CN113038720A - 电路板刻蚀安装支架及等离子刻蚀机 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种电路板刻蚀安装支架及等离子刻蚀机。其中，电路板刻蚀安装支架包括用于支撑电路板的支撑架、与支撑架连接的弹性底座以及与弹性底座连接的振动电机，振动电机用于向有弹性底座施加激振力，使得弹性底座、支撑架以及支撑架上设置的电路板振动，提高电路板上钻孔内有效等离子体的流动，从而加强等离子体对孔壁的反应，提高孔内胶渣清除效果，避免后续影响电路板的性能。振动电机带动电路板连续不断的振动，还有助于提升除胶灌孔率，使得等离子体能够有效充满贯通钻孔，帮助除胶粉尘排出内。

Description

电路板刻蚀安装支架及等离子刻蚀机

技术领域

本发明涉及电路板制作技术领域，尤其涉及一种电路板刻蚀安装支架及等离子刻蚀机。

背景技术

PCB电路板又称印刷电路板，电子零部件之间形成预定电路的连接，起到中继传输的作用，采用电路板可以减少布线和装配的差错，提高自动化水平和生产劳动率。随着电子信息技术的不断发展，PCB板也随之朝向高密度、高层次方向迅速发展。在设计上，PCB板不断朝着层数更多、板厚更高、孔径更小的方向发展，从而导致PCB板的纵横比(厚径比，板厚与孔径的比例)也越来越大，这种发展趋势给印制电路板的生产制造带来了极大挑战。

在PCB板的加工过程中，需要在PCB板上钻孔，再对孔进行金属化处理，让层与层间线路相互导通。由于在钻孔过程中，孔内基板材质在高温下熔化形成胶渣，一部分胶渣被钻头带出孔外，另一部分胶渣残留在孔壁上。因此，孔在金属化前必须进行除胶渣工艺。现有技术中，通常采用等离子刻蚀机清除钻孔内胶渣。具体地，首选，需要将待除胶渣的PCB板安装在插架中，并将挂有PCB板的插架放置到等锂离子刻蚀机的腔体内；然后，对等离子刻蚀机的腔体抽真空后通入除胶渣气体，并施加预设电压将除胶渣气体激发形成等离子体，等离子体轰击PCB板钻孔孔壁的胶渣使之形成粒子和气态物质抽真空排出，从而达到清除胶渣的目的。

但是，由于PCB板的高纵横比，等离子体在深孔内的流动性差，导致深孔内的胶渣清除效果差，在对孔进行金属化时孔壁上容易形成空洞，从而影响层间线路导通而影响PCB板的性能。

发明内容

本发明提供一种电路板刻蚀安装支架及等离子刻蚀机，以解决现有电路板钻孔内清除胶渣效果差的技术问题。

为了解决上述技术问题，本发明采用如下技术方案：

本发明的第一方面提供一种电路板刻蚀安装支架，其包括：支撑架、弹性底座以及振动电机；所述支撑架安装在所述弹性底座的顶端，且所述支撑架设置有支撑电路板的支撑空间；所述振动电机的输出端与所述弹性底座连接，用于向所述弹性底座施加激振力。

与现有技术相比，本发明的第一方面提供的电路板刻蚀安装支架具有如下优点：

本发明提供的电路板刻蚀安装支架，包括用于支撑电路板的支撑架、与支撑架连接的弹性底座以及与弹性底座连接的振动电机，振动电机用于向有弹性底座施加激振力，使得弹性底座、支撑架以及支撑架上设置的电路板振动，提高电路板上钻孔内有效等离子体的流动，从而加强等离子体对孔壁的反应，提高孔内胶渣清除效果，避免后续影响电路板的性能。振动电机带动电路板连续不断的振动，还有助于提升除胶灌孔率，使得等离子体能够有效充满贯通钻孔，帮助除胶粉尘排出内。

作为本发明上述电路板刻蚀安装支架的一种改进，所述弹性底座包括至少一个伸缩杆组件以及至少一个弹性件；所述伸缩杆组件的顶端与所述支撑架固定连接，所述伸缩杆组件的底端用于与等离子刻蚀机的腔室底壁接触；所述弹性件套设在所述伸缩杆组件的外侧，且所述弹性件的两端分别用于与所述支撑架的底端、所述等离子刻蚀机的腔室底壁抵接。

