Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 1
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C25—ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
- C25D—PROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PRODUCTION OF COATINGS; ELECTROFORMING; APPARATUS THEREFOR
- C25D1/00—Electroforming
- C25D1/04—Wires; Strips; Foils
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B3/00—Cleaning by methods involving the use or presence of liquid or steam
- B08B3/04—Cleaning involving contact with liquid
- B08B3/10—Cleaning involving contact with liquid with additional treatment of the liquid or of the object being cleaned, e.g. by heat, by electricity or by vibration
- B08B3/12—Cleaning involving contact with liquid with additional treatment of the liquid or of the object being cleaned, e.g. by heat, by electricity or by vibration by sonic or ultrasonic vibrations
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23G—CLEANING OR DE-GREASING OF METALLIC MATERIAL BY CHEMICAL METHODS OTHER THAN ELECTROLYSIS
- C23G1/00—Cleaning or pickling metallic material with solutions or molten salts
- C23G1/02—Cleaning or pickling metallic material with solutions or molten salts with acid solutions
- C23G1/04—Cleaning or pickling metallic material with solutions or molten salts with acid solutions using inhibitors
- C23G1/06—Cleaning or pickling metallic material with solutions or molten salts with acid solutions using inhibitors organic inhibitors
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23G—CLEANING OR DE-GREASING OF METALLIC MATERIAL BY CHEMICAL METHODS OTHER THAN ELECTROLYSIS
- C23G1/00—Cleaning or pickling metallic material with solutions or molten salts
- C23G1/02—Cleaning or pickling metallic material with solutions or molten salts with acid solutions
- C23G1/12—Light metals
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Abstract
本发明公开了一种清洗电解铜箔用阳极板的方法,主要使用乙酸、乙酸钠缓冲溶液为清洗试剂,在超声波辅助下溶剂电解铜箔用阳极板表面的硫酸铅,从而实现对阳极板表面污染物的有效清除。本发明方法原理简单、可操作性强,可以实现对电解铜箔用阳极板的有效清洁,可广泛应用于电解铜箔用阳极板的高效清洁。
Description
技术领域
本发明涉及应用化学技术领域,具体来说,涉及一种清洗电解铜箔用阳极板的方法。
背景技术
电解铜箔阳极板在电解生箔过程中会逐渐在表面生成主要成分为硫酸铅的低溶解度污染物,从而影响尺寸稳定阳极(DSA)表面电流密度分布的均匀性,进而影响电解生成铜箔的均匀性。
发明内容
针对相关技术中的问题,本发明提出一种清洗电解铜箔用阳极板的方法,解决目前电解铜箔用阳极板清洗效率偏低的问题。
为了实现上述技术目的,本发明的技术方案是这样的:
采用一种清洗电解铜箔用阳极板的方法,包括以下步骤:
步骤S1,配制缓冲溶液,在室温下,将无水乙酸钠溶于去离子水中,混合均匀后,向乙酸钠溶液中加入乙酸,之后继续加水至溶液中乙酸钠的浓度为52g/L,溶液的PH值介于5.0-6.0之间,最后形成缓冲溶液;