作为本发明上述电路板刻蚀安装支架的一种改进，所述伸缩杆组件包括第一连接杆和第二连接杆，所述第一连接杆的顶端与所述支撑架固定连接，所述第一连接杆的底端设置有伸缩空腔；所述第二连接杆的顶端容纳在所述伸缩空腔内，所述第二连接杆的底端用于与所述等离子刻蚀机的腔室底壁接触。

作为本发明上述电路板刻蚀安装支架的一种改进，所述伸缩杆组件设置有多个，且多个所述伸缩杆组件均布在所述支撑架的底面；所述弹性件设置有多个，且每个所述伸缩杆组件外侧均套设一个所述弹性件。

作为本发明上述电路板刻蚀安装支架的一种改进，所述弹性底座还包括至少三个脚轮，至少三个所述脚轮形成支撑平面；所述脚轮与所述伸缩杆组件连接。

作为本发明上述电路板刻蚀安装支架的一种改进，所述弹性底座还包括安装板，所述安装板的顶端与所述支撑架的底端固定连接，所述安装板的底端与所述伸缩杆组件连接；所述振动电机安装在所述安装板的底面。

作为本发明上述电路板刻蚀安装支架的一种改进，所述支撑架包括至少一个支撑组件，所述支撑组件包括两个夹持梁以及沿第一预设方向间隔设置的两个立柱，沿所述立柱长度方向间隔设置有多个支撑块；所述两个夹持梁的两端分别搭接在所述支撑块上，且两个所述夹持梁之间形成夹持电路板的支撑空间。

作为本发明上述电路板刻蚀安装支架的一种改进，所述支撑组件设置有多个，且多个支撑组件沿第二预设方向间隔设置，其中所述第二预设方向与所述第一预设方向垂直。

本发明的第二方面提供一种等离子刻蚀机，其包括：腔室以及第一方面所述的电路板刻蚀安装支架，所述电路板刻蚀安装支架安装在所述腔室的底壁上；所述腔室的侧壁设置有电源接口，所述电路板刻蚀安装支架的振动电机通过导线与所述电源接口电连接；和/或，所述振动电机设置有供电电池。

本发明的第二方面提供的等离子刻蚀机，由于其包括第一方面所述的电路板刻蚀安装支架，因此本发明的第二方面提供的等离子刻蚀机也具有与第一方面所述的电路板刻蚀安装支架的相同的优点。

作为本发明上述等离子刻蚀机的一种改进，所述等离子刻蚀机还包括控制装置；所述电路板刻蚀安装支架还包括与所述振动电机通信连接的控制器；所述控制器集成在所述控制装置上，或者，所述控制器独立于所述控制装置设置。

附图说明

图1为本发明实施例提供的PCB板安装支架的主视图；

图2为本发明实施例提供的PCB板安装支架的左视图；

图3为本发明实施例提供的PCB板安装支架安装在等离子刻蚀机腔室内时的结构示意图。

附图标记说明

1：支撑架；11：支撑组件；111：立柱；112：夹持梁；113：支撑块；114：支撑空间；

2：弹性底座；21：伸缩杆组件；22：弹性件；23：脚轮；24：安装板；

3：振动电机；

4：电路板；

5：电极；

6：腔室。

具体实施方式

多层PCB板的制作过程为：开料→内层图形→内层蚀刻→压合→钻孔→孔金属化→全板电镀→外层图形→图形电镀→外层蚀刻→阻焊→字符→表面处理→成型→终检→包装，其中，孔金属化作用为在孔内形成导电层，让层与层间线路相互导通。由于在钻孔过程中，孔内基板材质在高温下熔化形成胶渣，一部分胶渣被钻头带出孔外，另一部分胶渣残留在孔壁上。因此，孔在金属化前必须进行除胶渣工艺。现有技术中，通常采用等离子刻蚀机清除钻孔内胶渣。具体地，首选，需要将待除胶渣的PCB板安装在插架中，并将挂有PCB板的插架放置到等锂离子刻蚀机的腔体内；然后，对等离子刻蚀机的腔体抽真空后通入除胶渣气体，并施加预设电压将除胶渣气体激发形成等离子体，等离子体轰击PCB板钻孔孔壁的胶渣使之形成粒子和气态物质抽真空排出，从而达到清除胶渣的目的。

但是，由于PCB板的高纵横比，等离子体在深孔内的流动性差，导致深孔内的胶渣清除效果差，孔壁上仍然残留部分胶渣，若残留在孔壁上的胶渣位于PCB板内层线路位置处，后续在此处孔壁上金属化时就难以沉铜膜和电镀铜层而形成空洞，导致内层线路无法与其他层的线路导通，直接影响着多层PCB板的性能。

有鉴于此，本发明提供一种PCB板刻蚀安装支架及等离子刻蚀机，在PCB板刻蚀安装支架包括弹性底座、支撑架以及振动电机，弹性底座分别连接支撑架和振动电机。在等离子体除胶渣工作时，振动电机通过弹性底座不断振动支撑架上安装的PCB板，使PCB板不断连续振动，提高PCB板孔内等离子体的流动，加强等离子体对孔壁的轰击作用，并且振动有助于胶渣、粉尘等排出孔外。

下面详细描述本发明的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本发明，而不能理解为对本发明的限制。

图1为本发明实施例提供的电路板安装支架的主视图，图2为本发明实施例提供的电路板安装支架的左视图，图3为本发明实施例提供的PCB板安装支架安装在等离子刻蚀机腔室内时的结构示意图。

参照图1至图3，本发明实施例提供一种电路板刻蚀安装支架，其包括：支撑架1、弹性底座2以及振动电机3；支撑架1安装在弹性底座2的顶端，且支撑架1设置有支撑电路板4的支撑空间114；振动电机3的输出端与弹性底座2连接，用于向弹性底座2施加激振力。

具体地，支撑架1安装在弹性底座2的顶端，其具有支撑空间114，用于支撑电路板4。例如，支撑架1包括多个框架，每个框架均设置有支撑控制114，以支撑电路板4；再例如，支撑架1包括多个立柱以及多个横梁，多个立柱和横梁形成桁架结构，桁架结构上设置有支撑板，用于支撑电路板4。当然，支撑架1还可以是其他结构，在此不做限定。

弹性底座2的顶端用于安装支撑架1，弹性底座2上还安装有振动电机3，振动电机3向弹性底座2施加激振力。弹性底座2还用于与等离子刻蚀机的腔室底壁接触，以承重支撑架1以及支撑架1上的电路板4。弹性底座2可以包括支撑柱以及弹性件，支撑柱的顶端与支撑架1连接，支撑柱的底端与弹性件连接；或者，弹性底座2可以包括可伸缩杆以及套设在可伸缩杆外侧的弹性件，可伸缩杆的顶端与支撑架1连接。再或者，弹性底座2包括连接套、连接杆以及弹性件，连接杆的一端与支撑架1连接，连接杆的另一端容纳在连接套内，弹性件容纳在连接套内，且弹性件的两端分别与连接杆的另一端和连接套的底壁抵接。弹性底座2还可以是其他结构，在此不做限定。

振动电机3用于向弹性底座2施加激振力，使得弹性底座2振动，从而带动支撑架1以及支撑架1上的电路板4振动，如此可以提高电路板4的钻孔内有效等离子体的流动，加强等离子体对孔壁的反应，提高孔内胶渣清除效果。其中，振动电机3可以是现有任意的振动电机，由于在等离子体产生过程中产生热量，因此，振动电机3需要耐高温，或者，在振动电机3的外侧设置有耐高温的保护壳等。振动电机3的本身可以带有电池，或者，振动电机3通过耐高温的导线与外部电源电连接。本发明实施例对振动电机3的具体结构不做限定。

此外，本发明实施例的电路板刻蚀安装支架还可以包括控制器，控制器与振动电机3电连接，用于控制振动电机3的工作状态，例如，控制振动电机3的振动频率、振动强度、振动时间等。控制器可以是PLC控制器，也可以是其他控制器。控制器可以集成到等离子刻蚀机的控制装置上，控制器还可以单独设置，例如，控制器设置成遥控器，方便用于远距离控制振动电机3的工作状态。