步骤S2,将待清洗的阳极板转移至带有加热和超声辅助清洗功能的清洗槽中,然后向清洗槽中加入步骤S1中配置的缓冲溶液,并确保阳极板完全浸没于缓冲溶液中;
步骤S3,将步骤S2中清洗槽的升温速率调为2-5oC/min、超声频率调为28-40 kHz,开始对阳极板进行加热与超声辅助清洗;
步骤S4,待步骤S3中清洗槽内的缓冲溶液加热至沸腾以后,再在该温度下保温10-15min,之后继续对阳极板进行加热与超声辅助清洗;
步骤S5,阳极板清洗结束后,关闭清洗槽的加热和超声功能,将清洗槽中的液体收集至特定的废液收集装置中,然后继续向阳极板清洗槽中加入相同体积的去离子水;
步骤S6,开启清洗槽的超声功能,对阳极板进行超声清洗,去除阳极板表面残留的缓冲溶液和乙酸铅溶液;
步骤S7,测定清洗液的酸碱度,至清洗液的pH值位于7±0.5之间后,停止清水冲洗,将阳极板自然晾干。
进一步,所述步骤S1中,乙酸、无水乙酸钠的纯度不低于99.7%。
进一步,所述步骤S1中,去离子水的电导率低于0.056us/cm。
进一步,所述步骤S3中,超声频率为40kHz。
进一步,所述步骤S2中,缓冲溶液需要加热至沸腾状态。
本发明的有益效果:这种清洗电解铜箔用阳极板的方法可对阳极板表面的硫酸铅进行及时有效清理,可以有效提高电解过程中电场分布的均匀性,提高电解铜箔的厚度均匀性,并降低铜箔表面异常的发生概率。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1是根据本发明实施例所述一种清洗电解铜箔用阳极板的方法中阳极板清洗结构示意图;
图中:1、阳极板;2、缓冲溶液。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图,对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例,本领域普通技术人员所获得的所有其他实施例,都属于本发明保护的范围。
实施例一:
根据本发明实施例所述的一种清洗电解铜箔用阳极板的方法,包括以下步骤:
步骤S1,配制缓冲溶液,在室温下,称取5.2 kg的无水乙酸钠溶于一定体积的去离子水中,混合均匀后,向乙酸钠溶液中加入乙酸,之后继续加水至溶液中乙酸钠的浓度为52g/L,溶液的PH值为5.0,最后形成缓冲溶液,其中,乙酸、无水乙酸钠的纯度不低于99.7%,去离子水的电导率低于0.056us/cm;
步骤S2,将待清洗的阳极板转移至带有加热和超声辅助清洗功能的清洗槽中,然后向清洗槽中加入步骤S1中配置的缓冲溶液,并确保阳极板完全浸没于缓冲溶液中,其中,缓冲溶液需要加热至沸腾状态;
步骤S3,将步骤S2中清洗槽的升温速率调为2 oC/min、超声频率调为28kHz,开始对阳极板进行加热与超声辅助清洗;
步骤S4,待步骤S3中清洗槽内的缓冲溶液加热至沸腾以后,再在该温度下保温10min,之后继续对阳极板进行加热与超声辅助清洗;
步骤S5,阳极板清洗结束后,关闭清洗槽的加热和超声功能,将清洗槽中的液体收集至特定的废液收集装置中,然后继续向阳极板清洗槽中加入相同体积的去离子水;
步骤S6,开启清洗槽的超声功能,对阳极板进行超声清洗,去除阳极板表面残留的缓冲溶液和乙酸铅溶液;
步骤S7,测定清洗液的酸碱度,至清洗液的pH值位于7±0.5之间后,停止清水冲洗,将阳极板自然晾干。
实施例二:
根据本发明实施例所述的一种清洗电解铜箔用阳极板的方法,包括以下步骤:
步骤S1,配制缓冲溶液,在室温下,称取5.2 kg的无水乙酸钠溶于一定体积的去离子水中,混合均匀后,向乙酸钠溶液中加入乙酸,之后继续加水至溶液中乙酸钠的浓度为52g/L,溶液的PH值为5.0,最后形成缓冲溶液,其中,乙酸、无水乙酸钠的纯度不低于99.7%,去离子水的电导率低于0.056us/cm;
步骤S2,将待清洗的阳极板转移至带有加热和超声辅助清洗功能的清洗槽中,然后向清洗槽中加入步骤S1中配置的缓冲溶液,并确保阳极板完全浸没于缓冲溶液中,其中,缓冲溶液需要加热至沸腾状态;
步骤S3,将步骤S2中清洗槽的升温速率调为2 oC/min、超声频率调为40kHz,开始对阳极板进行加热与超声辅助清洗;
步骤S4,待步骤S3中清洗槽内的缓冲溶液加热至沸腾以后,再在该温度下保温10min,之后继续对阳极板进行加热与超声辅助清洗;
步骤S5,阳极板清洗结束后,关闭清洗槽的加热和超声功能,将清洗槽中的液体收集至特定的废液收集装置中,然后继续向阳极板清洗槽中加入相同体积的去离子水;
步骤S6,开启清洗槽的超声功能,对阳极板进行超声清洗,去除阳极板表面残留的缓冲溶液和乙酸铅溶液;
步骤S7,测定清洗液的酸碱度,至清洗液的pH值位于7±0.5之间后,停止清水冲洗,将阳极板自然晾干。
实施例三:
根据本发明实施例所述的一种清洗电解铜箔用阳极板的方法,包括以下步骤:
步骤S1,配制缓冲溶液,在室温下,称取5.2 kg的无水乙酸钠溶于一定体积的去离子水中,混合均匀后,向乙酸钠溶液中加入乙酸,之后继续加水至溶液中乙酸钠的浓度为52g/L,溶液的PH值为6.0,最后形成缓冲溶液,其中,乙酸、无水乙酸钠的纯度不低于99.7%,去离子水的电导率低于0.056us/cm;
步骤S2,将待清洗的阳极板转移至带有加热和超声辅助清洗功能的清洗槽中,然后向清洗槽中加入步骤S1中配置的缓冲溶液,并确保阳极板完全浸没于缓冲溶液中,其中,缓冲溶液需要加热至沸腾状态;