本发明实施例提供的电路板刻蚀安装支架，包括用于支撑电路板的支撑架、与支撑架连接的弹性底座以及与弹性底座连接的振动电机，振动电机用于向有弹性底座施加激振力，使得弹性底座、支撑架以及支撑架上设置的电路板振动，提高电路板上钻孔内有效等离子体的流动，从而加强等离子体对孔壁的反应，提高孔内胶渣清除效果，避免后续影响电路板的性能。振动电机带动电路板连续不断的振动，还有助于提升除胶灌孔率，使得等离子体能够有效充满贯通钻孔，帮助除胶粉尘排出内。

作为弹性底座2具体结构的一种实施方式，弹性底座2包括至少一个伸缩杆组件21以及至少一个弹性件22；伸缩杆组件21的顶端与支撑架1固定连接，伸缩杆组件21的底端用于与等离子刻蚀机的腔室6底壁接触；弹性件22套设在伸缩杆组件21的外侧，且弹性件22的两端分别用于与支撑架1的底端、等离子刻蚀机的腔室底壁抵接。

其中，弹性件21的两端可以分别与支撑架1的底端、等离子刻蚀机的腔室6底壁抵接。弹性件22为耐高温弹簧，弹性件22可以是钢弹簧等。需要注意的是，弹性件22不可以是塑料、橡胶等胶材质的弹性结构，避免等离子体与弹性件22发生反应。

当然，弹性底座2还可以包括安装振动电机3的安装板，伸缩杆组件21通过安装板与支撑架1连接。

本实施例弹性底座2包括可伸缩组件21和弹性件22，通过弹性件22套设在可伸缩组件21外侧，在对支撑架1起到弹性支撑作用的同时，使得弹性底座2结构简单，方便加工和装配。

进一步地，伸缩杆组件21包括第一连接杆和第二连接杆，第一连接杆的顶端与支撑架1固定连接，第一连接杆的底端设置有伸缩空腔；第二连接杆的顶端容纳在伸缩空腔内，第二连接杆的底端用于与等离子刻蚀机的腔室6底壁接触。弹性件2套设在第一连接杆和第二连接杆的外侧，且弹性件2的两端分别与支撑架1、腔室6的底壁抵接。在弹性底座2受到振动电机3的激振力时，第二连接杆的顶端沿伸缩空腔上下滑动，即沿附图中Z方向上下滑动，弹性件2被压缩或者伸展，从而带动支撑架1以及支撑架1上的电路板4不断的振动。

当然，设置有伸缩空腔的第一连接杆还可以位于下方，此时，第一连接杆的顶端设置有伸缩空腔，第一连接杆的底端与腔室6的底壁接触；第二连接杆的底端容纳在伸缩空腔内，第二连接杆的顶端与支撑架1连接。

本实施例中伸缩杆组件21包括第一连接杆和第二连接杆，其中，第一连接杆设置有伸缩空腔，第二连接杆容纳在伸缩空腔内，如此伸缩杆组件21在实现伸缩功能的同时，使得伸缩杆组件21的结构简单，方便加工和装配。

在一种可能的实现方式中，弹性底座2包括一个伸缩杆组件21和一个弹性件22。此时，为了提高弹性底座2的结构稳定性，伸缩杆组件21的底部可以设置有支撑块，弹性件22的两端分别与支撑架1、支撑块抵接。如此设置，使得弹性底座2的结构简单，方便加工和装配。

在另一种可能的实现方式中，伸缩杆组件21设置有多个，且多个伸缩杆组件21均布在支撑架1的底面；弹性件22设置有多个，且每个伸缩杆组件21外侧均套设一个弹性件22。例如，伸缩杆组件21可以设置有三个、四个、五个等，多个伸缩杆组件21可以在支撑架1的底面均布，例如，多个伸缩杆组件21可沿支撑架1的横向间隔设置，即，沿附图中X方向间隔设置；再例如，多个伸缩杆组件21还可以沿支撑架1的纵向间隔设置，即，沿附图中Y方向间隔设置。需要理解的是，当多个伸缩杆组件21布置在同一直线上时，为了提高弹性底座2的结构稳定性，伸缩杆组件21的底部可以设置有支撑块。当然，多个伸缩杆组件21也可以在支撑架1的底面分别沿横向、纵向间隔设置，形成支撑平面。本发明实施例对伸缩杆组件21的数量以及排布方式不做限定。在一种可选的实施方式中，伸缩杆组件21和弹性件22均设置有四个，四个伸缩杆组件21在支撑架1的底部形成矩形分布，即，四个伸缩杆组件21在矩形支撑架1的四个顶角位置，每个伸缩杆组件21外侧均套设一个弹性件2。弹性件22的数量与伸缩杆组件21的数量一致，即，每个伸缩杆组件21的外侧均套设一个弹性件22。

本实施例弹性底座2通过设置多个伸缩杆组件21和多个弹性件22，多个伸缩杆组件21均布在支撑架1的底面，每个伸缩杆组件21外侧均套设一个弹性件22，如此提高弹性底座2对支撑架1以及支撑架1上的电路板4的弹性支撑力，还有利于提高弹性底座2的结构稳定性。

在上述实施例的基础上，继续参照图1和图2，弹性底座2还包括至少三个脚轮23，至少三个脚轮23形成支撑平面；脚轮23与伸缩杆组件21连接。此时，弹性件22的两端分别与支撑架1的底端、脚轮23的顶端抵接。

在此实施例中，多个伸缩杆组件21在支撑架1的底面形成支撑平面，即，多个伸缩杆组件21没有沿同一直线排布。例如，当伸缩杆组件21设置有三个时，三个伸缩杆组件21在支撑架1的底面排布形成三角形，以稳定的承重支撑架1；再例如，当伸缩杆组件21设置有四个时，四个伸缩杆组件21在支撑架1的底面排布形成矩形，以稳定的承重支撑架1。

脚轮23可以是现有的脚轮结构，例如，万向轮，带有刹车组件的脚轮等。脚轮23的数量与伸缩杆组件21的数量一致，即，每个伸缩杆组件21的底部均设置有一个脚轮23。脚轮23与伸缩杆组件21的第二连接杆可以通过螺栓和螺母实现连接，或者，第二连接杆设置有螺柱，直接与脚轮23螺纹连接。本发明实施例对伸缩杆组件21与脚轮23的连接方式不做限定，本领域技术人员可以根据脚轮23的具体结构进行设置。

本实施例弹性底座2在每个伸缩杆组件21的底部设置脚轮23，方便操作人员将装有电路板4的电路板刻蚀安装支架移动至等离子刻蚀机的腔室6内，或者，将装有电路板4的电路板刻蚀安装支架等从离子刻蚀机的腔室6内移出，操作简单方便快速。

在另外一些实施例中，弹性底座2还包括安装板24，安装板24的顶端与支撑架1的底端固定连接，安装板24的底端与伸缩杆组件21连接；振动电机3安装在安装板24的底面。

在本实施例中，弹性底座2通过设置安装板24，为振动电机3、伸缩杆组件21提供安装空间。安装板24与支撑架1可以卡接，安装板24与支撑架1还可以通过紧固件连接。安装板24与伸缩杆组件21的第一连接杆可以卡接，或者，安装板24与伸缩杆组件21的第一连接杆还可以通过紧固件连接。本发明实施例对安装板24与支撑架1、伸缩杆组件21的连接方式不做限定。

振动电机3固定在安装板24的底面，例如，振动电机3的外壳上设置有螺纹孔，安装板24上也设置有螺纹孔，螺栓分别与振动电机3外壳上的螺纹孔、安装板24上的螺纹孔螺纹连接后与螺母螺纹连接，从而将振动电机3固定在安装板24上。

支撑架1的结构可以有多种，在其中一种可能的实现方式中，参照图2和图3，支撑架1包括至少一个支撑组件11，支撑组件11包括两个夹持梁112以及沿第一预设方向间隔设置的两个立柱111，沿立柱111长度方向间隔设置有多个支撑块113；两个夹持梁112的两端分别搭接在支撑块113上，且两个夹持梁112之间形成夹持电路板4的支撑空间114。