步骤S3,将步骤S2中清洗槽的升温速率调为5oC/min、超声频率调为40kHz,开始对阳极板进行加热与超声辅助清洗;
步骤S4,待步骤S3中清洗槽内的缓冲溶液加热至沸腾以后,再在该温度下保温15min,之后继续对阳极板进行加热与超声辅助清洗;
步骤S5,阳极板清洗结束后,关闭清洗槽的加热和超声功能,将清洗槽中的液体收集至特定的废液收集装置中,然后继续向阳极板清洗槽中加入相同体积的去离子水;
步骤S6,开启清洗槽的超声功能,对阳极板进行超声清洗,去除阳极板表面残留的缓冲溶液和乙酸铅溶液;
步骤S7,测定清洗液的酸碱度,至清洗液的pH值位于7±0.5之间后,停止清水冲洗,将阳极板自然晾干。
综上所述,待阳极板表面的水分自然晾干后,观察分析对比阳极板清洗前后的外观情况,清洗后的阳极板颜色均匀;使用便携式粗糙度仪在阳极板表面按长度测定5个区域的粗糙度值,各区域的粗糙度相差不超过10%。
需要说明的是,在本文中,术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含,从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素,而且还包括没有明确列出的其他要素,或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下,由语句“包括一个……”限定的要素,并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。
尽管已经示出和描述了本发明的实施例,对于本领域的普通技术人员而言,可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型,本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。
Claims (5)
1.一种清洗电解铜箔用阳极板的方法,其特征在于,包括以下步骤:
步骤S1,配制缓冲溶液,在室温下,将无水乙酸钠溶于去离子水中,混合均匀后,向乙酸钠溶液中加入乙酸,之后继续加水至溶液中乙酸钠的浓度为52g/L,溶液的PH值介于5.0-6.0之间,最后形成缓冲溶液;
步骤S2,将待清洗的阳极板转移至带有加热和超声辅助清洗功能的清洗槽中,然后向清洗槽中加入步骤S1中配置的缓冲溶液,并确保阳极板完全浸没于缓冲溶液中;
步骤S3,将步骤S2中清洗槽的升温速率调为2-5oC/min、超声频率调为28-40 kHz,开始对阳极板进行加热与超声辅助清洗;
步骤S4,待步骤S3中清洗槽内的缓冲溶液加热至沸腾以后,再在该温度下保温10-15min,之后继续对阳极板进行加热与超声辅助清洗;
步骤S5,阳极板清洗结束后,关闭清洗槽的加热和超声功能,将清洗槽中的液体收集至特定的废液收集装置中,然后继续向阳极板清洗槽中加入相同体积的去离子水;
步骤S6,开启清洗槽的超声功能,对阳极板进行超声清洗,去除阳极板表面残留的缓冲溶液和乙酸铅溶液;
步骤S7,测定清洗液的酸碱度,至清洗液的pH值位于7±0.5之间后,停止清水冲洗,将阳极板自然晾干。
2.根据权利要求1所述的一种清洗电解铜箔用阳极板的方法,其特征在于,所述步骤S1中,乙酸、无水乙酸钠的纯度不低于99.7%。
3.根据权利要求1所述的一种清洗电解铜箔用阳极板的方法,其特征在于,所述步骤S1中,去离子水的电导率低于0.056us/cm。
4.根据权利要求1所述的一种清洗电解铜箔用阳极板的方法,其特征在于,所述步骤S3中,超声频率为40kHz。
5.根据权利要求1所述的一种清洗电解铜箔用阳极板的方法,其特征在于,所述步骤S2中,缓冲溶液需要加热至沸腾状态。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202110266396.4A CN113061943A (zh) | 2021-03-12 | 2021-03-12 | 一种清洗电解铜箔用阳极板的方法 |
Applications Claiming Priority (1)
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---|---|---|---|
CN202110266396.4A CN113061943A (zh) | 2021-03-12 | 2021-03-12 | 一种清洗电解铜箔用阳极板的方法 |
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---|---|
CN113061943A true CN113061943A (zh) | 2021-07-02 |
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ID=76560062
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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CN202110266396.4A Pending CN113061943A (zh) | 2021-03-12 | 2021-03-12 | 一种清洗电解铜箔用阳极板的方法 |
Country Status (1)
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