具体地，两个立柱111沿第一预设方向间隔设置，第一预设方向即图中Y方向，两个立柱11上在相对的侧面分别设置有支撑块113，多个支撑块113沿立柱111的长度方向间隔设置，即，多个支撑块113沿图中Z向间隔设置。本发明实施例对支撑块113的数量不做限定。

两个夹持梁112沿竖向间隔设置，上面夹持梁112的底面设置有凹槽，凹槽内排列有多个滚珠；下面夹持梁112的顶面设置有凹槽，凹槽内排列有多个滚珠。两个夹持梁112之间形成支撑空间114，即，电路板4的顶端位于上面夹持梁112的凹槽内，电路板4的底端位于下面夹持梁112的凹槽内，从而将电路板4夹持在两个夹持梁112之间，其中，凹槽内设置滚珠有利于保护电路板4。夹持梁112的两端分别搭接在两侧立柱111上的支撑块113上。

可以理解的是，因电路板4竖向尺寸不一致，两个夹持梁112之间的距离也不同。在立柱111上设置多个支撑块113，可以提高电路板刻蚀安装支架的通用性。当然，电路板4沿Y方向的尺寸不一致，使得两个夹持梁112之间可夹持的电路板4数量也不一致。例如，在图3示出的结构中，两个夹持梁112之间夹持有两个电路板4，两个电路板4沿Y方向间隔设置。当然，对于一些更小尺寸的电路板4，两个夹持梁112之间可以夹持更多的电路板4；对于大尺寸的电路板4，两个夹持梁112之间只能夹持一个电路板4。本领域技术人员可以根据实际情况设置，在此不做限定。

为了提高除胶效率，通常将多个电路板4同时进行除胶作业，为此，在其中一些可能的实现方式中，支撑组件11设置有多个，且多个支撑组件11沿第二预设方向间隔设置，其中第二预设方向与第一预设方向垂直。

具体参照图1和图2，支撑组件11可设置两个、三个、四个等多个，多个支撑组件11沿第二预设方向间隔设置，其中，第二预设方向为图中X方向。本发明实施例对支撑组件11的数量不做限定，本领域技术人员可以根据等离子刻蚀机腔室6内的电极以及其他实际情况进行设置。

本发明第二方面还提供一种等离子刻蚀机，其包括：腔室6以及上述的电路板刻蚀安装支架，电路板刻蚀安装支架安装在腔室6的底壁上；腔室6的侧壁设置有电源接口，电路板刻蚀安装支架的振动电机3通过导线与电源接口电连接；和/或，振动电机6设置有供电电池。

腔室6内设置有多个电极5，相邻两个电极5之间具有一个支撑组件11。本实施例等离子刻蚀机还包括分子泵、机械泵等抽真空设备等，本发明实施例对等离子刻蚀机的其他结构不做限定。其中，电源接口为耐高温的接线端子，导线为耐高温的导线。

本实施例提供的电路板刻蚀安装支架的结构、功能和效果与上述实施例相同，具体可以参照上述实施例，在此不再进行赘述。

下面详细描述本发明实施例提供的等离子刻蚀机的工作过程：先将电路板4安装在电路板刻蚀安装支架的支撑空间14内，然后将电路板刻蚀安装支架推入到腔室6内，并将振动电机3的导线连接到电源接口上，使振动电机能够导电工作。然后，关闭腔室6，抽真空；在达到预设真空度后，通入除胶气体，并在电极5上施加射频电压(频率一般在在KHz到MHz之间)，电极5之间形成高频交变电场，真空腔室6内通入相关气体在交变电场的激励下形成等离子体。活性等离子体对孔壁的胶渣进行物理轰击与化学反应双重作用，使胶渣形成粒子和气态物质，经抽真空进行排出，从而清除电路板4孔壁的胶渣。

本发明第二方面提供的等离子刻蚀机，由于其包括上述的电路板刻蚀安装支架，因此本发明的第二方面提供的等离子刻蚀机也具有与上述的电路板刻蚀安装支架的相同的优点，在此不再赘述。

进一步地，本实施例等离子刻蚀机还包括控制装置，控制电极5上施加的电压、真空度、通入的气体流量等；电路板刻蚀安装支架还包括与振动电机3通信连接的控制器，控制振动电机3的振动开关、振动时间、振动频率、振动强度等。在一些实施方式中，控制器集成在控制装置上，如此方便操作者在等离子刻蚀机上即可以控制振动电机3，使得等离子刻蚀机和振动电机协同工作。在另一些实施例中，控制器独立于控制装置设置，例如，振动电机3的控制器可以单独设置成遥控器，方便操作者随时随地操作振动电机。

在本发明的描述中，需要理解的是，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本发明的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。

在以上描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本发明的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不必须针对的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。此外，在不相互矛盾的情况下，本领域的技术人员可以将本说明书中描述的不同实施例或示例以及不同实施例或示例的特征进行结合和组合。

最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本发明的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本发明进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技术方案的范围。

Claims (10)

1.一种电路板刻蚀安装支架，其特征在于，包括：支撑架、弹性底座以及振动电机；

所述支撑架安装在所述弹性底座的顶端，且所述支撑架设置有支撑电路板的支撑空间；

所述振动电机的输出端与所述弹性底座连接，用于向所述弹性底座施加激振力。

2.根据权利要求1所述的电路板刻蚀安装支架，其特征在于，所述弹性底座包括至少一个伸缩杆组件以及至少一个弹性件；

所述伸缩杆组件的顶端与所述支撑架固定连接，所述伸缩杆组件的底端用于与等离子刻蚀机的腔室底壁接触；

所述弹性件套设在所述伸缩杆组件的外侧，且所述弹性件的两端分别用于与所述支撑架的底端、所述等离子刻蚀机的腔室底壁抵接。

3.根据权利要求2所述的电路板刻蚀安装支架，其特征在于，所述伸缩杆组件包括第一连接杆和第二连接杆，所述第一连接杆的顶端与所述支撑架固定连接，所述第一连接杆的底端设置有伸缩空腔；所述第二连接杆的顶端容纳在所述伸缩空腔内，所述第二连接杆的底端用于与所述等离子刻蚀机的腔室底壁接触。

4.根据权利要求2所述的电路板刻蚀安装支架，其特征在于，所述伸缩杆组件设置有多个，且多个所述伸缩杆组件均布在所述支撑架的底面；

所述弹性件设置有多个，且每个所述伸缩杆组件外侧均套设一个所述弹性件。

5.根据权利要求4所述的电路板刻蚀安装支架，其特征在于，所述弹性底座还包括至少三个脚轮，至少三个所述脚轮形成支撑平面；所述脚轮与所述伸缩杆组件连接。

6.根据权利要求5所述的电路板刻蚀安装支架，其特征在于，所述弹性底座还包括安装板，所述安装板的顶端与所述支撑架的底端固定连接，所述安装板的底端与所述伸缩杆组件连接；

所述振动电机安装在所述安装板的底面。

7.根据权利要求1-6任一项所述的电路板刻蚀安装支架，其特征在于，所述支撑架包括至少一个支撑组件，所述支撑组件包括两个夹持梁以及沿第一预设方向间隔设置的两个立柱，沿所述立柱长度方向间隔设置有多个支撑块；

所述两个夹持梁的两端分别搭接在所述支撑块上，且两个所述夹持梁之间形成夹持电路板的支撑空间。

8.根据权利要求7所述的电路板刻蚀安装支架，其特征在于，所述支撑组件设置有多个，且多个支撑组件沿第二预设方向间隔设置，其中所述第二预设方向与所述第一预设方向垂直。

9.一种等离子刻蚀机，其特征在于，包括：腔室以及权利要求1-8任一项所述的电路板刻蚀安装支架，所述电路板刻蚀安装支架安装在所述腔室的底壁上；

所述腔室的侧壁设置有电源接口，所述电路板刻蚀安装支架的振动电机通过导线与所述电源接口电连接；和/或，所述振动电机设置有供电电池。

10.根据权利要求9所述的等离子刻蚀机，其特征在于，所述等离子刻蚀机还包括控制装置；

所述电路板刻蚀安装支架还包括与所述振动电机通信连接的控制器；

所述控制器集成在所述控制装置上，或者，所述控制器独立于所述控制装置设置。

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